Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

ВСхнология производства двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

НаиболСС сущСствСнны измСнСния Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΌ осаТдСнии мСталличСских ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, связаны с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ мСханичСскими напряТСниями, компСнсация ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… достигаСтся Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий проводят Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ Π² «Ρ€Π°ΡΡ‚янутом» состоянии, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ нанСсСны слои Π‘r-Π‘u-Π‘r ΠΈ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ слоСв Π‘r-Π‘u-Π‘r для получСния… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ВСхнология производства двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ВСхнология производства двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

  • 1. Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
  • 2. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚
  • 2.1 Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании
  • 2.2 ΠšΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ (SMOTL — ΠΈ SMOBS-процСссы)
  • 2.3 Π’Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ завСсок Π½Π°Π΄ отвСрстиями ПП
  • 2.4 ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ фрСзСрования (ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ оконтуривания)
  • 2.5 Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании
  • 2.6 ЭлСктрохимичСский (ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ) ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄
  • 2.7 Аддитивный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄
  • 2.8 ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ фотоформирования
  • 2.9 ДвусторонниС ПП ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€Π°Π²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… паст
  • 2.10. Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚алличСском основании
  • 2.11 Π”ΠŸΠŸ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° Ρ‚Срмопластичном основании
  • 2.12Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŠΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании
  • 2.13 Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŠΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании
  • 2.14 Π“ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Π»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π΅, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
  • 3. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚
  • 3.1 ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ°Ρ… изготовлСния ПП
  • 3.1.1 ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ
  • 3.1.2ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ свСрлСниС
  • 3.1.3 Π€Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅
  • 3.1.4 Π‘Π²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠΉΠ½Ρ‹Π΅ станки.
  • 3.1.5 Π₯имичСскоС свСрлСниС
  • 3.2 Π₯имичСская мСталлизация
  • 3.2.1 ВСорСтичСскиС основы процСсса химичСского мСднСния
  • 3.2.2 АктивированиС повСрхности
  • 3.2.3 Растворы химичСского мСднСния
  • 3.2.4 ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ химичСском ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ
  • 3.3 ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π°
  • 3.3.1Бпособы создания Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π°
  • 3.3.2 Π–ΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ фоторСзисты
  • 3.3.3 Π‘ΡƒΡ…ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ фоторСзисты
  • 3.3.4 БСткография
  • 3.4 Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ процСссы
  • 3.4.1 МСднСниС
  • 3.4.2 Π—Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ сплавом ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц (ПОБ-60)
  • 3.4.3 ΠŸΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΡ Ρ€Π°Π·ΡŠΠ΅ΠΌΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚
  • 3.4.4 ΠžΡΠ²Π΅Ρ‚Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ покрытия ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц
  • 3.5 Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ
  • 3.5.1 Растворы Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π°
  • 3.5.2 Π₯Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎ-ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹ΠΉ кислый ΠΈ Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ растворы
  • 3.6 ΠœΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ПП
  • 4. Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅
  • 5. Π›ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°

1. Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (ПП) ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ практичСски Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ… отраслях Π½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ хозяйства, ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Π½ΠΈΡ… постоянно возрастаСт. ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΡ‹ развития микроэлСктроники Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ… Ρ‚СхничСского уровня, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ опрСдСляСтся ростом плотности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° элСктрорадиоиздСлий (ЭРИ), ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ частоты слСдования ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠΎΠ², обСспСчСниСм помСхозащищСнности ΠΈ Π΄Ρ€. РСализация этих Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ зависит ΠΎΡ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ конструирования ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ия Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ производства ΠŸΠŸ. Π­Ρ‚ΠΎ Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…одимости Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… конструкций ΠΈ Ρ‚СхнологичСских процСссов изготовлСния ΠŸΠŸ.

2. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСском основании прСдставлСна Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1. Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π”ΠŸΠŸ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ конструкции, Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ элСмСнтов ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ примСнСния, ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ характСристиками, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ Ρ‚Π΅ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΈ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ТСстком ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ основании (рис.2).

НиТС Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ рассмотрСны Π”ΠŸΠŸ Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΡΡ‚ΠΎΠΉ классификациСй.

Рис.1. Двусторонняя ПП.

Рис.2 ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ Π”ΠŸΠŸ Π² зависимости ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° основания.

пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° двусторонняя химичСский

2.1 Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании

На Ρ€ΠΈΡ. 3 прСдставлСны ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния Π”ΠŸΠŸ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании, основныС этапы изготовлСния ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ рассмотрСны Π² Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅ΠΌ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ характСристики ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π”ΠŸΠŸ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π».1.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ характСристики ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π”ΠŸΠŸ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° ТСстком основании.

Рис.3. ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ТСстком Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании.

Рассмотрим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅.

2.2 ΠšΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ (SMOTL — ΠΈ SMOBS-процСссы)

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния Π”ΠŸΠŸ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π».2.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 2. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы ВП изготовлСния Π”ΠŸΠŸ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (SMOTL - ΠΈ SMOBS-процСссы).

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхностСй Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ (см. Ρ‚Π°Π±Π».2, ΠΏ.6) ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм БПЀ являСтся отвСтствСнной ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ проводят Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹:

ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ заусСнцы послС свСрлСния отвСрстий ΠΈ Π½Π°Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠ² Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;

ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ адгСзию БПЀ ΠΊ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ;

ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° Π½Π° ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡΡ… проявлСнии ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, которая обСспСчиваСт Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ экспонированиС фоторСзиста.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄Π²Π° способа ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности:

1) мСханичСская зачистка Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π°ΠΌΠΈ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ химичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония;

2) мСханичСская зачистка Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ суспСнзиСй ΠΏΠ΅ΠΌΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π°. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ проводят ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ сСнсибилизации ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ивирования повСрхности диэлСктрика (см. Ρ€Π°Π·Π΄.5−5.1).

Для получСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ сухой ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ рСзист (БПЀ) Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 15.50 ΠΌΠΊΠΌ.

Начиная с ΠΏ. 10 Ρ‚Π°Π±Π».2, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ Π΄Π²Π΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ выполнСния

этапов Π’П:

Π±Π΅Π· удалСния мСталлорСзиста (ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинца) послС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ травлСния с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π΅Π³ΠΎ инфракрасным ΠΈΠ»ΠΈ Тидкостным ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ; этот процСсс называСтся «ΠΌΠ°ΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ припоя», ΠΈΠ»ΠΈ SMOTL-ΠΏpoΡ†ecc (solder mask over tin-lead), Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ паяльная маска наносится ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц;

с ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ мСталлорСзиста (ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинца, ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈΠ»ΠΈ никСля) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ рСзиста послС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ травлСния с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ нанСсСниСм паяльной маски Π½Π° ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ; этот процСсс называСтся «ΠΌΠ°ΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ», ΠΈΠ»ΠΈ SMOBS-ΠΏpоцСсс (solder mask over bare copper), ΠΈΠ»ΠΈ защитная маска ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. На Ρ€ΠΈΡ. 4 прСдставлСны SMOTL — ΠΈ SMOBS-процСссы, начиная с ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° (см Ρ‚Π°Π±Π».2, ΠΏ.8).

