Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно-плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий

Диссертация: Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно-плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

При спекании порошковых смесей титан — кремний на концентрационной зависимости уплотнения также наблюдается слабо выраженный максимум в области твердого раствора кремния в (3-Т1, ограниченной 5,5 ат. % на равновесной диаграмме. Спекание порошковых композитов с концентрациями, попадающими в двухфазную область (3-Т1(81) + Т1581з, сопровождается объемным ростом, который увеличивается с повышением… Читать ещё >

Содержание

  • 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
    • 1. 1. Основы физики спекания двухкомпонентных систем
    • 1. 2. Наноструктурные композиционные покрытия (свойства и методы 23 получения)
      • 1. 2. 1. Твёрдые износостойкие покрытия — основные направления разви- 23 тия
      • 1. 2. 2. Современные методы получения твёрдых износостойких покры- 26 тий
      • 1. 2. 3. Влияние различных элементов на свойства покрытий
      • 1. 2. 4. Методы генерирования многокомпонентной плазмы
    • 1. 3. Постановка задачи
  • 2. МАТЕРИАЛЫ, МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ
    • 2. 1. Использованные материалы
    • 2. 2. Изготовление композиционных катодов
    • 2. 3. Оборудование и методы нанесения покрытий
    • 2. 4. Приборы и методы исследования спеченных материалов и покрытий
  • 3. ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВА СПЕЧЕННЫХ 51 МАТЕРИАЛОВ ТИТАН — МЕД
    • 3. 1. Объемные изменения и формирование структуры при спекании по- 54 рошковых композиций медь — мелкий титан
    • 3. 2. Объемные изменения и формирование структуры 61 при спекании порошковых композиций медь — крупный титан

Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно-плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Актуальность темы

диссертации. В настоящее время существует много методов нанесения ионноплазменных покрытий. Одним из наиболее перспективных методов нанесения покрытий является вакуумно-дуговое напыление. Этот метод за счёт изменения технологических параметров (температура подложки, напряжение смещения, парциальное давление реакционного газа и др.) позволяет управлять составом, структурой и свойствами покрытий.

Пленочные покрытия из нитрида титана (НИ), которые широко используются в качестве защитных и износостойких покрытий, в частности, на поверхности металлообрабатывающего инструмента, не обеспечивают соблюдение высоких требований предъявляемых современной техникой.

Введение

в состав™ дополнительных элементов позволяет модифицировать его структуру и, как следствие, способствует повышению механических и трибологических свойств покрытий. Кроме того, научно-обоснованное введение в ТТК дополнительных элементов позволяет повысить термическую стабильность, жаростойкость и коррозионную стойкость, что особенно важно для инструмента, работающего в экстремальных условиях.

Осаждение покрытий сложного элементного состава наталкивается на трудности, связанные с необходимостью получения однородной многокомпонентной плазмы. Для создания многокомпонентной плазмы чаще всего используют одновременное распыление нескольких катодов различного элементного состава (метод совмещенных пучков) или применяют так называемые мозаичные катоды, состоящие из нескольких однокомпонентных частей макроскопических размеров. Эти методы обладают значительными недостатками: усложнение оборудования, сильная пространственная неоднородность элементного состава плазмы, генерируемой из разных источников, различная скорость дуговой эрозии частей мозаичного катода. Для устранения перечисленных недостатков применяют катоды, произведенные с помощью самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) в многокомпонентных порошковых смесях целевого состава. Недостатком СВС метода является то, что он может быть реализован в ограниченном диапазоне концентраций порошковых компонентов, поскольку инициирование и прохождение реакции горения возможно только при составах порошковых смесей, имеющих достаточную термичность.

Альтернативным методом получения многокомпонентных мишеней из порошковых смесей, лишенным вышеуказанных недостатков СВС, является традиционная порошковая металлургия (смесеприготовление —"холодное формование —"спекание). Спеканием можно получать катоды, содержащие относительно небольшие добавки металлических и неметаллических компонентов, то есть имеющие элементный состав вне концентрационного интервала реализации СВС. Известно, что покрытия на основе нитридообразую-щих металлов (П, А1, Ъс и т. д.) с небольшими добавками других элементов (Си, Ag, 81 и т. д.) обладают сверхвысокой твердостью с нанокристаллической структурой. Однако, спекание порошковых составов перспективных с точки зрения применения в качестве распыляемых катодов, ранее систематически не исследовалось, так как они не используются в качестве конструкционных, износостойких или функциональных материалов.

