Метод измерений. 
Методика контроля отклонения от плоскостности пластин

Сущность метода измерений

Определение величины отклонения от плоскостности контролируемой поверхности производится бесконтактным интерференционным методом на интерферометре типа Физо путем сравнения этой поверхности с образцовой поверхностью интерферометра. В полученной интерференционной картине измеряют ее элементы: искривление, а и ширину полос b и по их отношению определяют параметр отклонения от плоскостности N = a / b полос.

При оценке результатов измерений учитывается систематическая погрешность интерферометра возникающая вследствие отклонения от плоскостности образцовой поверхности сравнения и остаточных аберраций оптической системы прибора.

Схема оптическая

1 — источник излучения, 2 — конденсор, 3 — зеркало, 4 — сменные фильтры, 5 — диафрагма, 6,7 — сменные объективы, 8 — окулярный микрометр, 9 — полупрозрачное зеркало, 10 — объектив, 11 — пластина образцовая со скосом, 12 — пластина поверяемая.

рис.1

Требования безопасности, охраны окружающей среды

При выполнении измерений отклонения от плоскостности рабочих поверхностей пластин соблюдают следующие требования:

Корпус интерферометра должен быть надежно заземлен.

Запрещается работать на интерферометре при открытых крышках.

Замену источников излучения производить при отключенном от сети интерферометре.

Интерферометр не должен подвергаться механическим воздействиям, влияющим на стабильность интерференционной картины. Видимое смещение интерференционной картины не допускается.