Полупроводниковые лазеры среднего инфракрасного диапазона, работающие на модах шепчущей галереи
![Диссертация: Полупроводниковые лазеры среднего инфракрасного диапазона, работающие на модах шепчущей галереи](https://gugn.ru/work/2496751/cover.png)
Обусловлена широкими практическими потребностями в разработке средств контроля содержания множества жидких и газообразных веществ, имеющих линии поглощения в среднем ИК диапазоне. Основным недостатком разработанных к настоящему времени квантово-каскадных и полупроводниковых лазеров на вертикальных резонаторах является сложность технологии их изготовления. Предложенный нами принцип конструкции… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. Современные представления о свойствах и механизмах генерации лазерного излучения
- Раздел 1. 1 Общие принципы действия лазеров
- 1. 1. 1. Свойства лазерного излучения
- 1. 1. 2. Роль оптического резонатора
- 1. 1. 3. Основные механизмы генерации оптического излучения лазером
- 1. 1. 4. Добротность оптического резонатора
- Раздел 1. 2 Полупроводниковые лазеры и светодиоды
- 1. 2. 1. Источники вынужденного излучения
- 1. 2. 2. Условие наличия инверсии заселенностей
- 1. 2. 3. Методы создания инверсной заселенности в полупроводниках
- 1. 2. 4. Выходная мощность и коэффициент усиления полупроводникового лазера
- Раздел 1. 3 Электрические свойства полупроводникового лазера
- 1. 3. 1. Зависимость постоянного тока через полупроводниковый диод от напряжения
- 1. 3. 2. Прямая ветвь вольтамперной характеристики
- 1. 3. 3. Обратная ветвь вольтамперной характеристики
- Раздел 1. 4 Достоинства и недостатки существующих конструкций лазеров среднего ИК диапазона
- 1. 4. 1. Достоинства полупроводниковых лазеров
- 1. 4. 2. Конструкции лазеров среднего ИК диапазона. Лазеры, работающие на модах шепчущей галереи
- ГЛАВА 2. Теоретический анализ взаимосвязей между электрофизическими, оптическими и конструктивными характеристиками лазеров, работающих на модах шепчущей галереи
- Раздел 2. 1 Теория цилиндрических волноводов. Анализ модовой структуры излучения лазера
- Раздел 2. 2 Анализ электрических характеристик лазеров, работающих на модах шепчущей галереи, на основе математической модели
- Раздел 2. 3 Анализ влияния размера мезы на характер протекания тока через структуры с дисковым резонатором
- ГЛАВА 3. Конструкция дисковых лазеров и методика эксперимента
- Раздел 3. 1 Конструкция лазеров, работающих на модах шепчущей галереи
- Раздел 3. 2 Изготовление образцов
- 3. 2. 1. Процесс эпитаксиального роста лазерных гетероструктур ЫАз/ЫАзБЪР
- 3. 2. 2. Формирование дискового резонатора для полупроводниковых лазеров на основе гетероструктур 1пАб (8Ь)/1пАз8ЪР
- 3. 2. 3. Формирование омических контактов на поверхности дисковой структуры
- Раздел 3. 3 Методика экспериментальных исследований дисковых лазеров
- ГЛАВА 4. Результаты эксперимента и их обсуждение
- Раздел 4. 1 Исследуемые группы дисковых лазеров
- Раздел 4. 2 Анализ электрических свойств дисковых лазеров
- Раздел 4. 3 Спектральные зависимости излучения дисковых лазеров с активной областью на основе ЫАз/МАбБЬР гетероструктур, выращенных методом МОГФЭ
- Раздел 4. 4 Спектральные зависимости излучения дисковых лазеров с активной областью на основе ЬгАяБЬ гетероструктур, выращенных методом жидкофазной эпитаксии
- Раздел 4. 5 Температурные и токовые зависимости излучения лазеров, работающих на модах шепчущей галереи
- Раздел 4. 6 Пороговые характеристики лазеров, работающих на модах шепчущей галереи, с активной областью на основе ЫАб/ЫАбЗЪР гетероструктур
- Раздел 4. 7 Анализ зависимости выходной мощности дискового лазера от плотности тока в активной области
- Раздел 4. 8 Спектральные зависимости излучения дисковых лазеров с квантовыми ямами в активной области на основе Са1пАя5Ь/АIОаАзБЬ, полученные методом молекулярно пучковой эпитаксии
Полупроводниковые лазеры среднего инфракрасного диапазона, работающие на модах шепчущей галереи (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Общая характеристика проблемы. Возрастающий в последнее десятилетие интерес к исследованиям механизмов генерации лазерного излучения в среднем инфракрасном (ИК) диапазоне обусловлен высокой востребованностью разработки лазеров для диапазона 2−5 мкм, в котором находятся характеристические линии поглощения значительного числа широко используемых промышленных и природных газов таких как метан, углекислый газ, окислы азота и др. [1]. В связи с этим весьма актуальны комплексные научные исследования и разработка новых конструкций лазеров для среднего ИК диапазона, которые могут работать при температурах, приближающихся к комнатным.
