Разработка технологии нанесения вакуумных многослойных светопоглощающих покрытий на оптические детали
Практическая значимость. Исследования, проведенные в рамках диссертации, позволили разработать конструкцию и технологию нанесения светопоглощающих покрытий, которые имеют практическую ценность в сфере создания оптико-электронных приборов и систем космической ориентации и астрокоррекции. Данные покрытия за счет многократного поглощения падающего излучения, лежащего за границами угла поля зрения… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. — Анализ методов нанесения светопоглощающих покрытий
- 1. 1. Светопоглощающие покрытия
- 1. 1. 1. Технические требования к светопоглощающим покрытиям
- 1. 1. 2. Материалы, используемые для получения светопоглощающих покрытий, и область их применения
- 1. 2. Химические и химико-физические методы нанесения светопоглощающих покрытий
- 1. 2. 1. Химическое оксидирование
- 1. 2. 2. Анодирование
- 1. 2. 3. Черное никелирование.,
- 1. 2. 4. Атомно-слоевое осаждение (молекулярное наслаивание)
- 1. 3. Физические методы нанесения светопоглощающих покрытий
- 1. 3. 1. Термическое испарение низковакуумного конденсата металла
- 1. 3. 2. Термическое испарение композиционных материалов
- 1. 3. 3. Электронно-лучевое испарение металлов и диэлектриков
- 1. 3. 4. Ионно-лучевое распыление металлов и диэлектриков
- 1. 3. 5. Обработка материалов лазерным излучением
- 1. 4. Сравнительные свойства покрытий
- 1. 5. Выводы и постановка задач исследования
- 1. 1. Светопоглощающие покрытия
- Глава 2. — Разработка и оптимизация конструкций вакуумных светопоглощающих покрытий
- 2. 1. Определение начальных условий расчета конструкций светопоглощающих покрытий и этапов его проведения
- 2. 2. Описание матричного метода расчета конструкций светопоглощающих покрытий
- 2. 3. Расчет спектральных энергетических коэффициентов отражения и пропускания светопоглощающих покрытий для различных углов падения излучения
- 2. 4. Оптимизация покрытий по оптической толщине
- 2. 5. Определение теоретической зависимости энергетических коэффициентов светопоглощающих покрытий от материала подложки
- 2. 6. Анализ спектрального сдвига кривой энергетического коэффициента отражения, в зависимости от различных углов падения излучения
- 2. 7. Оценка возможности использования в конструкции покрытий различных поглощающих материалов
- 2. 8. Выводы
- Глава 3. — Исследование влияния технологических параметров процесса нанесения на оптические и эксплуатационные свойства светопоглощающих покрытий
- 3. 1. Методика нанесения светопоглощающих покрытий
- 3. 1. 1. Применяемое оборудование
- 3. 1. 2. Контроль технологических параметров процесса нанесения светопоглощающих покрытий
- 3. 1. 3. Подготовка поверхности подложек и пленкообразующих материалов
- 3. 2. Методика исследования светопоглощающих покрытий
- 3. 2. 1. Методы исследования оптических характеристик покрытий
- 3. 2. 2. Методы исследования морфологии поверхности и покрытий
- 3. 2. 3. Методы исследования механической прочности покрытий
- 3. 2. 4. Определение условий, параметров и режимов технологического процесса нанесения покрытий
- 3. 3. Исследование оптических характеристик светопоглощающих покрытий на подложках из различных материалов
- 3. 3. 1. Влияние подготовки поверхности подложек на оптические характеристики светопоглощающих покрытий
- 3. 3. 2. Влияние технологических факторов на оптические характеристики светопоглощающих покрытий
- 3. 4. Анализ степени влияния технологических режимов на эксплуатационные свойства покрытий
- 3. 5. Изучение теплофизических свойств светопоглощающих покрытий
- 3. 6. Анализ результатов исследований
- 3. 1. Методика нанесения светопоглощающих покрытий
- Глава 4. — Разработка и внедрение технологического процесса нанесения светопоглощающих покрытий на подложки из различных материалов
- 4. 1. Модернизация подколпачной арматуры вакуумной камеры
- 4. 2. Методика подготовки поверхности подложек и испаряемых материалов
- 4. 3. Контроль выходных параметров покрытий
- 4. 3. 1. Расчет параметров фотометрического контроля для нанесения слоев диэлектриков
- 4. 3. 2. Расчет параметров кварцевого контроля для нанесения слоев металла
- 4. 4. Определение оптимальных режимов технологического процесса нанесения светопоглощающих покрытий на подложки из различных материалов
- 4. 5. Разработка технологической документации для нанесения светопоглощающих покрытий методом электронно-лучевого испарения материалов в вакууме