С учетом вышеизложенного целью данной работы является: изучение закономерностей формирования структуры при спекании порошковых смесей Л-Си, 77−5/ и разработка спеченных катодов для ионно-плазменного нанесения нитридных покрытий.

В качестве объектов исследований и разработок были выбраны системы титан — медь и титан — кремний по той причине, что в (Н, Си) Ы и покрытиях, полученных различными ионноплазменными методами (в основном раздельным распылением титанового, медного и кремниевого катодов), получена нанокристаллическая структура и рекордные значения твердости.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Впервые исследованы объемные изменения и формирование структуры при спекании в порошковых системах титан-медь и титан-кремний.

2. Установлен экстремальный характер объемных изменений в зависимости от содержания второго элемента. Установлена связь объемных изменений со структурными превращениями при спекании в вышеуказанных системах.

3. Обнаружено уменьшение содержания кремния в покрытиях по сравнению с его содержанием в распыляемых катодах. Выявлены технологические параметры процесса, влияющие на степень проявления этого эффекта.

4. Исследована структура, фазовый и элементный состав и физико-механические свойства покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением спеченных катодов титан — медь и титан — кремний.

Практическая ценность работы состоит в том, что:

1. Отработаны технологические режимы спекания порошковых смесей титана с медью и кремнием, обеспечивающие минимальную пористость катодных заготовок.

2. Разработан способ изготовления спеченных катодов, защищенный Российским патентом № 2 421 844.

3. Нитридные покрытия, полученные распылением экспериментальных спеченных катодов, имеют наноразмерную структуру и сверхвысокую твердость, сопоставимую со значениями, полученными на ионноплазменых покрытиях близких составов другими методами.

На защиту выносятся следующие научные положения и результаты:

1. Результаты исследования структурных превращений, вызванных ими объемных изменений и разработанные на основе этих результатов рекомендации по условиям смесеприготовления, формования и спекания порошковых композиций титан — медь и титан — кремний, позволяющие получать минимальную пористость и контролируемую структуру спеченных материалов.

2. Способ получения спеченных катодов Тл-Си и Тл-81, включающий составы и технологические режимы спекания катодных материалов титан-медь, титан-кремний и защищенный Российским патентом (№ 2 421 844).

3. Результаты исследования и испытаний вакуумно-дуговых покрытий (П, Си) М и (ДЭДЛГ, полученных испарением спеченных катодов в среде азота, содержащих наноразмерные структурные составляющие и имеющих повышенные физико-механические свойства.

Достоверность результатов диссертационной работы подтверждается применением комплекса современных методов экспериментальных исследований, непротиворечивостью полученных результатов и их согласием с опубликованными данными других исследователей.

Связь с государственными программами и грантами.

Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Институте физики прочности и материаловедения Сибирского отделения РАН (ИФПМ СО РАН) в соответствии с планами госбюджетной тематики, а также в рамках выполнения следующих проектов и грантов:

1. Проект РФФИ № 05−08−18 068-а (2005;2007 гг);

2. Проект РФФИ № 06−08−349-а (2006;2008 гг);

3. Проект РФФИ № 08−08−99 139 рофи (2008г).

4. Проект РФФИ № 09−08−12 061 офим (2009;2010);

5. Проект РФФИ № 09−08−349-а (2009;2011 гг);

6. Проект ФЦП «Создание многослойных и градиентных термически стабильных покрытий в едином технологическом цикле» (государственный контракт № 02.513.1.3432, 2008 — 2009 гг.).

Апробация работы и публикации.

Материалы диссертации докладывались на следующих конференциях:

1. 7th International conference on modification of materials with particle beam and plasma flows. Tomsk, 2004.

2. Харьковская нанотехнологическая Ассамблея-2006. Харьков, 3−6 октября 2006 г.

3. Международная конференция по физической мезомеханике, компьютерному конструированию и разработке новых материалов, 19−22 сентября 2006 г., Томск, Россия.

4. 8th International conference on modification of materials with particle beam and plasma flows. Tomsk, 10−15 Sept. 2006.

5. 8я Международная конференция «Пленки и покрытия-2007», С-Петербург, 22−23 мая 2007 г.

6. 7я Международная конференция «Инженерия поверхности и реновация изделий», Ялта, 29−31 мая 2007 г.

7. Международная конференция HighMatTech. Киев 15−19 октября 2007 г.

8. Зя международная научно-техническая конференция. «Вакуумная техника, материалы и технология», Москва, КВЦ «Сокольники», 19−21 марта 2008 г.

