Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика

Диссертация: Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Механические и физико-химические свойства покрытий зависят от множества параметров технологического процесса их осаждения и комплекса технологических мероприятий. Однако выбранные оптимальные режимы и условия технологического процесса не остаются постоянными в течение времени осаждения покрытия из-за действия различных возмущений. Воспроизводимость свойств покрытий может быть обеспечена… Читать ещё >

Содержание

  • 1. АНАЛИЗ СОВРЕМЕННОГО СОСТОЯНИЯ ОБЛАСТИ ИССЛЕДОВАНИЯ
    • 1. 1. Методы осаждения покрытий в вакууме
    • 1. 2. Автоматизированные системы
      • 1. 2. 1. Классификация автоматизированных систем
      • 1. 2. 2. Автоматизированная система контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме
    • 1. 3. Методы контроля толщины и скорости осаждения покрытий в вакууме
      • 1. 3. 1. Весовой метод
      • 1. 3. 2. Метод кварцевого резонатора
      • 1. 3. 3. Фотометрический метод
      • 1. 3. 4. Эллипсометрический метод
      • 1. 3. 5. Резистивный метод
      • 1. 3. 6. Вибрационный метод
      • 1. 3. 7. Ионизационный метод
      • 1. 3. 8. Метод электронно-эмиссионной спектроскопии
      • 1. 3. 9. Комбинированные методы
    • 1. 4. Современный уровень автоматизации оперативного технологического контроля процесса осаждения покрытий в вакууме
    • 1. 5. Выводы и постановка задач исследований
  • 2. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ КАМЕРТОННОГО ДАТЧИКА ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ
    • 2. 1. Камертонные частотные датчики
    • 2. 2. Камертонные осцилляторы
    • 2. 3. Камертонный датчик толщины покрытий, наносимых в вакууме
      • 2. 3. 1. Конструкция камертонного датчика
      • 2. 3. 2. Математическая модель камертонного датчика
      • 2. 3. 3. Чувствительность камертонного датчика
      • 2. 3. 4. Добротность камертонного датчика
      • 2. 3. 5. Погрешность камертонного датчика
    • 2. 4. Камертонные генераторы
    • 2. 5. Выводы
  • 3. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ
    • 3. 1. Разработка аппаратного обеспечения автоматизированной системы контроля толщины покрытий
      • 3. 1. 1. Анализ возможных путей реализации устройства сопряжения
      • 3. 1. 2. Связь устройства сопряжения с персональным компьютером
      • 3. 1. 3. Измерение периода колебаний камертонного датчика толщины покрытий
      • 3. 1. 4. Контроль температуры контрольного образца
      • 3. 1. 5. Контроль состояния вакуума в рабочей камере установки вакуумного напыления
      • 3. 1. 6. Управление заслонкой
    • 3. 2. Разработка программного обеспечения автоматизированной системы контроля толщины покрытий
    • 3. 3. Выводы
  • 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КАМЕРТОННОГО ДАТЧИКА И АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ
    • 4. 1. Автоматизированная система контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика
      • 4. 1. 1. Камертонный датчик толщины покрытий, наносимых в вакууме
      • 4. 1. 2. Устройство сопряжения
      • 4. 1. 3. Блок нагрева силовой
      • 4. 1. 4. Программное обеспечение автоматизированной системы контроля толщины покрытий
    • 4. 2. Метрологическое обеспечение и испытания автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика
    • 4. 3. Выводы

Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Термическое осаждение материалов в вакууме является одной из эффективных технологий получения тонкопленочных покрытий, применяемых в авиационной технологии, машиностроении, приборостроении и электронике. Разновидность термического испарения — электронно-лучевая технология — находит все большее применение для нанесения жаростойких, теплозащитных и антикоррозионных покрытий на лопатки авиационных ГТД и энергетических ГТУ, а также в отмеченных выше отраслях промышленности.

