Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Глубокая очистка некоторых летучих соединений III-V групп Периодической системы: На примере кремнийорганических соединений и алкоголятов металлов

Диссертация: Глубокая очистка некоторых летучих соединений III-V групп Периодической системы: На примере кремнийорганических соединений и алкоголятов металлов
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Разработаны и освоены в производстве экологически чистые процессы получения особо чистых гексаметилдисилазана и гексаметилдисилок-сана для микроэлектроники мощностью до 2-х тонн в год, полностью обеспечивающие промышленность России и Беларуси. По результатам расчета на основе предложенных математических моделей была повышена эффективность работы технологических схем глубокой очистки органических… Читать ещё >

Содержание

  • 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
    • 1. 1. ОБЗОР МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ ОСОБО ЧИСТЫХ АЖОГОЛЯТОВ
  • III. -V ГРУПП
    • 1. 2. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ НЕКОТОРЫХ КРЕ МНИЙЭ ЛЕ МЕ НТООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ (КЭОС)
      • 1. 2. 1. ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
      • 1. 2. 2. МЕТОДЫ С1ШТЕЗА
      • 1. 2. 3. ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛОКСАНА
      • 1. 2. 4. ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
    • 1. 3. ОБЗОР МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ, ПРИМЕНЯЕМЫХ ДЛЯ РАСЧЕТА ПРОЦЕССОВ РАВНОВЕСИЙ ПАР-ЖИДКОСТЬ И ЖИДКОСТЬ-ТВЕРДОЕ
    • 1. 4. АЗЕОТРОПНЫЕ СИСТЕМЫ. РАСЧЕТ АЗЕОТРОПНЫХ СОСТАВОВ. ГРАНИЦЫ ОБЛАСТЕЙ РЕКТИФИКАЦИИ
    • 1. 5. МЕТОДЫ РАСЧЕТА ПРОЦЕССА МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ РЕКТИФИКАЦИОННОЙ ОЧИСТКИ.,
  • 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТ
    • 2. 1. ПОВЕДЕНИЕ ПРИМЕСЕЙ (ГЕНЕЗИС И ПРЕВРАЩЕНИЯ) НА ПРИМЕРЕ КРЕМНИЙЭЛЕМЕНТООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ
      • 2. 1. 1. ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО РАВНОВЕСИЯ ЖИДКОСТЬ-ПАР В СИСТЕМЕ ГМДСА-ГМДСО-ТМСО
      • 2. 1. 2. РЕКТИФИКАЦИЯ СМЕСИ ГМДСА-ГМДСО-ТМСО
    • 2. 2. МЕТОДИКА РАСЧЕТА ДАВЛЕНИЯ НАСЫЩЕННОГО ПАРА И
  • КОЭФФИЦИЕНТОВ РАЗДЕЛЕНИЯ НА ПРИМЕРЕ СОЕДИНЕНИЙ МЫШЬЯКА, СУРЬМЫ, ВИСМУТА И ИХ АЛКОГОЛЯТОВ
    • 2. 3. РАСЧЕТ ОПТИМАЛЬНОГО РЕЖИМА РАБОТЫ СИСТЕМЫ 2-х
  • КОЛОНН НЕПРЕРЫВНОЙ РЕКТИФИКАЦИИ ПРИ ГЛУБОКОЙ — ОЧИСТКЕ ВЕЩЕСТВ
    • 2. 3. 1. РАСЧЕТ ОПТИМАЛЬНЫХ РЕЖИМОВ НЕПРЕРЫВНОЙ РЕКТИФИКАЦИИ ДЛЯ НЕКОТОРЫХ РЕАЛЬНЫХ СИСТЕМ
  • ВЫВОДЫ

Глубокая очистка некоторых летучих соединений III-V групп Периодической системы: На примере кремнийорганических соединений и алкоголятов металлов (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Для развития передовых направлений современной техники, таких как микрои оптоэлектроника, оптика и волоконно-оптические линии связи, нанотехнологические системы и др. необходимы химические материалы высокой степени чистоты [1,2]. В микроэлектронике важнейшими стадиями производства интегральных микросхем являются процессы плазмохимического и пиролитического осаждения тонких диэлектрических слоев различного функционального назначения (защитных, маскирующих, пассивирующих, легирующих и др.). Для этих целей широко применяются пленки двуокиси кремния, нитрида и оксинитрида кремния, легированной (атомы бора, фосфора, сурьмы и др.) двуокиси кремния. Важнейшим компонентом новейших конструкционных высокотемпературных керамических и металлокерамических материалов V является порошкообразный высокочистый нитрид кремния [3−7].