9. Харьковская нанотехнологическая ассамблея 2008, 26−30 мая 2008, Харьков, Украина.

10. «Инженерия поверхности. Новые порошковые композиционные материалы. Сварка.» Международный симпозиум, Минск, 25−27 марта 2009 г.

11. Международная конференция по физической мезомеханике, компьютерному конструированию и разработке новых материалов, 7−11 сентября 2009 г., Томск, Россия.

12. 10th International conference on modification of materials with particle beam and plasma flows. Tomsk, 19−24 Sept. 2010.

13. Международная конференция по физической мезомеханике, компьютерному конструированию и разработке новых материалов, 5−9 сентября.

2011 г., Томск, Россия.

Результаты работы изложены в 20 публикациях, в том числе в 4 статьях в журналах, входящих в перечень ВАК, в 3 статьях в иностранных журналах и в 1 статье, опубликованной в научно-техническом журнале, не входящим в перечень ВАК и в Российском патенте.

Объем и структура работы.

Текст диссертации состоит из введения, 5 разделов, заключения, списка литературы и приложений. Работа изложена на 150 страницах, содержит 54 рисунков и 15 таблиц. Библиографический список состоит из 126 наименований.

ВЫВОДЫ.

1. При спекании порошковых смесей титан-медь на концентрационной зависимости уплотнения наблюдается максимум при концентрации, близкой к середине области существования твердого раствора меди в? З-Ть При дальнейшем увеличении содержания меди происходит замедление уплотнения, переходящее в объемный рост. Максимум усадки на концентрационной зависимости в области твердого раствора р-Тл (Си) объясняется влиянием двух противоположно действующих факторов. Увеличению усадки способствует межфазный диффузионный массоперенос в твердых растворах на основе (3-Т1 и Си, а торможению — твердорастворное упрочнение, препятствующее деформации частиц и уплотнению прессовки под действием сил поверхностного натяжения.

2. Для сохранения геометрической формы и достижения минимальной пористости спеченных прессовок системы титан-медь с содержанием меди до 12 ат. % скорость нагрева до температуры изотермической выдержки 1050 °C не должна превышать 3 град/мин, а время изотермической выдержки должно быть не менее 4 часов.

3. При спекании порошковых смесей титан — кремний на концентрационной зависимости уплотнения также наблюдается слабо выраженный максимум в области твердого раствора кремния в (3-Т1, ограниченной 5,5 ат. % на равновесной диаграмме. Спекание порошковых композитов с концентрациями, попадающими в двухфазную область (3-Т1(81) + Т1581з, сопровождается объемным ростом, который увеличивается с повышением содержания кремния в порошковой смеси. Основная причина объемного роста — образование пор на месте частиц кремния, прореагировших с титаном с образованием силицида Т1581з. Для уменьшения остаточной пористости, вызванной реакцией кремния с титаном, рекомендуется заменять чистый кремний порошком силицида Т15 813.

4. Для получения минимальной пористости и однородной структуры катодных материалов титан-кремний с содержанием кремния до 15 ат. % скорость нагрева до температуры изотермической выдержки 1250 °C не должна превышать 3 град/мин, а время изотермической выдержки должно быть не менее 4 часов.

5. Изменение напряжения смещения с 30 до 230 вольт при вакуумно-дуговом испарении спеченных катодов Ть81 приводит к уменьшению содержания кремния в покрытии, по сравнению с его интегральным содержанием в катоде, на 60 — 94%. Основной причиной снижения концентрации кремния в покрытии является селективное распыление кремния с поверхности растущего покрытия в условиях ионной бомбардировки.

6. Вакуумно-дуговое испарение в азоте разработанных в работе спеченных катодов Тл-Си и Ть81 позволяет достичь в осаждаемых нитридных покрытиях размера кристаллитов 7−40 нм, что примерно на порядок меньше, чем в покрытиях, полученных распылением в азоте чистого титана. Наибольшую твердость и хорошую адгезию к подложке имеют покрытия, полученные при испарении спеченных катодов Тл + 12 ат. % Си и Тл + 10 ат. % 81.

7. При вакуумно-дуговом испарении спеченных катодов для уменьшения содержания капельной фазы в плазменном потоке ток дуги не должен превышать 90−100 ампер. При больших токах дуги рекомендуется использовать плазменные фильтры.

