Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Численный анализ свойств отражательных дифракционных решеток для рентгеновского излучения

Диссертация: Численный анализ свойств отражательных дифракционных решеток для рентгеновского излучения
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

С помощью созданной программы исследованы дифракционные свойства рентгеновских решеток и показаны ограничения в применении скалярной Теории для их анализа. На основе строгого подхода обнаружено и описано новое нескалярное свойство, присущее высокочастотным решеткам. Оно состоит в невозможности предсказать абсолютную эффективность в максимуме какого-либо порядка при сохранении формы профиля… Читать ещё >

Содержание

  • Глава 1. Применение рентгеновских отражательных дифракционных решеток и методы расчета их эффективности
    • 1. 1. Особенности рентгеновского излучения с точки зрения взаимодействия с твердым веществом
    • 1. 2. Многослойные рентгеновские покрытия и дефекты границ слоев
    • 1. 3. Методы решения задач дифракции на рентгеновских решетках
  • Глава 2. Интегральный метод расчета эффективности сплошной рентгеновской дифракционной решетки
    • 2. 1. Вывод интегральных уравнений
    • 2. 2. Особенности реализации интегрального метода для расчета эффективности решеток коротковолнового диапазона
    • 2. 3. Сходимость метода
    • 2. 4. r^oTztjocTb зычислений
  • Глава 3. Интегральный метод расчета эффективности многослойной рентгеновской решетки
    • 3. 1. Строгий и приближенный методы расчета эффективности многослойной решетки
    • 3. 2. Критерий точности аппроксимации интегрального метола для расчета эффективности многослойной рентгеновской решетки
    • 3. 3. Сравнение кривых эффективности многослойных рентгеновских решеток скользящего падения, полученных строгим методом, приближенно и с помощью измерений
  • Глава 4. Дифракционные свойства решеток, работающих в рентгеновском излучении
    • 4. 1. Роль скалярных и электромагнитных свойств эффективности решеток рентгеновского диапазона
    • 4. 2. Строгий анализ эффективности различных решеток, ——,—.О"?
    • 4. 3. Моделирование эффективности рентгеновских решеток реального профиля и сравнение ее с результатами измерений на синхротронном излучении

Численный анализ свойств отражательных дифракционных решеток для рентгеновского излучения (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Основные дифракционные свойства решеток без учета материала их покрытия (идеально проводящих) применимы ко всему оптическому диапазону. Известно, что характеристики решеток зависят от материала их поверхности, но профили штрихов решеток, используемых для инфракрасного, в n. nwnro и уп^р-тфиолетового излучения, одинаковы. Однако, работа решеток в наиболее коротковолновой области, включающей коротковолновый ультрафиолетовый (КУФ), мягкий рентгеновский (MP) и жесткий рентгеновский (ЖР или у-лучи) диапазоны и называемой далее вместе рентгеновским диапазоном, весьма специфична. Для длин волн ниже 30−40 нм вся рентгеновская оптика вынуждена работать при скользящем падении или использовать наиболее перспективные многослойные покрытия. Решетки рентгеновского диапазона отличаются очень мелким профилем штрихов, форма и тонкая структура которого играют решающую роль в их дифракционных свойствах. Особенности, которые отличают дифракционные решетки для рентгеновского излучения скользящего и нормального падения от аналогичных в более длинноволновом диапазоне, в силу объективных трудностей были исследованы недостаточно.

