ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π° ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ²
![ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ: ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π° ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ²](https://gugn.ru/work/2916290/cover.png)
Π Π½Π°ΡΠ°Π»Ρ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π±ΡΠ»Π° ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π° Π΄Π΅Π»ΡΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ -, ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ ΡΠ΅Π»Π°ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅1 ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΠ’, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ-Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΠ’ InAs/InGaAs Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° 1.24-^1.28 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs,. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΠ’ ΠΎΡΡΠ°Π²Π°Π»ΡΡ ΡΡΠ΄ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ … Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
- Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅
- ΠΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΊΠ°
- ΠΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°
- ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ
- ΠΠΎΠΌΠΎΡΡ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅
- ΠΠ»Π°Π²Π° 1. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ
ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ
- 1. 1. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² AlAs ΠΈ InAlAs: ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
- 1. 2. ΠΠ΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ InAs ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅
- 1. 3. ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΄Π²ΠΈΠ³Π° ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ° ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ
ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ InAs/InAlAs
- 1. 3. 1. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° Π·Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ InAlAs Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ InAs/InAlAs
- 1. 3. 2. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ InAs Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ InAs/InAlAs
- 1. 4. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ InAs/GaAs
- ΠΠ»Π°Π²Π° 2. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π»Π°ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ
Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ
- 2. 1. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ
- 2. 1. 1. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°
- 2. 1. 2. Π’Π΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ
- 2. 2. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π»Π°ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΌΠ΅Π·Π°Ρ
ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° (0.2-ΠΠ ΠΌΠΊΠΌ) Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ
- 2. 2. 1. ΠΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈΠΌΠ΅Π· Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ
- 2. 2. 2. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π€Π ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Π· ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° Ρ ΠΠ’ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ²
- 2. 1. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ
- 3. 1. ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΠ’ ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°
- 3. 2. Π’Π΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ
- 3. 3. ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ
- 3. 4. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ , ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ 1.25−1.29 ΠΌΠΊΠΌ
- 3. 5. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ Ρ-Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° InAs/GaAs ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ
- 3. 6. ΠΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1300 Π½ΠΌ
- 4. 1. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠ°
- 4. 2. ΠΠ°Π·Π΅ΡΠ½Π°Ρ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠ°Ρ
Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ
- 4. 2. 1. ΠΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΡΠ±ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ InGaAs
4.2.2 ΠΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ InAs/InGaAs. 179 4.3. ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° Ρ ^ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ InAs/InGaAs.
ΠΠ»Π°Π²Π° 5. ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ — ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ 1.55 ΠΌΠΊΠΌ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs.
5.1. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
5.2. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ InAs: ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
5.3. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΈ Π·Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ: ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
5.4. ΠΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ InAs, ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅.
5.5. ΠΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ.
5.6 ΠΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Ρ ΡΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ.
ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π° ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΡ
ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ, ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ΅Ρ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ (ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ) ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ , ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π°. ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ, ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ (ΠΠ’) ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π½Π°Π±ΠΎΡ Π΄ΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΠΌΠΈ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ, ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠ°, Ρ ΠΎΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠ· ΡΠΎΡΠ΅Π½ ΡΡΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² [1]. ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ°ΠΌ Π½Π° ΠΠ’ Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π±ΡΠ» ΠΌΠΎΡΠΈΠ²ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΡΠ°Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π±ΡΠ» ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½ ΡΡΠ΄ ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊ, ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²: Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²Π°Ρ' ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ°, Π΅Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ [2], [3]. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π», ΡΡΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΠ’ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π°Π½ΡΠ°ΠΌΠ±Π»Ρ ΡΠ°ΠΌΠΈΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ (ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠ°Π·Π±ΡΠΎΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ, Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΈ Ρ. Π΄.), ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ° (ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°, ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Ρ. Π΄.) [4], [5], [6]. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΡΠΈΠΌ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ²-ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π° ΠΠ’, Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΠ’ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉΠΈ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ.
Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΎΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΡ ΡΠ΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ²1 Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ . Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ^ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΌΠ°Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΠ΅ΠΉ:
ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ InAs/GaAs Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1.3 ΠΌΠΊΠΌ [7], ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠΉ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ. G ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ) ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅' Ρ Π΄Π΅Π»ΡΡΠ°ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ' ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. G ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠΈΠ»ΡΠ½Π°Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΠ’ InAs/GaAs ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ²- [8], [9]- Π° Π² ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡΠΎΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡΡΡ* ΠΎΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. Π ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ , Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs, Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ InP [10], ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π΅ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½Π° Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² (AlGax)Oy. ΠΡΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΈ ΠΡΡΠ³Π³ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π», Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ².
ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ². ΠΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡ Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»Π΅Π½. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠΊΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ. ΠΠ΅Π»ΡΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½Π°Ρ.
— f ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ [11], [12] ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ «Β¦ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ. Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΊΠ°ΠΊ Π±Π΅ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ, ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΡ Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ^ Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠΎΠΉ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ* Π² ΠΠ’ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ.
ΠΠ°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉΠ²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (Π½Π° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅). Π’Π°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² Π»Π°Π·Π΅ΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΌΠ°Ρ InGaAs, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1.15 ΠΌΠΊΠΌ, Π² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ* ΠΊΠ°ΠΊ Π² Π»Π°Π·Π΅ΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½Π° Π΄ΠΎ 1.35 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠ°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π² ΡΠ°ΠΌΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΈΠ³ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠΎΠ² Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π±ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ InGaAs ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ GaAs ΠΊ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ InGaAs ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ Π½Π΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΡΡ Π² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°, Π° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡΡΡ, Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π²Π΅ΡΡ Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΎΡ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ΅ InGa (Al)As Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ Π΄ΠΎ 30%, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ»Ρ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. ΠΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ" ΠΠ’ Π½Π° ΡΠ»ΠΎΡΡ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π° ΠΠ’ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ 1.55 ΠΌΠΊΠΌ Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ. Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Ρ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² InGaAlAs Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ Si.
Π Π½Π°ΡΠ°Π»Ρ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π±ΡΠ»Π° ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π° Π΄Π΅Π»ΡΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ - [11], [12], ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ ΡΠ΅Π»Π°ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ [13], ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅1 ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΠ’ [14], [15], Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ-Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΠ’ InAs/InGaAs Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° 1.24-^1.28 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs [16], [17]. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΠ’ ΠΎΡΡΠ°Π²Π°Π»ΡΡ ΡΡΠ΄ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π»ΠΎΠ². Π’Π°ΠΊ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π²ΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ»ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ Π² ΠΠ’ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, Π½Π΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ' ΠΈ Π»Π°ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΠ’, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΠ’ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° 1.3 ΠΌΠΊΠΌ ΠΎΡΡΠ°Π²Π°Π»ΠΈΡΡ Ρ ΡΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ InP [18], [19]. ΠΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈ Π½Π΅ Π±ΡΠ»Π° ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½Π° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΠ’ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ. ΠΠ°ΡΡΠΎΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π»Ρ ΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΡΠ΄ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΠ’.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ^ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (In, Ga) As-(Al, Ga) As ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ (1.3−4.55 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ, Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ! ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ , ΠΎ ΡΠ½ΠΎΠ² Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ², Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ.
ΠΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ" Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΠΠ’ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² InGaAlAs/AlGaAs Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs, Π°ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ. Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΡ^ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΏΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ. Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΠ’ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ* ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ, ΡΡΡ ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π², ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌΠ΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ.
ΠΠ°ΡΡΠ½Π°Ρ Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ·Π½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ:
1. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎ-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ Π΄Π»Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ' Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΠ’ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΈΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π°.
2. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π° Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΠ’, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.
3. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ Π»Π°ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΠ’.
4. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Ρ ΠΠ’ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
5. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½Π΅Π½ N-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π² Π»Π°Π·Π΅ΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΠ’.
6. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² InxGaixAs Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ Π΄ΠΎ 30%, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΠ’ InAs Π½Π° ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΈ ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
7. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ* Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ InAs ΠΠ’, ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1.5 ΠΌΠΊΠΌ.
8. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΠ’ InAs ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ AlAs/InAlAs ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ, ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅.
9. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° 1.3 ΠΌΠΊΠΌ Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ InAs/InGaAs ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ GaAs.
ΠΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
1. Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄Ρ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΠ’, ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1.3 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π°*ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ GalnAsP Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ InP. Π’ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ^ ΠΠ’ InAs ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ², Π° Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
2. ΠΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΈΠ³ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠΎΠ² ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ Π² Π±ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° 1.5ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs. ΠΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ². Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Ρ' Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² InGaAlAs Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ Si.
3. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΌΠ΅Π· ΡΡΠ±ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° Ρ ΠΠ’ ΠΈ Π»Π°ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ° Π² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ1 ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π·-Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ. ΠΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π±Π΅ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ², Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΎΡΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² — ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅.
ΠΠ°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ½ΠΎΡΠΈΠΌΡΠ΅ Π½Π° Π·Π°ΡΠΈΡΡ.
ΠΠΠΠΠΠΠΠΠ 1. ΠΠ°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°' ΠΈ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ, ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ.
ΠΠΠΠΠΠΠΠΠ 2. ΠΠ΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ , ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π·Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±Π΅Π·Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΠΈ. ΠΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ², ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ 1.55 ΠΌΠΊΠΌ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ , Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs.
ΠΠΠΠΠΠΠΠΠ 3. ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π² ΠΌΠ΅Π·Π°-ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ.
ΠΠΠΠΠΠΠΠΠ 4. Π* ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π½Π΅Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ1 Π²Π°Π½ΡΠ°ΠΌΠ±Π»Π΅ Ρ Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π² ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΠΈ' Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΠΌ Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ, ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π½Π΅ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ N-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΌΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ.
ΠΠΠΠΠΠΠΠΠ 5. ΠΠ΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΡΠ΄Π²ΠΈΠ³Ρ ΠΊΡΠ°Ρ< ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ* ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ' ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ².
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ, Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΡ Π² Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ' ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡΡ Π ΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΎΠΉ ΠΠΊΠ°Π΄Π΅ΠΌΠΈΠΈ Π½Π°ΡΠΊ (Π€Π’Π ΠΈΠΌ. Π. Π€. ΠΠΎΡΡΠ΅, Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³Π€ΠΠΠ ΠΈΠΌ. Π. Π. ΠΠ΅Π±Π΅Π΄Π΅Π²Π°, ΠΠΎΡΠΊΠ²Π°ΠΠ€Π’Π’, Π§Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ°ΠΠΠ, ΠΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠ±ΠΈΡΡΠΊΠΠ½ΡΡΠΈΡΡΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΉ* ΠΠΎΠ²Π³ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΠ½ΡΡΠΈΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ, ΠΠΎΡΠΊΠ²Π°ΠΠ Π, ΠΠΎΡΠΊΠ²Π°), Π² ΠΠΠ ΠΈΠΌ. Π‘. Π. ΠΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎΠ²Π°, Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³, Π² Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΠΎΡΡΠ΄Π°ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ-ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΠΏΡΠΎΠ±Π°ΡΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ, Π²ΠΎΡΠ΅Π΄ΡΠΈΠ΅ Π² Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, Π΄ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠΆΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΠΡΠ΅ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ ΠΈ ΡΠΈΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΌΠ°Ρ : 4−15 ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΈΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΌΠ°Ρ «ΠΠ°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ: Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ» (Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³, 1995, 1996, 1997, s).
