Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

ВСхнология многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π‘ΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв МПП ΠΏΠΎ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ отвСрстиям ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ приспособлСнии (рис. 5), состоящСм ΠΈΠ· Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ 1 ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ 5, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· ΡΡ‚Π°Π»ΠΈ. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ составляСт 15—20 ΠΌΠΌ ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ‚ ΠΎΡ‚ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠŸΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΠΈΠΌ плоскостям, Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½ΠΊΠΈ 2 ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ»Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π’ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π°Ρ… ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ отвСрстия для Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΏΠ°Ρ€ 4… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ВСхнология многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ΠœΠΈΠ½ΠΈΡΡ‚Π΅Ρ€ΡΡ‚Π²ΠΎ образования РСспублики Π‘Π΅Π»Π°Ρ€ΡƒΡΡŒ

Π£Ρ‡Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ образования «Π‘Слорусский государствСнный унивСрситСт

ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ"

ΠšΠ°Ρ„Π΅Π΄Ρ€Π° Π­Π’Π’

РЕЀЕРАВ

На Ρ‚Π΅ΠΌΡƒ:

«Π’Π•Π₯ΠΠžΠ›ΠžΠ“Π˜Π― ΠœΠΠžΠ“ΠžΠ‘Π›ΠžΠ™ΠΠ«Π₯ ΠŸΠ•Π§ΠΠ’ΠΠ«Π₯ ΠŸΠ›ΠΠ’»

МИНБК, 2008

Многослойная пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° состоит ΠΈΠ· Ρ€ΡΠ΄Π° склССнных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… находятся ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия, экраны, ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ питания, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ выступы для присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² элСмСнтов. Бохраняя всС достоинства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, МПП ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ прСимущСства:

Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокая ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ (20 ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоСв);

ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ быстродСйствия (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€,

ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² Π­Π’Πœ);

Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ экранирования Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°;

Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокая ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… условий.

НСдостатки МПП:

Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ТСсткиС допуски Π½Π° Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠžΠŸΠŸ ΠΈ Π”ΠŸΠŸ;

большая Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ проСктирования ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния;

ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ тСхнологичСского оборудования;

Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ всСх ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ;

высокая ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ способы получСния МПП ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ создания элСктричСских мСТслойных соСдинСний (рис. 1).

рис. 1. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ способы получСния МПП Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² элСктричСская связь ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, располоТСнными Π½Π° Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… слоях ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ мСханичСских Π΄Π΅Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ: ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚ΠΎΠ², Π·Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠΎΠΊ, пистонов, ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… лСпСстков. МПП изготавливаСтся ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ прСссования, Π² ΠΎΡ‚вСрстия Π²ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, проходящСго Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚, Ρ€Π°Π·ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, образуя с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ припоя элСктричСскоС соСдинСниС с ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ (рис. 2, Π°). Π’ ΠΎΡ‚вСрстия ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠΊΠΈ, пистоны, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π°ΠΌ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²Π°Π»ΡŒΡ†ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ся (рис. 2, Π±). БоСдинСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°ΡΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ Ρ„Π»Π°Π½Ρ†Π°ΠΌ пистонов, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ соСдинСния ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚Π±ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ пистоном, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° (рис. 2, Π²). Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ вСсьма Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈ, ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ высокого качСства мСТслойных соСдинСний.

рис. 2. ΠœΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ соСдинСния мСханичСскими дСталями

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ осущСствлСнии мСТслойныС соСдинСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΊ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… с ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…одящих Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия Π² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСских мСТслойных ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°Ρ…. Π’Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΡ‚Π³ΠΈΠ±Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΡƒΡŽ сторону МПП ΠΈ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ся ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΎΠΉ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΊΠ°Ρ…. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 5.21):

ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈΠ· ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ (Π½Π°Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° Π² Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€);

ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ стСклоткани;

склСиваниС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика с ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст;

прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП;

ΠΎΡ‚Π³ΠΈΠ±ΠΊΠ° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ…;

ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ повСрхности Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ;

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ, ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ толстая мСдная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° (Π΄ΠΎ 80 ΠΌΠΊΠΌ), ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ установку Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ИМБ с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 20. ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° — высокая ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТслойных соСдинСний, нСдостатки — ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСсса Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ… Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ установки навСсных элСмСнтов.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ основан Π½Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ элСктричСских мСТслойных соСдинСний с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² навСсных элСмСнтов ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡Π΅ΠΊ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· тСхнологичСскиС отвСрстия, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ доступ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ, ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 5.22):

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°;

нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ слой;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ рСзиста;

ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²ΠΊΠ° отвСрстий Π² ΡΠ»ΠΎΡΡ…;

прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП;

ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСских соСдинСний.