Требования по содержанию примесей в исходных соединениях определяются конкретными технологическими процессами в которых они используются. Как правило, они составляют п*(10″ 5−10″ 7)% масс, по отдельным примесям.

Рядом зарубежных фирм [8−12] освоен выпуск широкого ассортимента соединений указанной чистоты. Существенную часть его составляют кремнийорганические соединения (гексаметилдисилазан, гекса-метилдисилоксан и др.) и алкоголяты элементов Ш-У групп Периодической системы (бор, алюминий, кремний, германий, мышьяк и др.). На основе этих соединений создан ряд технологических процессов получения высокочистых элементов и их соединений.

Однако в настоящее время существует необходимость в дальнейших исследованиях химических и физико-химических процессов, происходящих в сложных системах на основе данных соединений с целью оптимизации и усовершенствования этих процессов.

В качестве объектов изучения нами были выбраны кремнийэлемен-тоорганические соединения, в частности гексаметилдисилазан, а также ал-коголяты мышьяка и их аналоги и производные. Это позволило предложить модели для определения параметров глубокой очистки веществ и эк-периментально проверить адекватность этих моделей.

Результаты проведенных расчетов и экспериментов были использованы для разработки технологии глубокой очистки ряда летучих соединений, в том числе кремнийэлементоорганических соединений, алкоголятов, органических растворителей.

1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

ВЫВОДЫ:

Исследована диаграмма состояния «жидкость-пар» тройной системы «гексаметилдисилазан — гексаметилдисилоксан — триметилсиланол» и выявлено существование в ней тройного азеотропа в области высоких концентраций гексаметилдисил азана.

На основании изучения кинетики процесса гидролиза гексаметилдиси-лазана доказано, что процесс протекает через стадию образования три-метилсиланола, стабильность которого зависит от содержания в растворе примеси аммиака.

Предложена математическая модель оптимального режима процесса ректификационной очистки в системе из 2-х колонн и показана адекватность ее применения для глубокой очистки летучих органических и кремнийэлементоорганических соединений.

Проведена оценка возможности сравнительного расчета коэффициентов разделения для примесей в системах «жидкость-пар» и «твердое-пар» на основе молекулярных констант веществ. Показано, что при отсутствии межмолекулярного взаимодействия коэффициенты разделения, в основном, зависят от структуры разделяемых соединений. Определены коэффициенты разделения в системах «жидкость-пар» и «твердое-пар» на основе гексаметилдисилазана, алкоголятов элементов и элементарного мышьяка. Установлены примеси, лимитирующие процессы очистки этих веществ дистилляционными и сублимационными методами.

На основании данных по коэффициентам разделения в системах на основе гексаметилдисилазана и алкоголятов элементов определены оптимальные режимы процессов их очистки дистилляционно — ректификационными методами. Показано, что для очистки алкоголятов в большинстве случаев более приемлема простая дистилляция, тогда как для очистки гексаметилдисилазана необходима высокоэффективная ректификация.

7. Разработаны и освоены в производстве экологически чистые процессы получения особо чистых гексаметилдисилазана и гексаметилдисилок-сана для микроэлектроники мощностью до 2-х тонн в год, полностью обеспечивающие промышленность России и Беларуси.