Рис.4. SMOTL - ΠΈ SMOBS-процсссы изготовлСния ПП.

Π’ SMOTL-процСссС ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ЭРИ «Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ припоя» происходит расплавлСниС припоя, находящСгося ΠΏΠΎΠ΄ маской, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ вспучиваниС ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ самой паяльной маски. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, сущСствуСт Π²Π΅Ρ€ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ образования ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡Π΅ΠΊ припоя ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ сосСдними ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ высокой плотности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. Π’ SMOBS-процСссС Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ маской Π½Π΅Ρ‚ припоя. ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ SMOTL-ΠΏpoΡ†ecca являСтся надСТная Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ, которая Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° для ПП, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ влаТности.

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ для повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ SMOBS-процСссу. Π­Ρ‚ΠΎ связано с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ прСдотвращСния растСкании маски ΠΈ Π΅Π΅ ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ SMOBS-процСсса связано Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ с ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΈΠΌΠΈ экологичСскими ограничСниями ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ½Ρ†Ρƒ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ очистки ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ свинца ΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ оборудования.

Для изготовлСния Π”ΠŸΠŸ ΠΈ ΠœΠŸΠŸ с Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ паяльной маской (SMOBS-процСсс) Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ…, Π³Π΄Π΅ трСбуСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ² 0,2 ΠΌΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ процСсс с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ удаляСмого мСталлорСзиста (ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинца), Ρ‚, Π΅. Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ удаляСмого мСталлорСзиста ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ, ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ сплав ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц.

ΠšΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ свои достоинства ΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΈ использовании ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°:

ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ высокотоксичного элСктролита,

содСрТащСго Π±ΠΎΡ€Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΈ ΡΠ²ΠΈΠ½Π΅Ρ†, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ для осаТдСния сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц;

для осаТдСния ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ простыС малотоксичныС сСрнокислыС элСктролиты;

раствор для стравливания ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ накоплСния Π² Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² травлСния Ρ€Π΅Π³Π΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚, ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ³ΠΎΠ΄Π° Π΄ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΠΎΠ΄Π°.

НСдостатком процСсса с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ удаляСмого ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° являСтся расплываниС ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π½Π° ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ участки, ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΠ΅ ΡΡ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ снятии БПЀ Π² Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ затрудняСт процСсс травлСния.

ΠŸΡ€ΠΈ использовании сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц:

для осаТдСния примСняСтся токсичный элСктролит, Ρ‡Ρ‚ΠΎ являСтся нСдостатком процСсса;

раствор для стравливания сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ эксплуатации Π½Π΅ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ируСтся, Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ замСняСтся послС накоплСния Π² Π½Π΅ΠΌ стравливаСмых ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ 120−150 Π³/Π».

Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ достоинством процСсса с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц являСтся Π΅Π³ΠΎ ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ; с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π±Π΅Π· паяльной

маски с ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц всСго проводящСго рисунка (SMOTL-ΠΏpoцСсс), Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с ΠΌΠ°ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ (SMOBS-процСсс) ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΈΠ½ΠΈΡˆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ.

ΠŸΡ€ΠΈ нанСсСнии покрытия Π½Π° ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΊΠΈ проводящСго рисунка, свободныС ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ (см. Ρ‚Π°Π±Π».2, ΠΏ.8), ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚:

горячСС Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ПОБ-61 ΠΈΠ»ΠΈ сплавом Π ΠΎΠ·Π΅ (ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц-висмут) с Π²Ρ‹Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ горячим Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ;

ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ химичСский никСль-иммСрсионноС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ;

ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ химичСский никСль-химичСский ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ;

иммСрсионноС;

иммСрсионноС сСрСбро;

иммСрсионный ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ;

органичСскоС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅.

Достоинствами двухслойного покрытия химичСский никСль-иммСрсионноС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ:

надСТная Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… воздСйствий;

обСспСчСниС сварки ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ, тСрмокомпрСссионным ΠΈ

ΡΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ;

обСспСчСниС Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π±Π΅Π· использования Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… Ρ„Π»ΡŽΡΠΎΠ²;

сохранСниС свойств покрытия Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ хранСния;

ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ нСобходимая для установки ПМК;

Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ°Ρ ΡΠΌΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ ΠΈ Π΄Ρ€.

Для ΠΏΠ»Π°Ρ‚ повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° основным ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ являСтся двухслойноС ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ химичСский никСль-иммСрсионноС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ. ΠžΡ€Π³Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ химичСский никСль-иммСрсионноС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚: ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ для повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°; ΠΏΠ°ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠŸΠŸ Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ‚рСбованиями Π“ΠžΠ‘Π’ 23 752–79 «ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ОВУ» Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1 Π³.; Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π²ΡƒΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ смСшанном ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия с ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ эксплуатации.

2.3 Π’Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ завСсок Π½Π°Π΄ отвСрстиями ПП

Π’Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π”ΠŸΠŸ, двусторонних слоСв с ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠœΠŸΠŸ. ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°:

мСталлизируСтся вся ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎΡ‚вСрстия Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠŸΠŸ;

Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ся экологичСски агрСссивныС процСссы осаТдСния мСталлорСзиста, ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ паяльной маски производится Π½Π° ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ;

Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π° рисунка схСмы ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст обСспСчиваСтся ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ фоторСзистом, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΈ ΠΎΡ‚вСрстия, создавая Π½Π°Π΄ Π½ΠΈΠΌΠΈ Π·ΠΎΠ½Ρ‚ΠΈΠΊ; для получСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° (изобраТСния) рисунка схСмы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ пластичныС сухиС ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ фоторСзисты Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 40−50 ΠΌΠΊΠΌ. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ фоторСзистом завСски Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΎΡ‚ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (1,62.2,02) Па ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ травящСго раствора Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ струйного травлСния ΠŸΠŸ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ для сохранСния цСлостности завСсок ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΡ‚вСрстия ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ фоторСзисты Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 40.50 ΠΌΠΊΠΌ;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка производят Π² ΠΊΠΈΡΠ»Ρ‹Ρ… растворах Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΡ… Ρ€Π΅Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΈ ΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ;

для изготовлСния Π”ΠŸΠŸ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² МПП ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ двусторонниС Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ диэлСктрики с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 18 ΠΌΠΊΠΌ;

