Свойства дефектов и процессы дефектообразования в ионно-имплантированных структурах Si-SiO2
![Диссертация: Свойства дефектов и процессы дефектообразования в ионно-имплантированных структурах Si-SiO2](https://gugn.ru/work/2906265/cover.png)
Предложена модель, позволяющая утверждать, что за полосы ЭЛ 2.7 и 4.4 эВ ответственны дефекты типа двухкоординированного кислородом кремния (02=81:), которые возбуждаются горячими электронами с энергией ^ 5 эВ. Установлено, что ИИ приводит к образованию таких дефектов за счет разрыва двух 81−0 связей в одном кремниевокислородном тетраэдре (при имплантации ионов Аг) и за счет создания… Читать ещё >
Содержание
- 1. ИМПЛАНТАЦИЯ ИОНОВ В ТВЕРДЫЕ ТЕЛА
- 1. 1. ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССА ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
- 1. 2. МЕХАНИЗМЫ ДИССИПАЦИИ ЭНЕРГИИ ПРИ
- ТОРМОЖЕНИИ ИМПЛАНТИРУЕМЫХ ИОНОВ И
- РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ВНЕДРЕННЫХ АТОМОВ ПО
- ГЛУБИНЕ
- 1. 2. 1. Потери энергии имплантируемых ионов на ядерную подсистему
- 1. 2. 2. Потери энергии имплантируемых ионов на электронную подсистему
- 1. 2. 3. Распределение пробегов имплантированных ионов в веществе
- 1. 2. 4. Каналирование и краудионы
- 1. 3. ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ В ИОННО- ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
- 1. 3. 1. Образование дефектов, обусловленное взаимодействием имплантированных ионов с ядерной подсистемой твердого тела
- 1. 3. 2. Образование дефектов, обусловленное взаимодействием имплантированных ионов с электронной подсистемой твердого тела
- 1. 4. ИЗМЕНЕНИЯ СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНИ
- 1. 4. 1. Распыление
- 1. 4. 2. Фазовые переходы и структурные перестройки в подвергнутых имплантации материалах
- 1. 5. ЭФФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ
- 1. 6. ПОСТИМПЛАНТАЦИОННЫЙ ОТЖИГ
- ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1
- 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
- 2. 1. СИСТЕМА ЭЛЕКТРОЛИТ- ДИЭЛЕКТРИК- ПОЛУПРОВОДНИК И ЕЕ ВОЗМОЖНОСТИ ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ПРОЦЕССОВ В СТРУКТУРАХ ЯьвЮа
- 2. 2. МЕТОД ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ В СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРОЛИТ- ДИЭЛЕКТРИК- ПОЛУПРОВОДНИК
- 2. 2. 1. Исследование ионно- имплантированных структур 5г-5г02 люминесцентными методами
- 2. 2. 2. Экспериментальная техника и аппаратура
- 2. 3. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУР ЗьЭЮз В СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРО ЛИТ- ДИЭЛЕКТРИК- ПОЛУПРОВОДНИК
- 2. 4. ИССЛЕДУЕМЫЕ ОБРАЗЦЫ
- 3. ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ИОННО- ИМПЛАНТИРОВАННЫХ СТРУКТУР вьвЮг
- 3. 1. ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ИСХОДНЫХ СТРУКТУР Э^кь в
- СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРОЛИТ-ДИЭЛЕКТРИК- ПОЛУПРОВОДНИК
- 3. 2. ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ СТРУКТУР Б^Юг, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ Аг
- 3. 3. ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ СТРУКТУР, СФОРМИРОВАННЫХ ПО ТЕХНОЛОГИИ ЭШОХ
- 3. 4. ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА ВИД СПЕКТРАЛЬНОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ СТРУКТУР Б^Юз
- 3. 4. 1. Природа дефектов, ответственных за полосу 1.9 эВ в спектрах ионно- имплантированных структур Зг-вЮъ
- 3. 4. 2. Природа дефектов, ответственных за полосы 2.7 и 4−4 эВ в спектрах ионно- имплантированных структур 5г-5г*
- 3. 4. 3. Механизм образования в исходных структурах Бгцентров, ответственных за полосу ЭЛ 2.7 эВ и полосы УФ- области спектра
- 4. 1. изменение зарядового состояния структур 8ь&-02 под действием имплантации ионов Аг и последующих воздействий
- 4. 1. 1. Влияние ионной имплантации на зарядовое состояние структур 5г-5г
- 4. 1. 2. Влияние отжига на зарядовое состояние имплантированных ионами Аг структур 5г-5гс>
- 4. 1. 3. Влияние БУФ- облучения на зарядовое состояние ионно- имплантированных структур 5г-5г
- 4. 2. влияние ионной имплантации и последующих менее энергетичных воздействий на характер протекающих в структурах эьэюг электронных процессов
- 4. 2. 1. Влияние ионной имплантации на характер протекающих в структурах 5г-5г02 электронных процессов
- 4. 2. 2. Влияние ионной имплантации и постимпланта-ционного отжига на характер протекающих в структурах 5г-5г"02 электронных процессов
- 4. 3. электрически активные центры, образующихся вог вследствие ионной имплантации в окисный слой структур вь эюг
- 4. 3. 1. Природа электрически активных центров, образующихся во внешней области 5гОг вследствие ионной имплантации в окисный слой структур 5г-5г
- 4. 3. 2. Электрически активные центры, образующиеся в 5гОг вблизи границы с £г вследствие ионной имплантации в окисный слой структур
- 5. 1. МЕХАНИЗМЫ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В Si02 ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В ОКИСНЫЙ СЛОЙ СТРУКТУР Si-S
- 5. 2. ПРИРОДА ЭЛЕКТРИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ЦЕНТРОВ, ОБРАЗУЮЩИХСЯ В Si02 ВБЛИЗИ ГРАНИЦЫ С Si ВСЛЕДСТВИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В ОКИСНЫЙ СЛОЙ СТРУКТУР Si-S
- 5. 2. 1. Природа электрически активных центров, ответственных за отрицательный заряд в окисле
- 5. 2. 2. Природа электрически активных центров, ответственных за положительный заряд в окисле
- 5. 3. СТРУКТУРНЫЕ ПЕРЕСТРОЙКИ В ОКИСНОМ СЛОЕ ИОННО- ИМПЛАНТИРОВАННЫХ СТРУКТУР Si-S
Свойства дефектов и процессы дефектообразования в ионно-имплантированных структурах Si-SiO2 (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Актуальность темы
.
Структуры вьвЮг и создаваемые на их основе структуры металл-диэлектрикполупроводник (МДП) являются основой элементной базы современной микрои твердотельной электроники. Это обусловлено прежде всего совершенством границы раздела 81−8502, что позволяет создавать структуры с необходимыми параметрами и изготавливать на их основе дискретные приборы и интегральные схемы широкого функционального назначения. В связи с этим изучение свойств структур БьвЮг представляет большой научный и практический интерес.
Эффекты связанные с радиационным воздействием на них изучаются на протяжении многих лет и с различными целями. Один из методов радиационного воздействия — метод ионной имплантации (ИИ) — основан на внедрении (имплантации) в твердое тело ускоренных в электрическом поле ионизированных атомов или молекул [1−3]. При этом в любое твердое тело могут быть имплантированы любые заряженные частицы, вне зависимости от пределов химической растворимости, температуры в процессе имплантации и концентрации материала примеси на поверхности мишени. Концентрация внедренных атомов примеси имеет распределение по глубине, которое в общем случае может быть описано гауссовым распределением [1,3]. Помимо внедрения имплантантов, за счет диссипации энергии ионов при прохождении сквозь тормозящее вещество, в облучаемом твердом теле образуются структурные нарушения [1−4]. Таким образом, в результате ИИ происходит изменение характеристик облучаемых объектов, к которым относятся состав подверженного ИИ материала (за счет внедрения имплантантов), и его структура (за счет диссипации энергии ионов). С помощью ИИ, изменяя параметры облучения и облучаемых объектов, в структурах БьвЮг можно создавать локальные области с заранее заданными свойствами, что находит широкое применение в различных областях науки и техники. С другой стороны, образование электрически активных дефектов в структурах БьЭЮг вследствие ИИ приводит к нежелательному изменению в работе приборов и схем, созданных на основе данных структур. В связи с чем изучение влияния ИИ на структуры БьвЮг представляет интерес в плане прогнозирования поведения приборов и схем в условиях облучения.