- 4. 6. Применение деталей с разработанным светопоглощающим покрытием в составе приборов ориентации и астрокоррекции
Разработка технологии нанесения вакуумных многослойных светопоглощающих покрытий на оптические детали (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
В настоящее время, в отечественном и зарубежном приборостроении разрабатывается широкий класс космических приборов, применяемых на спутниках связи и космических станциях, для определения собственных координат и ориентации космического аппарата в пространстве. Речь идет о датчиках горизонта земли, звездных и солнечных датчиках. В качестве первичного канала приема информации в данных приборах используется оптический канал, который должен обеспечивать: высокую чувствительность пеленгации звезд, солнца или земли, в зависимости от типа приборавысокую контрастность объекта с фономхорошую разрешающую способностьстабильность работы во времени (на протяжении всей жизни космического аппарата) — низкий уровень шумов, вносящих существенные затруднения в алгоритм обработки сигнала.
Существенное воздействие на уровень шумов в приборах, а также, качество получаемого изображения оказывают боковые засветки, которые возникают вследствие попадания в оптическую систему излучения под большими углами, выходящими за пределы поля зрения. Многократное переотражение данного излучения от боковых поверхностей оптических элементов объективов приводит к фоновой засветке светочувствительной приемной матрицы приборов. Это приводит к снижению разрешающей способности матрицы, что влечет дополнительную нагрузку на фильтрацию аддитивной смеси полезного сигнала и помехи и увеличивает суммарное время обработки информации. В работе [1] подробно изложены методы фильтрации сигналов в оптико-электронных приборах (ОЭП).
Для борьбы с боковыми помехами ОЭП видимого диапазона (в основном это звездные приборы), в оптическом приборостроении используются специальные светозащитные бленды, предназначенные для снижения яркости рассеянного света до значения, меньшего яркости фоновых помех, а также подавления возможных бликов от этих помех. Одним из основных параметров бленды является коэффициент ослабления к0сл отношение освещенности от боковой помехи на входе бленды к освещенности, создаваемой рассеянным светом на ее выходе [2]. На практике применяются различные конструкции бленд — круговые, двойные, кольцевые, сотовые. Степень подавления оптических помех напрямую связана с поглощающими свойствами внутренних рабочих поверхностей бленд, покрытых специальными покрытиями.
Существующие типы покрытий отличаются в зависимости от материала и химико-физических свойств поверхности, на которую они наносятся. Данные покрытия относятся к виду светопоглощающих покрытий и занимают особое место в технологии оптического приборостроения. Основными требованиями, предъявляемыми к таким покрытиям для приборов космических аппаратов, являются: обеспечение заданного коэффициента отражения и коэффициента яркости в рабочем диапазоне длин волнобеспечение механической прочности и стойкости к воздействию космической радиации для заданного срока эксплуатации.
На сегодняшний день для получения светопоглощающих покрытий применяются различные методы, в массе своей основанные на проведении химических реакций на поверхности деталей, входящих в состав светозащитных бленд. В ходе данных реакций происходит изменение приповерхностной структуры металла с образованием новых химических соединений. В результате обрабатываемая металлическая поверхность приобретает оттенки черного цвета. Данные методы варьируются в зависимости от материала подложки и вида поверхности (шлифованная, полированная). Практика применения таких покрытий имеет ряд преимуществ и недостатков. В качестве основного преимущества можно выделить возможность обработки поверхностей сложных форм. Кроме этого, оборудование для получения данных покрытий имеет относительно низкую стоимость. Серьезным недостатком является применение кислот и щелочей для осуществления химических реакций, оказывающих воздействие на здоровье обслуживающего персонала и на экологию окружающей среды. В некоторых случаях для повышения механической прочности покрытий применяются дополнительные методы обработки, что существенно увеличивает технологический цикл производства деталей и снижает производительность процесса. Стоит отметить, что известные химические методы не позволяют свободно управлять в широких приделах параметрами покрытий, такими как коэффициенты отражения и яркости, адгезия и другими.