Показать весь текст

Список литературы

  1. М.Ю. Научные основы порошковой металлургии и металлургии волокна. М.: Металлургия, 1972 — 336 с.
  2. .Я. О спекании (в твердой фазе). Порошковая металлургия, -2006. -№ 5/6, -С/102−108.
  3. Я.Е. Физика спекания.-М:Наука, 1967.-360 с.
  4. Huppmann W. J. The elementary mechanisms of liquid phase sintering. 2. Solution-reprecipitation // Z. Metallkunde. 1979.- Bd 70, H. 12. — S. 792−797.
  5. Kuczynski G. C. Progress in research of sintering with liquid phase // Contemporary inorganic materials. Stuttgard, -1978. — PP. 32−40.
  6. В. Н., Надич Ю. В., Лавриенко И. А. Спекание в присутствии жидкой металлической фазы. Киев: Наук. Думка, -1970. — С. 124−128.
  7. Федорченко И. М, Андриевский Р. А. Основы порошковой металлургии. Изд-во АН УССР, Киев, 1963, 420 с.
  8. А. П. Многоуровневое моделирование объемных изменений двухкомпонентных порошковых тел при спекании // Журнал технической физики, -2010. Т. 80, N З.-С. 63−68.
  9. .Я., Сухинин Н. И. О спекании неоднофазных тел. 2. Спекание спрессованных смесей порошков. Концентрационная зависимость усадки. // Журнал технической физики, -1956, -Т. 26, -№ 9, -С. 2100−2107.
  10. В.В., Солонин С. М. Физико металлургические основы спекания порошков. — М: Металлургия, 1984. — 159 с.
  11. И.М., Иванова И. И. Исследование концентрационной зависимости усадки при спекании двухфазных систем.// Порошковая металлургия,-1972, -№ 4, -С. 21−26.
  12. Andrievski R.A. Synthetic Materials for Electronics// Amsterdam: Elsevier, 1981. P.53 — 75- ДАН CCCP.1972. -Т. 203, -C.l 279−1282.
  13. P.A., Введение в порошковую металлургию.// Изд-во Илим. Фрунзе, 1988.
  14. С.М. Концентрационная зависимость усадки при спекании двухкомпонентных систем с диаграммой состояния эвтектического типа.// Порошковая металлургия, 1973, № 2, С. 51−55.
  15. С.М. Концентрационная зависимость усадки при спекании двухкомпонентных систем, имеющих диаграмму состояния с перитектикой и диаграмму с химическим соединением. //Там же, 1976, № 4, С. 31−34.
  16. Heckel R.W. In. «Powder Met.Proc.: New Techn. and Anal, N.Y.:-1978, -PP.51−97.
  17. Podgornik В., Vizitin J., Wanstrand O. e.a. Tribological properties of plasma nitride and coated AISI 4140 steel // Wear. 2001. — V.249. — PP.254−259
  18. M.A. Повышение стойкости быстрорежущего инструмента за счет вакуумно-плазменной поверхностной обработки. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. М.: Изд. центр МГТУ «Станкин», 2003.
  19. Bergman Е., Kaufman Н., Schmid R. e.a. Ion-plated titanium carbonitride films// Surf. Coat. Techn. -1990. Y.42. № 3. — PP.237−251.
  20. C.C., Левинский Ю. В., Петров А. П. Карбид титана: получение, свойства, применение. М.: Металлургия, 1987. 218с.
  21. С.М. Износостойкие покрытия на твердых сплавах // Материаловедение. 1997. — № 8−9. — С.53−54.
  22. Junhua X., Geyang L., Minguan G. The microstructure and mechanical properties of TaN/TiN and TaWN/TiN superlattice films II Thin Solid Films. -2000. Y.-370. PP.45−49.
  23. Thomas G.J., Siegel R.W., Eastman J.F. Grain boundaries in nanophase palladium: High resolution electron microscopy and image simulation // Scripta met.mater. 1990. — V.24. — PP.201−206.
  24. Shtansky D.V., Tsuda О., Ikuhara Y. e.a. Crystallography and Structural Evolution of Cubic Boron Nitrade Films During Bias Sputter Deposition // Acta mater. 2000. -V.48. — PP.3745−3759.
  25. Д.В., Левашов E.A., Шевейко A.H. и др. Состав, структура и свойства Ti-Al-B-N покрытий, полученных вакуумным реактивным распылением СВС-мишеней// Цветные металлы. 2000. Т.4. — С. 116−120.