К настоящему времени не создан лазер среднего ИК диапазона, работающий при комнатной температуре, малогабаритный и пригодный для массового производства. Это связано с тем, что уровень оптических потерь, обусловленных оже-процессами в этом спектральном диапазоне, довольно высок. Одним из способов обойти эту проблему является увеличение добротности резонатора, что, например, используется в поверхностно-излучающих лазерах с вертикальным резонатором (УС8ЕЬангл.)[2−6]. Но их основным недостатком, таким же, как и у разработанных к настоящему времени квантово-каскадных лазеров (С^СЬангл.), является сложность изготовления таких приборов [7−10]. Для решения проблемы высоких оптических потерь необходимы комплексные, теоретические и экспериментальные научные исследования, являющиеся основой новых физических и технологических подходов к разработке и созданию лазеров среднего ИК диапазона.
Нами была предложена конструкция лазера, принципиальной особенностью которого является использование кольцевого резонатора в виде диска, рабочей модой которого является так называемая «мода шепчущей галереи» [11, 12]. В отличие от полосковых конструкций лазеров в лазерах, работающих на модах шепчущей галереи, в дисковых структурах волна распространяется по периметру круглой мезы в узкой активной области (толщина активной области- 0,5 мкм). Излучение выходит из резонатора за счет неоднородностей поверхности. Теоретические и экспериментальные исследования дисковых лазеров показали, что они являются устройствами с существенно более высокой добротностью, до 106, по сравнению с обычными лазерами среднего ИК диапазона [13].
Актуальность темы
обусловлена широкими практическими потребностями в разработке средств контроля содержания множества жидких и газообразных веществ, имеющих линии поглощения в среднем ИК диапазоне. Основным недостатком разработанных к настоящему времени квантово-каскадных и полупроводниковых лазеров на вертикальных резонаторах является сложность технологии их изготовления [4−6]. Предложенный нами принцип конструкции лазера для среднего ИК диапазона позволяет существенно снизить требования к чистоте поверхности лазерной структуры и использовать для обработки поверхности мезы методы стандартной литографии [11].
Целью настоящей работы явилось создание и комплексное исследование лазеров, работающих на модах шепчущей галереи, излучающих в среднем ИК диапазоне.
Основные задачи:
1) С применением методов математического моделирования механизмов генерации ИК излучения, провести теоретический анализ взаимосвязей между оптическими, электрофизическими и конструктивными характеристиками лазеров, работающих на модах шепчущей галереи.
2) Разработать конструкцию и технологию изготовления дисковых лазеров, излучающих в среднем ИК диапазоне.
3) На основе комплексного исследования выяснить особенности оптических, электрофизических, температурных характеристик лазеров, работающих на модах шепчущей галереи, различающихся конструктивными параметрами.
Научная новизна и практическая значимость работы. Научные выводы диссертации и результаты теоретического исследования вносят существенный вклад в понимание механизмов генерации лазерного излучения в лазерах, работающих на модах шепчущей галереи, зависимости пространственного распределения плотности тока от размера мезы и расположения контакта. Это позволяет значительно облегчить и ускорить разработку модификаций таких лазеров.