Задача технологического процесса нанесения светопоглощающего покрытия на детали светозащитных бленд состоит в изменении оптических характеристик рабочих поверхностей — снижении коэффициента отражения и коэффициента яркости в заданной области спектра при обеспечении высокой механической прочности и радиационной стойкости покрытия. Процесс должен быть максимально управляемым с точки зрения достижения заданных характеристик покрытия, а его вредное воздействие на персонал и окружающую среду должно быть минимальным.
Актуальность работы вызвана постоянно растущими требованиями к оптическим и механическим характеристикам светопоглощающих покрытий и постоянно увеличивающейся номенклатурой приборов, в которых они применяются. Вместе с тем, необходимо решить вопрос повышения качества покрытия и производительности технологического процесса, при снижении вредного воздействия на человека и окружающую среду.
Особенно стоит отметить вопрос о разработке технологического процесса нанесения светопоглощающего покрытия, который позволил бы использовать подложки из различных материалов (сталь, алюминий, никель, стекло), с различными видами поверхностей (шлифованная, полированная).
Актуальность данной работы определяется необходимостью разработки принципиально новой эффективной технологии получения светопоглощающих покрытий на подложках из металла и стекла, с применением современного высокотехнологичного оборудования.
Научная новизна работы состоит в том, что впервые разработан новый технологический процесс нанесения светопоглощающих покрытий методом электронно-лучевого испарения в вакууме на оптические поверхности деталей из таких материалов, как стекло, сталь, алюминий, латунь, медь, титан.
В диссертационной работе проведен анализ различных методов получения светопоглощающих покрытий, а также были рассмотрены их эксплуатационные свойства.
В рамках работы была разработана и оптимизирована по толщине новая конструкция светопоглощающих покрытий, состоящая из чередующихся металлических и диэлектрических слоев. Покрытия данной конструкции поглощают более 90% электромагнитного излучения в широком диапазоне спектра. Достижением является возможность снижения коэффициентов яркости и отражения от поверхности с покрытием в десятки раз.
Проведенные исследования позволили установить взаимосвязь между технологическими режимами процесса нанесения покрытий и их эксплуатационными свойствами, в результате чего была разработана и оптимизирована универсальная технология нанесения светопоглощающих покрытий на подложки из различных материалов.
Практическая значимость. Исследования, проведенные в рамках диссертации, позволили разработать конструкцию и технологию нанесения светопоглощающих покрытий, которые имеют практическую ценность в сфере создания оптико-электронных приборов и систем космической ориентации и астрокоррекции. Данные покрытия за счет многократного поглощения падающего излучения, лежащего за границами угла поля зрения объектива прибора, существенно снижают уровень боковых помех. Это приводит к сокращению времени обработки полезного сигнала и способствует повышению точности определения полезного сигнала. Кроме того, разработанная технология позволила получить покрытия, обладающие высоким коэффициентом теплопроводности, что открывает широкие возможности их использования в энергетических отраслях промышленности для аккумулирования и передачи тепловой энергии.
На защиту выносятся следующие положения:
— результаты теоретического расчета спектральных характеристик светопоглощающих покрытий, оптимизированных по толщинам и пленкообразующим материалам;
— результаты исследований влияние технологических параметров процесса нанесения светопоглощающих покрытий на их структуру и свойства;
— результаты анализа влияния материалов подложек и вида подготовки поверхности на оптические характеристики светопоглощающих покрытий;
— оптимизированные технологические режимы нанесения светопоглощающих покрытий на подложки из стекла, стали, алюминия, латуни, меди и титана;
— типовой технологический процесс нанесения светопоглощающих покрытий на подложки из стекла, стали, алюминия, латуни, меди и титана, методом электронно-лучевого испарения в вакууме.