Дефекты, образующиеся в структурах БьБЮг вследствие ионного внедрения аналогичны дефектам создающимся при других радиационных воздействиях. Специфика дефектообразования при ИИ заключается в том, что помимо формирования широкого спектра разнообразных нарушений, оно происходит гораздо интенсивнее, чем при воздействии любого другого вида радиации, так как при ионной бомбардировке доминируют потери энергии, обусловленные упругими соударениями с ядрами или атомами тормозящего вещества. При этом необходимо понимать каким именно образом изменяется структура ЭЮг в результате ИИ, какие типы дефектов возникают, и какие температурные обработки необходимо использовать для восстановления подверженной данному воздействию структуре. Несмотря на многочисленные исследования ионноимплантированных структур БьБЮг с использованием разнообразных методик, остается много не ясных вопросов о свойствах, природе и механизмах образования таких дефектов.
Актуальность настоящей работы, включающей в себя исследование ионноимплантированных структур БьБЮг, заключается в том, что она выполнена совместно методами основанными на измерении высокочастотных вольтфарадных характеристик (ВЧ ВФХ) и методом электролюминесценции (ЭЛ). Это позволило не только выяснить природу, свойства и пространственное распределение как электрически активных, таки электрически неактивных (люминесцентных) центров, образующихся в результате ИИ в структурах 81−8102, но и установить их связь с механизмами дефектообразования.
Цель работы.
Цель данной работы заключалась в установлении связи природы, свойств и механизмов формирования дефектов, образующихся в структурах 81−8102 в результате ИИ. Реализация данной цели предполагала решение следующих задач:
1. Изучение свойств центров люминесценции и механизмов их образования в ионноимплантированных структурах БьЭЮг методом ЭЛ в системе электролитдиэлектрикполупроводник (ЭДП). Выявление зависимости их концентрации от дозы имплантации, температуры постимплантационного быстрого термического отжига (БТО) и облучения светом из области ближнего ультрафиолета (БУФоблучение).
2. Изучение электрофизических свойств ионноимплантированных структур ЭьвЮг (в системе ЭДП). Выявление зависимости концентрации электрически активных дефектов от дозы имплантации, температуры БТО и воздействия БУФсветом.
3. Исследование влияния дефектов, образующихся в ионноимплантированных структурах БьЭЮг, на характер протекающих в них электронных процессов.
4. Разработка модели дефектообразования в результате ИИ в структурах ЭьЭЮг.
Научная новизна работы.
В данной работе:
1. Впервые совместно методами ЭЛ и методами основанными на измерении ВЧ ВФХ исследовано влияние ионной имплантации и последующих менее энергетичных воздействий на электрофизические свойства структур вьЭЮг. Выявлено влияние дефектов, образующихся в ионноимплантированных структурах 81−8Ю2, на характер протекающих в них электронных процессов.
2. Показано, что в диапазоне 250−800 нм спектры ЭЛ структур вьвЮг, имплантированных ионами Аг, содержат три характеристические полосы излучения: 1.9, 2.7 и 4.4 эВ, а спектры ЭЛ структур БьвЮг, сформированных по технологии БШОХ — две: 2.7 и 4.4 эВ. Получены зависимости интенсивностей названных полос ЭЛ от дозы имплантации, температуры постимплантационного быстрого термического отжига (ВТО) и облучения светом из области ближнего ультрафиолета (БУФоблучение) (в случае структур имплантированных ионами Аг), и от толщины маскирующего окисного слоя, выращенного на кремнии до начала имплантации ионов О (в случае формирования ЭШОХструктур). Определены пространственные распределения центров, ответственных за данные полосы ЭЛ, в окисном слое имплантированных структур.
3. Установлено, что имплантация ионов Аг приводит к увеличению концентрации электронных ловушек во внешнем окисном слое структур 8ь8Ю2 и плотности поверхностных состояний (ПС) на межфазовой границе (МФГ) Э^ЭЮг, к образованию в окисном слое вблизи границы с как центров, ответственных за положительный заряд, так и центров, ответственных за отрицательный заряд и являющихся дырочными ловушками, заполняемыми в электрическом поле. Получены зависимости величин этих зарядов, концентраций ловушек и плотности ПС от дозы имплантации, температуры ВТО и БУФоблучения.
4. Обнаружен и исследован эффект перезарядки при облучении БУФсветом амфотерных центров в окисном слое структур ЗД-ЗЮэ, образующихся вследствие ИИ в положительно заряженном состоянии.
5. Предложена модель, объясняющая природу и пространственное расположение образующихся вследствие ИИ в окисном слое структур БьЗЮг дефектов. Согласно этой модели, природа этих дефектов тесно связала с особенностями процессов дефектообразования при ИИ, в частности, с формированием в результате таких процессов в окисле пространственно разделенных нестехиометрических слоев Э1МОХ сж>2иж<2.
Практическая ценность работы.
1. Обнаруженный в данной работе эффект перезаряжения при БУФ-облучении образованных вследствие ЙИ положительно заряженных центров может быть использован при разработке датчиков для регистрации БУФоблучения на основе ионноимплантированных структур Зг-ЭЮа, а также для выделения областей ЭЮ2, подвергнутых ИИ.
2. Выявлена нестабильность в электрических полях зарядового состояния ионноимплантированных структур БьвЮг, связанная с тем, что образующиеся в БЮг вблизи границы с в результате ИИ центры, ответственные за отрицательный заряд, являются дырочными ловушками, заполняемыми в электрическом поле.
3. С помощью метода ЭЛ установлено отсутствие силанольных групп в окисном слое структур вьвЮг, сформированных по технологии БШОХ.
На защиту выносятся:
1. Закономерности образования и трансформации электрически активных и электрически неактивных (люминесцентных) центров в структурах Si-SiC>2 вследствие ионной имплантации и последующих воздействий (таких как, постимплантационный отжиг, облучение светом из области ближнего ультрафиолета с hi/ = 4 — 6 эВ, воздействие электрическим полем).
2. Способ выделения участков исследуемых образцов, подверженных ионной имплантации, путем БУФоблучения и способ регистрации излучения в области ближнего ультрафиолета с помощью заряжения структур, подверженных ИИ.
3. Модельные представления о природе, пространственном распределении дефектов и механизмах их образования, в структурах Si-Si02 под воздействием ионной имплантации, позволяющие объяснить совокупность полученных экспериментальных результатов.
Апробация работы.
Результаты работы докладывались на VI Международной Школе Физики Юнеско «Condensed Matter and Materials Physics» (Санкт-Петербург, 1996) и на Международной Конференции «Лиэ лектрики-97» (Санкт-Петербург, 1997). По материалам диссертации опубликовано 5 научных работ.
Структура и содержание работы.
Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов и списка литературы и содержит 165 страниц машинописного текста, 8 таблиц, 58 рисунков и 232 библиографические ссылки.
в ыв о ды.
1. Методом ЭЛ в системе ЭДП показано, что спектральное распределение ЭЛ структур 81−8Ю2, имплантированных ионами Аг, содержит характеристические полосы излучения с энергиями 1.9, 2.7 и 4.4 эВ, описываемые гауссовыми распределениями. Получены зависимости вида спектрального распределения Э Л от дозы имплантации, плотности тока ионов, температуры БТО и толщины окисного слоя. Изучено влияние электрического поля и БУФоблучения на вид спектрального распределения.
2. Методом ЭЛ в системе ЭДП показано, что спектральное распределение ЭЛ стрз^ктур ЭьвЮг, сформированных по технологии ЭШОХ, содержит характеристические полосы свечения с энергиями 2.7 и 4.4 эВ, описываемые гауссовыми распределениями. Отмечено полное отсутствие полосы ЭЛ 1.9 эВ. Получены зависимости вида спектрального распределения ЭЛ от толщины маскирующего окисного слоя выращенного на кремнии перед формированием ЭШОХструктур.