На основе комплексного теоретического и экспериментального исследования выработаны оптимальные конструктивные требования (круглая меза диаметром от 75 до 400 мкм, расположение кольцевого контакта шириной 30 мкм на верхней плоскости мезы) и технологические требования (двойные гетероструктуры? пАб/ЫАзБЬР, электрохимическое травление). Изготовлены серии опытных образцов лазеров, работающих на модах шепчущей галереи, излучающих на длинах волн 2 и 3 мкм. Получены опытные образцы дисковых лазеров, излучающих в среднем ИК диапазоне при комнатной температуре.
Разработанные лазеры отличаются относительно простой конструкцией, существует доступная технология их изготовления. Это служит основой для практического их применения в промышленном, технологическом, экологическом контроле и медицинской диагностике.
Диссертационная работа содержит введение, четыре главы, заключение, список цитируемой литературы. Первая глава представляет собой обзор современных представлений о свойствах лазерного излучения и механизмах его генерации. Представлена сравнительная характеристика известных типов и конструкций полупроводниковых лазеров. Во второй главе описываются результаты теоретического анализа структур с дисковым резонатором с применением методов математического моделирования механизмов генерации.
Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах:
1. А. Ю. Кислякова, Н. С. Аверкиев. Дисковые полупроводниковые лазеры. Тезисы докладов Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов, Санкт-Петербург, ч. IV, с. 172, 2004.
2. В. В Шерстнев, A.M. Монахов, А. П. Астахова, А. Ю. Кислякова, Ю. П. Яковлев, Н. С. Аверкиев, G. Hill, A. Krier. Полупроводниковые WGM лазеры среднего инфракрасного диапазона. Физика и техника полупроводников. 2005, том 39, № 9.
3. А. Ю. Кислякова, В. В Шерстнев, A.M. Монахов, Ю. П. Яковлев, Н. С. Аверкиев. Эффект WGM в полупроводниковых лазерах. Тезисы докладов Международной школы-семинара по фундаментальной физике для молодых ученых «Квантовые измерения и физика мезоскопических систем», г. Владимир-г. Суздаль, с. 36, 2005.
4. В. В Шерстнев, A.M. Монахов, А. Ю. Кислякова, Ю. П. Яковлев, Н. С. Аверкиев. Эффект WGM в полупроводниковых лазерах. Известия РАН. Серия Физическая. Том 70 № 3, 2006, стр. 364.
5. Н. С. Аверкиев, В. В. Шерстнев, А. М. Монахов, Е. А. Гребенщикова, А. Ю. Кислякова, Ю. П. Яковлев, A. Krier, D.A.Wright, Физические принципы работы полупроводниковых дисковых лазеров. Физика низких температур. Том 33, выпуск 2−3, с. 378−387, 2007.
6. Н. С. Аверкиев, В. В. Шерстнев, А. М. Монахов, А. Ю. Кислякова, Ю. П. Яковлев, A. Krier. Полупроводниковые WGM лазеры, приглашенный доклад. XVI Уральская международная зимняя школа по физике полупроводников. Екатеринбург, Россия, 27 февраля- 4 марта, 2006 г. Программа и тезисы докладов, стр. 40.
7. А. Ю. Кислякова. Полупроводниковые WGM лазеры среднего инфракрасного диапазона. Международная зимняя школа по физике полупроводников 2007, Россия, г. Санкт-Петербург. Программа и тезисы, стр. 20.
8. А. Ю. Кислякова. WGM лазеры среднего ИК диапазона. 5ый Международный симпозиум по квантовой теории и симметрии. Испания, Валлидолид, 21−29 июля, 2007 г.
9. А. Ю. Кислякова. WGM лазеры среднего ИК диапазона. Международная школа по нанофотонике. Италия, Маратеа, 14−22 сентября, 2007 г.
В заключении я считаю своим долгом выразить глубокую благодарность за руководство и помощь на всех этапах работы моему научному руководителю профессору, доктору физико-математических наук Никите Сергеевичу Аверкиеву.
Я хочу поблагодарить заведующего лабораторией Физической и функциональной микроэлектроники Рубена Павловича Сейсяна за постоянный интерес и помощь в создании этой работы.
Особую благодарность хочу принести заведующему лабораторией Инфракрасной Оптоэлектроники Юрию Павловичу Яковлеву за сотрудничество, помощь и поддержку на всех этапах работы.