для обСспСчСния Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ отвСрстий Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π² 1,4 Ρ€Π°Π·Π° большС Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° отвСрстия, Π° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ поясок ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ b (ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΡ€Π°Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΡ‚вСрстиСм) — Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,1 ΠΌΠΌ;

для Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ мСднСния ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ элСктролиты с Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π‘Π‘Π”, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ высокой Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ пластичныС осадки Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;

Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΅ сочСтаниС с ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠΎΠΌ прямой ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, послС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ осущСствляСтся полная мСталлизация повСрхности ΠΈ ΠΎΡ‚вСрстий ΠΈ Π΄Ρ€.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния прСдставлСны Π² Ρ‚Π°Π±Π».3.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 3. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° образования завСсок Π½Π°Π΄ отвСрстиями ПП.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ см. Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρƒ 2. ΠΏ. ΠΏ.11−16

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ достоинства ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°:

наимСньшая ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСхнологичСского Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°;

Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎ-Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ растворы, содСрТащиС Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΠΉΠ½Ρ‹Π΅ соСдинСнии, Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ сточных Π²ΠΎΠ΄;

ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ экологичСскиС ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ производства;

ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π’П.

Π‘ΡƒΠ±Ρ‚Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹, рассмотрСнныС Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ (рисунок ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ получаСтся Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст), примСняСмыС Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ограничСния ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ способности рисунка схСмы, Ρ‚. Π΅. ΠΏΠΎ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ воспроизводимой ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояний ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… связаны с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 5−9 ΠΌΠΊΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ

ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ² порядка 50 ΠΌΠΊΠΌ;

ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 20.35 ΠΌΠΊΠΌ — 100.125 ΠΌΠΊΠΌ;

ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 50 ΠΌΠΊΠΌ — 150.200 ΠΌΠΊΠΌ.

Для получСния логичСских слоСв ΠΈ Π”ΠŸΠŸ с ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ рисунком, с ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 125 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, 100 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ 50 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ SMOBS-процСсс с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ диэлСктрика с Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5.9 ΠΌΠΊΠΌ. Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС Π’П ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ряд особСнностСй:

ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ мСталлизация стСнок отвСрстий ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ диэлСктрика выполняСтся Π½Π° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ 8.10 ΠΌΠΊΠΌ.

для ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ БПЀ с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокой Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ;

ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм БПЀ ΠΈΠ·-Π·Π° нСбольшой Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΈ Π²ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, проводится химичСским способом;

БПЀ наносят ΠΏΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ скорости 0,5 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½ Π²Π°Π»ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° Π²Π°Π»ΠΊΠΎΠ² (115±5) Ρ”Π‘, Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Ρ‚Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ 60−80Β°Π‘ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ;

ΠΏΡ€ΠΈ экспонировании ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ установки с Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ источником свСта, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ высококоллимированный интСнсивный свСтовой ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π½Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°ΠΌΡ‹ с Π°Π²Ρ‚оматичСским Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ΠΌ свСтовой энСргии;

Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Ρ‹ — ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ края изобраТСния 3−4 ΠΌΠΊΠΌ;

проявлСниС ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ провопят Π² ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ… проявлСния — процСссорах Π² ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ трихлорэтанС;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст схСмы суммарной Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 10.15 ΠΌΠΊΠΌ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ установкС с ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ°ΠΌΠΌΠΈΠ°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ раствором;

Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ мСталлорСзиста ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ сплав ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц (ПОБ-61) Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 9.12 ΠΌΠΊΠΌ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ никСль Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 3.5 ΠΌΠΊΠΌ.

2.4 ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ фрСзСрования (ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ оконтуривания)

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ мСханичСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π”ΠŸΠŸ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ станкС Ρ„ΠΈΡ€ΠΌ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, LPFK, Bungard, VHF, Mitronic. Он Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ этапы:

ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ„Π°ΠΉΠ»Π° для станка;

свСрлСниС ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ΅;

Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ (высвобоТдСниС) мСст ΠΎΡ‚ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ твСрдосплавными коничСскими Ρ„Ρ€Π΅Π·Π°ΠΌΠΈ с ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ½Π΅ 60 ΠΈΠ»ΠΈ 30 Π³Ρ€Π°Π΄. Π€Π°ΠΉΠ» ΠΎΠΊΠΎΠ½-туривания гСнСрируСтся Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌ CAD-CAM (InstantCAM, QrcuitCAM, CAM 350);

мСталлизация ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ Ρ„Ρ€Π΅Π·Ρƒ с Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 100 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π”ΠŸΠŸ ΠΏΠΎ 4-ΠΌΡƒ классу точности, Ρ‚. Π΅. ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ЭРИ со ΡΡ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ шагом 2,54 ΠΌΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ провСсти ΠΏΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΈ этом основным Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ ΠΊ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρƒ Π”ΠŸΠŸ, являСтся ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Для ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ разброса ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ€Π΅Π·Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ½Ρ‹Π΅ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ этом ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ врСзания Ρ„Ρ€Π΅Π·Ρ‹ Π² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΈ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΊ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ стопу. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ пустотСлыми Π·Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠΊΠ°ΠΌΠΈ (Ρ„ΠΈΡ€ΠΌΠ° Bungard); ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ пустотСлыми Π·Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠΊΠ°ΠΌΠΈ, содСрТащими ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ с Ρ„Π»ΡŽΡΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π²ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² ΠΎΡ‚вСрстиС, ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ паяльника Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ (LPFK); ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ пастами, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ… ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ (160±10) Ρ”Π‘.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ прСимущСствами мСханичСского способа ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ высокая ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ‚Π° Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Π° Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌΠΈ — низкая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ оборудования.

2.5 Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании

На Ρ€ΠΈΡ. 5 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π”ΠŸΠŸ ΠΈ

ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π’П ΠΈΡ… ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π½ΠΈΠΆΠ΅. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ характСристики Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании прСдставлСны Π² Ρ‚Π°Π±Π».4.

Рис.5. ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² изготовлСния ПП Π½Π° ТСстком Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 4. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ характСристики Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ТСстком Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ диэлСктрикС.

Рассмотрим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ диэлСктрикС ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅.

2.6 ЭлСктрохимичСский (ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ) ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСтся элСктрохимичСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ изготовлСния ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π”ΠŸΠŸ ΠΈ Π”ΠŸΠŸ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ТСстком, Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ основании, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ слоСв МПП. Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ нСсколько Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ² исполнСния, Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ПП

ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΏΠΎ 3-, 4 — ΠΈΠ»ΠΈ 5-ΠΌΡƒ ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ классам точности. Π’ Ρ‚Π°Π±Π».5 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ основных этапов Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ² изготовлСния ΠŸΠŸ.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 5. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы ВП изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ТСстком Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании элСктрохимичСским (ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ) ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π”ΠŸΠŸ ΠΈ Π”ΠŸΠŸ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния).