Основные результаты диссертации отражены в следующих работах:
1. Самсонов К. Н. Технология нанесения светопоглощающих неотражающих покрытий на металлические поверхности методом вакуумного напыления. Сборник статей МГАПИ. 2005. — С. 100−101.
2. Самсонов К. Н. Анализ и подбор многослойных тонкопленочных структур на основе редких металлов и их окислов для получения поверхностей с высокими показателями поглощения и низкими коэффициентами отражения в области спектра 0,4−1,1 мкм. Сборник статей МГАПИ. 2005. — С.97−100.
3. Самсонов К. Н. Оборудование и материалы, применяемые для получения светопоглощающих покрытий // Сборник трудов Всероссийской научно-технической конференции «Пьезо-2008». Москва. 2008. — С. 146−149.
4. Самсонов К. Н. Исследование эксплуатационных свойств светопоглощающих покрытий: Тезисы докладов 7-ой Международной конференции молодых специалистов металлургической, авиационной и ракетно-космической отраслей.// Сборник материалов. 42. Королев. 2008. — С. 52−57.
5. Гриднева Г. Н., Самсонов К. Н. Эксплуатационные свойства светопоглощающих покрытий // Фотоника. № 1. 2009. — С. 28−30.
6. Кондратенко B.C., Самсонов К. Н. Морфология поверхностей деталей со светопоглощающим покрытием // Сборник трудов.
Международной научно-технической конференции «Инновационные технологии в науке, технике и образовании». Тунис. 2008. — С. 74−77.
7. Кондратенко B.C., Самсонов К. Н., Гриднева Г. Н. Вакуумные светопоглощающие покрытия на металлических деталях для оптического приборостроения // Приборы. № 6(108).2009. — С. 51−56.
8. Самсонов К. Н. Разработка технологии нанесения светопоглощающих покрытий методом электронно-лучевого испарения в вакууме // Вестник молодых ученых. МГУПИ. № 5. 2009. — С.23−30.
Заключение
.
В рамках проведенных исследований была решена задача по созданию принципиально новой типовой технологии нанесения светопоглощающих покрытий на оптические детали из различных материалов. Исследование оптических и эксплуатационных характеристик данных покрытий подтверждают возможность их применения в оптико-электронных приборах широкого класса для снижения воздействия боковых помех. Кроме того, разработанная технология позволяет изменять спектральный диапазон поглощаемого излучения, что практически не возможно в случае использования химико-физических методов. В работе изучена и подтверждена возможность нанесения разработанных покрытий на детали из стекол и металлов различных марок. Оптимизированные технологические режимы в сочетании с отработанной методикой контроля толщин наносимых слоев позволяют получать покрытия с воспроизводимыми характеристиками.
В процессе разработки и исследования получены следующие основные результаты:
1. Проведен теоретический расчет спектральных характеристик светопоглощающих покрытий с последующей оптимизацией их по толщинам и пленкообразующим материалам.
2. Исследовано влияние технологических параметров процесса нанесения светопоглощающих покрытий на их структуру и свойства.
3. Произведена оценка влияния материалов подложек и вида подготовки поверхности на оптические характеристики светопоглощающих покрытий.
4. Оптимизированы технологические режимы нанесения светопоглощающих покрытий на подложки из стекла, стали, алюминия, латуни, меди и титана.
5. Разработан и внедрен типовой технологический процесс нанесения светопоглощающих покрытий на подложки из стекла, стали, алюминия, латуни, меди и титана, методом электронно-лучевого испарения в вакууме.
Список литературы
- Якушенков Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов. — М.: Логос, 2004. -472с.
- Федосеев В.И., Колосов М. П. Оптико-электронные приборы ориентации и навигации космических аппаратов. -М.: Логос, 2007. — 248с.