3. С помощью электрофизических методов, основанных на измерении ВЧ ВФХ в системе ЭДП, установлено, что ИИ в окисный слой структур 8ь8Ю2 приводит к увеличению отрицательного заряда во внешнем слое окисла и к увеличению плотности ПС в запрещенной зоне кремния на МФГ 81/8Ю2. В случае структур 81−8Ю2(250нм) ИИ приводит к образованию в ЭЮ2 вблизи границы с двух зарядов разного знака (отрицательного ближе к границе с 81), а в случае структур 81−8Ю2(90нм) — одного положительного заряда. Получены зависимости величин выделяемых зарядов и плотности ПС от дозы имплантации и температуры БТО. Изучено влияние электрического поля на зарядовое состояние ионноимплантированных структур 81−8Ю2. Установлено, что ИИ приводит к увеличению концентрации электронных ловушек во внешнем слое ¡-ЗЮ2 и к образованию в окисном слое структур 8ь8Ю2(250нм) вблизи границы с Э! дырочных ловушек, заполняемых в электрическом поле. Изучено влияние БУФоблучения на зарядовое состояние ионноимплантированных структур Э1−8Ю2. Установлено, что БУФоблучение ионноимплантированных структур приводит к образованию в окисном слое вблизи границы с Э1 отрицательного заряда.
4. Подтверждена связь полосы ЭЛ 1.9 эВ и электронных ловушек во внешнем окисном слое с наличием в 8Ю2 водородосодержащих комплексов (в частности, силанольных групп). ИИ приводит к увеличению, а постимплантационные БТО, БУФоблучение — к уменьшению концентрации таких комплексов во внешнем слое 8Ю2. Полевое воздействие и уменьшение плотности тока ионов Аг в процессе имплантации приводит к уменьшению содержания силанольных групп. Отсутствие полосы ЭЛ 1.9 эВ в спектрах структур 81−8Ю2, вьшолненных по технологии ЭГМОХ, свидетельствует о невозможности проникновения ионов водорода и водородосодержащих комплексов в 81 в область формирования слоя 8Ю2 при данном способе создания структур.
5. Предложена модель, позволяющая утверждать, что за полосы ЭЛ 2.7 и 4.4 эВ ответственны дефекты типа двухкоординированного кислородом кремния (02=81:), которые возбуждаются горячими электронами с энергией ^ 5 эВ. Установлено, что ИИ приводит к образованию таких дефектов за счет разрыва двух 81−0 связей в одном кремниевокислородном тетраэдре (при имплантации ионов Аг) и за счет создания микрокристаллических кремниевых вкраплений в 8Ю2 (при формировании 81МОХструктур). Показано, что с увеличением дозы имплантации ионов Аг в структуры ЭьЭЮг на начальном этапе происходит рост концентрации дефектов типа 02=Э1, который сменяется ее уменьшением и новым увеличением. Немонотонный характер такой зависимости можно объяснить структурными перестройками, происходящими в окисном слое. Постимплантационные ВТО, БУФ-облучение и полевое воздействие приводят к уменьшению содержания центров свечения, ответственных за полосы ЭЛ 2.7 и 4.4 эВ. При имплантации ионов О в 81 (при формировании вШОХструктур) через маскирзпющий окисный слой в сформированном 8Ю2 существенно уменьшается содержание дефектов типа 02=8к. б. Предложена модель образования дефектов в структурах вьЭЮг при ИИ, связанная с изменением свойств окисного слоя:
— с нарушением внешнего окисного слоя приводящим к увеличению содержания и области локализации в 8Ю2 водородосодержащих комплексов;
— с образованием (в случае структур 81−8Ю2(250нм), имплантированных ионами Аг с энергией 130 кэВ) двух пространственно разделенных слоев ЭЮх, с х < 2 — на расстоянии примерно 30−140 нм от границы с в!, и с х > 2 — ближе к границе с 81;
— с изменением концентрации оборванных связей на МФГ 8!/8Ю2, выступающих в роли поверхностных состояний.
В рамках данной модели, за положительный заряд в 8Ю2, созданный вследствие ИИ, и отрицательный, образующийся при БУФоблучении, ответственны дефекты типа 03 =Бг (либо типа кислородной вакансии). При увеличении дозы ИИ концентрация таких дефектов растет и выходит на насыщение. БТО с увеличением температуры (вплоть до 900°С) приводит к уменьшению их концентрации. За отрицательный заряд и дырочные ловушки в Э102 вблизи границы с Э1, образованные вследствие ИИ в окисный слой структур 81−8Ю2(250нм), ответственны дефекты типа Оз =81−0'. Концентрация таких дефектов с увеличением дозы имплантации увеличивается, а с увеличением температуры БТО (вплоть до 900°С) — уменьшается.
Список литературы
- Риссел Х-, Руге И., Ионная имплантация, М: Наука, 1983, 360с.
- Сборник статей под редакцией Вавилова B.C., Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы, М: Мир, 1980, 332с,
- Коморов Ф.Ф., Новиков А. П. и др., Дефекты структуры в ионноимп лантиро ванном кремнии, Минск: Университетское, 1990, 320с.
- Эла.нго М.А., Элементарные неупругие радиационные процессы, М:11аука, 1988, 152с.
- E.P.EerNisse and C.B.Norrie, Introduction rates and annealing of defects in ion-implanted Si02 layers on Si// Journal of Applied Physics, Vol.45, 1974, pp.5196−5205.
- Кумахов M.А., Комаров Ф. Ф., Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах, Минск: Изд-во БГУ, 1979, 319с.
- Беграмбеков Л.Б., Разрушение поверхности твердых тел при ионном и плазменном облучении, М.:МИФИ, 1987, 77с.
- Ковальский Г. А., Эмиссионные явления при взаимодействии ионов и атомов с поверхностью твердого тела, М.:МИРЭА, 1993, 51с.
- Под ред. Р. Бериша, Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, М.:Мир, 1984, 1 т.- 336с., 2 т.- 488с.
- Плетнев В.В., Современное состояние теории физического распыления неупорядоченных материалов// Итоги науки и техники, Пучки заряженных частиц и твердое тело, М.:ВИНИТИ, 1991, т.5, стр.4−62.
- Беграмбеков Л.Б., Эрозия и трансформация поверхности при ионной бомбардировке// Итоги науки и техники, Пучки заряженных частиц и твердое тело, М.?ВИНИТИ, 1993, т.7, стр.4−53.
- Мартыненко Ю.В., Эффекты дальнодействия при ионной имплантации// Итоги науки и техники, Пучки заряженных частиц и твердое тело, М.:ВИНИТИ, 1993, т.7, стр.82−112.
- Силинь А.Р., Трухин А. Н., Точечные дефекты и элементарные возбуждения в кристаллическом и стеклообразном Si02, Рига:"Зинатне", 1985, 244с.
- Диденко П.И., Исследование межфазных границ в системах МДП методом масс-спектрометрии вторичных ионов: Диссер. на соиск. уч. степ, кандидата физ.-мат. наук, Киев, 1982, 225с.
- Посудиевский А.Ю., Топология атомной структуры и ее влияние на физические свойства тонкопленочных диоксида и нитрида кремния: Диссер. на соиск. уч. степ, кандидата физ.-мат. наук, Киев, 1983, 206с.
- Ефремов A.A., Исследование структурных особенностей кремний-кислородных пленок методом масс-спектрометрии вторичных ионов: Диссер. на соиск. уч. степ, кандидата физ.-мат. наук, Киев, 1990, 224с.
- Аброян И.А., Андронов А. Н., Титов А. И., Физические основы электронной и ионной технологии, М.:Высш.шк., 1984, 320с.
- Оцуки Еси-Хико, Взаимодействие заряженных частиц с твердыми телами, М.:Мир, 1985, 277с.
- Лейман К., Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов, М.:Атомиздат, 1979, 296с.
- Плещев В.Г., Основы радиационной физики твердого тела: Уч. пособие, Свердловск: УрГУ, 1989, 80с.
- Семенихин А.Н., Образование радиационных дефектов в твердых телах: Уч. пособие, М.:МИФИ, 1987, 63.
- Варбашев С.В., Оценка изменения состава поверхности ЩКГ под действием ионной бомбардировки// в кн. Вторичная ионная и ионно- фотонная эмиссия тез. докл,. Харьков, 1988, 2ч., стр.55−57.
- Эльтеков В.А., Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Компьютерное моделирование., М.:Изд-во МГУ, 1993, 150с.
- Bach Н., Determination of bond energy of silica glass by means of ion sputtering investigations// Nucl. Instrum. Methods, 1970, v.84, N 4, pp.4−12.