Совершенствование технологий изготовления и измерения отражающих дифракционных решеток с различной формой профиля штриха и нанесения на • них сверхгладких многослойных покрытий для рентгеновского диапазона позволило добиться за истекшее десятилетие высоких экспериментальных значений абсолютной эффективности как при скользящем,' так и при нормальном падении. Для решеток различных типов проведены сравнения между расчетами эффективности и ее измерениями в рентгеновском излучении, в т. ч. синхротронном. К ним относятся решетки идеального профиля: с блеском, ламельные сплошные и полученные травлением штрихов прямоугольной формы в многослойном зеркале. Особый интерес представляет исследование решеток с реальным профилем штрихов, измеренным с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ), в т. ч. ионно-травленных мастеров, их реплик и многослойных с современными материалами покрытия: Ве-С, Be-Y, Ве-В4С, Cr-C, Mo4Ru^-Be, Mo-Si, Мо-Sr, Mo-Y, Pd-B4C, Sc-Si, Ru-C, W-B4C и др. Проводимые исследования позволили говорить не только о возможности добиться точного совпадении теории с экспериментом, но и о перспективах использования численного моделирования во всем рентгеновском диапазоне для предсказания дифракционных свойств отражающих решеток на основе строгих методов анализа, точных значений показателей преломления веществ и измеренных профилей штрихов.

Описание дифракционных свойств отражающих решеток в коротких областях спектра на основе строгих векторных теорий долгое время было проблематичным по причинам медленной сходимости разработанных алгоритмов и высоких требований, предъявляемых к памяти и скорости компьютеров. Кроме очень маленьких значений отношения длины волны к периоду и сотен или тысяч распространяющихся порядков в рентгеновском диапазоне требуется точный учет влияния затенения, поглощения, многократного отражения, многоволнового характера рассеяния, поляризации и других нескалярных свойств решеток. Систематическое предсказание абсолютной эффективности рельефных решеток, работающих в этой области спектра, стало возможным только после появления эффективных численных методов на основе решения системы дифференциальных уравнений [1—3]. Для анализа эффективности решеток с реальным профилем штрихов, например, измеренным с помощью АСМ, и учета шероховатостей наиболее точным является метод интегральных уравнений, но из-за известных численных трудностей он является непригодным для систематических расчетов в рентгеновском диапазоне [4, 5]. В этой связи, разработка интегрального метода, предназначенного для расчета эффективности отражающих дифракционных решеток в наиболее коротковолновом диапазоне спектра, и его использование для численного моделирования дифракционных свойств решеток с реальным профилем, в т. ч. многослойных, представляется важной научно-технической задачей.

Основные результаты работы формулируются следующим образом:

1. На основе разработанного строгого метода интегральных уравнений для решения задачи дифракции плоско-поляризованной электромагнитной волны на рельефной конечнопроводящей решетке получены численные алгоритмы для анализа дифракционной эффективности отражательных рентгеновских решеток, в т. ч. с реальным профилем штрихов и многослойных. По сравнению с известной формулировкой интегрального метода [3,4] изменения сделаны как в теории, так и в численной реализации.

2. Разработанный приближенный интегральный метод, основанный на модификации решения интегрального уравнения с конечной проводимостью на нижней границе с учетом френелевских коэффициентов отражения слоев, не зависит от числа слоев решетки и угла падения. В то время как точный анализ на основе интегрального метода требует больших вычислительных ресурсов, даже для решеток с небольшим числом слоев, приближенный подход позволяет сравнительно легко получать высокоточные значения эффективности в широком диапазоне параметров реальных решеток. Кроме того, в приближенном подходе может быть учтена случайная шероховатость слоев и их взаимодиффузия.

3. Полученные алгоритмы реализованы в виде программы для ПК, которая была использована для теоретического исследования дифракционных свойств рентгеновских решеток. Продемонстрирована точность и достоверность полученных результатов для различных типов решеток. Впервые на основе интегрального метода достигнута и продемонстрирована устойчивая сходимость для самых коротких длин волн и всех типов решеток, включая решетки с очень маленьким отношением длины волны к периоду, при небольших затратах ресурсов ПК.