  26. И.Д., Трусов Л. Д., Лаповок В. И. Физические явления в уль-тродисперсных средах. -М.: Наука, 1984. 224 с.
  27. Gleiter Н. Materials with microstructures: Retrospectives and perspectives // Nanostruct Mater. 1992. V.l. — № 1. -PP. 1−19.
  28. Siegel R.W. What do we really know about atomic-scale structures of nanophase materials? // Journal of Physics and Chemistry of Solid. 1994. — V.55. -№ 10.-PP.1097.
  29. Валиев P.3., Александров И. В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. -М.: Логос, 2000. 272 с.
  30. Lijima S. Helical Microtubules of Graphitic Carbon // Nature. 1991. -V.354.
  31. А.И. Нанокристаллические материалы: методы получения и свойства. Екатеринбург: УрОРАН, 1998. 199 с.
  32. Е.Н., Дзидзигури Э. Л., Левина В. В. и др. Сплавообразование в ультрадисперсных порошках системы железо-никель// Материаловедение. -2001. -№ 9. -С.47−52.
  33. Р.А. Наноматериалы: концепция и современные проблемы // Рос.Хим. Ж. 2002. — Т. XLVI. -№ 5. — С.50−56.
  34. Veprec S.J. The search for novel, superhard materials // J.Vac. Sci. Techn. -1999. V.5. — PP.2401−2418.
  35. Veprec S., Argon A.S. Towards the understanding of the mechanical properties of super- and ultrahard nanocomposites// J.Vac. Sci. Techn. B. 2002. — V.20. — № 2. — PP.650−664.
  36. Veprec S., Nesladek P., Niederhofer A. e.a. Recent progress in the superhard nanocrystalline composites: towards their industrialization fnd understanding of the origin of the superhardness // Surf Coat.Techn. 1998. — V.108−109. — PP.138 143.
  37. Andrievsky R.A., Kalinnikov G.V. Physical-mechanical and physical properties of thin nanostructured boride/nitride films // Surf.Coat. Techn. 2001. -V.142−144. — PP. 573−578.
  38. Musil J., KunC F., Zeman H. e.a. Relationships between hardness, Young s modulus and elastic recovery in hard nanocomposite coatings // Surf. Coat. Techn. 2002. — V.154.- PP.304−313.
  39. Rebholz C., Leyland A., Mztthews A. Deposition and characterization of TiAlBN coatings prodused by direct electron-beam evappration o Ti and Ti-Al-B-N material from a twin crucible source // Thin Solid Films. -1999. V.343−344. -PP.242−245.
  40. Bunshah R.F., Nimmagadda R., Dunford W. e.a. Structure and properties of refractory compounds deposited by electron beam evaporation// Thin Solid Films. -1978.- V.54. PP.85−106.
  41. Andrievski R.A. Review. Films of interstitial phases: synthesis and properties// Journal of materials science. 1997. — V.32. — PP.4463−4484.
  42. Suda Y., Nakazono T., Ebihara K. e.a. Effects of r.f. bias on cubic BN films synthesis by pulsed Nd: YAG laser deposition // Thin Solid Films. 1996. -V.281−282. -PP.324−326.
  43. Riviere J.R. Formation of hard coatings for tribological and corrosion protection by dynamic ion mixing// Surf.Coat.Techn. 1998. -V.108−109. -PP.276 283.
  44. Matsumoro A., Muramatsu M., Takahashi Y. e.a. Syntesis of Ti-N thin films prepared by dynamic ion mixing technique and their mechanical properties// Thin Solid Films. 1999. — V.349. — PP. 199−204.
  45. Richthofen A.V., Cremer R., Domnick R e.a. Preparation of polycrystalline Ti-Al-0 films by magnetron sputtering ion plating: constitution, structure andmorphology// Journal of Analytical Chemistry. 1997. — V.358. — PP.308−311
  46. Андреев А. А, Саблев Л. П., Шулаев В. М., Григорьев С. Н. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия. Под ред. Неклюдова И. М., Шулаева В. М. Харьков, 2005. 24 С
  47. И.И. Вакуумная дуга в эрозивных источниках плазмы. Под ред. И. М. Неклюдова, В. М. Шулаева. Харьков, 2005. 216с/
  48. Mahan J.E. Physical vapor deposition of thin films: John Wiley & Sons, 2000