Π’ ΡΠ»ΠΎΡΡ… Π²Ρ‹Ρ€ΡƒΠ±Π°ΡŽΡ‚ΡΡ отвСрстия: для ΡˆΡ‚Ρ‹Ρ€Π΅Π²Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»Ρ‹Π΅, для ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅. Для увСличСния ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ большС Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° отвСрстий. МПП ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ допускаСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π­Π Π­. ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв — Π΄ΠΎ 12.

НСдостатки ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°: Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ попадания клСя Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ склСивании слоСв ΠΈ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ удалСния скальпСлСм; Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСсса ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² ΡƒΠ³Π»ΡƒΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ…; отсутствиС элСктричСской связи ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ слоями; низкая ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… соСдинСний.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ· ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика (Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… — одностороннСго, Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… — с Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ схСмами) ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ, ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅ΡΡΡƒΡŽΡ‚, Π° ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ соСдинСния Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий. ВСхнологичСский процСсс Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 5.23):

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ схСмы Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв фотохимичСским способом Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎ Π”ΠŸΠŸ;

прСсованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 160—180 Π‘ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 2—5 МПа;

свСрлСниС отвСрстий Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π΅;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв фотоспособом;

нанСсСниС слоя лака;

ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика Π² ΠΎΡ‚вСрстиях Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ сСрной ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ кислот Π² ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ 4:1 ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ (605) Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 10—30 с. ΠŸΡ€ΠΈ этом растворяСтся смола стСклопластиков ΠΈ ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ устранСния слСдов наволакивания смолы, обнаТСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ контактирования;

химичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сквозных отвСрстий;

ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ слоя Π»Π°ΠΊΠ°;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ 25—30 ΠΌΠΊΠΌ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях;

нанСсСниС мСталличСского рСзиста Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ (сплавы Sn—Pb, Sn—Ni);

ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя рисунка ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст;

освСтлСниС (ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅) мСталличСского рСзиста;

мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° МПП (снятиС тСхнологичСского припуска);

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, Π² Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ зависит ΠΎΡ‚ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ мСТслойных соСдинСний — Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†ΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ с ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями. НадСТноС соСдинСниС образуСтся ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ со ΡΡ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ отвСрстий ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ эпоксидной смолы, Π½Π°Π²ΠΎΠ»Π°ΠΊΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ свСрлСнии. НаиболСС распространСнный способ очистки отвСрстий ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ — химичСскоС ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика стСнок отвСрстий. Для этого ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ растворы кислот ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ смСси кислот склонны ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ травлСния Π² ΠΏΠΎΡ€Π°Ρ… диэлСктрика. Π—Π° Ρ€ΡƒΠ±Π΅ΠΆΠΎΠΌ наибольшСС распространСниС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» способ травлСния диэлСктрика Π½Π΅ Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ кислот, Π° ΡΠ½Π°Ρ‡Π°Π»Π° Π² ΡΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π² ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ раствора с 30 Π΄ΠΎ 60 Π‘ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° подтравливания диэлСктрика увСличиваСтся ΠΎΡ‚ 2—5 Π΄ΠΎ 40—50 ΠΌΠΊΠΌ, Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ воздСйствия травящСго раствора с 1 Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΈΠ½ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° подтравливания растСт ΠΎΡ‚ 25—50 Π΄ΠΎ 100—120 ΠΌΠΊΠΌ.