4. С помощью созданной программы исследованы дифракционные свойства рентгеновских решеток и показаны ограничения в применении скалярной Теории для их анализа. На основе строгого подхода обнаружено и описано новое нескалярное свойство, присущее высокочастотным решеткам. Оно состоит в невозможности предсказать абсолютную эффективность в максимуме какого-либо порядка при сохранении формы профиля штриха, угла падения и изменении показателя преломления материала покрытия, путем ее умножения на отношение френелевских коэффициентов отражения материалов. Показано, что найденные с помощью строгих расчетов оптимальные параметры высокочастотной решетки с одним материалом покрытия не остаются таковыми при его изменении.

5. Определены оптимальные параметры и проведено подробное моделирование эффективностей золотых пилообразной 1000 штрихов/мм и синусоидальной 3600 штрихов/мм решеток в зависимости от их глубины, угла скольжения и длины волны. Результаты расчетов единой теоретической модели голографических решеток (мастера, реплики и многослойной) 2400•штрихов/мм с АСМ-профилем и точными значениями показателей преломления количественно совпадают с данными измерений, полученных на синхротронном излучении, вблизи нормального падения в диапазоне 4.5−50 нм. б. Анализ расчетных кривых эффективности решеток с реальным профилем штрихов предсказывает высокую абсолютную эффективность высоких порядков в диапазоне 4.5 — 9 нм при использовании многослойных покрытий с низким уровнем шероховатости (Ве-С, Cr-C, Ru-C, Ве-В4С, Pd-B4C, W-B4C, Mo-Sr, Mo-Y и Be-Y), что подтверждено экспериментально-теоретическими исследованиями других авторов. Полученные результаты перспективны с точки зрения конструирования приборов высокого разрешения для рентгеновской спектроскопии солнца и других космических объектов, исследования физики плазмы.

Использование точных расчетных данных эффективности дает возможность резко сократить длительные и дорогостоящие экспериментальные исследования по ее измерению, проводимые в вакууме с рентгеновскими источниками излучения. Численное моделирование позволяет изготавливать решетки с эффективностью, близкой к теоретическому пределу, при значительно меньших временных и материальных затратах. Полученные результаты важны при конструировании эффективных спектральных приборов рентгеновского диапазона.

123 Заключение.