Механические и физико-химические свойства покрытий зависят от множества параметров технологического процесса их осаждения и комплекса технологических мероприятий. Однако выбранные оптимальные режимы и условия технологического процесса не остаются постоянными в течение времени осаждения покрытия из-за действия различных возмущений. Воспроизводимость свойств покрытий может быть обеспечена стабилизацией этих параметров в течение всего времени осаждения покрытия, а также своевременным прекращением процесса осаждения при достижении покрытием заданной толщины или иного существенного параметра, изменяющегося в процессе нанесения покрытия и определяющего его основное эксплуатационное назначение. Многие параметры покрытий и технологического процесса их получения контролируются операторами УВН визуально, а также по большому количеству разрозненных измерительных приборов. Операторы не в состоянии следить одновременно за всеми параметрами и своевременно корректировать их в случае изменения параметров от влияния различных возмущений или изменять параметры по заданной программе получения покрытия.

Следовательно, стабильность качественных характеристик покрытий при термовакуумном, в том числе электронно-лучевом, нанесении может быть обеспечена только при наличии средств автоматизированного и автоматического контроля и регулирования параметров покрытий и технологического процесса. Поэтому актуальной является задача непрерывного автоматизированного контроля этих параметров в процессе осаждения покрытия.

В данной работе предпринята попытка совершенствования вибрационного метода контроля толщины жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе осаждения их в вакууме на лопатки авиационных ГТД путем автоматизации процесса и создания нового датчика толщины покрытий.

Объектом исследований настоящей работы является технологический процесс осаждения жаростойких и теплозащитных покрытий на лопатки авиационных газотурбинных двигателей методом электронно-лучевого испарения материала.

Предметом исследований настоящей работы являются методы оперативного контроля толщины тонкопленочных покрытий, наносимых в вакууме, и средства их автоматизации.

Цель работы — совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме посредством разработки и исследования камертонного датчика и создания автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе персонального компьютера класса IBM PC.

Для выполнения работы используются следующие методы исследования:

— исследование и систематизация известных методов оперативного контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме;

— теория испарения и конденсации веществ в вакууме;

— теория колебаний;

— физика тонких пленок;

— математическое моделирование камертонного датчика толщины покрытий, наносимых в вакууме;

— экспериментальное исследование камертонного датчика и автоматизированной системы контроля жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе их осаждения в вакууме на лопатки авиационных газотурбинных двигателей.

Научная новизна работы заключается в следующем:

— предложена, исследована и доказана возможность применения камертонного осциллятора в качестве чувствительного элемента датчика толщины жаростойких и теплозащитных покрытий, наносимых в вакууме;

— разработана и исследована математическая модель, описывающая влияние приращения и разбаланса масс ветвей камертонного осциллятора на частоту колебаний и чувствительность камертонного датчика.

В результате проведения исследований сформулированы основные научные положения, которые выносятся на защиту:

— применение камертонного осциллятора в качестве чувствительного элемента датчика толщины жаростойких и теплозащитных покрытий, наносимых в вакууме;

— математическая модель камертонного датчика толщины покрытий;

— структура оптимального камертонного генератора с точки зрения получения максимального ресурса путем стабилизации амплитуды колебаний камертонного датчика;

— способ аппаратно-программной реализации автоматизированной системы контроля толщины жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе их электронно-лучевого осаждения в вакууме на лопатки авиационных газотурбинных двигателей.

Практическая ценность работы заключается в следующем:

— создан камертонный датчик толщины жаростойких и теплозащитных покрытий, наносимых в вакууме на лопатки авиационных ГТД и другие изделия;

— создана автоматизированная система контроля толщины покрытий в процессе осаждения их в вакууме, разработанная на базе камертонного датчика и персонального компьютера класса IBM PC;

— разработанная АСК ТП на базе камертонного датчика внедрена на ОАО «НПО «Сатурн»;

— результаты разработки, теоретических и экспериментальных исследований камертонного датчика толщины покрытий используются в учебном процессе РГАТА им. П. А. Соловьева.

Созданная АСК ТП на базе камертонного датчика может быть использована как самостоятельное устройство или как элемент систем автоматического управления процессом получения защитных покрытий и тонких пленок.

Достоверность теоретических результатов подтверждена экспериментальными исследованиями и испытаниями разработанной автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика.