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 2., начиная с ΠΏ.8

Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ нСсколько Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ² изготовлСния Π”ΠŸΠŸ элСктрохимичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ»ΠΎΠΌ.

1-ΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚. На Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ основаниС, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ΅ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ слоСм со ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями наносят проводящий слой, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ химичСского осаТдСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ (подслой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 3.5 ΠΌΠΊΠΌ). Π”Π°Π»Π΅Π΅ процСсс изготовлСния см. ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».5. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ мСталлорСзиста ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ сплав ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ рСзист. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π”ΠŸΠŸ 5-Π³ΠΎ класса точности. НСдостатками Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π° ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ: ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΡΡ‚оящих Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚Π°Ρ… для ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ химичСского осаТдСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊ; растворы химичСского мСднСния Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ опасны; Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ подвСргаСтся мСдь, растворы ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ экологичСски опасны, Π° ΡΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π²Π° Ρ€Π΅Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… растворов слоТны, Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈ ΠΈ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈ; соли ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈ ΡΠ²ΠΈΠ½Ρ†Π° относятся ΠΊ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ опасным.

2-ΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚. На Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ основаниС, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ΅ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ слоСм со ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями наносят проводящий слой, сформированный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ (подслой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5.10 ΠΌΠΊΠΌ). Π”Π°Π»Π΅Π΅ процСсс изготовлСния см. ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».5. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π”ΠŸΠŸ 5-Π³ΠΎ класса точности. НСдостатки: большиС Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… срСдств ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ самих процСссов, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π½Π° ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ бСзопасности.

3-ΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚. На ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика наносят Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ слой ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»ΡΡŽΡ‚ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎ-Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ мСдь, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π² Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅ΠΌ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ проводящий рисунок схСмы Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Π’П, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π² Ρ‚Π°Π±Π».5. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π”ΠŸΠŸ 3-Π³ΠΎ класса точности. НСдостаток-ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ-тСхнологичСским характСристикам ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΊ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ отвСрстия Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…). Достоинством этого Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π° являСтся сниТСниС экологичСской опасности.

4-ΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚. На Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ основаниС, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ΅ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ слоСм со ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями наносят проводящий слой, сформированный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ·Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ (ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠŸΠŸ Π² Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°Ρ‡Π½ΠΎΠΉ соли гипофосфита ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ; Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° подслоя ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ — 0,3 ΠΌΠΊΠΌ) с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ элСктролитичСским ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (подслой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5−7 ΠΌΠΊΠΌ). Π”Π°Π»Π΅Π΅ процСсс изготовлСния см. ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».5.

5-ΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚. Вокопроводящий подслой ΠΈΠ· Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŠΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, стСклотСкстолита эпоксидно-Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈ Π‘Π’Π­Π€ ΠΈ Π½Π° ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ… сквозных ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ·ΠΎΠΌ Ρ…Π»ΠΎΡ€Π°Π»Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ раствора, Π³Π΄Π΅ ΠΏ = 1, 2, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 80.100Β°Π‘ (ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π° Ρ…Π»ΠΎΡ€Π°Π»Π°Π½Π°, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ синтСзом ΠΈΠ· Π»ΠΈΡ‚ΠΈΠΉΠ°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉΠ³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π° ΠΈ Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° алюминия Π² ΡΡ‚ΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ эфирС). Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° осаТдаСмого слоя алюминия рСгулируСтся Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ провСдСния Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ·Π° ΠΈ ΡΠΎΡΡ‚авляСт S-10 ΠΌΠΊΠΌ. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ высокой химичСской активности алюминии (особСнно Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоях) Π½Π° Π½Π΅ΠΌ образуСтся защитная оксидная ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,1.0,2 ΠΌΠΊΠΌ. Π­Ρ‚Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° формируСтся ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ пассивации алюминиСвого покрытия ΠŸΠŸ Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ «ΡΡƒΡ…ΠΎΠ³ΠΎ» диэтилового эфира ΠΈ ΡΡ‚ΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ спирта. Вонкая ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° оксида алюминия обСспСчиваСт Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ адгСзию нанСсСнного слоя ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ‚ся ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ диэлСктричСским слоСм, ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ. ΠŸΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ основных ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ Π’П ΠΏΠΎ 5-ΠΌΡƒ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Ρƒ элСктрохимичСского ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 6.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 6. Π Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктрохимичСского (ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ) процСсса (5-ΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ изготовлСния Π”ΠŸΠŸ)

МСдь, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΠΈ отвСрстий, выполняСт Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ рСзиста Π½Π° ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ травлСния, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ происходит стравливаниС Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя алюминия Π½Π° ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΊΠ°Ρ…, Π½Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… мСдью, Ρ‚. Π΅. Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ алюминия с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ мСдь рисунки схСмы Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ мСталлорСзиста. Под слоСм ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ остаСтся подслой алюминии ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ. ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ травлСния алюминия ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ токсичны, Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ химичСски ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ°Π³ΡƒΠ»ΡΠ½Ρ‚Ρ‹ для очистки ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… стоков, для получСния красок ΠΈ Ρ‚. Π΄. ΠœΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ паяльной маской, оставляя ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ с ΠΎΡ‚вСрстиями; паяльная маска Π½Π΅ Π²Π·Π΄ΡƒΠ²Π°Π΅Ρ‚ся ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ обСспСчиваСт Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ 4 — ΠΈ 5-Π³ΠΎ классов точности. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ПП ΠΏΡ€ΠΈ этом ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° для Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.

Достоинства 5-Π³ΠΎ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°:

высокоС качСство Π”ΠŸΠŸ ΠΏΡ€ΠΈ сохранСнии конструктивно-тСхнологичСских характСристик;

сниТСниС загрязнСния ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ с Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ алюминия Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст, Π° Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;

ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ использовании Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ мСталлорСзиста сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц;

экономия ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 0,2 ΠΊΠ³ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ 1 ΠΌ2 ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π”ΠŸΠŸ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠŸΠŸ стравливаСтся Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π΄ΡŒ, Π° Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ‚ΠΎΠΌ Π½Π΅ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ повСрхности, Π° Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 0,03 ΠΊΠ³ с 1 ΠΌ2);

сниТСниС стоимости ΡƒΡ‰Π΅Ρ€Π±Π° ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСдС, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ опСрация химичСского мСднСния, для ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π΅Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅, дорогостоящиС ΠΈ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚Ρ‹. Для усилСния ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ стойкости ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚) Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΉ алюминия Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΠΈ отвСрстий Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ слой никСля Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 3.5 ΠΌΠΊΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ слой являСтся ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ слоСм алюминии ΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΆΠ΅ слоСм ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ; никСль сниТаСт ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ алюминиСм ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΡŒΡŽ ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΡŽ этих ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ². Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоях МПП Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ получСния Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² (ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,08.0,04 ΠΌΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅) для установки BGA-ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² с ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ шагом располоТСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² (0,5…0,25 ΠΌΠΌ) ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ числом Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² (1000 ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅).

