ΠΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅
ΠΠ»ΠΎΠ²ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ. Π‘Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠ²Ρ. Π‘ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½Ρ, Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ — Π΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅. Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Π·ΡΠ±Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ. Π‘Π²ΠΈΠ½Π΅Ρ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½Ρ. Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ. ΠΠ½ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ Π² ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΆΠΈΡΠΎΠ², Π±Π΅Π»ΠΊΠΎΠ², ΡΠ³Π»Π΅Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π²ΠΈΡΠ°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ², Π³ΠΎΡΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΠ²Π»ΡΡΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΎΠΌ.
Π ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΠ½Π°Ρ Π½Π°ΡΡΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈ, Π½Π°Π΄ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ , Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ , Ρ ΡΡΡΡΠ°Π»ΠΈΠΊΠ΅ Π³Π»Π°Π·Π°. Π‘ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠΏΠ΅ΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΈ, ΡΠ΅Π²ΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΌΠ°, ΡΠ·Π²Ρ ΠΆΠ΅Π»ΡΠ΄ΠΊΠ° ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΊΡΠΎΠ²ΠΈΡ.
Π ΡΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄ SiC Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ±, a Si02 Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ±.
ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ. ΠΠ³ΠΎ Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ Π΅ΡΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΎ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½Π°. Π£ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΊΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠ·Π³Π΅.
ΠΠ»ΠΎΠ²ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ. Π‘Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠ²Ρ. Π‘ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½Ρ, Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ — Π΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅. Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Π·ΡΠ±Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ.
Π‘Π²ΠΈΠ½Π΅Ρ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½Ρ. Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠ° Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ Π΄Π΅Π½Π°ΡΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π±Π΅Π»ΠΊΠΎΠ² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠΈΠ΅ΡΠ°. Π ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π½Π°ΡΡΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΡΠΆΡΡΠΈΠ΅ Π°Π½ΡΠΈΡΠ΅ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π°ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΠΌΠΎΡΠΊΠ°Ρ .