Показать весь текст

Список литературы

  1. М. Neviere, and J. Flamand. Electromagnetic theory as it applies to X-Ray and XUV gratings. Nucl. 1.strum. Methods, v.172,1980, p.273−279.
  2. B.Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M.Neviere. Thin films and gratings: theories used to optimize the high reflectivity of mirrors and gratings for x-ray optics. Proc. SPIE v.563, 1985, p. 142−149.
  3. M.Neviere and F.Montiel. Soft x-ray multilayer coated echelle gratings: electromagnetic and phenomenological study. JOS A A v. 13, 1996, p.811−818.
  4. R.Petit, ed. Electromagnetic Theory of Gratings. Springer-Verlag, Berlin, 1980,286 p.
  5. B.H. Kleemann, J. Gatzke, C. Jung, and B.Nelles. Design and efficiency characterization of diffraction gratings for application in synchrotron monochromators by electromagnetic methods and its comparison with measurement. Proc. SPIE v.3150,1997, p.137−147.
  6. E. Spiller. Soft x-ray optics. SPIE Press, Bellingham, Washington, 1994,280 p.
  7. B.L. Henke, E.M. Gullikson, J. Kerner, A.L. Oren, and B.L. Blake. Design and characterization of x-ray multilayer analyzers for the 50−1000 eV region. J. X-Ray Sci. and Tech. v.2, 1990 p.17−80.
  8. G.W. Stroke. Diffraction gratings. Springer, Berlin, 1967, p.426−754.
  9. T.M., Фомичев В. А. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия. J1.: Изд-во ЛГУ, 1971, 132 с.
  10. В.П., Литвиненко Л. Н., Масалов С. А., Сологуб В. Г. Дифракция волн на решетках. X.: Изд-во ХГУ, 1973, 288 с.
  11. И.В. Оптика спектральных приборов. Л.: Машиностроение, 1975, 312 с.
  12. А.Н., трейдер Е.Я. Вакуумная спектроскопия и ее применение. М.: Наука, 1976, 432 с.
  13. М.С. Hutley. Diffraction gratings. Academic Press, London, 1982, 330 p.
  14. Ф.М., Яковлев Э. А. Дифракционные решетки. Современные тенденции в технике спектроскопии (ред. С.Г. Раутиан). Но-к: Наука, 1982, с.24−44.
  15. Е. G. Loewen and Е. Popov. Diffraction Gratings and Applications. Marcel Dekker, New York, 1997,601 p.
  16. А.П., Савинов Е. П. Применение дифракционных решеток и эшеллетов в области ультрамягкого рентгеновского излучения. Опт. и спектр, т. 14, в.2, 1963, с.285−294.
  17. А.В., ред. Зеркальная рентгеновская оптика. JI.: Машиностроение, 1989, 464 с.
  18. А. Мишетт. Оптика мягкого рентгеновского излучения. М.: Мир, 1989, 352 с.
  19. Г. Шмаль, Д. Рудольф, ред. Рентгеновская оптика и микроскопия• М.: Мир, 1987, 451 с.
  20. E.G. Loewen, М. Neviere, and D. Maystre. On an asymptotic theory of diffraction gratings used in the scalar domain. JOSA v.68,1978, p.496−502.
  21. D. Maystre. Rigorous vector theories of diffraction gratings, in Progress in Optics XXI (E. Wolf, ed.), Elsevier Science Publishers B.V., 1984, p. 1−67.
  22. M. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. М.: Наука, 1973, 720 с.
  23. JI.M. Дифракция волн на неровной поверхности. ЖЭТФ т. 23, в. З, 1952, с.275−304.
  24. Л.И. Дифракционная эффективность светосильных вогнутых решеток с постоянным по всей апертуре профилем штрихов. -Голограммные оптические элементы и их применение в промышленности. Т-сь: Всес. семинара, Москва-Ленинград, 1987, с. 55.
  25. E.G. Loewen and М. Neviere. Simple selection rules for VUV and XUV diffraction gratings. Appl.Opt. v.17,1978, p.1087−1092.
  26. D. Kolton and R. Kress. Inverse Acoustic and Electromagnetic Scattering Theory. Springer, Berlin, 1992,305 p.
  27. M. Neviere and E. Popov. Light Propagation in Periodic Media: Differential Theory and Design. Marcel Dekker, New York, 2002,410 p.