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° элСктрохимичСского ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°:

Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ осаТдСния Π² ΠΎΡ‚вСрстия ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ слоя ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ любой Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ свСрхточныС структуры ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ коэффициСнтом подтравливания;

достаточно высокая адгСзионная ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…;

Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ изготовлСния ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅Π²Ρ‹Ρ… схСм ΠΈ ΠŸΠŸ для установки ПМК.

2.7 Аддитивный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄

Аддитивным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ-Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании ΠΏΠΎ 5-ΠΌΡƒ классу точности. Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΡΡƒΠ±Ρ‚Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ диэлСктрик, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ сСлСктивно ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ мСдь. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° химичСски осаТСнной Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ составляСт порядка 25.35 ΠΌΠΊΠΌ, ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ элСктричСскоС сопротивлСниС — Омм (Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ —), ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΡƒΠ΄Π»ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ — 4.6 %, ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сцСплСния с Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠΎΠΌ — Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,4 Н/3 ΠΌΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° основания Π”ΠŸΠŸ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ стСклотСкстолит:

с ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ (Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ) Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π‘Π’Π­Π€;

с Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π² ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌ диэлСктрика ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ

способствуСт осаТдСнию ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊ — Ρ‚ΠΈΠΏΠ° БВАМ;

с ΡΠΌΠ°Π»ΡŒΡŽ.

ВСхнологичСский процСсс изготовлСния зависит ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° изготовлСния Π½Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ БВАМ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. Π’.6.

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°:

высокий класс точности — 5-ΠΉ;

Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Π”ΠŸΠŸ ΠΊ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ отвСрстия 10: 1;

ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠΉ тСхнологичСский Ρ†ΠΈΠΊΠ»;

сокращСниС количСства оборудования ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΡΡƒΠ±Ρ‚Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ;

сниТСниС расхода ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ сСлСктивно Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠΎΠΌ Π”ΠŸΠŸ;

Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ использования для химичСского мСднСния солСй ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ· Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

К Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌ Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° относятся:

высокоС ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ элСктричСскоС сопротивлСниС химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;

Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡ‚Π°Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ;

тСндСнция химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΊ Ρ€Π°ΡΡ‚Ρ€Π΅ΡΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… тСрмичСских ΡƒΠ΄Π°Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€.

2.8 ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ фотоформирования

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ фотоформирования являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°. Он ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ‚ся для изготовлСния Π”ΠŸΠŸ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² МПП Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании 5-Π³ΠΎ класса точности. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°

основания ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ слоистыС диэлСктрики, ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ, ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» с ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ· ΡΠΌΠΎΠ»Ρ‹. Для получСния рисунка ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ фотосСлСктивной Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ (Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠΌΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹) — ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ растворы солСй ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ сСрСбра Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ органичСских кислот (Π²ΠΈΠ½Π½ΠΎΠΉ, Π³Π»ΡƒΡ‚Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ Π΄Ρ€.). Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠ°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ наносят Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ проводят экспонированиС; ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм Π£Π€-излучСния ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, формируя ΠΎΡ‚Ρ‡Π΅Ρ‚Π»ΠΈΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка схСмы. ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² Π²Π°Π½Π½Π΅ химичСского мСднСния, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ автокаталитичСского процСсса происходит восстановлСниС ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° фотоформирования ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π».7.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π°.7. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ фотоформирования.

Одним ΠΈΠ· Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° фотоформирования являСтся Π²Ρ‹Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ свСтовым Π»ΡƒΡ‡ΠΎΠΌ рисунка схСмы ΠΏΠΎ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ диэлСктрик Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρƒ, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½Π° Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ мСдь химичСским способом. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ фотоформирования ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π”ΠŸΠŸ ΠΈΠ»ΠΈ слои МПП ΠΏΠΎ 5-ΠΌΡƒ классу точности ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅.

2.9 ДвусторонниС ПП ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€Π°Π²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… паст

Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ диэлСктрикС, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ

Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… паст, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΈ ΠΆΠ΅ характСристиками, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ОПП. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы Π’П изготовлСния этих Π”ΠŸΠŸ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π».8.

Π’Π°Π±Π».8. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы ВП изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании с использованиСм Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… паст.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».2. с ΠΏ. ΠΏ.11−16.

НСдостатком Π”ΠŸΠŸ являСтся Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ класс точности: 1 — ΠΈΠ»ΠΈ 2-ΠΉ, достоинством — простота Π”ΠŸΠŸ ΠΈ Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²ΠΈΠ·Π½Π° изготовлСния.

2.10. Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚алличСском основании

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ½Π°Π³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π”ΠŸΠŸ для ΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄Π° Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ основания ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ мСталличСскиС листы ΠΈΠ· Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, стали ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,1.3,0 ΠΌΠΌ, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ изоляционным слоСм. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ отвСтствСнным ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ являСтся процСсс нанСсСния изоляционного слоя с Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ изоляции. Π§Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ эпоксидноС ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 40.150 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ наносят Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… слоСв эпоксидной пасты ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° с ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ (180 ± 5) Ρ”Π‘. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ этапами изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚алличСском основании ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ (Ρ‚Π°Π±Π».9):

свСрлСниС отвСрстий;

нанСсСниС изоляционного слоя;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ токопроводящСго рисунка Π”ΠŸΠŸ Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ элСктрохимичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 9. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° мСталличСском основании.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».2. с ΠΏ.7.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚алличСском основании Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ с ΠΏΠΎΡΡ‚оянным ростом Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ слоТности ΠΈ Ρ‚СпловыдСлСния ЭРИ ΠΈ ΠŸΠœΠš становится Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π°ΠΊΡ‚ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ.

2.11 Π”ΠŸΠŸ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ примСнСния Π½Π° Ρ‚Срмопластичном основании

Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Ρ‚Срмопластичном основании ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ:

элСктрохимичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (см. Ρ‚Π°Π±Π».6);

ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ фотоформирования (см. Ρ‚Π°Π±Π».7);

с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… паст (см. Ρ‚Π°Π±Π».8).

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Ρ‚Срмопластичном основании ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ фотоформирования ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π».10.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 10. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° тСрмопластичном основании ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ фотоформирования.