- Аброян И.А., Физические основы ионного внедрения и изменения свойств поверхности// Известия АН СССР, серия физическая, 1996, т.60, N 7, стр.62−81.
- Литовченко В.Г., Попов В. Г., Физика поверхности и микроэлектроника, М.:Знание, 1990, 64с.
- Линник С.П., Юрасова В. Е., Распыление двухкомпанентных соединений и сплавов// Диагностика поверхности ионными пучками. Всес.совещ.-семинар, Донецк, 1980, стр. 153−162.
- Акимченко И.П., Галкин В. В., Изменение оптических и химических свойств окислов кремния и германия в результате структурных превращений, вызванных ионной бомбардировкой// Микроэлектроника, 1973, т.2, вып.2, стр.166−172.
- Вавилов B.C., Киселев В. Ф., Мукашев Б. Н., Дефектыв кремнии и на его поверхности, М.:На.ука, 1990, 216с.
- Бреховских С.М., Викторова Ю. Н., Ланда Л. М., Радиационные эффекты в стеклах, М.:Энергоиздат, 1982, 183с.
- Бреховских С.М., Тюльнин В. А., Радиационные центры в неорганических стеклах, М.:Энергоатомиздат, 1988, 200с.
- Першенков B.C., Попов В. Д., Шальнов A.B., Поверхностные радиационные эффекты в ИМС, М.:Энергоатомиздат, 1988, 256с.
- Алешина Л. А., Репникова Е. А., Структура аморфных материалов и природа дефектов в них, Петрозаводск, 1995, 112с.
- Revezs A.G., The defects structure of vitreous SIO2 films on silicone// Physica Status Solidi, 1980, v. A58, N1, pp.107−115.
- Вавилов B.C., Киселев В. Ф., Мукашев Б. Н., Дефекты в кремнии и на его поверхности, М.:Наука, 1990, 214с.
- Эдельман Ф.Л., Структура компонентов БИС, Новосибирск:Наука, 1980, 256с.
- Беграмбеков Л.Б., Распыление и объемная трансформация многокомпанент-ных материалов при высоких температурах// в кн. Труды 12-ой Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью», М., 1995, т.2, стр.170−173.
- Романова Г. Ф., Марченко Р. И., Физико- химические процессы в системах ДП (Si-Si02), обусловленные поведением водорода и водородосодерясащих комплексов// Полупроводниковая Техника и Микроэлектроника, 1980, N3, стр.84−94.
- Аброян И. А., Дубро В. В. и др., Изменение электропроводности приповерхностных слоев Si при травлении ионами// Электронная техника, сер.2, 1981, N4, стр.36−40.
- Павлов П.В., Попов Ю. С., Тетельбаум Д. И. и др., Определение толщины нарушенного слоя и распределения дефектов при бомбардировке кремния ионами средних энергий, В кн.: Физические основы ионно-лучевого легирования, Горький: Изд. ГГУ, 1972, стр.68−74.
- Пантелеев В.А., Черняховский В. В., Ершов С. Н., Влияние глубокой миграции радиационных дефектов на экзоэмиссию с кремния// ФТТ, 1974, т. 16, вып.7, стр.2151−2153.
- Борисенко В.Е., Ершов С. Н. и др., Эффект дальнодействия при облучении кремния низкоэнергетическими ионами// Письма в ЖТФ, 1982, N8, стр.559−561.
- Павлов II.В., Пасиков П. И. и др., Изменение дислокационной структуры кремния при облучении ионами средних энергий// ФТП, 1973, N15, стр.2857−2859.
- Пантелеев В, А, Ершов С. Н, и др., Определение энергии миграции вакансий и собственных междоузельных атомов в кремнии в интервале температур 400−600 К// Письма в ЖЭТФ, 1976, вып.23, стр.688−690.
- Успенская Г. И., ГенкинВ.М., Тетельбаум Д. И., Изменение межплоскостных расстояний в глубоких слоях кремния при бомбардировке ионами средних энергий// Кристаллография, 1973, стр.363−365.
- Хмелевская B.C., Соловьев С. П., Малынкин В. Г., Новое структурное состояние в металлических системах, индуцированное ионным облучением// Итоги науки и техники, Пучки заряженных частиц и твердое тело, 1990, т.2, стр.151−193.
- Быков В.Н., Здоровцев Г. Г. и др., Радиационные нарушения в монокристаллах молибдена при ионном облучении// Кристаллография, 1977, N22, стр.138−143.
- Gardner Е.Е., Schwuttke G.H., De Angelis H.M., Nitrogen and boron bombardment of single-crystal silicon// Bulletin of the American Physical Society, 1967, Ser.2, v. 12, No.8, pp.1119−1120.
- Морозов H.П., Тетельбаум Д. И., Глубокое проникновение радиационных дефектов из ионно-имплантированного слоя в объем полупроводника// ФТП, 1983, т. 17, в.5, стр.838−842.
- Мартыненко Ю.В., Московии П. Г., Ускорение диффузии ионноимплантиро-ванной примеси при больших дозах// ЖТФ, 1991, т.61, в.1, стр.179−180.
- Диденко А.П., Козлов Э. В. и др., Дислокационные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации// Поверхность. Ф., х., м., 1989, N3, стр.120−132.
- Mader S., Michel А.Е., Residual lattice damage in As-implanted and annealed Si// The Journal of Vacuum Science and Technology, 1976, v.13, N1, pp.391−395.
- Жуков В.П., Демидов А. В., Расчет пиков смещения в приближении сплошной среды// Атомная энергия, 1985, т.59, в.1, стр.29−33.
- Жуков В.П., Болдин А. А., Генерация упругих волн при эволюции пиков смещения// Атомная энергия, 1987, т.63, в.6, стр.375−379.
- Бородин С.Н., Крейндель Ю. В. и др., Нетепловые фазовые превращения и эффекты дальнодействия при облучении сплавов ускоренными ионами// Письма в ЖТФ, 1989, т.15, в.17, стр.51−55.
- Павлов П.В., Семин Ю. А. и др., Влияние упругих волн, возникающих при ионной бомбардировке, на структурное совершенство полупроводниковых кристаллов// ФТП, 1986, т.20, в. З, стр.503−507.
- Семин Ю.А., Скупов В. Д., Тетельбаум Д. И., Усиление генерируемых ионной бомбардировкой упругих волн при распределении в кристалле с кластерами дефектов// Письма в ЖТФ, 1988, т.14, в. З, стр.273−276.
- Скупов В. Д., Тетельбаум Д. И., О влиянии упругих напряжений на трансформацию скоплений дефектов в полупроводниках// ФТП, 1987, т.21, в.8, стр. 1495−1497.
- Мартыненко Ю.В., Московкин П. Г., Эффект дальнодействия и перенос энергии в твердых телах при ионной бомбардировке// Письма в ЖТФ, 1996, т.22, в.17, стр.54−58.
- Литовченко В.Г., Романова Г. Ф., Марченко Р. И., Применение метода МС-ВИ для исследования тонких слоев металлов, полупроводников и диэлектриков// Диагностика поверхности ионными пучками. Всесоюзное совещание семинар, Донецк, 1980, стр. 139−149.
- Dominguez С., Garrido В., Morante J.R., et.al., Etching rate modification in silicon oxide by ion implantation and rapid thermal annealing// Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 1993, B80/81, pp.1367−1370.
- Garido В., Samitier J., Morante J.R., et.al., Configurational statistical model for the damaged structure of silicon oxide after ion implantation// Physical Review В., 1994, v.49, N21, pp, 14 845−14 849,
- Garido В., Samitier J., Bota S., et.al., Structural damage and defects created in Si02 films by Ar ion implantation// Journal of Non-Crystalline Solids, 1995, v.187, pp.101−105.
- Мартыненко Ю.М., Распыление и изменение поверхности под действием ионной бомбардировки// Известия РАН, Сер. физическая, 1996, т.60, в.7, стр.20−43.
- Силинь А.Р., Действие ультрафиолетового излучения на оптические и спектроскопические характеристики стеклообразного диоксида кремния// В кн. «Тезисы докладов VII Всес. симп. по оптическим и спектральным свойствам стекол», 1989, Л.:ГОИ, стр.270−271.
