Принцип работы тензодатчика

Датчик работает таким образом: ток возбуждения протекает по резистору (отводы 1(земля) и 3(напряжение)) а подаваемое к диафрагме давление, воздействуя на диафрагму, изгибает резистор.

Изгиб приводит к возникновению в резисторе поперечного электрического поля, которое проявляется как напряжение на отводах 2(выходное напряжение с «+ «) и 4(выходное напряжение с «- «), соединенных со средней точкой резистора.

Выходной сигнал изменяется пропорционально прилагаемому давлению. Одноэлементный тензодатчик, с поперечным съемом напряжения, можно рассматривать как механический аналог прибора на эффекте Холла.

Тензодатчик является интегральной частью диафрагмы и, следовательно, его температурный коэффициент не отличается от температурного коэффициента диафрагмы. Выходные параметры самого тензодатчика все же зависят от температуры и для обеспечения расширенного диапазона температур необходима температурная компенсация.

Для диапазона температур от 0 до 85 °C достаточно простой резистивной цепочки, реализованной на том же кристалле, но для более широкого диапазона температур, например от -40 до 125 °C, потребуется и более сложная схема компенсации.

Такая дополнительная компенсация реализуется внешними схемами.

Использование одного чувствительного элемента исключает необходимость точного согласования четырех, чувствительных и к давлению и к температуре, резисторов, составляющих мост Уитстоуна.

Кроме того, существенно упрощаются дополнительные схемы, необходимые для калибровки и температурной компенсации.

Начальное смещение зависит, в основном, от степени выравнивания отводящих проводников, снимающих напряжение.

Это выравнивание выполняется в одном литографическом процессе, обеспечивающем простое их согласование, а использование только положительного напряжения, упрощают схему сведения смещения к нулю.