Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силового микроскопа

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ACM позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высокой Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ Π°Π½Π³ΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ²), ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микроскопов. Π”Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ACM Π½Π΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΡΡ‚ΡŒ острия Π·ΠΎΠ½Π΄Π° ΠΊ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ACM ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ для изучСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²-диэлСктриков, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ Π½Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚. Помимо Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ACM Π½Π΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силового микроскопа (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микроскопов ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ для изучСния повСрхности элСктропроводящих ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

1986 Π³ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ Ρ†ΡŽΡ€ΠΈΡ…ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ отдСлСния IBM Π±Ρ‹Π»ΠΈ созданы микроскопы слСдущСго поколСния — Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силовыС (ACM). ACM Ρ‚ΠΎΠΆΠ΅ позволяСт ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ повСрхности с Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Π½ΠΎ ΡƒΠΆΠ΅ вовсС Π½Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ элСктропроводящиС. БСгодня ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ½ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚авляСт наибольший интСрСс для исслСдоватСлСй.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силового ΠΈ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ микроскопов практичСски ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ (рис. 5.7.1), Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, атомносиловой микроскоп основан Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ сил ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… связСй. На ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… расстояниях (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 0.1 Π½ΠΌ) ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π²ΡƒΡ… Ρ‚Π΅Π» Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ силы отталкивания (рис. 5.7.2−6), Π° Π½Π° Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… — силы притяТСния (рис. 5.7.2-Π°).

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силового микроскопа.

Рис. 5.7.1 ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силового микроскопа.

Π°,Π± ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силового микроскона(ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Π΅ связи) ;асилы притяТСния. бсилы отталкивания.

Рис. 5.7.2-Π°, Π± ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силового микроскона (ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Π΅ связи) ;асилы притяТСния. бсилы отталкивания.

Π’ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎ-силовом микроскопС Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ‚Π΅Π»Π°ΠΌΠΈ слуТат исслСдуСмая ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡΡ‰Π΅Π΅ Π½Π°Π΄ нСю остриС. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π·ΠΎΠ½Π΄Π° Π² ACM ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ алмазная ΠΈΠ³Π»Π°. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ силы F, Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΏΡ€ΡƒΠΆΠΈΠ½ΠΊΠ°, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΎΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎ, отклоняСтся, ΠΈ ΡΡ‚ΠΎ рСгистрируСтся Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠΌ. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° отклонСния ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта (ΠΏΡ€ΡƒΠΆΠΈΠ½ΠΊΠΈ) нСсСт ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ повСрхности.

На Ρ€ΠΈΡ. 5.7.3 схСматичСски прСдставлСна кривая зависимости ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ силы ΠΎΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ остриСм ΠΈΠ³Π»Ρ‹ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ.

Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ силы ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ взаимодСйствия ΠΎΡ‚ расстояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ остриСм ΠΈΠ³Π»Ρ‹ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ.

Рис. 5.7.3 Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ силы ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ взаимодСйствия ΠΎΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ остриСм ΠΈΠ³Π»Ρ‹ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ.

По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ приблиТСния ΠΈΠ³Π»Ρ‹ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности, Π΅Π΅ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ всС сильнСй ΠΏΡ€ΠΈΡ‚ΡΠ³ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. Π‘ΠΈΠ»Π° притяТСния Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΠ° ΠΈΠ³Π»Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ ΡΠ±Π»ΠΈΠ·ΡΡ‚ся Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡ… ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΠΊΠ° Π½Π°Ρ‡Π½ΡƒΡ‚ ΠΎΡ‚Ρ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ элСктростатичСски. ΠŸΡ€ΠΈ дальнСйшСм сблиТСнии элСктростатичСскоС ΠΎΡ‚Ρ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ослабляСт силу притяТСния. Π­Ρ‚ΠΈ силы ΡƒΡ€Π°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡˆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Ρ€Π°ΡΡΡ‚оянии ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 0,2 Π½ΠΌ.

Подобно БВМ Π² ACM сканированиС повСрхности ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ двумя способами: сканированиС ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ€ΠΎΠΌ ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΡΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ. Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ случаС вдоль исслСдуСмой повСрхности двиТСтся ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ€, Π²ΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ€Π° двиТСтся сама ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°.

Для рСгистрации сил взаимодСйствия Π·ΠΎΠ½Π΄Π° с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, основанный Π½Π° Ρ€Π΅Π³ΠΈΡΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ отклонСния Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π°, ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‡ΠΈΠΊΠ° Π·ΠΎΠ½Π΄Π° (рис. 5.7.4). Π›ΡƒΡ‡ направляСтся Π½Π° ΡΠ°ΠΌΡ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‡ΠΈΠΊ ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ€Π°, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΉ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ слоСм, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ чСтырёхсСкционный Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄.

Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° рСгистрации отклонСния Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π° ΠΎΡ‚ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ полоТСния.

Рис. 5.7.4 Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° рСгистрации отклонСния Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π° ΠΎΡ‚ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ полоТСния.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, малСйшиС отклонСния ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ€Π° приводят ΠΊ ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡŽ Π»ΡƒΡ‡Π° Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π° ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ сСкций Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ, Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, мСняСт сигнал с Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ смСщСния ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ€Π° Π² Ρ‚Ρƒ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΡƒΡŽ сторону. Вакая систСма позволяСт ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ отклонСния Π»ΡƒΡ‡Π° Π½Π° ΡƒΠ³ΠΎΠ» 0,1Β°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ соотвСтствуСт ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π²Π΅Ρ€Π° всСго Π½Π° ΡΠΎΡ‚Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°.

ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ACM Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π±Ρ‹Π»ΠΈ проводящими, ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ‚ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ свойства ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ» Π”ΠΠš ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… мягких ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Π”Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅Π΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠΉ микроскопии ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ практичСски для любого Π²ΠΈΠ΄Π° взаимодСйствия острия Π·ΠΎΠ½Π΄Π° с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

ACM позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высокой Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ Π°Π½Π³ΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ²), ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микроскопов. Π”Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ACM Π½Π΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΡΡ‚ΡŒ острия Π·ΠΎΠ½Π΄Π° ΠΊ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ACM ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ для изучСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²-диэлСктриков, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ Π½Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚. Помимо Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ACM Π½Π΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ исслСдуСмого ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈ Π·Π°ΡΡ‡Ρ‘Ρ‚ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ характСристик ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΊΡ€ΠΎΠ½ΡˆΡ‚Π΅ΠΉΠ½Π° (ΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΈΠ»Π»Π΅Π²Π΅Ρ€Π°). Π’ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΡ€ΠΎΠ½ΡˆΡ‚Π΅ΠΉΠ½Π΅ слабыС ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ напряТСния Ρ€Π΅Π³ΠΈΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ с Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ высокой Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 нН), Ρ‡Ρ‚ΠΎ соотвСтствуСт Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ€Π½ΠΎΠΌΡƒ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ для структуры. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ сканирования повСрхности ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ ACM ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ прСимущСствСнная информация ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ исслСдования ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ микроскопом, Ρ‡Ρ‚ΠΎ даст Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ возмоТности для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΈ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…. На ΡΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ этапС развития исслСдований ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ACM становится всС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ вострСбованным. Π’Π°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ACM ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ… ΠΏΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… характСристик повСрхности (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ элСктростатичСских сил, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ адсорбционных ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²) [8,10,12].

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