Π’ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ для подтравливания ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ агрСссивныС растворы (смСсь горячих ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… кислот), Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ постоянного контроля ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ, Π±Ρ‹Π» ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ способ сухого ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ травлСния. Он ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΡƒΡŽ адгСзию ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях, ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠΉ Ρ†ΠΈΠΊΠ» ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΡ‚сутствиС ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… эффСктов. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ низкотСмпСратурная ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ° ΠΈΠ· ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠ², Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ кислорода ΠΈ Ρ„Ρ€Π΅ΠΎΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50—350 Π‘ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 0,13—260 Π“ΠŸΠ°. Плазма содСрТит свободныС Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»Ρ‹ (Π΄ΠΎ 90) ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ (1%). РСкомСндуСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π² ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π΄ΠΎ 50—70 Π‘. Плазма ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡƒΡŽ смолу Π² Π»Π΅Ρ‚ΡƒΡ‡Π΅Π΅ вСщСство, Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ удаляСмоС ΠΈΠ· ΠΎΡ‚вСрстий. Никаких ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΎΠΊ ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π΅ Ρ‚рСбуСтся. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс сухой ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ каТдая МПП помСщаСтся Π² ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ранство ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ располоТСнными Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ пластинами—элСктродами. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ отвСрстия, ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ с ΠΎΡ‚вСрстиями Π² ΠœΠŸΠŸ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий являСтся основным ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ пСрспСктивным Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ МПП, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ограничСния количСства слоСв, Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ поддаСтся Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. Он ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ МПП, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ для размСщСния Π½Π° Π½ΠΈΡ… элСмСнтов с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΡˆΡ‚Ρ‹Ρ€Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ 80% всСх МПП, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Π² ΠΌΠΈΡ€Π΅, изготавливаСтся этим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ слои МПП ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½Π΅Π³ΠΎ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика, мСТслойныС соСдинСния — ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий Π² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ…, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ слои ΠΏΡ€Π΅ΡΡΡƒΡŽΡ‚ΡΡ, Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΎΠΊ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… сторонах ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ выполняСтся ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

Π’ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ МПП Π½Π΅Ρ‚ прямой элСктричСской связи ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ слоями многослойной структуры, ΠΎΠ½Π° осущСствляСтся Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· внСшниС слои. Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π΅ Π΄Π°Π΅Ρ‚ возмоТности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. Число слоСв МПП — Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ…. ВСхнологичСский процСсс Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 5.24):

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ;

нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка;

Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСТслойных элСктричСских соСдинСний ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ слоями Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ;

прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП (ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ смолой Π²ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅

ΠΈΡ… Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ);

свСрлСниС отвСрстий ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв;

химичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сквозных отвСрстий;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ мСталличСского рСзиста;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоях;

освСтлСниС мСталличСского рСзиста;

мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°;

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ, ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

ΠŸΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ прСссованиСм ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ МПП, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ навСсныС элСмСнты с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΡˆΡ‚Ρ‹Ρ€Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. НСдостатки ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° — низкая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния большого числа слоСв ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ плотности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ послойного наращивания характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ осущСствлСнии мСТслойныС соСдинСния Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΡΠΏΠ»ΠΎΡˆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ (столбиками ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ), располоТСнными Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. ВСхнологичСский процСсс Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ:

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ стСклоткани ΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ;

ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика;

Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ диэлСктрика Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация отвСрстия ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠΉ повСрхности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ;

нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠΉ повСрхности диэлСктрика;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ многослойной структуры ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ повторСния ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ‚равлСния;

напрСссовываниС диэлСктрика;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ слоя;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ;

мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°;

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

ΠŸΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ МПП, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ навСсныС элСмСнты с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. НСдостатком Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° являСтся Π½Π΅Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ конструкции, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ нСльзя ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ диэлСктрики ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ вСсти ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ†ΠΈΠΊΠ» изготовлСния многослойной структуры. Π‘Ρ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ изготовлСния МПП высокая. Достоинства ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° — Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния большого числа слоСв (5 ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅) ΠΈ ΡΠ°ΠΌΡ‹Π΅ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ мСТслойныС ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ соСдинСния. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ качСствСнного сравнСния МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π». 1.

К Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ тСхнологичСским процСссам получСния МПП относятся прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°, мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ. ΠŸΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… процСссов изготовлСния МПП, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π° Π΅Π³ΠΎ выполнСния зависят элСктричСскиС ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ…аничСскиС характСристики Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ МПП. ВСхнологичСский процСсс прСссования состоит ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ: ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности слоСв ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ прСссованиСм; совмСщСниС ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв МПП ΠΏΠΎ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ отвСрстиям ΠΈ ΡΠ±ΠΎΡ€ΠΊΠ° ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°; прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1 — Π‘Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ характСристика ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² изготовлСния МПП

