Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ исслСдования структуры Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Π»ΠΎΠ² с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ микроскопа

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Рисунок 1. Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности монокристалличСского крСмния, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ БВМ Π Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΎΠΌ БВМ — Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠΌ — слуТит токопроводящая мСталличСская ΠΈΠ³Π»Π°. Π—ΠΎΠ½Π΄ подводится ΠΊ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности Π½Π° ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ΅ расстояниС (~ 0.5 Π½ΠΌ) ΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ Π½Π° Π·ΠΎΠ½Π΄ постоянного напряТСния, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠΊ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ зависит ΠΎΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ исслСдования структуры Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Π»ΠΎΠ² с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ микроскопа (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π’Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ ΡΠ²ΡΠ·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ с ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ микроскопа (БВМ). Π•Π³ΠΎ создатСли, Π“. Π‘ΠΈΠ½Π½ΠΈΠ³ ΠΈ Π“. Π ΠΎΡ€Π΅Ρ€, с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ БВМ Π² 1982 Π³. Π²ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΡ с Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (рис. 1). Π—Π° ΡΡ‚ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π² 1985 Π³. ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ Π±Ρ‹Π»ΠΈ удостоСны НобСлСвской ΠΏΡ€Π΅ΠΌΠΈΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ БВМ основано Π½Π° Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ элСктронов Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€.

Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности монокристалличСского крСмния, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ БВМ.

Рисунок 1. Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности монокристалличСского крСмния, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ БВМ Π Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΎΠΌ БВМ — Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠΌ — слуТит токопроводящая мСталличСская ΠΈΠ³Π»Π°. Π—ΠΎΠ½Π΄ подводится ΠΊ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности Π½Π° ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ΅ расстояниС (~ 0.5 Π½ΠΌ) ΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ Π½Π° Π·ΠΎΠ½Π΄ постоянного напряТСния, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠΊ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ зависит ΠΎΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ расстояния лишь Π½Π° 0.1 Π½ΠΌ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠΊ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Π² 10 Ρ€Π°Π·. ИмСнно это ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ микроскопа, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСнСния ΠΏΠΎ Π²Ρ‹ΡΠΎΡ‚Π΅ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° повСрхности Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ сущСствСнноС ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ БВМ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ постоянного Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚оянной высоты для получСния Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅, дополняСмыС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ спСктроскопичСских ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ для получСния распрСдСлСний «Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π°» («Π²Ρ‹ΡΠΎΡ‚Ρ‹ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π°») ΠΈ «Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ плотности состояний» (Π›ΠŸΠ‘), I (z) ΠΈ I (V) ΠΊΡ€ΠΈΠ²Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‚ химичСскиС ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ свойства повСрхности.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒΡŽ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ микроскопа являСтся мСханичСский манипулятор, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ½Π΄Π° Π½Π°Π΄ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ Ρ‚ысячных Π΄ΠΎΠ»Π΅ΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ мСханичСский манипулятор ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ БВМ позволяСт ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ исслСдования ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ», нанокластСров, Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ процСссы пСрСстройки повСрхности Π½Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅. БВМ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ для создания искусствСнных повСрхностных структур с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ пСрСмСщСния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² с ΠΎΡΡ‚рия Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (рис. 2) [2].

БВМ-ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΠΉ-оксидной структуры Π½Π° повСрхности ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°.

Рисунок 2. БВМ-ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΠΉ-оксидной структуры Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