Результаты работы прошли апробацию в докладах на 12 международных, всероссийских, межрегиональных, научно-технических, научно-практических и студенческих симпозиумах, конференциях и семинарах:

— Студенческая научно-техническая конференция «Управление, контроль и обеспечение качества в машиностроении и приборостроении» (Рыбинск, 2002);

— Всероссийская научно-техническая конференция «Аэрокосмические технологии и образование на рубеже веков» (Рыбинск, 2002);

— II Международная научно-техническая конференция молодых ученых и специалистов «Современные проблемы аэрокосмической науки и техники» (Жуковский, 2002);

— Первая научно-практическая конференция молодых ученых и специалистов «Исследования и перспективные разработки в авиационной промышленности» (Москва, 2002);

— VIII, IX, X Международные научно-технические конференции «Высокие технологии в промышленности России» (Москва, 2002, 2003, 2004);

— XXVIII конференция молодых ученых и студентов (Рыбинск, 2003);

— Международный научно-практический симпозиум «Функциональные покрытия на стеклах» (Харьков, 2003);

— II Межрегиональный семинар «Нанотехнологии и фотонные кристаллы» (Калуга, 2004);

— 11-ая Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика-2004» (Зеленоград, 2004);

— Всероссийская научно-техническая конференция «Моделирование и обработка информации в технических системах» (Рыбинск, 2004).

Актуальность и научная значимость настоящей диссертационной работы отмечена грантом Министерства образования и науки Российской Федерации (шифр гранта А03−3.16−216).

По материалам диссертации опубликовано 11 печатных работ, из них 8 статей и 3 тезисов докладов.

Диссертация состоит из введения, четырех разделов, заключения, списка источников и двух приложений на 150 листах, содержит 58 рисунков, 16 таблиц, список источников из 103 наименований.

4.3 Выводы.

В четвертой главе были проведены экспериментальные исследования камертонного датчика и автоматизированной системы контроля толщины жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе нанесения их в вакууме на лопатки авиационных газотурбинных двигателей и другие изделия.

Разработан опытный образец автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика (подраздел 4.1) и проведено его внедрение на ОАО «НПО «Сатурн». Результаты разработки, теоретических и экспериментальных исследований камертонного датчика толщины покрытий используются в учебном процессе РГАТА им. П. А. Соловьева (приложение Б).

В таблице 16 приведены технические характеристики автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика, полученные путем испытаний системы (подраздел 4.2).

Из анализа таблицы 10 и таблицы 16 можно сделать вывод, что для контроля жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе их осаждения в вакууме на изделия машиностроения, в частности, на лопатки авиационных газотурбинных двигателей целесообразно использовать разработанную АСК ТП на базе камертонного датчика, так как камертонный датчик имеет более высокую чувствительность и точность по сравнению с весовым и вибрационным датчиками и лишен недостатков, связанных с влиянием на показания датчика следующих факторов:

— давления парового потока от испарителя;

— возникновения термоЭДС (эффекта Зеебека) при измерении температуры контрольного образца.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Основные научные и практические результаты работы показали возможность создания автоматизированной системы контроля толщины жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе их осаждения в вакууме на лопатки авиационных ГТД и другие изделия на базе персонального компьютера класса IBM PC с использованием камертонного датчика толщины, позволяющую увеличить точность контроля толщины покрытий по сравнению с существующими устройствами и методами.

В процессе выполнения работы были получены следующие основные результаты.

1. Проведен анализ существующих методов оперативного контроля толщины и скорости осаждения покрытий, который показал, что для контроля толщины жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе их осаждения в вакууме на изделия машиностроения, в частности, на лопатки авиационных газотурбинных двигателей, могут использоваться весовой и вибрационный методы, так как они предназначены для контроля толщины относительно толстых (десятки и сотни микрометров) покрытий. Также немаловажным фактором является то, что с помощью этих методов возможен контроль толщины покрытий из любых материалов (СДП сплавы, керамика, металлы).