  49. E.H., Стрельницкий B.E. Синтез упрочняющих нанострук-турных покрытий. Вопросы атомной науки и техники -№ 2,-2008, -С. 119−130
  50. Martin P.J., Bendavid A. Properties of Til-xSixNy films deposited by concurrent cathodic arc evaporation and magnetron sputtering //Surf, and Coat. Technol. -2003, -V. 163−164, -PP. 245−250
  51. Shtansy D.Y., Tsuda O., Ikuhara Y. e.a. Crystallography and Structural Evolution of Cubic Boron Nitride Films During Bias Sputter Deposition// Acta mater. -2000. Y.48.- PP.3745−3759
  52. Schintlmeister W., Packer O., Raine T. Wear characteristics of hard material coatings produced by chemical vapour deposition with particular reference to machining// Wear. 1978. — V.48. — PP.251−266
  53. Csorbai H., Kovats A., Katai S. e.a. In situ diagnosis of chemical species for the growth of carbon nanotubes in microwave plasma-enchanced chemical vapor deposition // Diamond and Related Materials. 2002. — V. l 1. — PP.519−522.
  54. Wang W.L., Liao K.J., Wang S.X. e.a. Nicrostructure and semiconducting properties of c-BN films using r.f. plasma CVD thermally assited by a tungsten filament// Thin Solid Films. 2000. — V.368. -PP.283−286
  55. Kuhr M., Reinke S., Kulich W. Nucleation od cubic boron nitride (c-BN) with ion-induced plasma-enhanced CVD// Diamond and Related Materials. 1995. — V.4. — PP.375−380.
  56. Lee E.-A., Kim K.H. Deposition and mechanical properties of Ti-Si-N coated layer on WC-Co by RF inductively coupled plasma-enhanced chemical vapor deposition// Thin solid films. 2002. — Y.420. -PP.371−376.
  57. Karvankova P., Veprek-Heijman M.G.J., Zindulka O. e.a. Superharf nc-TiN/a-BN and nc-TiN/a-TiBx/a-BN coatings prepared by plasma CVD an PVD: a comparative study of their properties// Surf.Coat.Teachn. 2003. -V. 163−164. -PP.149−156.
  58. Mitterer C., Holler F., Reitberger D. e.a. Industrial applications of PACVD hard coatings //Surf.Coat.Techn. 2003. -V. 163−164. -PP.716−722.
  59. Veprek S., Jilek M. Super- and ultrahard nanocomposite coatings: generetic concept for their preparation, properties and industrial applications // Vacuum. -2002. V.67. — PP.443−449.
  60. Musil J., Veprek J. Magnetron sputtering of hard nanocomposite coatings and their properties// Surf. Coat. Techn. -2001, -V. 142−144, -PP.557−566.
  61. Musil J. Hard and superhard nanocomposite coatings// Surf. Coat. Techn. -2000, -V.268, -PP.322−330.
  62. Veprek S., Reiprich S. A concept for design of novel superhard coatings// Thin Solid Films. -1995, -V.268, -PP.64−71.
  63. Mayrhofer P.H., Mitterer C., Musil J. Structure-property relationship in single- and dual-phase nanocrystalline hard coatings // Surf. Coat. Techn. -2003, -V.174−175, -PP.725−731.
  64. Mayrhofer P.H., Willmann H., Mitterer C. Recrystallisation and grain growth of nanocomposite Ti-B-N coatings// Thin Solid Films. 2003, v.440, p.174−179.
  65. He J.L., Sethuhara Y., Shimuzu I., Miyake S. Structure refinement and hardness enhacement of titanium nitride films by additional of copper// Surf. Coat. Techn. -2001, -V.137, -PP.38−42.
  66. Myung H.S., Lee H.M., Shaginyan L.R., Han J.G. Microstructure and mechanical properties of Cu doped TiN superhard nanocomposite coatings// Surf. Coat Techn. -2003, -V.163−164, -PP.591−596.
  67. Musil J., Zeman P., Hruby H., Mayrhofer P.H. ZrN/Cu nanocomposite film a novel superhard material // Surf. Coat. Techn. -1999, -V. 120−121, -PP. 179−183
  68. Musil J., Vicek J., Zeman P. Morfology and microstructure of hard and superhard Zr-Cu-N nanocomposite coatings// Japan Journal of Applied Physics. -2002, -V.41, — part 1, -N 11A, -PP.6569−6533.