8. По результатам расчета на основе предложенных математических моделей была повышена эффективность работы технологических схем глубокой очистки органических растворителей на Шосткинском ЗХР, что обеспечило повышение производительности на 8 12%.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Г. Г., Еллиев Ю. Е. Введение в теорию глубокой очистки веществ. М.: Наука, 1981, 200с.
  2. .Д., Горштейн И. Г., Блюм Г. З. и др. Методы получения особо чистых неорганических веществ. JL: Химия, 1969, 480с.
  3. М.Г., Сулимин А. Д., Ячменев В. В. и др. Плазмохимическое получение пленок нитрида кремния из гексаметилдисилазана. // ДАН СССР, 1980, т.251, № 5, с. 1156−1159.
  4. М.Г., Сулимин А. Д., Ячменев В. В. и др. Получение пленок нитрида кремния из гексаметилциклотрисилазана в высокочастотном тлеющем разряде. // ДАН СССР, 1981, т.259, № 5, С.1130−1132.V
  5. М.Г., Сулимин А. Д., Ячменев В. В. и др. Свойства пленок фос-форсиликатного стекла, полученных при разложении трис-(триметилсилил)фосфата в кислородной высокочастотной плазме. // ДАН СССР, 1979, т.244, № 1, с.127−130.
  6. М.Г., Сулимин А. Д., Ячменев В. В. и др. Плазмохимическое получение пленок боросиликатного стекла на основе трис-(триметилсилил)бората. //ДАН СССР, 1978, т.241, № 6, с.1363−1366.
  7. Каталог фирмы «ICN», США, 1998 г.
  8. Каталог фирмы «Aldrich США, 2000−2001 г.
  9. Каталог фирмы «Lancaster», ФРГ, 1997−1999 г.
  10. Каталог фирмы «Fluka», ФРГ, 1999/2000 г.
  11. П.Каталог фирмы «Merck», ФРГ, 2000 г.
  12. В.Т. Мышьяк. М.: Металлургия, 1969, 190с.
  13. В. А., Пашинкин A.C., Ефремов A.A., Гринберг Е. Е. Физико-химические основы получения высокочистого мышьяка из сульфидных руд. //Высокочистые вещества, 1991, № 5, с.7−30.
  14. В.А., Ефремов A.A., Жуков Э. Г. и др. ЖРХО им. Д. И. Менделеева, 1995, t. XXXIX, № 4, с.46−57.
  15. Гидриды, галиды и металлоорганические соединения особой чистоты. М.: Наука, 1976,152с.
  16. В.А., Ефремов A.A., Каретников Г. С., Зелъвенский Я. Д. Исследование влияния примеси воды на процессы глубокой очистки треххло-ристого мышьяка. // Труды МХТИ, М., 1972, вып.69, с. 159−162.
  17. A.A., Ефремов В. А., Морозова JI.B. и др. Физико-химические основы глубокой очистки треххлористого мышьяка. // Электронная техника, сер. Материалы, 1972, вып.7, с.92−98.
  18. A.A., Морозова Л. В., Потепалов А. П. и др. О примесях углерода в треххлористом мышьяке различного происхождения. // там же, с.99−102.
  19. A.A., Ахмадеев В. Я., Микляев А. Д. и др. Адсорбция микропримесей серы из треххлористого мышьяка. // там же, 1972, вып. З, с.96−99.
  20. A.A., Федоров В. А., Ефремов В. А., Филиппов Э. П. Равновесие жидкость-пар бинарных растворов, образованных треххлористым мышьяком с некоторыми хлоралканами. // там же, 1973, вып.4, с.42−47.
  21. A.A., Зельвенский Я. Д., Иванов В. Н. Сорбционная очистка мышьяковистого водорода. // Сб. науч. трудов по проблеме микроэлектроники. М.: 1972, вып. 13, с.96−101.
  22. В.П., Ефремов A.A., Егурнов В. Я., Гринберг Е. Е. Ректификационная очистка арсина. Сообщение 1. // Электронная техника, сер. Материалы, 1974, вып.2, с.49−51.