- Овчаров А.Т., Киселев В. Г., Легостаев В. Н., Фотоиндуцированное образование дефектов в кварцевом стекле// В кн. «Тезисы докладов VII Всес. симп. по оптическим и спектральным свойствам стекол», 1989, Л.:ГОЙ, стр.272−273.
- Герасименко Н.Н., Мордкович В. Н., Радиационные эффекты в системе полупроводник диэлектрик// Поверхность.Ф., х., м., 1987, в.6, стр.5−19.
- Амосов А.В., Бушмарин Д. Б. и др., Исследование влияния нейтронного облучения на спектральные характеристики кварцевых стекол// В кн. «Тезисы III Всесоюзной научно-технической конференции по кварцевому стеклу», М.: ВНИИ-ЭСМ, 1973, стр.15−16.
- Александров Л.Н., Кинетика кристаллизации и перекристаллизации полупроводниковых пленок// Новосибирск: Наука, 1985, 224с.
- Архипов В.И., Руденко А. И., Динамика неравновесной проводимости диэлектриков с конролируемыми инжекцией поляризационными свойствами// В кн. «Влияние ионизирующих излучений на свойства диэлектриков и полупроводников», М.: Атомиздат, 1979, стр.41−48.
- Nishimura Т., Aritone H., et al, Optical Waveguides Fabricated by В Ion Implanted into Fused Quartz"// Japan. J. Appl. Phys., 1974, v.13, No.8, pp.1317−1318.
- Afanas’ev V.V., Stesmans A., Twigg M.E., Epitaxial growth of Si02 produced in silicon by oxygen ion implantation// Phys. Rev. Lett., 1996, v.77, N 20, pp.4206−4209.
- Afanas’ev V.V., Stesmans A., Revesz A.G., Structural inhomogeneity and silicon enrichment of buried Si02 layers formed by oxygen ion implantation in silicon// J. Appl. Phys., 1997, v.82, N 5, pp.2184−2199.
- Devine R.A.B., Leray J.L., Margail J., Ultraviolet radiation induced defect creation in buried Si02 layers// Appl. Phys. Lett., 1991, v.59, N 18, pp.2275−2277.
- Stoemenos J., Margail J., et al., Si02 buried layer formation by subcritical dose oxygen ion implantation// Appl. Phys. Lett., 1986, v.48, N 21, pp.1470−1472.
- McMarr P.J., Mrstik B.J., et al., A study of Si implanted with oxygen using spectroscopic ellipsometry// J. Appl. Phys., 1990, v.67, N 12, pp.7211−7222.
- Stahlbush R.E., Campisi G.J., et al, Electron and hole trapping in irradiated SIMOX, ZMR and BESOI buried oxides// IEEE Trans. Nucl. Sci., 1992, NS-39, pp.2086−2097.
- Stoemenos J., Garcia A., et al, Silicon on insulator obtained by high dose oxygen implantation, microstructure, and formation mehanism// J. Electrochem. Soc., 1995, v.142, N 4, pp. 1248−1260.
- Vanheusden K., Stesmans A., Afanas’ev V.V., Combined electron spin resonance and capacitance-voltage analysis of hydrogen-annealing induced positive carge in buried SiO^// J.Appl.Phys., 1995, v.77, N 6, pp.2419−2424.
- Скуя Л.Н., Стрелецкий А. Н., Пакович А. Б., Спектроскопические свойства двухкоординированных атомов кремния в стеклообразном диоксиде кремния// Физика. и химия стекла, т, 14, N4, стр, 481−489,
- Warren W.L., Fleetwood D.M., et aL, Excess Si related defect centers in buried Si02 thin filmв// Appl.Phys.Lett, 1993, v.62, pp.3330−3332.
- Bender H., Chen W.D., et al., AES and XPS analysis of the interaction of Ti with Si and Si02 during RTA// Appl. Surf. Sci., 1989, v.38, pp.37−47.
- Сафаров А.С., Арсламбеков В. А., Импульсные и термические воздействия на поверхности Si и SiC)2// В кн. Труды 12-ой Межд. конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью», 1995, т.2, стр.322−324.
- Choi Won Chel, Lee Min-Suk, et al., Visible luminescences from thermally grown silicon dioxide thin films// Appl. Phys. Lett., 1996, v.69, N 22, pp.3402−3404.
- Вихрев Б.И., Герасименко Н.Н."Лебедев Г. П., Исследование радиационных структурных нарушений в пленках Si02 методом ЭПР// Микроэлектроника, 1977, т. б, вып. 1, стр.71−74.
- Snow Е.Н., Grove A.S., Fitzgerald D.F., Effects of Ionizing Radiation on Oxidized Silicon Surfaces and Planar Devices// Proc. of the IEEE, 1967, v.55, N7, pp.1168−1185.
- Гуртов В.А., Радиационные процессы в структурах Металл- Диэлектрик-Полупроводник// Петрозаводск, 1988, 96с.
- Вавилов В.А., Кив А.Е., Ниязова О. Р., Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках, М.: Наука, 1981, 386с.
- Боев С.Г., Ушаков В. Я., Радиационное накопление заряда в твердых диэлектриках и методы его диагностики, М.: Энергоатомиздат, 1991, 238с.
- Hiraiwa A., Usui Н., Yagi К., Novel characterization of implant damage in Si02 by nuclear-deposited energy// Appl. Phys. Lett., 1989, v.54, N 12, pp.1106−1108.
- Герасименко Н.Н., Иванченко В. А., Лебедев Г. П., Ликвация и кристаллизация в пленках окисла кремния, стимулированные облучением и термообработкой// Изв. АН СССР, сер. Неорганические материалы, 1978, т.14, N 4, стр.691−696.
- Лысенко B.C., Назаров А. Н., Радиационные дефекты в приповерхностном слое окисленного кремния, имплантированного ионами различных химических примесей// Поверхность. Ф., х., м., 1982, N5, стр.81−88.
- Afanas’ev V.V., de Nijs J.M.M., Balk P., Elimination of hydrogen-related instabilities in Si/Si02 structures by fluorine implantation// J.Appl.Phys., 1994, 76, N12, pp.7990−7997.
- Карацюба А, П., Ионная имплантация в технологии кремниевых приборов и интегральных схем// Зарубежная электронная техника, 1978, т.18, стр.3−77.
- Емельянов A.M., Голубев В. В. и др., Особенности структуры термических пленок Si02 на кремнии, проявляющиеся при исследовании связанных с водой ловушек для электронов// Поверхность.Ф., х., м., 1988, в.2, стр.77−81.
- Емельянов A.M., Ловушки для электронов в термических пленках Si02 на кремнии// Микроэлектроника, 1986, т.15, в.5, стр.434−442.
- Eer Nisse Е.Р., Stress in thermal Si02 during growth// Appl.Phys.Lett., 1979, v.35, N1, pp.8−10.
- Ладыгин E.A., Горюнов H.H. и др., Исследование зарядовых эффектов в МДП структурах при облучении методом подпороговых ВАХ// Петербургский журнал электроники, 1996, 4(13), стр.22−26.
- Крылов Л.Г., Ладыгин Е. А., Галеев А. П., Модель радиационного накопления в системе кремний-оксид кремния// ФТП, 1992, т.26, в.7, стр.1347−1351
- Devine R.A.B., Structural nature of the Si/Si02 interfase through infrared spectroskopy// Appl. Phys. Lett., 1996, 68, N22, pp.3108−3110.
- Емельянов A.M., Голубев В. В., Влияние отжига в водороде и ионизирующей радиации на электрофизические параметры границы Si-Si02: эксперимент имодели// ФТП, 1994, т.28, в.12, стр.2086−2095.
- Вологдин Э.Н., Жукова Г. А., Мордкович В. Н., Облучение кремния, покрытого окисной пленкой, заряженными частицами низких энергий// ФТП, 1972, т, 6, N7, стр.1306−1310.
- Попов В.Д., Ройзин Н. М., Роль ионизации в образовании поверхностных состояний на границе раздела диэлектрик- полупроводник// Микроэлектроника, 1973, т.11, в.6, стр.552−556.
- Cartier E., Stathis J.H., Hot-electron induced passivation of silicon dangling bonds at the Si (lll)/Si02 interface// Appl. Phys. Lett., 1996, 69, N1, pp.103−105.
- Вовк O.B., Лелеченко В. П. и др., Влияние термообработки на параметры границы раздела структур Si-Si02 после радиационных воздействий// ФТП, 1993, т.27, в.8, стр.1349−1353.