Также выражаю глубокую благодарность Андрею Марковичу Монахову за помощь на всех этапах работы, постоянное внимание и поддержку.
Я рада выразить признательность моим коллегам в лице Анастасии Павловны Астаховой, Елены Александровны Гребенщиковой, Сергея Сергеевича Кижаева, Виктора Вениаминовича Шерстнева за постоянное внимание, плодотворные дискуссии и помощь в работе.
Заключение
.
Список литературы
- J.H.Park, L.S.Rothman, C.P.Rinsland, H.M.Pickett, D.J.Richardson and J.S.Nankung «Atlas of Absorption Lines From 0 to 17900cm"1», NASA Reference Publication, (1987).
- A.I.Nadezhdinskii «New generation of tunable diode laser based systems», Infrared Physics and Technology, 37(1), p. 99−104, (1996).
- A.F.J.Levi, RJE. Slusher, S.L.McCall, S.J.Pearton, and W.S.Hobson «Room-temperature lasing action in Ino.51Gao.49P/Ino.2Gao.8As microcylinder laser diodes», Appl. Phys. Lett., 62, 2021, (1993).
- A.A.Allerman «Ю-stage cascaded InAsSb quantum well laser at 3.9», Electron. Lett., 34, p. 369, (1998).
- Z.Feit et al. «МВЕ grown buried heterostructure separate confinement quantum well PbEuSeTe/PbSnTe tunable diode lasers», Spectrohim. Acta A, 52, p. 851, (1996).
- F.Capasso et al. «Quantum cascade lasers», Electron, lett., 30, p. 865, (1994).
- S.Anders, W. Schrenk, E. Gornik, and G. Strasser «Room-temperature operation of electrically pumped quantum-cascade microcylinder lasers», Appl. Phys. Lett., 80, 4094, (2002).
- Б. Миллиган «Лазеры VCSEL открывают новые возможности», Сети и системы связи, вып. 5, (2005).
- J. Faist et al. «Quantum cascade lasers», Science, 264, p. 553, (1994).
- C.Sirtori, H. Page, C. Becker «GaAs-based quantum cascade lasers», Philos. Trans. R.Soc., 359, p. 505, (2001).
- V.V.Sherstnev, A. Krier, A.M.Monakhov, G. Hill «Mid-infrared ring laser», Electron. Lett., 39, 916, (2003).
- V.V.Sherstnev, A.M.Monakhov, A. Krier and D.A.Wright «InAs whispering gallery mode lasers for the mid-infrared spectral range», IEEProc. Optoelectronic, 152 (1), 1, (2005).
- D.A. Cohen, M. Hossein-Zadeh, A.F.J. Levi «Microphotonic modulator for microwave receiver», Electron. Lett. 37, 300, (2001).
- К.С. Уиллетт Справочник по лазерам / Под. ред. A.M. Прохорова.-М.: Сов. Радио, 1978, Т.1
- Мосс, Т. Полупроводниковая оптоэлектроника. Пер. с англ. / Т. Мосс, Г. Баррел, Б. Эллис. Под ред. С. А. Медведева — м.: Мир, 1976
- Мотт Ю.И. Оптические свойства полупроводников. ЗУГ.: Наука, 1977.
- Федотов Я.А., Основы физики полупроводниковых приборов, «Советское радио», М., 1969.
- Ханин Я.И. Основы динамики лазеров / Я. И. Ханин.- М.: Наука. Физматлит, 1999,
- Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. М.: Мир, 1982.
- Зи С. М. Физика полупроводниковых приборов. М., «Энергия», 1973.
- Займан Дж. Принципы теории твердого тела. М.: Мир, 1966. Ансельм А. И. Введение в физику полупроводников. М., Наука, 1978.
- Викулин И.М., Стафеев В. И. Физика полупроводниковых приборов. М.: Сов. радио, 1980.
- Стафеев В.И. Некоторые проблемы микроэлектроники/ Под ред. Ф. В. Лукина. М.: Сов. радио, 1967, вып. 1, с.5
- Rayleigh J.W.S. The Theory of Sound, 1887. Reprinted by Dover in 1945 (New York: Dover)
- Rayleigh J.W.S. The problem of the whispering gallery, 1910. Phil. Mag 20 1001−4.