  28. G. D. Smith. Numerical Solution of Partial Differential Equations: Finite Difference Methods. Oxford U. Press, Oxford, UK, 1985, 543 p.
  29. M. Neviere, P. Vincent, et R. Petit. Sur la theorie du reseau cinducteur et ses applications a l’optique. Nouv. Rev. Opt. v.5, 1974, p.65 -77.
  30. W. Jark and M. Neviere. Diffraction efficiencies for the higher orders of reflection grating in the soft x-ray region: comparison between theory and experiment. AppI.Opt.v.26, 1987, p.943−948.
  31. Jl.И., Савицкий Г. М. Голограммные рельефные решетки в рентгеновской оптике. Вопросы прикладной голографии. Тезисы Всесоюз. семинара-совещания, Тбилиси, 1989, с. 20.
  32. Л.И., Савицкий Г. М. Дифракционные свойства решеток с блеском для рентгеновского диапазона. Тезисы X Всесоюз. симпозиума по дифракции и распространению волн, Винница, 1990, с.
  33. Л.И., Савицкий Г. М. Дифракционные свойства голограммных решеток ламельного профиля для рентгеновского диапазона. Тезисы VI Всесоюз. конференции по голографии, Витебск, 1990, с. 33.
  34. Горай 71.И., Савицкий Г. М. Дифракционные свойства высокочастотных решеток рентгеновского диапазона. Дифракционная оптика. Новые разработки в технологии и применение. Тосисы VI Всесоюз. семинара Казань-Москва, 1991, с.66−67.
  35. L.I. Goray. Numerical analysis for relief gratings working in the soft X-ray and XUV region by the integral equation method. Proc. SPIE v.2278,1994, p. 168−172.
  36. L.I. Goray. Non-scalar properties of high groove frequency gratings for soft X-ray and XUV regions: the integral equation method. Proc. SPIE v.2278,1994. p. 173−177.
  37. L.I. Goray. Rigorous integral method in application to computing diffraction on relief gratings working in wavelength range from microwaves to X-ray. Proc. SPIE v.2532, 1995, p.427−433.
  38. L.I. Goray. Modified integral method for weak convergence problems of light scattering on relief grating. Proc. SPIE v.4291,2001, p.1−12.
  39. L.I. Goray and B.C. Chernov. Comparison of rigorous methods for X-ray and XUV grating diffraction analysis. Proc. SPIE v.2515, 1995, p.240−245.
  40. L. Li. Formulation and comparison two recursive matrix algorithms for modeling layered diffraction gratings. JOSA A v.13,1996, p.1024−1035.
  41. M. Neviere. Multilayer coated gratings for x-ray diffraction: differential theory. JOSA A v.8, 1991, p.1468−1473.
  42. L.I. Goray and S.Yu. Sadov. Numerical modelling of nonconformal gratings by the modified integral method. Diffractive Optics&Micro-Optics. OS A Tech. digest, Wash. DC, 2002, p.41^J3.
  43. L.I. Goray and S.Yu. Sadov. Numerical modelling of coated gratings in sensitive cases. OSA, TOPS v.75,2002, p.365−379.
  44. I.Y. Yusupov, M.D. Mikhailov, R.R. Herke, L.I. Goray, S. B Mamedov, O.A. Yakovuk. Investigation of the arsenic sulphide films for relief-phase holograms. Proc. SPIE v. 1238, 1989, p.240−247.
  45. M.P. Kowalski, J.F. Seely, L.I. Goray, W.R. Hunter, and J.C. Rife. Comparison of the calculated and the measured efficiencies of a normal-incidence grating in the 125−225-A wavelength range. Appl. Opt. v.36, 1997, p.8939−8943.
  46. J.F. Seely, L.I. Goray, W.R. Hunter, and J.C. Rife. Thin-film interference effects of a normal-incidence grating in the 100−350-A wavelength region. Appl. Opt. v.38, 1999, p.1251−1258.
  47. D. Content. Diffraction grating groove analysis used to predict efficiency and scatter performance. Proc. SPIE v.3778,1999, p. 19−30.
  48. J.F. Seely, L.I. Goray. Normal incidence multilayer gratings for the extreme ultraviolet region: experimental measurements and computational modeling. Proc. SPIE v.3766, 1999, p.364−370.