2. Для контроля толщины жаростойких и теплозащитных покрытий в процессе их осаждения в вакууме на лопатки авиационных газотурбинных двигателей разработан камертонный датчик толщины покрытий, который позволяет повысить точность контроля в 2 раза (погрешность контроля 2,33%) по сравнению с вибрационным датчиком. Чувствительность камертонного датчика (относительно изменения периода) составила по массе 15,2-Ю-2 г-1, по толщине 5,28-Ю-4 мкм-1 при плотности материала р = 8,9 г/см3.

3. Разработана и исследована математическая модель, описывающая влияние приращения и разбаланса масс ветвей камертонного осциллятора на частоту колебаний и чувствительность камертонного датчика толщины покрытий.

4. Разработана схема оптимального камертонного генератора, который позволяет автоматически стабилизировать амплитуду колебаний камертонного датчика, что привело к увеличению ресурса камертонного датчика в 4 раза по сравнению с использованием генератора, не содержащего схему автоматической стабилизации амплитуды колебаний.

5. Повышена точность стабилизации температуры, которая составила ± 1 °C, посредством использования для контроля температуры контрольных образцов терморезистора вместо термопары и питания схемы измерения температуры переменным напряжением.

6. Разработана автоматизированная система контроля толщины жаростойких и теплозащитных покрытий, наносимых в вакууме на лопатки авиационных газотурбинных двигателей и другие изделия, где в качестве датчика толщины используется камертонный датчик. Величина запаздывания системы составляет 1 мс (2000 машинных тактов) при использовании процессора Intel Pentium 166 МГц, а статическая ошибка при измерении периода колебаний камертонного датчика — ± 0,01 мс.

7. Разработаны опытные образцы камертонного датчика и автоматизированной системы контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме.

8. Проведены экспериментальные исследования и испытания разработанной автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика, которые подтвердили достоверность теоретических результатов.

Результаты диссертационной работы внедрены на ОАО «НПО «Сатурн» и используются в учебном процессе в РГАТА им. П. А. Соловьева. Использование автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе «камертонного датчика позволит улучшить условия труда операторов установок вакуумного напыления и увеличить точность контроля толщины покрытий, что приведет к увеличению процента выхода годных изделий.

Автор выражает глубокую благодарность научному руководителю профессору Семенову Э. И., доценту Гусарову А. В., профессору Вернигору В. Н. (РГАТА им. П. А. Соловьева), Жорнику М. Н., Шишкину В. Н. (ОАО «НПО «Сатурн») за обсуждение материалов диссертационной работы и ценные советы, аспирантам кафедры «Вычислительные системы» РГАТА им. П. А. Соловьева Ломанову А. Н., Истомину А. С., Швалеву Н. А. за помощь в проведении экспериментальных исследований, а также Ерочкину М. П., Якобсону В. Е. и операторам УВН за помощь при проведении испытаний и внедрении АСК ТП на базе камертонного датчика на ОАО «НПО «Сатурн».