1998, 1999, 2000, 2001, 2002, 2003, 2004, 2005, 2007) — 23−28'ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²f (ΠΠ΅ΡΠ»ΠΈΠ½, ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ, 1996; ΠΠ΅ΡΡΡΠ°Π»ΠΈΠΌ, ΠΠ·ΡΠ°ΠΈΠ»Ρ, 1998; ΠΡΠ°ΠΊΠ°, Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΡ, 2000; ΠΠ΄ΠΈΠ½Π±ΡΡΠ³, ΠΠ΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ±ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ, 2002; Π€Π»Π°Π³ΡΡΠ°ΡΡ, Π‘Π¨Π, 2004, ΠΠ΅Π½Π°, ΠΠ²ΡΡΡΠΈΡ 2006) — ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ΅Π½Π½Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΠ±ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (MRS) (ΠΠΎΡΡΠΎΠ½, Π‘Π¨Π, 2001) — 23 ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΡΠΈΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΌΠ΅ ΠΏΠΎ ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ (Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³, 1996), ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎ Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ (QD2000 — ΠΡΠ½Ρ Π΅Π½, ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ, 2000; QD2002 — Π’ΠΎΠΊΠΈΠΎ, Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΡ" 2002) — Π ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°ΠΌ (MSS-11 — ΠΠ°ΡΠ°, Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΡ 2003) — ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ «ΠΠ°ΠΏΠ°Π΄Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°» (Π‘Π°Π½ Π₯ΠΎΡΠ΅, Π‘Π¨Π 2006, 2007, 2008), ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌ ΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ (ΠΡΠΎΡΠ»Π°Π², ΠΠΎΠ»ΡΡΠ° 2007), 14 ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΏΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ (Π’ΠΎΠΊΠΈΠΎ, Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΡ 2006), 5 ΠΈ 7 ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ΅ (Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³, 2006, 2008), ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ w ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ (ΠΠ°ΡΠΈΠΆ 2006), ΠΠ°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΠ»Π΅ΠΊΡΠ°Π½Π΄ΡΠ° ΡΠΎΠ½ ΠΡΠΌΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ° (Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³, 2005, 2008), Π‘ΠΈΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΌΠ΅ «ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ: ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ» (Π‘Π°Π½ΠΊΡ-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³ 2008).
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΈ Π΄ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π° ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΈΠ½Π°ΡΠ°Ρ Π² Π€Π’Π ΠΈΠΌ. Π. Π€. ΠΠΎΡΡΠ΅ Π ΠΠ, Π² Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ΅ Π³. ΠΠ΅ΡΠ»ΠΈΠ½, ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ, ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ΅ Π³. ΠΠΎΡΡΠΈΠ½Π³Π΅ΠΌ, ΠΠ΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ±ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ, ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ΅ Π³. ΠΡΠΏΠΏΠ΅ΡΡΠ°Π»Ρ, ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠ΅ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ 154 ΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ Π² Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π°Ρ ΠΈ ΡΡΡΠ΄Π°Ρ ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΉ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
.