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ изготовлСния

мСханичСскими дСталями

ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ прСссованиСм

ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ

Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ²

послойного наращивания

ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ сквозных отвСрстий

ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв

ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°

Н

Π‘

Н

Π‘

Π‘

Π’

ΠΠ°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТслойных соСдинСний

Н

Π‘

Π’

Π’

Π’

Π‘

Π‘Ρ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠΌ воздСйствиям

Π‘

Π‘

Π‘

Π’

Π’

Π‘

Π Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ

Н

Н

Π’

Π‘

Π‘

Н

ВСхнологичСская ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ

Π’

Π‘

Π‘

Π’

Π’

Π‘

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΠ΅. Н — низкая; Π‘ — срСдняя; Π’ — высокая.

Для ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности слоСв ΠΊ ΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ зачистку Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ повСрхности органичСскими растворитСлями ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΠ΅ Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ прСссовании экранов с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌΠΈ участками Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ для Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ склСивании. ВСкстура наполнитСля (ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈΠ· ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΠΈ) Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚Π°Π½Π° смолой, ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ химичСскиС растворы ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Π² ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ полости ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌ самым сопротивлСниС изоляции.

Π‘ΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв МПП ΠΏΠΎ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ отвСрстиям ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ приспособлСнии (рис. 5), состоящСм ΠΈΠ· Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ 1 ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ 5, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· ΡΡ‚Π°Π»ΠΈ. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ составляСт 15—20 ΠΌΠΌ ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ‚ ΠΎΡ‚ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠŸΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΠΈΠΌ плоскостям, Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½ΠΊΠΈ 2 ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ»Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π’ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π°Ρ… ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ отвСрстия для Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΏΠ°Ρ€ 4. Π“Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ большС ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… листов Π½Π° 30—50 ΠΌΠΌ Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ стороны ΠΏΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ. ΠΏΡ€ΠΈ прСссовании Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹Ρ‚Π΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ количСства смолы. Π€ΠΈΠΊΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΡˆΡ‚Ρ‹Ρ€ΠΈ 3 Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· 100—150 ΠΌΠΌ ΠΏΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… тСхнологичСского поля.

Для прСссования МПП ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ спСциализированныС многоярусныС гидравличСскиС прСссы, ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ систСмами Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°, охлаТдСния ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΡ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 3 Π‘, рСгуляторами ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ давлСния с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ порядка 3%. НагрСв ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ прСсса ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Ρ‚Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠΌ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ элСктричСством. Для ускорСнного охлаТдСния Π² ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ Π²ΡΡ‚Ρ€Π°ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ для ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹.

1 — вСрхняя ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Π°; 2 — Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½ΠΊΠ°; 3 — Ρ„ΠΈΠΊΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΠ°Π»Π΅Ρ†;4 — отвСрстиС для Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΏΠ°Ρ€Ρ‹; 5 — ниТняя ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Π°;

Рис. 5. ΠŸΡ€ΠΈΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ для прСссования ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП

1 , 2 — Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²; 3 — Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ; 4 — полимСризация ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ; 5 — ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅

Рис. 6. Π Π΅ΠΆΠΈΠΌ прСссования ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП

На ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ прСссования сущСствСнно влияСт Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒ смолы ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ прСссования являСтся ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ прилоТСния максимального давлСния. Если ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ смолы, Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π΅Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΎ, Π° Π΅ΡΠ»ΠΈ послС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅Ρ‚ся плохая ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π΅ΠΉΠΊΠ° слоСв, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Ρ€Π°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡŽ. ΠŸΡ€ΠΈ большой скорости возрастания Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ основныС Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ отвСрТдСния проходят быстро, ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ получаСтся Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΠΌ, Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ, со Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ напряТСниями. Π‘ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ скорости Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° мСханичСскиС свойства диэлСктрика ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ.

Π‘Π±ΠΎΡ€ΠΊΡƒ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ… «Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ» ΠΈ «Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡Π΅Π³ΠΎ» прСссования. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ прСсс-Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ с ΠœΠŸΠŸ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Π°ΠΌΠΈ прСсса, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ происходит Π΅Π΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² Π΄ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ со ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 15 Π‘/ΠΌΠΈΠ½. На ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ стадии прСссования ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ (0,15—0,2 МПа), Π° ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° смола загустСваСт ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 130—140 Π‘, Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎ 5—8 МПа. ΠžΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ продолТаСтся Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 40 ΠΌΠΈΠ½, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ прСсса быстро ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΈ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π΅ снизится Π΄ΠΎ 40 Π‘, прСсс Ρ€Π°ΡΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ (рис. 6). ΠŸΡ€ΠΈ «Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡Π΅ΠΌ» прСссовании ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎ 160—170 Π‘, это ускоряСт процСсс прСссования, дальнСйший Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ со ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 15—50 Π‘/ΠΌΠΈΠ½.