Показать весь текст

Список литературы

  1. Технология тонких пленок Текст.: справочник: в 2-х т. — под ред. Л. Майс-села, Р. Глэнга — пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. М.: Сов. радио, 1977. — Т. 1 — 664 с.: ил.
  2. , И. Л. Нанесение защитных покрытий в вакууме Текст. / И. Л. Ройх, Л. Н. Колтунова, С. Н. Федосов. М.: Машиностроение, 1976. — 368 с.: ил.
  3. Защитные покрытия на стали Текст. / И. Л. Ройх, Л. Н. Колтунова М.: Машиностроение, 1971.-280 с.: ил.
  4. , Л. К. Методы нанесения тонких пленок в вакууме Текст. / Л. К. Ковалев, Ю. В. Панфилов // Справочник. Инженерный журнал. 1997. — № 3. -С.20−28.
  5. Измерения и автоматизация Текст.: каталог. М.: National Instruments, 2002. — 49 с.: ил.
  6. , Н. Н. Аппаратные и программные средства систем управления Текст.: учеб. пос. Рыбинск: РГАТА, 2003. — 90 с.: ил.
  7. , А. А. Состояние и тенденции развития методов и средств контроля толщины покрытий в приборостроении Текст. / А. А. Богородицкий, А. А. Капитанов, А. А. Мельников // Измерения, контроль, автоматизация. 1982. — № 1.-С. 9−14.
  8. , В. А. Современное состояние и тенденции развития неразру-шающего контроля покрытий (Обзор) Текст. / В. А. Троицкий, В. И. Загребельный, Н. Н. Синица // Автоматическая сварка. 1986. — № 7. — С. 22−29.
  9. , Ф. П. Датчики оперативного технологического контроля процессов нанесения и травления пленок Текст. / Ф. П. Демидов, Л. М. Аммосова // Электронная промышленность. 1991. -№ 7. — С. 20−26.
  10. , Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем Текст.- под общ. ред. Р. А. Нилендера. М.: Энергия, 1972. — 256 с.: ил.
  11. Технология тонких пленок Текст.: справочник: в 2-х т. — под ред. JI. Майссела, Р. Глэнга — пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. М.: Сов. радио, 1977. — Т. 2 — 768 с.: ил.
  12. , В. П. Весовой измеритель толщины и скорости роста покрытий Текст. / В. П. Мищенко, П. П. Осечков, JI. Ф. Новиченко // Проблемы специальной-электрометаллургии. 1985. — № 4. — С. 51−55.
  13. , В. П. Автоматизированная система управления процессом электронно-лучевого нанесения покрытий Текст. / В. П. Мищенко, Н. В. Подола, В. Н. Воробьев, С. С. Тарасов // Проблемы специальной электрометаллургии. -1985.-№ 3.-С. 45−50.
  14. , Г. С. Механотроны, Текст. М.: Радио и связь, 1984. — 248 с. :ил.
  15. Зигмунд, Х.-Й. Новые измерительные приборы и микропроцессорное управление для напылительных и распылительных установок Текст. Ганау: Лей-больд-Хереус ГМБХ, 1980. — 33 с.: ил.
  16. , Ф. П. Применение пьезокварцевого микровзвешивания при изготовлении тонкопленочных структур Текст. / Ф. П. Демидов, А. И. Лоскутов, В. К. Ершов // Электронная промышленность. 1989. — № 11. — С. 20−21.
  17. , В. В. Пьезорезонансные датчики Текст. — 2-е изд., перераб. и доп. М.: Энергоатомиздат, 1989. — 272 с.: ил.
  18. , А. Б. Прибор для контроля толщины и скорости осаждения пленок при вакуумном испарении Текст. / А. Б. Ляпахин, Б. Л. Пьянков, Д. Б. Горбачев // Оптико-механическая промышленность. 1988. — № 1. — С. 29−30.
  19. , С. В. Модуль контроля и управления процессом напыления тонких пленок Текст. / С. В. Чураев, В. И. Хомяков // Каталог приборов. — Минск: Наука и техника, 1988.-С. 152−153.
  20. Заявка 98 100 837 Российская Федерация, МКИ6 С 23 С 14/35. Устройство для нанесения покрытий в вакууме Текст. / В. Г. Кузнецов, В. П. Булатов, С. И. Рыбников (Россия) — заявл. 01.13.1998 — опубл. 27.10.1999.