Π Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ? ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π½Π°ΠΌΠΈ Π±ΡΠ»ΠΈ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ: ΡΠΎΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ, ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ, ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ, ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ., ΠΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ? ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ! ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ^ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉΠ² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΠ’, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅Π² Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊ Π³ΡΡΠ°Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ:. Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅: ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π°Π³ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs,. ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π°Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ Π΄ΠΎ* 1.35 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠ΅Π²Π΄ΠΎΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠ΅, ΠΈ Π΄ΠΎ? 1.55 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡΠΈ: ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠ΅. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π° ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ, ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅: ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡΠ² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΠ’, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ" ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉΠΈ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ β’ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈΠ° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π»Π°ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ: ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ: ΠΠ·ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΠ’, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ^ Π½Π° ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ) ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡ Ρ-ΡΠΈΠΏΠ°: Π Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ 1.3 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ GaAs.
Π‘ΠΏΠΈΡΠΎΠΊ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ
- D. Bimberg, Π. Grundmann and N.N. Ledentsov, «Quantum Dot Heterostructures», John Wiley & Sons, Chichester, 328 p. (1999)
- Y. Arakawa, H. Sakaki, «Multidimensional quantum well laser and temperature dependence of its threshold current», Applied Physics Letters, v.40, No. 11, pp.939 941 (1982)
- M. Asada, Y. Miyamoto, Y. Suematsu, «Gain and the threshold of three-dimensional quantum- box lasers», IEEE Journal of Quantum Electronics, v.22, No.9, pp.1915—1921 (1986)
- L.V. Asryan, R.A. Suris, «Inhomogeneous line broadening and the threshold current density of a semiconductor quantum dot laser», Semiconductor Science and Technology, v. l 1, No.4, pp.554−567 (1996)
- L.V. Asryan, M. Grundmann, N.N. Ledentsov, O. Stier, R.A. Suris, D. Bimberg, «Effect of excited-state transitions on the threshold characteristics of a quantum dot laser», IEEE Journal of Quantum Electronics, v.37, No.3, pp.418—425 (2001)
- L.V. Asryan, R.A. Suris, «Charge neutrality violation in quantum dot lasers», IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, v.3, No. l, pp. 148−157 (1997)
- K. Mukai, O. Nobuyuki, S. Mitsuru, and S. Yamzaki, «Self-Formed Ino.5Gao.5As Quantum Dots on GaAs Substrates Emitting at 1.3 pm», Japanese Journal of Applied Physics, v.33, pp. L1710-L1712 (1994)
- S. Seki, H. Oohasi, H. Sugiura, T. Hirono, K. Yokoyama, «Dominant mechanism for limiting the maximum operating temperature of InP-based multiple-quantum-well lasers», Journal of Applied Physics, v.79, No.5, pp.2192−2197 (1996)
- B.B. Elenkrig, S. Smetona, J.G. Simmons, T. Makino, J.D. Evans, «Maximum operating power of 1.3 |im strained layer multiple quantum well InGaAsP lasers», Journal of Applied Physics, v.85, No.4, pp.2367−2370 (1999)