Для снятия напряТСний, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ прСссования ΠΈ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, послС ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ облоя МПП ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅. Для этого Π΅Π΅ Π½Π°Π³Π»ΡƒΡ…ΠΎ Π·Π°ΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ТСсткими пластинами ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° 30—40 ΠΌΠΈΠ½ Π² Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡˆΠΊΠ°Ρ„ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 120—130 Π‘, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ остывания.

УстановлСнныС Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡ‹ прСссования Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ постоянной ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ тСхнологичСских свойств ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ стСклоткани. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ пСриодичСски ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ смолы, Π΅Π΅ Ρ‚СкучСсти, Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Для Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ контроля Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ прилоТСния максимального давлСния ΠΏΡ€ΠΈ прСссовании ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡŽΡ‚ элСктричСскоС сопротивлСниС ΡΠ²ΡΠ·ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ смолы с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ собой элСктроды Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅ Π³Ρ€Π΅Π±Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ диэлСктрикС. ЭлСктричСскоС сопротивлСниС ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ с 105 МОм Π΄ΠΎ 1 МОм Π² ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ расплавлСния смолы, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ растСт Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

Для прСссования МПП ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ спСциализированныС многоярусныС гидравличСскиС прСссы, ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ систСмами Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΈ ΠΎΡ…лаТдСния ΠΏΠ»ΠΈΡ‚, устройствами для рСгулирования тСхнологичСских Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ². ΠŸΡ€Π΅ΡΡΡ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 0,1 ΠΌΠΌ, врСмя Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ Π΄ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ 20 ΠΌΠΈΠ½, Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ поддСрТания Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π½Π° ΠΈΡ… ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ 3 Π‘, давлСния 3%. ΠŸΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ прСссования достигаСтся Π½Π° Π°Π²Ρ‚оматичСских линиях (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, модСль S75 MRT -372C-X-X-G Ρ„ΠΈΡ€ΠΌΡ‹ Pasadena Hydraulies, БША), Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ΅ прСсс-Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°ΠΌΠΈ МПП пнСвматичСским Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ Π² Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ гидравличСского прСсса. ΠŸΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ ΡΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΏΡ€Π΅ΡΡ-Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ… ΠΏΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ автоматичСски ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π’ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΡŽ Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ устанавливаСтся ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ партия прСсс-Ρ„ΠΎΡ€ΠΌ. ПослС Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π°ΠΉΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ смолы Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°Ρ… МПП горячиС ΠΈ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ Ρ€Π°Π·ΠΌΡ‹ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ, Π° Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ ΡΡ‚Π°Π΄ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ· Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡ΠΈΡ… ΠΏΠ»ΠΈΡ‚ прСсса Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ для ΠΈΡ… ΠΎΡΡ‚ывания ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. ΠžΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΡŽ прСссования подаСтся ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ прСсс-Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Ρ‹ Π·Π°ΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Ρ†ΠΈΠΊΠ» повторяСтся.

1. Π›Π΅Π²ΠΈΠ½ А. П., Π‘Π²Π°Ρ‚ΠΈΠΊΠΎΠ²Π° Н. Π­. РасчСт вибропрочности конструкции РЭА. — Πœ.: МИРЭА, 2003.

2. МСвис А. Π€., НСсвиТский Π’. Π‘., Π€Π΅Ρ„Π΅Ρ€ А. И. Допуски ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹: Π‘ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ/ Под Ρ€Π΅Π΄. О. А. Π›ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²Π°. — Πœ.: Π Π°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡŒ, 2004. — 152 с.

3. НСнашСв А. П. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ радиоэлСктронных срСдств: Π£Ρ‡Π΅Π±. для Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΡ‡. спСц. Π²ΡƒΠ·ΠΎΠ² — Мн.: Π’Ρ‹ΡΡˆ.шк., 2002. — 432 с.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