  21. , А. В. Анализ точностных характеристик фотометрического датчика толщины пленок Текст. / А. В. Юдин, С. Э. Семенова // Датчики и системы. -2001. -№ 11. -С. 44−46.
  22. , Е. А. Контроль толщин пленок при плазменном ВЧ распылении диэлектриков Текст. // Изв. Ленинград, электротехн. ин-та им. В. И. Ульянова (Ленина). 1989. — Вып. 408. — С. 57−60.
  23. , Ю. А. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве Текст. / Ю. А. Быстрое, Б. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. М.: Радио и связь, 1988. — 168 с.: ил.
  24. , Е. А. Автоматизированный спектрофотометр для контроля процесса осаждения диэлектрических покрытий Текст. / Е. А. Колгин, Ю. А. Кораблев, А. А. Ухов // Изв. Ленинград, электротехн. ин-та им. В. И. Ульянова (Ленина). -1990. Вып. 419. — С. 48−52.
  25. , Е. А. Об опыте применения лазерной системы контроля в установках термовакуумного нанесения фотослоев на основе селенида кадмия Текст. // Изв. Ленинград, электротехн. ин-та им. В. И. Ульянова (Ленина). 1993. -Вып. 455. — С. 3−6.
  26. , Г. В. Нанесение неравнотолщинных покрытий с использованием оптического контроля Текст. / Г. В. Пантелеев, А. А. Журавлев // Оптико-механическая промышленность. 1988. — № 3. — С. 35−36.
  27. А. с. 890 760 СССР, МКИ3 С 23 С 13/08. Устройство для контроля скорости и толщины пленок на подложках Текст. / В. А. Тучин, Н. Т. Ключник, А. И. Гуров (СССР) — опубл. 13.05.1980.
  28. А. с. 1 026 004 СССР, МКИ3 G 01 В 11/16. Устройство для контроля толщины тонких пленок, наносимых на подложку Текст. / P. X. Фазылзянов, И. X. Исаков, И. С. Гайнутдинов (СССР) — заявл. 06.01.1982 — опубл. 30.06.1983, Бюл. № 24.
  29. , О. П. Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС Текст. / О. П. Глудкин, А. Е. Густов. М.: Радио и связь, 1981. — 112 с.: ил. (Масс, б-ка инж. «Электроника»).
  30. , Н. М. Устройство контроля толщины и показателя преломления прозрачных пленок в процессе выращивания Текст. // Электронная промышленность. 1989.-№ 1.-С. 50.
  31. , В. А. Система лазерного контроля процессов плазмохимического травления Текст. / В. А. Сокол, С. С. Сухорукое, В. М. Тельнов, В. И. Хомяков, С. В. Чукаев // Электронная промышленность. 1989. — № 1. — С. 57.
  32. Ком раков, Б. М. Измерение параметров оптических покрытий Текст. / Б. М. Комраков, Б. А. Шапочкин. М.: Машиностроение, 1986. — 136 с.: ил. (Б-ка приборостр-ля).
  33. Пат. 2 032 237 Российская Федерация, МКИ6 Н 01 С 17/08, Н 01 L 21/66.
  34. Способ контроля поверхностного сопротивления тонких резистивных пленок в процессе осаждения Текст. / В. К. Смолин, В. П. Уткин (Россия) — заявл. 04.02.1992 — опубл. 27.03.1995, Бюл. № 9.
  35. А. с. 1 127 913 СССР, МКИ3 С 23 С 13/00. Устройство для контроля толщины покрытия Текст. / Э. И. Семенов, В. П. Сидоркин, В. Ф. Латышев (СССР) — заявл. 30.03.1983 — опубл. 07.12.1984, Бюл. № 45.
  36. А. с. 1 415 041 СССР, МКИ4 G 01 В 7/06, С 23 С 14/56. Способ непрерывного контроля толщины покрытий при их напылении и устройство для его осуществления Текст. / Э. И. Семенов, В. П. Сидоркин (СССР) — заявл. 15.09.1986 — опубл. 07.08.1988, Бюл. № 29.
  37. , Э. И. Методы контроля технологического процесса термовакуумного нанесения защитных покрытий и тонких пленок и их параметров Текст. // Контроль. Диагностика. 1999. — № 3. — С. 17−24.
  38. , В. А. Хронометрия Текст. М.: Машиностроение, 1974. -656 с.: ил.
  39. , Г. И. Физика твердого тела Текст.: учеб. пос. для ВТУЗов. -2-е изд., перераб. и доп. М.: Высшая школа, 1977. — 288 с.: ил.