  23. В.П., Ефремов A.A., Егурнов В. Я. и др. Ректификационная очистка арсина. Сообщение 2. // там же, с. 103−107.
  24. Г. Г., Зорин АД. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. М.: Наука, 1974,206с.
  25. В.П., Гринберг Е. Е., Ефремов A.A. и др. Поведение примесей серы и селена в процессе синтеза арсина. // Электронная техника, сер. Материалы, 1974, № 8, с.61−65.
  26. A.A., Габисиани Г. Г., Гринберг Е. Е. и др. Термическое разложение триалкиларсенитов. // Высокочистые вещества, 1992, № 2, с.91−104.
  27. Н.Г. Технология особо чистых алкоголятов бора и германия. // дисс. .канд. хим. наук, М., 1991, 156с.
  28. А. А. Технология получения веществ особой чистоты с применением алкоголятов. // дисс. канд. техн. наук, М., 2002,112с.
  29. Г. Г. Получение особо чистого мышьяка из триалкиларсени-тов. //дисс. .канд. хим. наук, М, 1988,169с.
  30. Ю.К., Кораблина Т. П., Клейновская М. А., Щелкунова М. А. Разделение смесей кремнийорганических соединений. JI.: Химия, 1986, 26с.
  31. О.А., Кузнецова Ю. С., Иванова Т. Г. и др. Химические реактивы и высокочистые химические вещества. Каталог. М.: Химия, 1990, 688с.
  32. П.Г. и др. Свойства кремнийорганических жидкостей. М.: Энергоатомиздат, 1997, 325с.
  33. П.Г. и др. Теплофизические свойства кремнийорганических соединений. М.: Энергоатомиздат, 1993,240с.
  34. Peppard D.F., Brown W.G., Jonson W.C. Preparation and Synthetic Applications of Alkyl Chlorosilicates I I J. Am. Chem. Soc. 1946. v.68. № 1. p.70−72.
  35. Brewer S.D., Haber C.P. Alkylsilazanes and Some Related Compaunds // J. Am. Chem. Soc. 1948. v.70. № 11. p.3888−3891.
  36. Андрианов KA. f Румба Г. Я. О реакциях переаминирования полиме-тилциклосилазанов анилином // ЖОХ, 1962, т.32, № 6, с. 1993−1997.
  37. Anderson Н.Н. The Redistribution Reaction in Substituted Fluorosilanes. Jodofluorosilanes // J. Am. Chem. Soc. 1950. v.72. № 5. p.2091−2093.
  38. Breed L. W., Haggerly W.J. Aryl and Alkylchlorodialkoxysilanes // J. Org. Chem. 1960. v.25. № 1. p.126−128.
  39. K.A., Голубцов СЛ., Лобусевич И. П. О симметризации метилэтоксихлорсиланов // ЖОХ, 1956, т.26, № 1, с.197−199.
  40. К.А. Методы элементоорганической химии. М.: Наука, 1968, 699с.
  41. Weyenberg D.R., Bey А.Е., Stewart H.F. and Atwell W.H. The redistribution of chlorine, fluorine, or methoxy with hydrogen on silicon I I J. Organometal. Chem. 1966. v.6. № 5. p.583−586.
  42. Андрианов К А., Котрелев Г. В., Котов В. М. Аммонолиз высших алкил-трихлорсиланов //ЖОХ, 1965, т.35, № 12, с.2176−2180.
  43. К.А., Кононов A.M., Макарова Н. Н. О реакции аммонолизаvтриалкил(арил)хлорсиланов//ЖОХ, 1966, т.36, № 5, с.895−900.
  44. К.А., Румба Г. Я. О гидролизе циклических полиметилсила-занов // ЖОХ, 1961, т.31, № 12, с.4038−4042.
  45. К.А., Хайдук И., Хананашвили JI.M. Образование полициклосилазанов при аммонолизе диметилдихлорсилана // ЖОХ, 1964, т.34, № 3, с.912−914.
  46. Н.Ф., Долгов Б. Н., Воронков М. Г. Сб. Химия и практическое применение кремнийорганических соединений, вып.1, изд. ЦБТИ, 1958, 172с.