  49. J.F. Seely. Multilayer Grating for the Extreme Ultraviolet Spectrometer. Proc. SPIE v.4138,2000, p.174−181.
  50. W.R. Hunter, M.P. Kowalski, J.C. Rife, and R.G. Gruddace. Investigation of the properties of an ion-etched plane laminar holographic grating. Appl.Opt. v. 40, 2001, p.6157−6165.
  51. J.F. Seely, C. Montcalm, S. Baker, and S. Bajt. High efficiency MoRu/Be multilayer coated gratings operating near normal incidence in the 11.1−12.0-nm wavelength range. Appl.Opt. v.40,2001, p.5565−5574.
  52. M. Neviere, J. Flamand, and J.M. Lerner. Optimization of gratings for soft X-ray monochromators. Nucl. Instrum. Methods v. 195, 1982, p. 183−189.
  53. H.A. Podmore, V. Martynov, and K. Holis. The use of diffraction efficiency theory in the design of soft X-ray monochromators. Nucl. Instrum. Methods A v.347, 1994, p.206−215.
  54. A.J.F. den Boggende, P.A.J, de Korte, P.H. Videler, A.C. Brinkman, S.M. Kahn, W.W. Craig, C.J. Hailey, and M. Neviere. Efficiency of x-ray reflection gratings. Proc. SPIE v.982, 1988, p.283−298.
  55. L.I. Goray. Rigorous efficiency calculations for blazed gratings working in in- and off-plane mountings in the 5−50-A wavelengths range. Proc. SPIE 5168,2003, p.
  56. P. Vincent, M. Neviere, and D. Maystre. X-ray gratings: the GMS mount. Appl.Opt. v. 18,1979, p. 1780−1783.
  57. D. Content, P. Arsenovic, I. Kuznetsov, and T. Hadjimichael. Grating groove metrology and efficiency predictions from the soft x-ray to the far infrared. Proc. SPIE v.4485,2001, p. 405−416.
  58. L.I. Goray and J.F. Seely. Efficiencies of master, replica, and multilayer gratings for the soft x-ray-EUV range: modeling based on the modified integral method and comparisons to measurements. Appl.Opt. v.41,2002, p.1434−1445.
  59. X. Хенл, А. Мауэ, К. Вестпфаль. Теория дифракции. М.: Мир, 1964, 428 с.
  60. И. В. Численный анализ свойств голограммных отражательных решеток. Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. Л.: Гос. Опт. инст. им. С. И. Вавилова, 1987, 18 с.
  61. Г. Н., Ильинский А. С. Численные методы в задачах дифракции. М.: МГУ, 1987, 208 с.
  62. A. Pomp. The integral method for coated gratings: computational cost. J. Mod. Opt. v.38, 1991, p.109−120.
  63. B.H. Kleemann, A. Mitreiter, and F. Wyrovvski. Integral equation method with parametrization of grating profile: theory and experiments. J. Mod. Opt. v.43, 1996, p. 1323−1349.
  64. А.В. Рассеяние электромагнитных волн на одномерной неровной поверхности. Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. СПб.: Санкт-Петербургский гос. инст. точн. механ. и оптики, 1998, 14 с.
  65. Е. Popov, В. Bozhkov, D. Maystre, and J. Hoose. Integral method for echelles covered with lossless or absorbing thin dielectric layers. Appl. Opt. v.38, p. 47−55, 1999.
  66. M.A. Gilman, S.Yu. Sadov, A.S. Shamaev, and S.I. Shimaev. Computer simulation of the scattering of electromagnetic waves: some problems associated with remote radar sensing of the sear surface. J. Com. Tech. Electr. v.45,2000, p. s229 -s246.
  67. M. Davidson, B.H. Kleemann, J. Bischoff. A comparison between rigorous light scattering methods. Proc. SPIE v.3051, 1997, p.606−619.
  68. M. Ласло. Вычислительная геометрия и компьютерная графика на С++. М.: Бином, 1997, 304 с.
  69. R.L. Johnson. Grazing incidence diffraction gratings. Nucl.Instr. Meth. v. 152, 1978, p. l 17−122.
  70. P. Edward, ed. Handbook of optical constant of solids, II, III. Acad. Press Handbook Series, New York, 1985, 1991, and 1998.