  69. Musil J., Hruby H., Zeman P. et.al. Hard and superhard nanocomposite Al-Cu-N Films prepared by magnetron sputtering// Surf. Coat. Techn. 2001, V.142−144, PP.603−609.
  70. Polonsky I.A., Chang T.P., Keer L.M. e.a. An analysis of the effect of hard coatings on near-surface rolling contact fatigue initiation induced by surface roughness // Wear. 1997 — V.208. — PP.204−219
  71. Chen Y.-H., Lee K.W., Chiou W.-A. e.a. Synthesis and structure of smooth, superhard TiN/SiNx multilayer coatings with an equiaxed microstructure //Surf. Coat. Techn. -2001. -V.146−147. -PP.209−214.
  72. Oc-Nam Park, J. H. Park, S.-Y. Yoon, Mi-Hye Lee, K. Ho Kim, Tribologi-cal behavior of Ti-Si-N coating layers prepared by a hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques.// Surf.Coat.Techn -179, -83−88 (2004).
  73. Ye Xu, Liuhe Li., Xun Cai, Paul K. Chu. Hard nanocomposite Ti-Si-N films prepared by DC reactive magnetron sputtering using Ti-Si mosaic target. Sur.Coat. Techn, -201, -6824−6827 (2007).
  74. Diserens M., Patscheider J., Levy F. Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surf. Coat. Techn. 1998. -V.108−109. -PP.241−246.
  75. Ни X., Han Z., Li G. e.a. Microstructure and properties of Ti-Si-N nanocom-posite films // J. Vac. Sci. Nechnol. A. 2002. — V.20. -№ 6. -PP. 1921−1926.
  76. Watanable H., Sato Y., Nie C. e.a. The mechanical properties and microstructure of Ti-Si-N nanocomposite films by ion plating // Surf. Coat.Techn. -2003. V. -169−170. PP.452−455
  77. Veprek S., Argon A.S. Towards the understanding of the mechanical properties of super- and ultrahard nanocomposites // J.Vac.Sci. Technol. B. 2002. V.20. -№ 2. — PP. 650−664.
  78. Martin P.J., Bendavid A. Properties of TibxSixNy films deposited by concurrent cathodic arc evaporation and magnetron sputtering // Surf.Coat.Techn. 2003. -V. 163−164.-PP.245−250
  79. Veprek S., Haussmann M., Reiprich S. e.a. Novel thermodynamically stable and oxidation resistant superhard coating materials // Surf. Coat. Techn. 1996. -V. 86−87.-PP.394−401.
  80. Veprek S., Reiprich S., Shizhi L., Superhard Nanocrystalline Composit Materials: The c-TiN/a-Si3N4 System // Appl. Phys. Lett. 1995. — V.66. — № 20
  81. Sun X., Reid J.S., Kolawa E. e.a. Reactivelli sputtered Ti-Si-N films I. Physical properties // J.Appl. Phys. 1997. V.81. — № 2. — PP.656−663.
  82. Tsuji Y., Gasser S.M., Kolawa E. e.a. Texture of copper films on Ta35Sii8N47 and Ti33Si23N44 underlayers // Thin Solid Films. 1999. — V.350. — PP. 1−4.
  83. B.M. Капельная фаза эрозии катода стационарной вакуумной дуги. Физическая инженерия поверхности, -2004, -Т. 2, -№ 4, -С 200−213
  84. С.А., Атаманов В. М., Гусева М. И., Мартыненко Ю. В., Митин А. В., Митин B.C., Московкин П. Г. Нанокристаллические композитные покрытия, полученные магнетронным распылением с мозаичным катодом. Перспективные материалы -2002, -№ 3, -С. 67−73
  85. C.A., Атаманов B.M., Гусева М. И., Мартыненко Ю. В., Ми-тин B.C., Московкин П. Г. Структура и адгезия покрытий (TiAl)N на нержавеющей стали. Металлы, -№ 4, -2002, -С.88−95.
  86. С.А., Атаманов В. М., Гусева М. И., Мартыненко Ю. В., Ми-тин А.В., Митин B.C. Получение композитных покрытий магнетронным распылением. Физика и химия обработки материалов -2002, -№ 3, -С.33−37
  87. Murray J.L. Binary alloy phase diagrams / ASM Intern., Materials Park, 2nd edition, Vol. 2., -USA, -1990, -PP.1494.
  88. Патент РФ 2 421 844, Способ изготовления композиционного катода, Прибытков Г. А., Коростелева Е. Н., Гурских А. В., Коржова В. В., Вагнер М. И., дата подачи заявки: 16.12.09, опубл. 20.06.11., Бюл. № 17.
  89. Г. А., Гурских A.B. Спеченные порошковые катоды титан-кремний, титан-медь для вакуумно-дугового синтеза наноструктурных покрытий . Труды 8ой Международной конференции «Пленки и покрытия-2007», С-Петербург, 22−23 мая 2007 г, -С. 258−260.