ВСхнология изготовлСния Π½Π° Ρ‚Срмопластичном основании Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΡ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

2.12Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŠΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании

ДвусторонниС Π“ΠŸΠŸ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π΄Π²Π° проводящих слоя Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ элСмСнтов ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ конструкция этих ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π° ΠΊΠ°ΠΊ с ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π±Π΅Π· мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². На Ρ€ΠΈΡ. 6 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ диэлСктрикС, Π² Ρ‚Π°Π±Π».11 - основныС характСристики Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ, Π° Π² Ρ‚Π°Π±Π».12 — основныС этапы изготовлСния.

Рис.6. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ диэлСктрикС.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 11. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ характСристики Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 12. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы ВП изготовлСния Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».2. с ΠΏ.8.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΠ΅. Π’ качСствС паяльной маски ΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ВП примСняСтся БПЀ-Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π°.

К ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡΠΌ изготовлСния Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ

диэлСктрикС ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ отнСсти:

ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ двухстороннСго Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ПЀ-2;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 0,2.0,5 ΠΌΠΌ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ свСрлСниСм ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ;

осущСствлСниС ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π»ΠΈΠ±ΠΎ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΌΠ°Π³Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ прямой ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° фотохимичСским способом;

ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ рСзиста Π»ΠΈΠ±ΠΎ мСталлорСзиста, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ рСзиста.

2.13 Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŠΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° основания ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π΅Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ диэлСктрик с Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ слоСм Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ основС ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ диэлСктрик Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ основС Π±Π΅Π· Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ²Π°. НСдостатком ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° являСтся старСниС Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя, Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ — плохая адгСзия ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ². ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ характСристики Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π».13.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π».14.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 13. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ характСристики Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».2. с ΠΏ.8.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 14. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы ВП изготовлСния Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ основании.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π».2. с ΠΏ.8.

2.14 Π“ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Π»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π΅, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ

Одним ΠΈΠ· Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ плотности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ЭРИ Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… ΠŸΠŸ являСтся использованиС Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ для создания ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ ряд спСцифичСских Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ

Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Ρƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… оснований ΠΈ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡΠΌ Π’П изготовлСния. НаиболСС ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя для этих Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ достоинств, Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠΈ, основными ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ:

адгСзионная ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ;

Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚;

ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²Π»Π°Π³ΠΎΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅;

Как ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ исслСдования Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ прочная мСталлизация ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π° осущСствляСтся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния мСталличСских ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π‘Π³-Π‘ΠΈ-Π‘Π³ с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ повСрхности ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°, которая устраняСт Π΅Π³ΠΎ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ частичной дСструкции ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв, вслСдствиС воздСйствия ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… химичСских (ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ КОН ΠΈ NaOH) ΠΈ Ρ„изичСских ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΊ.

ΠΠ΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π΅ связана с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ измСняСт свои Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ усадки, Ρ‡Ρ‚ΠΎ влияСт Π½Π° Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ совмСщСния рисунка ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π½Π° Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊ Π½Π° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов. ΠŸΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π° позволяСт ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ усадку Π΄ΠΎ 10 Ρ€Π°Π·. Π’Π»Π°Π³ΠΎΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ Π½Π° Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ПП, являСтся ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ процСссом, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ послС удалСния Π²Π»Π°Π³ΠΈ происходит восстановлСниС ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ².

НаиболСС сущСствСнны измСнСния Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΌ осаТдСнии мСталличСских ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, связаны с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ мСханичСскими напряТСниями, компСнсация ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… достигаСтся Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий проводят Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ Π² «Ρ€Π°ΡΡ‚янутом» состоянии, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ нанСсСны слои Π‘r-Π‘u-Π‘r ΠΈ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ слоСв Π‘r-Π‘u-Π‘r для получСния рисунка схСмы проводят с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ воспроизвСдСниСм Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π° ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² процСсса ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ (ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ) ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Одной ΠΈΠ· ΠΎΡ‚вСтствСнных ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ являСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 50.70 ΠΌΠΊΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ химичСского травлСния ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… тысяч Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅. Для этого Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½Π° Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° обСспСчСнии Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ скорости травлСния Π½Π° Π²ΡΠ΅ΠΉ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ фотохимичСских процСссов формирования рисунка ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ Ρ‚равлСния ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ являСтся ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ масок ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π‘r-Π‘u-Π‘r щСлочСстойких Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… фоторСзистов (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ЀН-11), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ фоторСзисты. Для устранСния этого явлСния примСняСтся кратковрСмСнная

плазмохимичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ фоторСзиста Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌ позволяСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ фоторСзиста ЀН-11 с 40.50 Π΄ΠΎ 150.200 Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ/ΠΌΠΌ.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΡ‹ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ наращивания Π½Π° ΡΠ»ΠΎΡΡ… Π‘r-Π‘u-Π‘r ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстиях ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² навСсных элСмСнтов ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ. Π‘Π»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ суммарно Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ 20.25 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ значСния Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… мСханичСских напряТСний. Π­Ρ‚ΠΈΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ся Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ наращивания, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π΄Π°Π΅Ρ‚ сущСствСнно ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ напряТСнныС мСталличСскиС ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. Учитывая ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŠ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ сСрнокислый элСктролит мСднСния, содСрТащий ΡΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡƒΡŽ мСдь ΠΈ ΡΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ кислоту.

ΠŸΡ€ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ осаТдСнии сплава свинСц-ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ качСство покрытия ΠΏΠΎΠ΄ микроскопом: ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ свСтло-сСрого Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π°, мСлкодиспСрсным, ΡΠΏΠ»ΠΎΡˆΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΈ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ повСрхности, Π±Π΅Π· ΡˆΠ΅Π»ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π²Π·Π΄ΡƒΡ‚ΠΈΠΉ, отслаиваний ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… пятСн. Π‘ΠΈΠ»Ρƒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, мА, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ для нанСсСния покрытия Π½Π° ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅:

Π³Π΄Π΅ S — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ покрытия, см2;

— ΠΊΠ°Ρ‚одная ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, мА/см2,ВрСмя осаТдСния сплава Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Π’, Ρ‡, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅:

Π—Π΄Π΅ΡΡŒ h - Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° сплава, ΠΌΠΊΠΌ;

v = 10 — ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осаТдСния сплава, ΠΌΠΊΠΌ/Ρ‡.

Π’ Ρ‚Π°Π±Π».15 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ основных этапов изготовлСния Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

ПослС Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ повСрхности ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π° Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ химичСской Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ распылСния с ΠΌΠ°Π³Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ источником ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ тСрмичСского испарСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв Π‘r-Π‘u-Π‘r Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,8−0,4−0,6 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ для двустороннСй ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ.