  40. , И. Ю. Вибрационный датчик толщины покрытий, наносимых в вакууме Текст. / И. Ю. Паутов, Э. И. Семенов // Высокие технологии в промышленности России: мат. VIII Междунар. науч.-техн. конф. — под ред. А. Ф. Белянина,
  41. B. В. Жиликова, М. И. Самойловича. М.: ОАО ЦНИТИ «ТЕХНОМАШ», 2002.1. C. 204−208.
  42. Pat. 4 036 167 USA, Int. С1.2 С 23 С 13/08. Apparatus for monitoring vacuum deposition processes Text. / Chin-shun Lu (USA) — filed 30.01.1976 — publ. 19.07.1977.
  43. , Л. И. Контроль толщины тонких пленок при вакуумном напылении Текст. / Л. И. Зибер, Н. А. Кельнер, М. А. Шабельник // Изв. Ленинград, электро-техн. ин-та им. В. И. Ульянова (Ленина). 1980. — Вып. 279. — С. 59−60.
  44. , И. Н. Прибор для контроля параметров пленок при их напылении в вакууме Текст. / И. Н. Лещенко, В. А. Сокол, С. В. Чукаев // Приборы и техника эксперимента. 1984. — № 3. — С. 243−244.
  45. , В. Н. Система автоматического управления установками для электронно-лучевого нанесения покрытий Текст. / В. Н. Воробьев, В. П. Мищенко,
  46. Ю. Н. Панкин, С. С. Тарасов // Проблемы специальной электрометаллургии. — 1988.-№ 4. -С. 57−62.
  47. , А. Б. Адаптивное управление термическим испарением в вакууме Текст. / А. Б. Данилин, М. Н. Кузнецов, А. А. Майоров, В. А. Путинцев, И. Б. Ядыкин // Автоматика и телемеханика. 1985. — № 4. — С. 81−86.
  48. , JI. Т. Микропроцессорные блоки управления «Орион» Текст. / Л. Т. Некрасов, Ю. К. Громов, С. Ф. Лопарев // Электронная промышленность. -1990.-№ 12.-С. 55−58.
  49. , В. А. Нелинейные алгоритмы адаптации для многосвязных динамических объектов Текст. / В. А. Путинцев, И. Б. Ядыкин // Автоматика и телемеханика. 1980. — № 6. — С. 85−95.
  50. , А. В. Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники Текст. / А. В. Кондратов, А. А. Потапенко. М.: Радио связь, 1986. — 80 с.: ил. (Б-ка констр.-технол. радиоэлектр. ап-ры).
  51. , В. В. Электронно-лучевая вакуумная установка «Электроника ТМ-1205» Текст. / В. В. Беденко, А. И. Беляков, А. А. Майоров, С. И. Мирошкин,
  52. B. В. Одиноков, В. Д. Рагузин // Электронная промышленность. 1991. — № 5. —1. C. 5−6.
  53. , Б. Е. Современные электронно-лучевые технологии Института электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины Текст. // Проблемы специальной электрометаллургии. 2000. — № 2. — С. 22−34.
  54. , Б. А. Жаростойкие покрытия, осаждаемые в вакууме Текст. / Б. А. Мовчан, И. С. Малашенко. Киев: Наукова думка, 1983. — 232 с.: ил.
  55. Система автоматического управления процессом электронно-лучевого нанесения защитных покрытий Текст. Киев: Наукова думка, 1985. — 2 с.
  56. Industrial box coaters EVA 600 Text. Paris: CIT Alcatel, 1982. — 12 p.: ill. (Проспект фирмы Alcatel).
  57. Multi process sputtering deposition system SCM 451 SCM 601 Text. -Paris: CIT Alcatel, 1982. — 18 p.: ill. (Проспект фирмы Alcatel).
  58. Plasmatel 450 Text. Paris: CIT Alcatel, 1980. — 6 p.: ill. (Проспект фирмы Alcatel).
  59. High-Vacuum Process System ВАК 600 for Production of Thin Films in the Optical and Electronics Industries Text. Liechtenstein: Balzers, 1982. — 8 p.: ill. (Проспект фирмы Balzers).
  60. Hochvakuum-Prozess-System ВАК 760 zur Herstellung Dunner Schichten for die Optik und Elektronik Text. Liechtenstein: Balzers, 1986. — 12 s.: ill. (Проспект фирмы Balzers).
  61. An economical sputtering plant for research, development and small scale production BAS 450 PM Text. Liechtenstein: Balzers, 1982. — 8 p.: ill. (Проспект фирмы Balzers).