- ОСТ 3−1901−95. Покрытия оптических деталей. Типы, основные параметры и методы контроля.
- Шлугер М.А. Гальванические покрытия в машиностроении. Справочник в 2 Т, 1985. -М.: Машиностроение.
- Brown R. J. С., Brewer P. and Milton M. J. T. The physical and chemical properties of electroless nickel phosphorus alloys and low reflectance nickel phosphorus black surfaces.// Journal Materials Chemistry, 2002. Volume 12, Issue 9, Pages 2749 to 2754
- Андреева H.B. Черные никелевые и хромовые гальванические осадки: Автореферат диссертации к.т.н. Л.: ГОИ, 1969. — 23с.
- Малыгин А.А. Химическая сборка твердых тел методом молекулярного наслаивания.// Соросовский образовательный журнал, № 7, 1998. С.58−64.
- Белышкин Д.В., Первеев А. Ф. Светопоглощающие пленки на основе керметов.// Журнал прикладной спектроскопии. 1970. Т12, № 1. С.133−135.
- Бочкарев Б.А., Бочкарева В. А. Керметные пленки. — Л.: Энергия, 1975.
- Ю.Индутный И. З., Шепелявый П. Е., Михайловская Е. В., Парк Ч. В., Ли Дж.Б., До Я. Р. Градиентные светопоглощающие покрытия SiOx-Meдля дисплейных экранов.// Журнал технической физики. 2002. Т72, вып. 6. С.67−72
- П.Левитина Э. И., Чекмарев В. М. «Вакуумные светопоглощающие покрытия в оптическом приборостроении». — Л.: ГОИ. 1990. 41с.
- Афанасьев К.Н., Бондарь Е. А., Седова М. В., Шадрина Л. П. Оптические свойства металлических слоев в системах диэлектрик/металл/диэлектрик.// Оптический журнал. 2007. Т74, № 5. С.82−86.
- Гурин В.Н., Гурин Д. В. Разработка эффективного селективного покрытия для солнечных тепловых коллекторов.// Вестник Международного Славянского университета. Харьков Серия «Технические науки». 2008. T. XI, № 1.
- Виолина Г. Н., Марасина Л. А., Семенов Н. Н. Физика и технология тонких пленок. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2001. — 66с.
- Жигальский Г. П. Физические явления в тонких металлических пленках. -М.: Изд-во МГИЭТ (ТУ), 1996. 194с.
- Карпенко Г. Д., Рубинштейн В. Л. Современные методы генерации потока осаждаемого вещества при нанесении тонкопленочных покрытий в вакууме. Мн.: БелНИИТИ, 1990. — 39с.
- Головяшкин А.Н. Вакуумные методы получения тонких пленок. -Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 1999. 108с.
- Moldosanov К.A. Reflectivity of Black-Chromium Coating at a Wavelength of 121.6 nm // Rough Surface Scattering and Contamination. Philip T.C.Chen, Zu-Han Gu, and Alexei A. Maradudin, Eds., Proceedings of SPIE. 1999. — V. 3784. — P. 117−125.
- Moldosanov K.A., Henneck R., Skrynnikov A.M., Kashirin V.A., Makarov V.P., Kobtsov G.A., Samsonov M.A., and Kim L.S. Reflectivities of Light-Absorptive Coatings Within Visible Wavelengths Range.// Current Developments in Lens Design and Optical Systems
- Engineering. Robert E. Fischer, R. Barry Johnson, Warren J. Smith, and William H. Swantner- Eds., Proceedings of SPIE. 2000. — V. 4093. — P. 181−192.
- Кондратенко B.C., Лепёхин H.M., Присеко Ю. С., Пуресев Н. И. Применение промышленного лазера на парах меди KULON-lOCu-M для микро- и нанотехнологий.// Приборы. 2009. № 2 (104). С. 49−54
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. 2-е изд. -М.: Изд-во «Наука», 1973.-720 стр.
- Ландсберг Г. С. Оптика. 6 изд. -М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003.-848 с.