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ этап Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ травлСния ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий; двустороннСС Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ — для ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ закручивания ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ДвустороннСС нанСсСниС фоторСзиста (Ρ‚ΠΈΠΏ ЀН-11) производят Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ двустороннСго нанСсСния ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ фоторСзиста (ΠΏ. Π·). Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅Ρ‚ рисунок ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΡŒΡ… отвСрстий (ΠΏ.4): Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ двустороннСС экспонированиС Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ совмСщСния ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ проявлСния Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 15. ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ основных этапов ВП изготовлСния двустороннСй ПП Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ΄Π΅.

На ΡΡ‚Π°ΠΏΠ΅ 5 производят ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСталличСских

слоСв Π‘r-Π‘u-Π‘r Π² ΠΎΡ‚вСрстиях, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ — ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ; Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² ΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ растворС. На 6 этапС производят Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ для выпаривания Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΠ· Ρ„оторСзиста, с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ усадки ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, очистку ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ½ΡΡ‚ΠΈΠ΅ мСталличСских Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв Π‘r-Π‘u-Π‘r. На ΡΡ‚Π°ΠΏΠ°Ρ… 7, 8, 9 ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ рисунок ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ; проводят Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ напылСния, нанСсСния фоторСзиста, экспонирования, проявлСния рисунка. ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ этапа Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½Π° Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ фоторСзист Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ cΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°Π΅Ρ‚ мСста, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ. На ΡΡ‚Π°ΠΏΠ΅ 10 снимаСтся Π²ΡƒΠ°Π»ΡŒ фоторСзиста Π² ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ плазмохимичСского травлСния фоторСзиста кислородной ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΉ ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностях, находящихся ΠΏΠΎΠ΄ снятой Π²ΡƒΠ°Π»ΡŒΡŽ, производят Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π½Π° Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ наращивания мСталличСских слоСв для создания основного Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ²Π΅Π΄ΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ слоя ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-висмут (ΠΏ.11), для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, для упрочнСния повСрхностного слоя ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ паяСмости ΠΏΠ»Π°Ρ‚. На 12 этапС ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ фоторСзист ΠΈ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ участков (Π‘r-Π‘u-Π‘ΠΊ), находящихся ΠΏΠΎΠ΄ Π½ΠΈΠΌ (ΠΏ.13). На ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅ΠΌ 14 этапС формируСтся рисунок Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста ЀН-11. ΠŸΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ этапы изготовлСния Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ высокой чистоты помСщСния, ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€, низкокачСствСнных исходных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ случаС ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ мСсто Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

Установка Π“ΠŸΠŸ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠ΅ основаниС осущСствляСтся ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ приклСивания.

3. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ этапы изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

3.1 ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ°Ρ… изготовлСния ПП

3.1.1 ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ

Π Π΅Π·ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ самых Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… ΠΏΠΎΡˆΡ‚ΡƒΡ‡Π½ΠΎ Π²Π»Π΅Ρ‡Π΅Ρ‚ Π·Π° ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ большой расход ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ трудоСмкости производства, поэтому Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½Ρƒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ максимальноС количСство ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСского ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ исходя ΠΈΠ· Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² транспортСров, Π²Π°Π½Π½ химичСской ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ€ΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ² сухого ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ поля ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… станков, сСткографичСских Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ, обусловлСнных Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ примСняСмого оборудоваиня, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ раскроя диэлСктричСских ΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ наличия тСхнологичСского поля со Π²ΡΠ΅Ρ… Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ… сторон ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 10 ΠΌΠΌ (Π“ΠžΠ‘Π’ 23 662−79) для изготовлСния двусторонних ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ 30 ΠΌΠΌ — ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Для Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° тСхнологичСского поля ΠΏΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ принимаСтся 30 ΠΌΠΌ, Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° тСхнологичСского поля ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ 10 ΠΌΠΌ.

НаиболСС ΡƒΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅Π½ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ 530X530 ΠΌΠΌ. ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ 500Π₯500 ΠΌΠΌ. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ выполняСтся Π² Π΄Π²Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ°. Π’Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ листы диэлСктрика рСТутся Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ‹, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ полосы рСТутся Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π’ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… крупносСрийного ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ производства Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π²Ρ‹Ρ€ΡƒΠ±Π½ΠΎΠΉ Π² ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠ°Ρ… Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΡˆΠΈΠΏΠ½Ρ‹Ρ… прСссах.

Π Π°Π·Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для ΠΏΠ»Π°Ρ‚, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ прокладочная ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ, ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΎΠ½, триацСтатная ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΈ Π΄Ρ€., производится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†.

ΠŸΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ отклонСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ±1,5 ΠΌΠΌ для Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 0,2 ΠΌΠΌ, для Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0.2 ΠΌΠΌ ±2,0 ΠΌΠΌ. Π ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 3 ΠΌΠΌ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ±0,2 ΠΌΠΌ.

Π—Π°Π·ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½ΠΎΠΆΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 0.02−0.03 ΠΌΠΌ; ΠΏΡ€ΠΈ большСм Π·Π°Π·ΠΎΡ€Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, сколы, происходит расслоСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания 2−10 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. Учитывая, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ€Π΅Π·Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ стСклотСкстолит, Ρ‚. Π΅. ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, Π°Ρ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒΡŽ, Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΈ Π½ΠΎΠΆΠ΅ΠΉ Π³ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΈ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ† Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΈΠ· Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… сплавов.

Для получСния Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅: Π³ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ О Π-305; ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΡˆΠΈΠΏΠ½Ρ‹Π΅ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ с Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ Π½ΠΎΠΆΠΎΠΌ (Π’Π£ 2−041 — 1033−79); Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 360 ΠΈ 720 Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π² Ρ‡Π°Ρ. Π“ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΡˆΠΈΠΏΠ½Ρ‹Π΅ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π», Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 3 ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ максимальной ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ листа 1600 ΠΌΠΌ. Π”Π»ΠΈΠ½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π·Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ листа ΠΏΠΎ Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΌΡƒ ΡƒΠΏΠΎΡ€Ρƒ 600 ΠΌΠΌ.

ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ 500Π₯ 500 ΠΌΠΌ — для ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΈ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ листа — для ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Ρ…. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ тСхничСскиС характСристики Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ† ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅: Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π΄ΠΎ 3 ΠΌΠΌ; ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° 2−10 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½; осСвой Π·Π°Π·ΠΎΡ€, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ 0.02−0.05 ΠΌΠΌ.

Π’ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ производства ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΠΊΡƒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π½Π° ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ°Ρ… собствСнного изготовлСния, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΌ инструмСнтом слуТат Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€ΡƒΠ³ΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡƒΡŽ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ 40 — 50 ΠΌ/с ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° со ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 0,4−0,6 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½.