- L.A. Coldren, H. Temkin, C.W. Wilmsen, «Vertical cavity surface emitting lasers», Cambridge Univ. Press, 455 p: (1999)
- J.-Y. Marzin, J.-M. Gerard, A. Izrael, D. Barrier, G. Bastartd, «Photoluminescence of single InAs quantum dot obtained by self-organised growth on GaAs», Physical Review Letters, v.73, No.5, pp.716−719 (1994)
- R. Heitz, M. Veit, N.N. Ledentsov, A. Hoffmann, D. Bimberg, V.M.Ustinov, P. S. Kop’ev, Zh.I. Alferov, «Energy relaxation by multiphonon processes in InAs/GaAs-quantum dots», Physical Review B, v.56, No.16, pp. 10 435−10 445 (1997)
- N.N. Ledentsov, V.A. Shchukin, M. Grundmann, N. Kirstaedter, J. Bohrer, O. Schmidt, D. Bimberg, V.M. Ustinov, A.Yu. Egorov, A.E. Zhukov, P. S. Kop’ev, Zh.I. Alferov, A.I. Borovkov, A.O. Kosogov, S.S. Ruvimov, U. Gosele,
- J. Heydenreich, «Direct formation of vertically-coupled quantum dots in Stranski-Krastanow growth», PhysicalReview B, v.54, No.12, pp.8743−8750 (1996)
- I. Mukhametzhanov, R. Heitz, J. Zeng, P. Chen, and A. Madhukar, «Independent manipulation of density and size of stress-driven self-assembled quantum dots», Applied «Physics Letters, v.'73, No.13, pp. 1841−1843 (1998)
- G.T. Liu, A. Stintz, H. Li, K.J. Malloy, L.F. Lester, „Extremely low room-temperature threshold current density diode lasers using InAs dots in Ino.15Gao.85As quantum well“, Electronics Letters, v.35, No.14, pp.1163−1165 (1999)
- L.F. Lester, A. Stintz, H. Li, C. Newell, E.A. Pease, B. AFuchs, K.J. Malloy, „Optical characteristics of 1.24-pm InAs quantum-dot laser diodes“, IEEE Photonics Technology Letters, v. l 1, N0.8, pp.931−933 (1999)
- G. Park, O.B. Shchekin, S. Csutak, D.G.Deppe, „Room-temperature continuous-wave operation of a single-layered 1.3 pm quantum dot laser“, Applied Physics Letters, v.75, No. ll, pp.3267−3269 (1999)
- A.E. Zhukov, V.M. Ustinov, „GaAs-based long-wavelength lasers“, Semiconductor Science and Technology, v. 15, N0.8, pp.41−54 (2000)
- O.B. Shchekin, P. Gyoungwon, D.L. Huffaker, D.G. Deppe, „Discrete energy level separation and the threshold temperature dependence of quantum dot lasers“, Applied Physics Letters, v.77, No.4, pp.466168 (2000)
- V. Tokranov, M. Yakimov, A. Katsnelson, M. Lamberti, and S. Oktyabrsky, „Enhanced thermal stability of laser diodes with shape-engineered quantum dot medium“, Applied Physics Letters, v.83, No.5, pp.833−835 (2003)
- V.A. Shchukin, N.N. Ledentsov and D. Bimberg, „Epitaxy of Nanostructures“, Springer Series on Nanoscience and Technology, Springer, Berlin, 450p. (2003)
- F. Guffarth, R. Heitz, A. Schliwa, O. Stier, N.N. Ledentsov, A.R. Kovsh, V.M. Ustinov, D. Bimberg, „Strain engineering of self- organized InAs quantum dots“, Physical Review B, v.64, No.15, pp. 85 305−85 312 (2001)
- Q. Xie, P. Chen, A. Madhukar, „InAs island induced strain-driven adatom migration during overlayer growth“, Applied Physics Letters, v.65, No. 16, pp.2051−2053(1994)
- K. Akiba, N. Yamamoto, V. Grillo, A. Genseki, and Y. Watanabe, „Anomalous temperature and excitation power dependence of cathodoluminescence from InAs quantum dots“, Physical Review B, v.70, No. 16, pp. 165 322−1-165 322−9 (2004)
- Marius Grundmann (Ed.), „Nano-Optoelectronics. Concepts, Physics and Devices“. Springer, 442 p. (2002)
- R. Heitz, H. Born, F. Guffarth, O. Stier, A. Schliwa, A. Hoffmann, and D. Bimberg, „Existence of a phonon bottleneck for excitons in quantum dots“, Physical Review B, v.64, No.24, pp.241 305−4-241 305−4 (2001)
- Π. Jusserand and M. Cardona, „Light Scattering Solids V“, Topics in Applied Physics, v.66, p.49 (1994)
- J.M Jerard, O. Cabrol and B. Sermage, „InAs quantum boxes: Highly efficient radiative traps for light emitting devices on Si“, Applied Physics Letters, v.68i No.22, pp.3123−3125 (1996)