- Путилин Э.С. Оптические покрытия. Учебное пособие по курсу «Оптические покрытия». СПб.: СПбГУИТМО, 2005. — 197 с.
- Окатов М.А., Антонов Э. А., Байгожин А. и др. Справочник технолога оптика. 2-е изд. СПб.: Политехника, 2004. — 679 с.
- Розенберг Г. В. Оптика тонкослойных покрытий. -М.: ФИЗМАТЛИТ, 1958.- 572 с.
- Хасс Г. Физика тонких пленок. TI. -М.: Мир, 1967. -344 с.
- Хасс Г. Физика тонких пленок. Т5. -М.: Мир, 1972. -344 с.
- Фурман Ш. А. Тонкослойные оптические покрытия. -Л.: Машиностроение. 1977, 264 с.
- Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. -Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.
- Беляева А.И., Сиренко В. А. Криогенные многослойные покрытия. -Киев: Наук, думка, 1991. 275 с.
- Соколов А.В. Оптические свойства металлов. —М.: ФИЗМАТ ЛИТ, 1961.-467 с.
- Новицкий Л.А., Степанов Б. М. Оптические свойства материалов при низких температурах: Справочник.-М. Машиностроение, 1980.-224 с.
- Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. -М.: Мир, 1964. -716с.
- Гемпел А. Справочник по редким металлам. —М.: Мир, 1965. — 947 с.
- Рыкалин Н.Н. Основы электронно-лучевой обработки материалов. -М.: Машиностроение, 1978. -239 с.
- Введенский В.Д., Рязанкин В. П. Вакуумная технология оптического приборостроения. -М.: Заочный институт ВНТО приборостроителей им. С. И. Вавилова, 1988. 68 с.
- Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме: Технология полупроводников. В Юкн.: Кн.6. -М.: Высш. шк., 1989. 110с.
- Зубаков В.Г. Технология оптических деталей. М.: Машиностроение, 1985. -368 с.
- Хасс Г. Физика тонких пленок. Т8. -М.: Мир, 1978. -360 с.
- Гайнутдинов И.С., Несмелова Е. А., Хайбуллин И. Б. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения. -Казань: Изд-во «ФЭН», 2002. 592 с.
- Хасс Г. Физика тонких пленок. Т4. -М.: Мир, 1970. -440 с.
- Лифантьев Н.А., Дьяченко П. П. Определение энергетических коэффициентов пропускания, отражения и поглощения тонких пленок. Обнинск: ФЭИ, 1998. — 20 с.
- Rancourt J.D. Optical thin films: Users’s handbook. McGraw-Hill Publishing Company. USA, New York. 1987. 290 p.
- Немков A.A., Путилин Э. С. Измерение показателя преломления неоднородного просветляющего покрытия.// Оптический журнал. 2009. Т76, № 1. С. 61−63.
- Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Т2. М.: Сов. радио, 1977. 768 с
- Андреева Н.В., Филимонов B.C. ОМП. 1982. № 8. — С.33−35.
- Гайнутдинов И.С., Несмелов Е. А. и др. Оптический журнал, 2004. -№ 8. С. 84−87.
- Волченок И.А., Горелик Г. Е. Математическое моделирование и оптимальные режимы тепло- и массопереноса при нанесении многослойных покрытий в вакууме. Минск: Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова АН БССР, 1987. — 39 с.
- Хасс Г. Физика тонких пленок. ТЗ. -М.: Мир, 1968. -332 с.
- Лоскутов В.В. Шлифование металлов. -М.: Машиностроение, 1970. 264 с.
- Попов С.А., Малевский Н. П., Терещенко Л. М. Алмазо-абразивная обработка металлов и твердых сплавов. — М.: Машиностроение, 1977. -263 с.
- Семибратов М.Н. Технология обработки оптических деталей. — М.: Машиностроение, 1975. 208 с.
- Михнев Р.А., Штандель С. К. Оборудование оптических цехов. —М.: Машиностроение, 1981. 367 с.
- Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Т1. М.: Сов. радио, 1977. 664 с
- Афанасьев А.А. Оптические измерения. — М.: Высшая школа, 1981. 229 с.