Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. 
ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π‘ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ МПЭ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ дСсятилСтия ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… установок, сущСствСнно Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ возмоТностями. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ врСмя Π½Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ тСндСнция ΠΊ ΡƒΠ·ΠΊΠΎΠΉ спСциализации установок МПЭ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ростовая ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‘Π½Π½Ρ‹ΠΌ классом ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π‘ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ МПЭ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ дСсятилСтия ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… установок, сущСствСнно Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ возмоТностями. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ врСмя Π½Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ тСндСнция ΠΊ ΡƒΠ·ΠΊΠΎΠΉ спСциализации установок МПЭ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ростовая ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‘Π½Π½Ρ‹ΠΌ классом ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΡƒΠ·Π»Ρ‹, ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ для всСх установок МПЭ:

  • Β· БистСмы получСния ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΡ свСрхвысокого Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ°, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ для Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° молСкулярного ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈ, ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго, для сниТСния интСнсивности Π½Π΅ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ» остаточной атмосфСры;
  • Β· Ростовая ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π°, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ нСсколько Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€, ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… нСзависимыС систСмы ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… для Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ, транспортировки, хранСния ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ;
  • Β· Π‘Π»ΠΎΠΊ источников молСкулярных ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ химичСского состава ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Снсивностями, с ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ заслонками;
  • Β· ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ манипулятор с Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π², Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡Ρƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ„ΠΈΠΊΡΠ°Ρ†ΠΈΡŽ Π΅Π³ΠΎ Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‘Π½Π½ΠΎΠΌ ростовом ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ;
  • Β· БрСдства контроля процСсса роста;

БистСма бСзмасляной ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ установки МПЭ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΡΠ΅Π±Ρ:

  • o ΠœΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚ΠΎ-разрядныС (ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 200−400Π»/с)
  • o ΠšΡ€ΠΈΠΎΠ³Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ (Π³Π΅Π»ΠΈΠ²Ρ‹Π΅ Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 1000−1500 Π»/с)
  • o Π’ΠΈΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎ-сублимационныС (ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 5000−20 000 Π»/с)
  • o ΠΠ·ΠΎΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€ΠΈΠΎΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ
  • o Π’ΡƒΡ€Π±ΠΎ-моСлукулярныС (ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅ΠΎΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 100−2000 Π»/с с Ρ„ΠΎΡ€Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΎΠΉ Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π΅)
Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия. Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.

Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ установка МПЭ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΡΠ½Π°Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ спСктром диагностичСских ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΡ‚ичСских ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ. Основной систСмой контроля, примСняСмая in situ (нСпосрСдствСнно Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ роста) являСтся дифракция быстрых элСктронов. Π‘ Π΅Ρ‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π΅ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ ряд Π·Π°Π΄Π°Ρ‡:

  • Π¨ ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ° роста ΡΠΏΠΈΡ‚Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ слоя (Π΄Π²ΡƒΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ послойный ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Ρ€Ρ‘Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ островковый)
  • Π¨ ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ повСрхности растущСй ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ
  • Π¨ ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ стСхиомСтричСского состава ΠΈ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ повСрхности
  • Π¨ Π˜Π·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ скорости роста ΠΈ Ρ…имичСского состава ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ

Один ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… тСхнологичСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² — ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ роста ΡΠΏΠΈΡ‚Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоёв. ИмСнно Π”Π‘Π­ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄Π°Ρ‚ΡŒ довольно Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΡƒ скорости роста. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ опрСдСлСния скорости роста ΠΏΡ€ΠΈ Π”Π‘Π­ основан Π½Π° ΠΎΡΡ†ΠΈΠ»ΡΡ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΌ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π΅ измСнСния интСнсивности любой Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΡ‘Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π°. ΠŸΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… осциляций Π² Ρ‚очности соотвСтствуСт Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ монослоя соСдинСния.

Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.
Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.
Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.
Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.
Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.
Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.
Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-пучковая эпитаксия.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Ρ‹ Π”Π‘Π­ для процСсса Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ CdSe ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