- K.K. Linder, J. Phillips, O. Qasaimeh, X.F. Liu, S. Krishna, P. Bhattacharya, J.C. Jiang, „Self-organized Ino.4Ga<)6As quantum-dot lasers grown on Si substrates“, Applied Physics Letters, v.74, No.10, pp. 1355−1357 (1999)
- L.A. Graham, D.L. Huffaker, and D.G. Deppe, „Spontaneous lifetime control in a native-oxide-apertured microcavity“, Applied Physics Letters, v.74, No. 17, pp.2408−2410 (1999)
- S.R. Andrews, H. Arnot, P.K. Rees, T.M. Kerr, S.P. Beaumont, „Photoluminescence studies of free-standing quantum boxes“, Journal of Applied Physics, v.67, No.7, pp.3472−3480 (1990)
- S. Noda, K. Fujiwara and T. Nakayama, „Effects of GaAs/AlAs β’ superlattice buffer layers on selective area regrowth for GaAs/AlGaAs self-aligned structure lasers“, Applied Physics Letters, v.47, No. l 1, pp.1205−1207 (1985)
- O. Stier, M. Grundmann, and D. Bimberg, „Electronic and optical properties of strained quantum dots modeled by 8-band k-p theory“, Physical Review B, v.59, No.8, pp.5688−5701 (1999)
- A. Oster, F. Bugge, G. Erbert, H. Wenzel, „Gain Spectra Measurement of Strained and Strain-Compensated InGaAsP-AlGaAs Laser Structures for A,"800 nm“, IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, v.5, No.3, pp.631−636 (1999)
- L.V. Asryan and R.A. Suris, „Temperature dependence of the threshold current density of a quantum dot laser“, IEEE Journal of Quantum Electronics, v.34, No.5, pp.841−850(1998)
- G. Park, O.B. Shchekin, D.L. Huffaker, D.G. Deppe, „Low-Threshold Oxide-Confined 1.3-pm Quantum-Dot Laser“, IEEE Photonics Technology Letters, v.12, No.3, pp.230−232 (2000)
- O.B.Shchekin and D.G.Deppe, „1.3 (im InAs quantum dot laser with To = 161 Π from 0 to 80Β°C“, Applied Physics Letters, v.80, No. 18, pp.3277−3279 (2002)
- M. Sugawara, K. Mukai, Y. Nakata, H. Ishikawa, A. Sakamoto, „Effect of homogeneous broadening of optical gain on lasing spectra in self-assembled InxGaj xAs/GaAs quantum dot lasers“, Physical Review B, v.61, No. 11, pp.7595−7603 (2000)
- L.V. Asryan, R.A. Suris, „Longitudinal spatial hole burning in a quantum-dot laser“, IEEE Journal of Quantum Electronics, v.36, No.10, pp.1151−1160 (2000)
- L.V. Asryan, S. Luryi, „Tunneling-injection quantum-dot laser: ultrahigh temperature stability“, IEEE Journal of Quantum Electronics, v.37, No.7, pp.905−910 (2001)
- O.B. Shchekin, J. Ahn, D.G. Deppe, „High temperature performance of self-organised quantum dot laser with stacked p-doped active region“, Electronics Letters, v.38, No. 14, pp.712−713 (2002)
- A.Salhi, L. Fortunato, L. Martiradonna, R. Cingolani, M. De Vittorio, and A. Passaseo, „Enhanced modal gain of multilayer InAs/InGaAs/GaAs quantum dot lasers emitting at 1300 nm“, Journal of Applied Physics, v.100, No.12, pp. 1 231 111−123 111−4 (2006)
- Π’. Amano, S. Aoki, Π’. Sugaya, Π. Komori, Y. Okada, „Laser Characteristics of 1.3-jim Quantum Dots Laser With High-Density Quantum Dots“, IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, v.13, No.5, pp. 1273−1278 (2007)
- B.W. Hakki and T.L. Paoli, „cw degradation at 300Β°K of GaAs double-heterostructure junction lasers. II. Electronic gain“, Journal of Applied Physics, v.44, No.9, pp.4113—4119 (1973)
- S.L. McCall, A.F.J. Levi, R.E. Slusher, S.J. Pearton, R.A. Logan, „Whispering-gallery mode microdisk lasers“, Applied. Physics Letters, v.60, No.3, pp.289−291 (1992)
- T.Ide, T. Baba, „Room temperature continuous wave lasing in InAs quantum-dot microdisks with air cladding“, Optics Express, v.13, No.5, pp.1615−1620 (2005)
- X.M. Dou, X.Y. Chang, B.Q. Sun, Y.H. Xiong, Z.C. Niu, S.S. Huang, H.Q. Ni, Y. Du, and J.B. Xia, „Single-photon-emitting diode at liquid nitrogen temperature“, Applied Physics Letters, v.93, No.10, pp.101 107−1-101 107−3 (2008)