  71. D. Maystre. New general integral theory for dielectric coated gratings. JOS A v.68, 1978, p.490−495.
  72. L.C. Botten. A new formalism for transmission gratings. Opt. Acta v.25, p.481−499.
  73. D. Maystre. Electromagnetic study of photonic band gaps. Pur. Appl.Opt. v.3,1994, p.975−993.
  74. A. Sammar and J.-M Andre. Diffraction of multilayer gratings and zone plates in the x-ray region using the Born approximation. JOSA A v. 10,1993, p.600−613.
  75. С.Ю. Рассеяние ТЕ-поляризованного света глубокими диэлектрическими решетками. Рад. и Элек. т.29, в.9, 1984, с. 1683−1690.
  76. L.I. Goray. Modified integral method and real electromagnetic properties of echelles. Proc. SPIE v.4291,2001, p. 13−24.
  77. W. Jark. Enhancement of diffraction grating efficiencies in soft X-ray region by multi-layer coating. Opt. Commun. v.60,1986, p.201−205.
  78. D. Maystre and R. Petit. Some recent results for gratings, application to their use in the very far ultraviolet region. Nouv. Rev. Opt. v.7,1976, p. 165−180.
  79. M. Neviere and J. Flamand. XUV gratings contamination due to overlapping orders: a study through the electomagnetic theory. Ann. Isr. Phys. Soc. v.6, 1983, p.45−47.
  80. A. Thevenon, J. Flamand, B. Touzet, and M. Neviere and. Toroidal holographic gratings: efficiency and optical configuration design problem for XUV instrumentation. Ann. Isr. Phys. Soc. v.6,1983, p.33−35.
  81. J. Flamand, A. Thevenon, B. Touzet, and M. Neviere and. XUV laminar gratings efficiency comparison for monochromators and spectrograph configurations. Proc. VIII Int. VUV Con., 1986, p.33−35.
  82. Е.П., Ляховская И. И., Ершов О. А., Ковалева Э. А. Графическое решение уравнений Френеля и вычисление оптических констант в ультрамягкой рентгеновской области спектра. Опт. и спектр, т.27, в.2, 1969, с.342−347.
  83. О.А., Брытов И. А., Лукирский А. П. Отражение рентгеновских лучей от некоторых веществ в области 7 + 44 А. Опт. и спектр, т.22, в.1, 1967, с. 127−134.
  84. R.L. McEntaffer, W.C. Cash, A.F. Shipley. Off-plane gratings for Constellation-X. Proc. SPIE v.4851,2003, p.549−556.
  85. Л.И. Аберрации вогнутых дифракционных решеток, получаемых при изгибе кристаллов. Опт. и спектр, т.61, в. З, 1986, с.628−630.
  86. Л. И. Аберрации вогнутых деформированных дифракционных решеток с первоначально криволинейными неэквидистантными штрихами. Опт. и спектр, т.65, в.1, 1988, с. 184−187.
  87. W.C. Cash. X-ray Optics 2: A Technique for High Resolution Spectroscopy. Appl. Opt. v.30, 1991, p. 1749−1759.
  88. Л.И. Способ изготовления вогнутой сферической поверхности.- АС СССР № 1 453 251, 15.09.88, МКИ4 G 02 В 5/18.
  89. Л.И. Способ изготовления вогнутой дифракционной решетки.- АС СССР № 1 510 562, 22.05.89, МКИ4 G 02 В 5/18.
  90. JI.И., Матвеев Б. А., Стусь Н. М., Талалакин Г. Н. и Ястребов С.Г. Способ изготовления вогнутой дифракционной решетки. АС СССР № 1 514 120, 08.06.89, МКИ4 G 02 В 5/18.
  91. Л.И., Матвеев Б. А. и лстребов С.Г. Способ изготовления вогнутой дифракционной решетки. AC ССС? jNl'1 568 774, 01.02.90, МКИ4 G 02 В 5/18.
  92. Интернет сайт: http://xmni.astro.columbia.alu.
  93. S. Bajt. Molybdenum-ruthenium/beryllium multilayer coatings. J. Vac. Sci. Technol. A v.18, 2000, p.557−559.
  94. B. Sae-Lao, S. Bajt, C. Moncalm, and J.F. Seely. Performance of normal-incidence molybdenum-yttrium multilayer-coated diffraction grating at a wavelength of 9 nm. Appl. Opt. v.41,2002, p.2394−2400.
Заполнить форму текущей работой

Заказал и сдал!