- Вологдин Э.Н., Жукова Г. А., Мордкович В. Н., Радиационные повреждения в приповерхностных слоях кремния// ФТП, 1973, т.7, стр.835−836.
- Meishoku Koh, Bungo Shigeta et. al, Quantitative analysis of radiation induced Si/Si02 interface defects by means of MeV He single ion irradiation// Appl. Phys. Lett., 1996, 68, N11, pp.1552−1554.
- Devine R.A.B., A stady of Ar implantation induced defects in Si02// Nucl.Inst.Meth., 1983, v.209/210, pp.1201−1206.
- Аббасова P.У., Боброва E.A. и др., Определение глубоких уровней в кремнии, обусловленных имплантацией аргона, методом вольтфарадных характеристик// ФТП, 1981, т.15, N 3, стр.448−452.
- Devine R.A.B., Golanski A., Creation and annealing kinetics of magnetic oxygen vacancy centers in SiO2// J. Appl. Phys., 1983, v.54, N 7, pp.3833−3838.
- Liao L.-S., Bao X.-M., et al., Blue luminescence from Si± implanted Si02 films thermally grown on crystalline silicon// Appl. Phys. Lett, 1996, v.68, N 6, pp.850−852.
- Fang Frank F., Rupprecht Hans S., High performance MOS integrated circuit using the ion implantation technique// IEEE J. of Solid-State Circuits, 1975, v.10, N4, pp.205−211.
- Devine R.A.B., The structure of Si02> its defects and radiation hardness// IEEE Trans. Nucl. Sci., 1994, NS-41, N 3, pp.452−459.
- DiMaria D.J., Weinberg Z.A., Aitken J.M., Location of positive charges in Si02 films on Si generated by VUV photons, X rays, and high-field stressing// J. Appl. Phys., 1977, v.48, N3, pp.898−906.
- Sah C.T., Origin of interface states and oxide charges generated by ionizing radiation// IEEE Trans. Nucl. Sci., 1976, NS-23, N6, pp.1563−1568.
- Boesch H.E., McGarrity Jr. and J.M., Chage yield and dose effects in MOS capacitors at 80 K// IEEE Trans. Nucl. Sci., 1976, NS-23, N6, pp.1520−1525.
- Lenahan P.M., Dressendorfer P.V., Hole traps and trivalent silicon centers in metal/oxide/silicon devices// J. Appl. Phys., 1984, v.55, N10, pp.3495−3499.
- Барабан А.П., Булавинов В. В., Коноров П. П., Электроника слоев Si02 на кремнии, JL: Изд-во ЛГУ, 1988, 304с.
- Зимин В.Н., Мингазин Т. А. и др., Образование заряда в диэлектрике МДП структуры при воздействии различных видов радиации// Электронная техника. Микроэлектроника., 1972, в.2, стр.21−23.
- Holmes-Siedle A.G., Zaininger К.A., Designing MOS sistems for radiation environments// Solid State Technology, 1969, v.12, N5, pp.40−44.
- Cartier E., Stathis J.H., Hot-electron induced passivation of silicon dangling bonds at the Si (lll)/Si02 interface// Appl. Phys. Lett., 1996, v.69, N1, pp.103−105.
- Lai S.К., Young D.R., et al., Effects of avalanche injection of electrons into silicon dioxide-generation of fast and slow interface states// J. Appl. Phys., 1981, v.52, N10, pp.62 316 240,
- Feigi F.J., DiMaria D.J., et al, The effects of water on oxide and interface trapped charge generation in themal Si02 films// J. Appl. Phys., 1981, v.52, N9, pp.5665−5682.
- Mitchell J.P., Radiation-induced space-charge buildupin MOS structures// IEEE Trans. Electron Devices, 1967, v.14, Nil, pp, 764−774.
- Saks N.S., Ancona M.G., et al., Generation of interface states by ionizing radiation in very thin MOS oxides// IEEE Trans. Nucl. Sei., 1986, NS-33, N6, pp.1185−1190.
- Stesmans A., Afanas’ev V.V., Annealing induced degradation of thermal Si02: S center generation// Appl. Phys. Lett., 1996, v.69, N14, pp.2056−2058.
- Balk P., Klein N., Generation of interface states in MOS systems// Thin Solid Films, 1982, v.89, N4, pp.329−338.
- Boesch H.E.Jr., McLean F.B., et al., Saturation of threshold voltage shift in MOSFE’s at total dose// IEEE Trans. Nucl. Sei., 1986, v.33, N 6, pp.1191−1197.
- Warren W.L., Shaneyfelt M.R., et al., Microscopic nature of border traps in MOS oxides// IEEE Trans. Nucl. Sei., 1994, NS-41, N6, pp.1817−1827.
- Freitag R.K., Brown D.B., Dosier С.M., Evidence for two types of radiation -induced trapped positive charge// IEEE Trans. Nucl. Sei., 1994, NS-41, N6, pp.1828−1834.
- Scharf S., Schmidt M., et al., Comparison of the generation of interface states in MOS structures due to 60Co and VUV irradiation accompanied with photoinjection of electrons // IEEE Trans. Nucl. Sei., 1994, NS-41, N 3, pp.460−465.
- Lenahan P.M., Dressendorfer P.V., Paramagnetic trivalent silicon centers in gamma-irradiated metal-oxide-silicon structures// Appl. Phys. Lett., 1984, v.44, pp.96−98.
- Feigi F.J., Fowler W.B., Yip K.L., Oxygen vacancy model for the E? center in Si02// Solid State Commun., 1974, v. 14, pp.225−229.
- Yokogawa K., Yajimi Y., et al., Positive charges and E' centers formed by vacuum ultraviolet radiation in Si02 grown on Si// Jpn. J. Appl. Phys., 1990, v.29, pp.2265−2268.
- Devine R.A.B., Radiation induced strucural changes in amorphous Si02: I. Point defects// Jpn. J. Appl. Phys., 1992, v.31, pp.4411−4421.
- Paillet P., Herve D., et al., Effect of high temperature processing of Si/Si02/Si structures on their response to X-irradiation// Appl. Phys. Lett., 1993, v.63, pp.2088−2090.
- Griscom D.L., Self-trapped holes in amorphous silicon dioxide// Phys. Rev. В., 1989, v.40, pp.4224−4227.
- Stahibush R.E., Edwards A.H., et al., Post-irradiation cracking of H2 and formation of interface in irradiated metal-oxide-semiconductor field effect transistors// J. Appl. Phys., 1993, v.73, pp.658−667.
- Гадияк Г. В., Моделирование распределения водорода при инжекции электронов в пленках Si02 в сильных электрических полях// ФТП, 1997, т.31, N3, стр. 257 263.
- Griscom D.L., Diffusion of radiolytic molecular hydrogen as a mehanism for the post-irradiation buildup of interface states in Si02-on-Si structures// J. Appl. Phys., 1985, v.58, N7, pp.2524−2533.
- Svensson C.M., The defect structure of the Si-Si02 interface, a model based on trivalent silicon and its hydrogen «compounds"// Reprint from «The Physics of Si02 and its interfaces», ST Pantelides, ed, Pergamon Press, New York, 1978, p.328.
- Devine R.A.B., Warren W.L., et al., Oxygen gettering and oxide degradation during annealing of Si/Si02/Si structures// J. Appl. Phys., 1995, v.77, N1, pp.175−186.
- Stapelbroek M., Griscom D.L., et. al., Oxygen-associated trapped-hole centers in high-purity fused silicas// J. Non-Cryst. Solids, 1979, v.32, N1−3, pp.313−326.
- Щеголев Б.Ф., Грунин B.C., Электронное строение центров, образующихся в стеклообразном Si02 в результате разрыва связей Si-O// Физика и химия стекла, 1982, т, 8, N4, стр, 503−506.
- Амосов А.В., Юдин Д. М. и др., Исследование методом ЭПР боросодержа-щих кварцевых стекол// В кн. «Тезисы III Всесоюзной научно-технической конференции по кварцевому стеклу», М.: ВНИИЭСМ, 1973, стр.60−61.
- Vanheusden К., Warren W.L., et al., Nonuniform oxide charge and paramagnetic interface traps high-temperature annealed Si/Si02/Si structures// Appl. Phys. Lett., 1996, v.68, N15, pp.2117−2119.