- A. Lochmann, E. Stock, O. Schulz, F. Hopfer, D. Bimberg, V.A. Haisler, A.I. Toropov, A.K. Bakarov, A.K. Kalagin, „Electrically driven single quantum dot polarised single photon emitter“, Electronics Letters, v.42, No. 13, pp.774−775 (2006)
- M. Pelton, C. Santori, G.S. Solomon, O. Benson, and Y. Yamamoto, „Triggered single photons and entangled photons from a quantum dot microcavity“, European Physical Journal D, v. 18, pp. 179−190 (2002)
- M. Scholz, Π’. Aichele, S. Ramelow, Π. Benson, „Deutsch-Jozsa Algorithm Using Triggered Single Photons from a Single Quantum“ Dot», Physical Review Letters, v.96, No. 18, pp.180 501−1-180 501−4 (2006)
- X. ΠΠ΅ΠΉΡΠΈ, M. ΠΠ°Π½ΠΈΡ, «ΠΠ°Π·Π΅ΡΡ Π½Π° Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ », ΠΠΎΡΠΊΠ²Π°: ΠΠΈΡ, 1981
- R.E. Slusher, A.F.J. Levi, U. Mohideen, S.L. McCall, S.J. Pearton, R.A. Logan, «Threshold characteristics of semiconductor microdisk lasers», Applied Physics Letters, v.63, No.10, pp.1310−1312 (1993)
- M. Borselli, K. Srinivasan, P.E. Barclay, O. Painter, «Rayleigh scattering, mode coupling, and optical loss in silicon microdisks», Applied Physics Letters, v.85, No. 17, pp.3693−3695 (2004)
- B. Gayral, J.M. Gerard, A. Lemaitre, C. Dupuis, L. Manin, J.L. Pelouard, «High-Q wet-etched GaAs microdisks containing InAs quantum boxes», Applied Physics Letters, v.75, No.13, pp.1908−1910 (1999)
- S. Shi, D.W. Prather, L. Yang, J. Kolodzey, «Influence of support structure on microdisk resonator performance», Optical Engineering, v.42, No.2, pp.3 83−3 87 (2003)
- I.L. Krestnikov, N.N. Ledentsov, A. Hoffmann, D. Bimberg, «Arrays of Two-Dimensional Islands Formed by Submonolayer Insertions: Growth, Properties, Devices», Physica Status Solidi (a), v. 183, No.2, 207−233 (2001)
- Π.Π. Π‘ΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², O.M. ΠΠΎΡΠ±Π΅Π½ΠΊΠΎ, A.O. ΠΠΎΠ»ΡΠ±ΠΎΠΊ, H.H. ΠΠ΅Π΄Π΅Π½ΡΠΎΠ², «ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌ», Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ.35, Π²ΡΠΏ. Π, ΡΡΡ.361−366 (2001)
- R. Nozaki, A. Nakagawa, D. Sano, T. Baba, «Ultralow Threshold and Single-Mode Lasing in Microgear Lasers and Its Fusion With Quasi-Periodic Photonic Crystals», IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, v.9, No.5, pp.1355−1360 (2003)
- A.I. Rahachou, I.V. Zozoulenko, «Effects of boundary roughness on a Q factor of whispering-gallery-mode lasing microdisk cavities», Journal of Applied Physics, v.94, No. 12, pp.7929−7931 (2003)
- D.S.Song, J.K.Hwang, C.K.Kim, I.Y.Han, D. HJang, Y.H.Lee, «InGaAsP Microdisk Lasers on AlxOy», IEEE Photonics Technology Letters, v. 12, No.8, pp.954−956 (2000)
- P. Micher, A. Kiraz, L. Zhang, C. Becher, E. Hu, A. Imamoglu, «Laser emission from quantum dots in microdisk structures», Applied Physics Letters, v.77, No.2, pp. l84−186 (2000)
- H. Soda, K. Iga, C. Kitahara, Y. Suematsu, «GalnAsP/InP surface emitting injection lasers», Japanese Journal of Applied Physics, v. 18, pp.2329−2330 (1979)
- R. Hull, J.C. Bean, R.E. Leibenguth, and D.J. Werder, «Role of strained layer superlattices in misfit dislocation reduction in growth of epitaxial Geo.sSio.s alloys on Si (100) substrates», Journal of Applied Physics, v.65, No. 12, pp.4723^1729 (1989)
- J.W. Matthews and A.E. Blakeslee, «Defects in epitaxial multilayers -I. Misfit dislocations», Journal of Crystal Growth, v.27, pp. l 18 (1974)
- V.M. Ustinov and A.E. Zhukov, «GaAs-based long-wavelength lasers», Semiconductor Science and Technology, v.15, No.8, pp. R41-R54 (2000)
- R. Heitz, Π. Stier, I. Mukhametzhanov, A. Madhukar, D. Bimberg, «Quantum size effect in self-organized InAs/GaAs quantum dots», Physical Review B, v.62, No. 16, pp. 11 017−11 028 (2000)
- D. Ouyang, R. Heitz, N.N. Ledentsov, S. Bognar, R.L. Sellin, Ch. Ribbat, and D. Bimberg, «Lateral-cavity spectral hole burning in quantum-dot lasers», Applied Physics Letters, v.81, No.9, pp. 1546−1548 (2002)