- Л.Е.Воробьев, С. Н. Данилов, Ю. В. Кочегаров, В. Н. Тулупенко, Д. А. Фирсов «Характеристики лазера дальнего инфракрасного диапазона на горячих дырках в германии в конфигурациях полей Фогта и Фарадея», ФТП, 31(12), (1997).
- Ю.А.Морозов, И. С. Нефедов, В. Я. Алешкин «Нелинейное преобразование частоты в лазере с двойным вертикальным резонатором», ФТП, 38(11), (2004).
- Шерстнев В.В., Монахов A.M., Кислякова А. Ю., Яковлев Ю. П., Аверкиев Н. С. «Полупроводниковые WGM лазеры», Известия РАН, серия физическая, 70(3), с. 364 (2006).
- А.П.Астахова, Н. Д. Ильинская, А. Н. Именков, С. С. Кижаев, С. С. Молчанов, Ю. П. Яковлев, Физика и техника полупроводников, 39 (4), 497, (2005).
- Т.И.Воронина, Т. С. Лагунова, С. С. Кижаев, С. С. Молчанов, Б. В. Пушный, Ю. П. Яковлев «Выращивание и легирование магнием слоев InAs методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений», ФТП, 38(5), (2004)
- Е.А.Гребенщикова, Н. В. Зотова, С. С. Кижаев, С. С. Молчанов, Ю. П. Яковлев «InAs/InAsSbP светоизлучающие структуры, выращенные методом газофазной эпитаксии», ЖТФ, 71(9), (2001). Y.P.Yakovlev, K.D.Moiseev, M.P.Mikhailova, A.M.Monakhov,
- A.Astakhova, V.V.Sherstnev «High-power mid-infrared lasers based on type-II heterostructures with asymmetric band offset confinement» Proc. SPIE 3947, 144, (2000).
- Шерстнев В.В., Монахов A.M., Кислякова А. Ю., Яковлев Ю. П., Аверкиев Н. С., «Полупроводниковые WGM лазеры» Известия РАН, серия физическая, 70 (3), с. 364 (2006)
- N.S.Averkiev, V.V.Sherstnev, A.M.Monakhov, E.A.Grebenshikova,
- A.Yu.Kislyakova, Yu.P.Yakovlev, A. Krier, and D.A.Wright. Low Temperature Physycs, 33 (2−3), 283 (2007)
- Гребенщикова E.A., Литвак A.M., Шерстнев B.B., Яковлев Ю.П./ Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. В. 15. С. 27−33.
- Astakhova А.Р., Imenkov A.N., Danilova T.N., Sherstnev V.V., Yakovlev Yu.P.// Spectrochimica Acta. Part A: Molecular and Biomolecular Spectroscopy. V.66. Iss. 4−5. April 2007. p.824−831.
- Стоянов Н.Д., Журтанов Б. Е., Астахова А. П., Именков А. Н., Яковлев Ю.П.// ФТП. 2003. Т.37, в. 8, стр. 996−1009.
- Гребенщикова Е.А., Шерстнев В. В., Кижаев С. С., Яковлев Ю.П./ Письма в ЖТФ. 2008, том 34, вып. 8, стр. 54−58.
- Зегря Г. Г., Михайлова М. П., Данилова Т. Н., Именков А. Н., Моисеев К. Д., Шерстнев В. В., Яковлев Ю.П.//ФТП, 1999, Т. ЗЗ, В. З, С.351−256
- С.С.Кижаев, М. П. Михайлова, С. С. Молчанов, Н. Д. Стоянов, Ю. П. Яковлев Выращивание InAs фотодиодных структур из металлорганических соединений. ПЖТФ, 1998, том 24, выпуск 7.
- Астахова А.П. Перестраиваемые лазеры на основе гетероструктур InAsSb/TnAsSbP работающие в спектральном диапазоне 3−4 мкм.
- S.Kim, M. Erdtmann, D. Wu, E. Kass, H. Yi, J. Diaz, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett., 69(11), 1614 (1996).
- С.С.Кижаев, М. П. Михайлова, С. С. Молчанов, Н. Д. Стоянов, Ю. П. Яковлев, «Выращивание InAs фотодиодных структур из металлорганических соединений», ПЖТФ, 24(7), (1998).