- Stesmans A., Afanas’ev V.V., Creation of Pb interface defects in thermal Si/SiOa through annealing// J. Phys.: Condens. Matter., 1996, v.8, N36, pp. L505-L509.
- Perez A., Samitier J., et al., Electron traps induced by boron implantation in gallium arsenide// Defect and Diffusion Forum, 1989, v.62/63, pp.77−90.
- Witham ELS., Lenahan P.M., Nature of the E' deep hole trap in metal-oxide-semiconductor oxides// Appl. Phys. Lett., 1987, v.51, N13, pp.1007−1009.
- Закис Ю.Р., Силинь A.P., Радиационные дефекты в стеклообразном кремнеземе// В кн. «Радиационно- стимулир. явления в кислородосодержащих кристаллах и стеклах», Ташкент: Фан, 1978, стр. 180−182.
- Абдукадырова И.Х., Скуя Л. Н., Силинь А. Р., Образование немостиковых атомов кислорода при нейтронном облучении альфа-кварца// Физика и химия стекла, 1982, т.8, N4, стр.500−502.
- Mashkov V.A., Austin Wm.R., et al., Fundamental role of creation and activation in radiation induced defect production in high-purity amorphous Si02// Physical review letters, 1996, v.76, N16, pp.2926−2929.
- Miller A.J., Leisure R.G., et al, Dominant role of E' centers in X-ray-induced, visible luminescence in high-purity amorphous silicas// Phys. Review B, 1996, v.53, N14, pp. R8818-R8820.
- Zhang Lin, Mashkov V.A., Leisure R.G., Role of radiolytic oxygen in the X-ray production and thermal annealing of defects in high-purity amorphous Si02// Phys. Rev. В., 1996, v.53, No. ll, pp.7182−7189.
- Warren W.L., Vanheusden K., et al., Mechanism for anneal-induced interfacial charging in Si02 thin films on Si// Appl. Phys. Lett., 1996, v.68, N21, pp.2993−2995.
- Vanheusden K.H., Stesmans A., Characterisation and depth profiling of E' defects in buried Si02// J. Appl. Phys., 1993, v.74, pp.275−283.
- Conley J.F., Lenahan Jr., et al., Observation and electronic chaxacteriza. tion of two E' center charge traps in conventionally processed thermal Si02 on Si// Appl. Phys. Lett., 1994, v.65, N18, pp.2281−2283.
- Бобышев А.А., Оптические и радиоспектроскопические свойства Е'-центров в Si02// В кн. «Тезисы докладов VII Всесоюзного симпозиума по оптическим и спектральным свойствам стекол», Л.: ГОИ, 1989, стр.252−253.
- Vanheusden К., Stesmans A., Hydrogen-induced positive charging of buried Si02// INFOS'93- Book of abstracts of 8th biennial conference on «Insulating films on semiconductors55, Delft, the Netherlands, 1993, SOIp, 6/4/93, 17:15.
- Cherlov G.B., Freidman S.P., et al., Electron structure of «oxygen vacancy» defect in Si02// Solid State Commun., 1985, v.55, N5, pp.495−497.
- O’Reilly E.P., Robertson J., Theory of defects in vitreous silicon dioxide// Phys. Rev. В., 1983, v.27, N6, pp.3780−3795.
- Griscom D.L., Friebele E.J., Fundamental defect centers in glass: 29Si hyperfme structure of the nonridging oxygen hole center and the peroxy radical in a-Si02// Phys. Rev. В., 1981, v.24, N8, pp.4896−4898.
- Robertson J., Intrinsic defects and hydroxyl groups in а-8Юг// J. Phys. C: Solid State Phys., 1984, v.17, pp. L221-L225.
- Edwards A.H.» Fowler W.B., Theory of peroxy-radical defect in a-SiO2// Phys. Rev. В., 1982, v.26, N12, pp.6649−6660.
- Friebele E.J., Griscom D.L., et al., Fundamental defect centers in glass: the peroxy radical in irradiated, high-purity, fusied silica// Phys. Rev. Lett., 1979, v.42, N20, pp. 13 461 349.
- Stathis J.H., Kastner M.A., Time-resolved photoluminescence in amorphous silicon dioxide// Physical Review B, 1987, v.35, N6, pp.2972−2979.
- Lucovsky G., Yang H.Y., et al., The role of hydrogen atoms (H atoms) in metastable defect formation at Si-Si02 interfaces and in hydrogenated amorphous Si (a-Si:H)// Phys. Status. Solidi. A., 1997, v.159, N1, pp.5−15.
- Андреев В.В., Барышев В. Г. и др., Влияние концентрации фосфора в пленках Si02 на характеристики МДП-систем// Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 1993, N3−4, стр.56−59.
- Afanas’ev V.V., Revesz A.G., Deep and shallow electron trapping in the buried oxide layer of SIMOX structures// J. Electrochem. Soc., 1994, v.141, N10, pp.2801−2804.
- Rudra J.K., Fowler W.B., Oxygen vacancy and the E’i center in crystalline SiO2// Phys. Rev. В., 1987, v.35, pp.8223−8230.
- Fischer Т., Petrova-Koch V., et al., Continuously tunable photoluminescence from Si± implanted and thermally annealed Si02 films// Thin Solid Films, 1996, v.276, N1−2, pp. 100−103.
- Zhao X., Shoenfeld O., Quantum confinement in nanometer-sized silicon crystallites// Phys. Review В., 1994, v.50, N24, pp. 18 654 т 18 657.
- DiMaria D.J., Kirtley J.R., et al., Electroluminescence studies in silicon dioxide films containing tiny silicon islands// J. Appl. Phys., 1984, v.56, N2, pp.401−416.
- Neufeld E., Wang S., et al., Effect of annealing and H2 passivation 011 the photoluminescence of Si nanocrystals in SiO2// Thin Solid Films, 1997, v.294, N1−2, pp.238 241.
- Skorupa W., Yankov R.A., et al., Room-temperature, short-wavelength (400−500 nm) photoluminescence from silicon-implanted silicon dioxide films// Appl. Phys. Lett., 1996, v.68, N17, pp.2410−2412.
- Yang X., Law K.-Y., Brillson L.J., Low energy cathodoluminescence spectroscopy of Si03 nanoparticles// J. Vac. Sci., 1997, v.15, N3, pp.880−884.
- Shimizu-Iwayama Tsutomu, Nakao Setsuo, Saitoh Kazuo, Silicon nanoparticle formation in Si+ -implanted thermal oxide films and visible photoluminescence behavior// Jap. J. Appl. Phys., 1995, Pt. l, v.34, Suppl. 34−1, pp.86−88.
- Тетельбаум Д.И., Карпович И. А. и др., Влиянние ионного легирования на спектры фотолюминесценции Si02, имплантированного кремнием// Материалытринадцатой междунар. конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью», М., 1997, т.2, стр.287−290.
- Liao L,-S, Bao Х,-М, et al, Visible electroluminescence from Si+ -implanted Si02 films thermally grown on crystalline Si// Solid State Commun., 1996, v.97, N12, pp.10 391 042.
- Liao L.-S., Bao X.-M., et al., Blue-, green-, and red-light emission from Si+ ~ implanted thermal Si02 films on crystalline silicon// J. Luminescence, 1996, v.68, N2−4, pp. 199−204.
- Блинкова Г. Б., Вахидов Ш. А. и др., О роли преобразования энергии ионизирующего излучения при дефектообразовании в кварцевых стеклах// В кн. «Тезисы докладов VII Всес. симп. по оптическим и спектральным свойствам стекол», 1989, Л.:ГОИ, стр. 248.
- Nasu S., Nishiwaki К., et al., Radiation damages in syntetic fused silica induced by oxygen ions irradiation// JAERI-Rev., 1997, N96−017, pp.121−122.
- Morimoto Y., Weeks R.A., et al., The effect of ion implantation on luminescence of a silica// J. Non-Cryst. Solids., 1996, v.196, pp.106−112.
- Стрелецкий A.H., Пакович А. Б., Панов С. И., Дефекты структуры и три-болюминесценция стеклообразного диоксида кремния// В кн. «Тезисы докладов VII Всес. симп. по оптическим и спектральным свойствам стекол», 1989, Л.:ГОИ, стр.130−131.
