Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π€ΠΠ.
Π€ΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄
![Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ: Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π€ΠΠ. Π€ΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄](https://gugn.ru/work/7757334/cover.png)
ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΠΠ ΠΏΡΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π€ΠΠ Π΄ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄Π° Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 2β3 ΡΠ°Π·Π° Π²Π΅ΡΠ° ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ. Π ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ Π€ΠΠ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 5 ΠΌΠΊΠΌ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π€ΠΠ. Π€ΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΠΠ ΠΏΡΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π€ΠΠ Π΄ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄Π° Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 2−3 ΡΠ°Π·Π° Π²Π΅ΡΠ° ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ. Π ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ Π€ΠΠ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 5 ΠΌΠΊΠΌ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π΄Π²ΡΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½Π΅ΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° 20−25% ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠΎΡΠ΅ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°Π»ΡΠ±Π΅Π΄ΠΎ ΠΠ΅ΠΌΠ»ΠΈ.
Π Π°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ
ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π€ΠΠ Π½Π°ΡΡΠ΄Ρ Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π² 2 ΡΠ°Π·Π° ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π‘Π.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ»Π΅ΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π‘Π ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΎΡΠ±ΠΈΡΡ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠ° (ΠΠ). ΠΠ»Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΠ (770 ΠΊΠΌ) Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ Π‘Π Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ GaAs-GaAlAs ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ 15% ΠΈ 5% Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 5 Π»Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π±ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΠ Π½Π° ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ΅. ΠΠ»Ρ ΠΠ Π½Π° Π³Π΅ΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π°ΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Ρ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 31% (Si) ΠΈ 16% (GaAs) Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 15 Π»Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π±ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ΅. ΠΠ»Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ±ΠΈΡ (7400 ΠΊΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° 50Β°), Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 49% (Si) ΠΈ 22% (GaAs) Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 5 Π»Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π±ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ΅. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΡΠ½Π°Π±ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π΄Π°Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π‘Π Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π½Π΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π‘Π.
Π§ΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ GaAs Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΡ Π€ΠΠ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ 100−1000-ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄ GaAs ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ «ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ» ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ. ΠΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠΌ Π‘Π Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠΎΡΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ:
- Β· Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ;
- Β· Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ° Π€ΠΠ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ²;
- Β· ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ Π€ΠΠ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊΠ°, Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ «ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π°» ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
Π ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΡ Π€ΠΠ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΠ Π΄ΠΎ 25−27% (ΠΠΠ, 1 ΡΠΎΠ»Π½ΡΠ΅) ΠΈ Π΄ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 30−35% ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ:
- Β· Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠ·ΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ AlgGaAs ΠΈΠ»ΠΈ GΠ°InΠ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ·Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° (Π΄Π²ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ);
- Β· Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ·ΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, GaAs ΠΈ Ga InAs Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ΠΎΠ² (ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ).
Π£ΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ Π² ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Ρ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎ-ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ (ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π =0.6−0.75 ΡΠ) ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ 1000−1500Β°Π‘. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π°Π½ΡΠΈΠΌΠΎΠ½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ (Π =0.7ΡΠ), ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ-ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ-ΡΡΡΡΠΌΠ°-ΠΌΡΡΡΡΠΊ (Π =0.5−0.6 ΡΠ) ΠΈ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ-ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ-ΠΌΡΡΡΡΠΊ (Π =0.75 ΡΠ). Π€ΠΠ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡΡΡ 20% ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ 1300−1500Β°Π‘.
ΠΠ° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ Π² Π€Π’Π ΠΈΠΌ. Π. Π€. ΠΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ AlGaAs/GaAs ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π² «ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ» ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠΠ 23−25% (ΠΠΠ, ΠΠ΄=20−100 «ΡΠΎΠ»Π½Ρ»), Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ Π΄Π»Ρ Π€ΠΠ Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ Ρ-ΠΏ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. ΠΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ ΡΡΠΈΠΌ Π€ΠΠ ΡΠ·ΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ InP/InGaAs ΠΈ AlGaSb/GaSb Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΡΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΠ΅ Π€ΠΠ Ρ ΠΠΠ Π΄ΠΎ 28% ΠΏΡΠΈ 20−100 «ΡΠΎΠ»Π½ΡΠ°Ρ » .
ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ Π€ΠΠ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ GaAs/AlGaAs ΡΠΎ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΡΡΠ³Π³ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π±Π°ΡΡΠ΅Ρ. ΠΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΡΡΠ³Π³ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ Π·Π΅ΠΊΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ n-GaAs Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ 23.4% (ΠΠΠ) ΠΈ 27.2% (AM 1.5). ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΡΡΠ³Π³ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ»ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ Π€ΠΠ. Π§Π°ΡΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΡ ΠΎΡ ΠΡΡΠ³Π³ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π°, ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Ρ-ΠΏ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΈ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΌ Ρ-ΠΏ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°. Π‘Π½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π² ΡΠ»ΠΎΠ΅ n-GaAs ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Ρ-ΠΏ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°. Π ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π€ΠΠ Ρ ΠΡΡΠ³Π³ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΠΌΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π±ΡΡΡΡΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π² 1.5 ΡΠ°Π·Π° ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π² ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π€ΠΠ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΠΠ‘-Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ Π² Π€Π’Π Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ Π€ΠΠ Ρ ΠΡΠ΅Π³Π³ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π‘Π Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.