  62. Information New Products: UNUVEX 300 Versatile Pilot Vacuum Coater Text. — Koln: Leybold-Heraeus GMBH, 1986. — 4 p.: ill. (Проспект фирмы Leybold-AG).
  63. Information neue Produkte: UNIVEX 450 Universelle Experimentieranlage Text. — Koln: Leybold-Heraeus GMBH, 1982. — 4 p.: ill (Проспект фирмы Leybold-AG).
  64. Производство тонких пленок в исследовании и развитии: Универсальная лабораторная система Z400 для катодного распыления Текст. Кельн: Лейбольд-Хереус ГМБХ, 1980. — 20 с.: ил. (Проспект фирмы Leybold-AG).
  65. Large Capacity: High Vacuum Coater EBX Series Text. Tokyo: Ulvac, 1980. — 8 p.: ill. (Проспект фирмы Ulvac).
  66. Two Chamber Type: High Vacuum Coater SYSTEM 1200IIS Text. Tokyo: Ulvac, 1980. — 4 p.: ill. (Проспект фирмы Ulvac).
  67. , В. И. Прецизионные приборы камертонного типа Текст. — М.: Машиностроение, 1985. -112с.: ил. (Б-ка приборостр-ля).
  68. , С. П. Приборы времени Текст.: учеб. для приборостроит. спец. техн-ов по курсу «Приборы времени» / С. П. Круглова, А. Э. Футорян, Г. Н. Чаузова. М.: Машиностроение, 1986. — 272 с.: ил.
  69. Аксельрод, 3. М. Проектирование часов и часовых систем Текст. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1981. — 328 с.: ил.
  70. A. Ф. Белянина, М. И. Самойловича. М.: ОАО ЦНИТИ «ТЕХНОМАШ», 2004. -С. 236−241.
  71. , С. В. Приборы времени Текст.: учеб. для техн-ов по спец. «Производство приборов времени». М.: Машиностроение, 1976. — 376 с.: ил.
  72. , В. И. Динамические модели камертонных осцилляторов Текст. /
  73. B. И. Денисов, В. А. Шполянский, Б. М. Чернягин // Электрические часы и электрочасовые системы. -М.: ОНТИПрибор, 1967. С. 135−156.
  74. , И. Н. Справочник по матем. для инж. и уч-ся ВТУЗов Текст. / И. Н. Бронштейн, К. А. Семендяев. 13-е изд., испр. — М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986. — 544 с.: ил.
  75. , А. И. Метрология и радиоизмерения Текст.: консп. лекций: в 2-х ч. Рыбинск: РГАТА, 1995. — Ч. 1. — 66 с.: ил.
  76. , В. Г. Элементы современной низкочастотной электроники Текст. М. — Л.: Энергия, 1964. — 88 с.: ил. (Масс, радиоб-ка. Вып. 559).
  77. , Th. Гибкие масштабируемые системы сбора данных на основе ПК Текст. // Instrumentation Newsletter. 2001. — Том 13, № 3. — С. 4−5.
  78. , Ю. В. Разработка устройств сопряжения для персонального компьютера типа ЮМ PC Текст.: практ. пос. / Ю. В. Новиков, О. А. Калашников, С. Э. Гуляев — под общ. ред. Ю. В. Новикова. М.: ЭКОМ, 2002. — 224 с.: ил.
  79. , И. Ю. Измеритель толщины покрытий «Слой-5» Текст. // Микроэлектроника и информатика 2004. 11-я Всерос. межвуз. науч.-техн. конф. студентов и аспирантов: тез. докл. — М.: МИЭТ, 2004. — С. 231.
  80. The Measurement and automation Text.: catalog. Austin: National Instruments, 2002. — 769 p.: ill.
  81. Краткий каталог продукции ПроСофт 8.0 Текст. М.: ProSoft, 2002. -273 с.: ил.
  82. , В. Структура измерительной системы на базе пассивных датчиков Текст. // Современные технологии автоматизации. 2002. — № 1. — С. 76−84.
  83. , А. М. Теоретические основы построения эффективных АСУ ТП Электронный ресурс.: консп. лекций / А. М. Литюга, Н. В. Клиначев, В. М. Мазуров. Offline версия 1.1. — Тула, Челябинск, 2002. — 703 файла: ил.
  84. , В. А. Цифровые автоматические системы Текст. М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1976. — 576 с.: ил.
Заполнить форму текущей работой

Заказал и сдал!