  90. Г. А., Гурских A.B., Коростелева E.H. Объемные изменения и формирование структуры при твердофазном спекании порошковых смесей титан-кремний и титан-медь. Тезисы докладов Международной конференции HighMatTech. Киев 15−19 октября 2007 г. -С. 196.
  91. E.H., Прибытков Г. А., Гурских A.B. Исследование структуры и свойств спеченных материалов титан медь. Физическая мезомеха-ника.- 2004, -Т.7, Спецвыпуск, часть 2, -С. 75−77.
  92. Г. А., Андреева И. А. Коржова В.В. // Порошковая металлургия,-2008. -№ 11/12. -С. 79.
  93. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник / Под ред. Н. П. Лякишева, том 3 книга 2. М.: Машиностроение, 2000.
  94. Ф.А. Структуры двойных сплавов. М.: Металлургия. 1973.
  95. E.H., Прибытков Г. А., Гурских A.B. Коржова В. В. Струк-турообразование при спекании порошковых смесей титан-медь // Известия вузов: Порошковая металлургия и функциональные покрытия. -2011. -№ 4
  96. E.H., Прибытков Г. А., Гурских A.B. Объемные изменения и формирование структуры при твердофазном спекании порошковых смесей титан-кремний. Порошковая металлургия, -2009, -№ ½, -С. 11−17.
  97. Е.Н., Гурских А. В., Прибытков Г. А. Объемные изменения при спекании порошковых смесей Ti Ti5Si3 Фундаментальные проблемы современного материаловедения. -2007 г. -Т 4, -№ 2, С. 123−127.
  98. Korosteleva Е. N., Pribytkov G. A., and Gurskikh А. V. Bulk changes and structurization in solid-phase sintering of titanium-silicon powder mixtures. Powder Metallurgy and Metal Ceramics, -Vol. 48, -Nos. 1−2, -2009, -PP 8−12
  99. Ramos A.S., Nunes C.A., Coelho G.C. On the peritectoid Ti3Si formation in Ti-Si alloys//Materials characterization. -2006. -V.56. -PP. 107−111.
  100. A.P., Долуханян C.K., Боровинская И. П. Синтез силицидов переходных металлов методом СВС. Порошковая металлургия, -1978г., -№ 6, -С. 14−18.
  101. Д.В., Левашов E.A., Косянин В. И., Дьяконова Н. Б., Лясоц-кий И.В. Структура и свойства многокомпонентных тонких пленок на основе Ti-C-N, Ti-Mo-C-N, Ti-B-N. Физика металлов и металловедение. -1995, -Т80, -№ 5, -С. 120−132.
  102. К.Л., Питюлин А. Н., Мержанов А. Г. Уплотнение материалов, образующихся при СВС // Порошковая металлургия. 1992. — № 6. — С. 14−19.
  103. E.B. Физическое металловедение титановых сплавов. Пер. с англ. Под ред. Б. И. Веркина, В. А. Москаленко. М: «Металлургия», 1988 г, 223с.
  104. Титановые сплавы. Металлография титановых сплавов. Под ред. Глазунова С. Г., Колачева Б.А. М. Металлургия 1980, 464с.
  105. Свойства, получение и применение тугоплавких соединений. Справочник под ред. Т. Я. Косолаповой. М. Металлургия. 1986 г. 928с.
  106. Pribytkov G.A., Gurskih A.V., Korzhova V.V., Shulaev V.M., Andreev A.A. Silicon Depleted Coatings Deposited at Arc Sputtering of Sintered Ti-Si
  107. Cathodes. Proceedings of 10th International conference on modification of materials with particle beam and plasma flows. Tomsk, -2010, -PP. 612−615
  108. Г. А., Гурских А. В., Шулаев В. М., Андреев А. А., Коржова В .В. Исследование покрытий, осажденных при вакуумно-дуговом испарении спеченных порошковых катодов титан-кремний. Физика и химия обработки материалов. -2009г. -№ 6, -С. 34−40.
  109. Н.В. Катодное распыление. М., Атомиздат, 1967, 347 с.
  110. Свойства, получение и применение тугоплавких соединений. Справочник под ред. Криволаповой Т. Я. М.: Металлургия, 1986 г., 928 с.
  111. Физические величины. Справочник под ред. Григорьева И. С., Мейли-ховаЕ.З. М., Энергоатом издат, 1991, 1232 с.
Заполнить форму текущей работой

Заказал и сдал!