Как ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… крупносСрийного производства Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° цСлСсообразно ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΡˆΠΈΠΏΠ½Ρ‹Ρ… прСссов К 2324 ΠΈΠ»ΠΈ К 2328. РСкомСндуСтся Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ прСсс ΠšΠ” (Π’Π£ 2−041 Π‘84−80), Π’Ρ‹Ρ€ΡƒΠ±Π½Ρ‹Π΅ ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΡ‹ слСдуСт ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ· Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… сталСй ΠΌΠ°Ρ€ΠΎΠΊ X12M ΠΈΠ»ΠΈ Π₯12Π€.

Π—Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… диэлСктриков Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 0,25 ΠΌΠΌ рСкомСндуСтся ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Ρ‚ΡŒ тСрмостабилизации с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ процСссов ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ смолы. Для этого Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΡƒΡŽ Ρ‚Π°Ρ€Ρƒ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€Π΅ΠΌ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΈ ΠΎΡ…лаТдСния. Π Π΅ΠΆΠΈΠΌ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°: Π΄ΠΎ 150 Β°C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 40 ΠΌΠΈΠ½, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈ этой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 ΠΌΠΈΠ½, ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ 30 Β°C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 40 ΠΌΠΈΠ½.

Π—Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ диэлСктрика для ΠΎΠ΄Π½ΠΎ — ΠΈ Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ Ρ€ΠΈΡ…Ρ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ΅, Ссли ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„ормация составляСт Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1 ΠΌΠΌ Π½Π° 100 ΠΌΠΌ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹. Π ΠΈΡ…Ρ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ осущСствляСтся посрСдством ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈΡΡ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Π°Π»ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π·Π°Π·ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌΠΈ рСгулируСтся ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ устройством.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΈΠΊΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈ тСхнологичСских отвСрстий Π² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ…. Для Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ располоТСния Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ°Ρ… свСрлСния ΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡ с Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π½Π° Ρ‚СхнологичСском ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ„ΠΈΠΊΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ (Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅) отвСрстия, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ся асиммСтрично.

ВСхнологичСскиС отвСрстия (Π“ΠžΠ‘Π’ 23 662−79), ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ для прСдотвращСния смСщСния Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ слоСв Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ прСссовании (склСивания), Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Ρ‚СхнологичСском ΠΏΠΎΠ»Π΅. Π˜Ρ… ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ зависит ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ повСрхности слоСв МПП. Π€ΠΈΠΊΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ‚СхнологичСскиС отвСрстия ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ свСрлСниСм, Π° ΠΏΡ€ΠΈ крупносСрийном производствС — ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ свСрлСния ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ вСсьма высокиС трСбования ΠΊ Ρ‚очности располоТСния отвСрстий, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚ ΡΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ зависит совпадСниС ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… элСмСнтов проводящСго рисунка Π² ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… всСх Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ². Π’ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ с ΡΡ‚ΠΈΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ отклонСния расстояний ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ, Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ просвСрлСнных отвСрстий Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅: ±0,05 ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ расстоянии Π΄ΠΎ 380 ΠΌΠΌ. ±0,03 ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ расстоянии ΠΎΡ‚ 180 Π΄ΠΎ 360 ΠΌΠΌ ΠΈ ±0,1 ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ расстоянии ΡΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅ 360 ΠΌΠΌ.

Π’ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ отклонСния Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ ±0,03 ΠΌΠΌ. Π­Ρ‚ΠΈ трСбования ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡΠΎΠ±Π»ΡŽΠ΄Π΅Π½Ρ‹, Ссли Π² ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… станках Π±ΠΈΠ΅Π½ΠΈΠ΅ свСрла Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 0,02 ΠΌΠΌ, Π° ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ оси шпиндСля ΠΊ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ повСрхности стола составляСт Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 0,01 ΠΌΠΌ. Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ производят Π½Π° ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎ-расточном ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… станках Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² Π‘-106, Π‘-155 ΠΈΠ»ΠΈ 2 Πœ 103П.

Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ случаС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ твСрдосплавныС свСрла ΠΏΠΎ Π“ΠžΠ‘Π’ 17 574–71 ΠΈ Π“ΠžΠ‘Π’ 17 275–71, Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΡƒΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 4,5 ΠΌΠΌ, подкладывая ΠΏΠΎΠ΄ ниТнюю Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ лист гСтинакса Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,8−1,5 ΠΌΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ свСрлСнии Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… диэлСктриков (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,5 ΠΌΠΌ), Ρ‚Ρ€ΠΈΠ°Ρ†Π΅Ρ‚Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ стСклоткани ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² гСтинаксовая ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ° устанавливаСтся с ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ… сторон.

ΠŸΡ€ΠΈ свСрлСнии Π½Π° Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… станках ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ твСрдосплавныС свСрла ΠΏΠΎ Π“ΠžΠ‘Π’ 4010–77. Частота вращСния шпиндСля 1000−1900 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½. Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ производят Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠΎΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€, Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ укладывая Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ΠΎΠΌ Π΄ΠΎ 4,5 ΠΌΠΌ. ПослС свСрлСния отвСрстия ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ Π“ΠžΠ‘Π’ 16 086–70 ΠΈΠ»ΠΈ Π“ΠžΠ‘Π’ 1672–71.

3.1.2ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ свСрлСниС

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ свСрлСниС ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ долю ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ Π² ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ экономичности ΠΈ ΡΠ΅Ρ€ΠΈΠΉΠ½ΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ производства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ самоС Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅, Π² ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ плотности мСТсоСдинСний, ΠΈΡ… ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π° ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. НаиболСС слоТный ΠΈ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈΠΉ процСсс Π² ΠΌΠ΅Ρ…аничСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ — это Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий, ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠžΡ‚ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΡ зависит качСство ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‚. Π΅. Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТслойных соСдинСний. ВострСбованныС Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя конструкции МПП содСрТат большоС количСство Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… отвСрстий с Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΌ свСрлСниСм. Π­Ρ‚ΠΈ отвСрстия ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ свСрлСниСм, Π½ΠΎ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСханичСского свСрлСния заставляСт ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΌΡƒ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ.

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΈ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° качСства свСрл. Π’ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ врСмя трСбования ΠΊ ΠΎΡ‚вСрстиям возросли Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ΅ качСства свСрл ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΊ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡƒ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΡ… отвСрстий ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ², появилась Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… радиотСхничСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°Ρ‚ΡŒ инструмСнт ΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΡΡ‚ΡŒ различия Π² ΠΈΡ… Ρ…арактСристиках,

Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ свСрла Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ — Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΈ Ρ‚СхнологичСского прСдназначСния. По Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° инструмСнт ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ условно Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹:

1) микросвСрла, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚p ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ‚ 0,30 ΠΌΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅;

2) минисвСрла Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ 0,25 Π΄ΠΎ 0,45 ΠΌΠΌ;

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