- Guzzi М., Lucchini G., et al., Thermally stimulated luminescence above room temperature of amorphous S1O2// Solid State Commun., 1990, v.75, N2, pp.75−79.
- Кала.нтарьян О.В., Кононенко С. И. и др., Экспериментальные исследо-ввввания оптического излучения кварца при бомбардировке ионами водорода// В кн. Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия тез. докл., Харьков, 1988, ч.1, стр. 144−145.
- Chandler P.J., Jaque F., Townsend P.D., Ion beam induced iuminescence in fused silica// Radiation Effects, 1979, v.42, N½, pp.45−53.
- Санаев Б., Икрамов Г. й. и др., Исследование радиационных дефектов в нейтронно-облученных кварцевых стеклах// В кн. «Радиационно-стимулир. явления в кислородосодержащих кристаллах и стеклах», Ташкент: Фан, 1978, стр. 186 190.
- Skuja L.N., Streletsky A.N., Pakovich А.В., A new intrinsic defect in amorphous Si02: twofold coordinated silicon// Solid State Commun., 1984, v.5Q, N12, pp.1069−1072.
- Ладыгин П.В., Титов С. А., Горбов Б. Н., Квантовохимические расчеты кислород-дефицитных собственных дефектов в диоксиде кремния// В кн. «Тезисы докладов VII Всес. симп. по оптическим и спектральным свойствам стекол», 1989, Л. ГОИ, стр. 53.
- Скуя Л.П., Изоэлектронный ряд -центрров в стеклообразном диоксиде кремния// В кн. «Тезисы докладов VII Всес. симп. по оптическим и спектральным свойствам стекол», 1989, Л.:ГОИ, стр.133−134.
- Fujimaki М., Ohki Y., Nishikawa Н., Energy states of Ge-doped Si02 glass estimated through absorption and photolumineseence// J. Appl. Phys., 1997, v.81, N3, pp.1042−1046.
- Boscaino R., Cannas M., et al., Photoluminescence band at 4.4 eV in oxygen-deficient silica: temperature effects// J. Phys. Condensed Matter, 1996, v.8, N38, pp. L545-L549.
- Milevski P.D., Lichtenwalner D.J., et al., Light emission from eristalline silicon and amorphous silicon oxide (SiOrc) nanoparticles// J. Electron. Mater., 1994, v.23, N1, pp.57−62.
- Дийков А.Л., Машков В. А., Кислородные центры с отрицательной корреляционной энергией в стеклообразном диоксиде кремния// В кн. «Тезисы докладов
- Гриценко В.А., Электронная структура ловушек в окислах и нитридах кремния// Тез. докл. IV Всероссийской научно-техн. конф. «Физика окисных пленок», Петрозаводск, 1994, стр.29−30.
- Каракулин A.A., Козлов С. Н., Невзоров А. Н., Изменение зарядового состояния системы Si-Si02 при термополевых обработках// Тез. докл. IV Всероссийской научно-техн. конф. «Физика окисных пленок», Петрозаводск, 1994, стр.40−41.
- Назаров А.И., Никитина Г. Н. и др., Деградация межфазной границы Si-Si02 при полевых и радиационных воздействиях// Тез. докл. IV Всероссийской научно-техн. конф. «Физика окисных пленок», Петрозаводск, 1994, стр. 55.
- Tsutomu Shimizu-Iwayaina, Setsuo Nakao, et al., Visible photoluminescence in Si±implanted silica glass// J. Appl. Phys., 1994, v.75, N12, pp.7779−7783.
- Mutti P., Bertoni S., et al., Room-temperature visible luminescence from silicon nanocrystals in silicon implanted Si02 layers// Appl, Phys. Lett., 1995, v.66, N7, pp.851 853.
- Тарантов Ю.А. Электронные и ионные процессы в системе электролит-диэлектрик- полупроводник: Диссертация на соискание ученой степени доктора физ.- мат. наук, Ленинград, 1985.
- Кручинин A.A., Электролюминесценция и проводимость слоев двуокиси кремния на кремнии в сильных электрических полях: Диссертация на соискание ученой степени кандидата физ, — мат. наук, Ленинград, 1984, 156 с.
- Барабан А.П., Булавинов В. В., Трошихин А. Г., Исследование изменений зарядового состояния структур Si-Si02 методом полевых циклов в системе с электролитическим контактом// Письма в ЖТФ, 1993, т.19, в.18, стр.27−30.
- Булавинов В. В, Электронные процессы в диэлектрических слоях на поверхности кремния в системе полупроводник- диэлектрик- электролит: Диссертация на соискание ученой степени кандидата физ.- мат. наук, Ленинград, 1982.
- Касьяненко Е.В., Электронные и ионные процессы в системе полупроводник- диэлектрик- электролит: Диссертация на соискание ученой степени кандидата физ, — мат. наук, Ленинград, 1977.
- Тягай В.А., Петрова H.A. и др., Электрофизические свойства структур кремний- двуокись кремния- электролит// Полупроводниковая техника и микроэлектроника, 1972, N10, стр.80−88.
- Goodman A.M., Photoemission of holes from silicon into silicon dioxide// Phys. Rev., 1966, v.152, N2, pp.780−784.
- Williams R., Goodman A.M., Wetting of thin layers of Si02 by water// Appl. Phys. Lett., 1974, v.25, N10, pp.531−532.
- Моррисон Г., Химическая физика поверхности твердого тела, М.: Мир, 1980, 488 с.
- Woods M.N., Williams R., Hole traps in silicon dioxide// J. Appl. Phys., 1976, v.47, N3, pp. 1082−1089.
- Барабан А.П., Неравновесные электронные процессы в слоях Si02 на кремнии, стимулированные электрическим полем: Диссертация на соискание ученой степени доктора физ, — мат, наук, Ленинград, 1990, 434 с.
- Стоунхем A.M., Теория дефектов в твердых телах, М.:Мир, 1978, т.2, стр. 6669.
- Sigel G.H., Ultraviolet spectra of silicate glasses: a review of some experimental evidence// J. Non- Cryst. Solids, 1973, v.13, N3, pp.372−398.
- McKnight S.W., Palic E.D., Cathodoluminescence of Si02 films// J. Non- Cryst. Solids, 1980, v.40, N3, pp.595−603.
- Лебедев В.П., Пахомов Э. Б., Спектры катодной люминесценции галогено-содержащих слоев двуокиси кремния на кремнии// Изв. АН Латв. ССР, сер. физ.-техн. наук, 1984, N2, стр.114−117.
- Пундур П.А., Валбис Я. А., Катодолюминесценция нелегированных пленок двуокиси кремния// Изв. АН Латв. ССР, сер. физ, — техн. наук, 1979, N4, стр.27−30.
- Chandler P.J., Jaques F., Townsend P.D., Ion beam indused luminescence in fused silicon// Radiation Effects, 1972, v.42, Nl-2, pp.45−53.
- Alonso P.J., Halliburton L.E., et. al., X-ray indused luminescence in crystalline Si02// J. Appl. Phys., 1983, v.54, N9, pp.5369−5375.
- Hochstrasser G., Antomni J.F., Surface states of pristine silica surfaces// Surface Science, 1972, v.32, N3, pp.644−664.
- Шавалгин Ю.Г., Спектроскопия локальных состояний в аморфном нитриде и оксинитриде кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата физ.-мат. наук, Рига, 1990, 146 с,
- Радциг В. А., Парамагнитные центры на поверхности раскола кварца. Взаимодействие с молекулами Н2 и D2// Кинетика и катализ, 1979, т.20, N2, стр.456−464.
- Пакович А.Б., Стрелецкий А. Н. и др., Люминесценция силиленовых центров на поверхности механически активированного диоксида кремния// Химическая физика, 1986, т.5, N6, стр.812−821.
- Fischetti M.V., Di Maria D.J., Brorson S.D. et al., Theory of high-field electron transport in silicon dioxide// Phys.Rev.B, 1985, Vol.31, N12, pp.302−308.
- Bota S., Perez-Rodriguez A., Morante J.R., et al., Electroluminescence analysis of the screen oxide SIMOX structure// VI International Symposium on Silicon-On-Insulator Technology and Devices, San Franciso, 1994, pp. 179−184.
- White C.T., Ngai K.L., Surface states of pristine silica surfaces // Journal of Vacuum Science and Technology, 1979, v.16, N5, pp.1412−1418.