  47. Andrianov КА., Ismailov В.А., Kononov A.M., Kotrelev G. V. Reactions of organocyclosilazanes with electrophilic and nucleophilic reagents I I J. Organometal. Chem. 1965. v.3. № 2. p.129−137.
  48. В.А., Крешков А. П., Романова АД. Исследование взаимодействия некоторых алкил(арил)фторсиланов с диметилформамидом // ЖОХ, 1970, т. 40, № 2, с.2581−2584.
  49. В.В., Чернышев А. И. Кинетика и механизм каталитического расщепления Si-OC связи четыреххлористым кремнием. Кинетика и «катализ, вып. 4,1973, с.933−938.
  50. Д.Я., Семенова Е. А., Андрианов К А. О реакциях гидролиза алкилгидроциклосилазанов и диалкилциклосилазанов // Изв. АН СССР, сер. хим., 1963, № 11, с.1989−1992.
  51. КА., Базов В. А., Котрелев Г. В. Органоциклосилазаны, их структура и свойства // ДАН СССР, 1967, т. 176, № 3, с.579−582.
  52. К.А., Румба Г. Я. О перегруппировках гексаметил- и октаметилциклосилазанов //ДАН СССР, 1962, т.145, № 5, с.1049^1051.
  53. Fessenden R., Fessenden J.S. The Chemistry of Silicon-Nitrogen Compounds // Chem. Rev. 1961. v.61. № 4. p.361−388.
  54. Van Wazer J.R., Mocdritzer K. Molecular Distributions at Equilibrium // J. Chem. Phys., 1964. v.41. № 10. p.3122−3126.
  55. Ayleh B.I. Silicon-Nitrogen Compounds // Preparative Inorg. Reactions, 1965, № 2, p.93−138.
  56. Silbiger J., Fuchs J., Gesundheit N. Some Reactions of Chlorosilazanes // Inorg. Chem., 1967. v.6. № 2. p.399−401.
  57. Breed L. W., Wiley J.C. New Cyclodisilazane Derivatives // Inorg. Chem., 1972. v.ll. № 7. p. 1634−1638.
  58. Ю.М., Моргунова M.M., Жинкин Д. Я. Взаимодействие орга-ноциклодисилазанов с хлористым водородом // ЖОХ, 1980, т.50, № 6, с.1355−1359.
  59. Май JI.A., Румба Г. Я. О природе связей кремний-азот в силазанах // Изв. АН Латв. ССР, 1964, № 1, с.23−27.
  60. К.А., Котрелев Г. В., Казакова В. В., Тебенева Н. А. Новыеперегруппировки органоциклосилазанов и силоксанов // ДАН СССР, 1977, т.233, № 2, с.353−356.
  61. К.А., Тебенева Н. А., Петрова И. М., Котрелев Г. В. Поликонденсация Лг, Л^-бис-(органоаминосилил)-циклодисилазанов с а, со-дигидроксиполидиметилсилоксанами // ДАН СССР, 1975, т.222, № 5, с.1101−1103.
  62. Л.И., Власова Н. Н., Воронков М. Г. Взаимодействие бис(трисметилсилил)-сульфата с гексаметилдисилазаном, ацетамидом и гидрохлоридом гуанидина // ЖОХ, 1998, т.68, № 3, с.427−429.
  63. К.А., Кононов А. М., Школьник М. И. О синтезе органотрисилазанов // Изв. АН СССР, сер. хим., 1969, № 9, с.2052−2053.
  64. К.А., Астахин В. В., Кочкин ДА., Суханова И. В. О взаимодействии гексаметилдисил азана с галогенидами алюминия и титана//ЖОХ, 1961, т.31, № 10, с.3410−3411.
  65. К.А., Ильин М. М., Таланов В. Н., Жураковская И. И. Реакция соаммонолиза четыреххлористого кремния с триметилхлорсиланом // Изв. АН СССР, сер. хим., 1976, № И, с.2614−2616.
  66. К.А., Сырцова Ж. С., Копылов В. М. О реакциях алкилсилазанов с едким кали и метилатом калия в метаноле // ДАН СССР, 1969, т. 186, № 2, с.321−324.
  67. Ю.М., Жинкин Д. Я., Моргунова М. М., Бочкарев В. Н. Гидролиз 1,3-бис(диметилхлорсилил)-2,2,4,4-тетраметилциклодисилаза-на и 1,3-бис (диметиламиносилш1)-2,2,4,4-тетраметилциклодисилазана // ЖОХ, 1975, т.45, № 11, с.2455−2459.
  68. Д.В. Термодинамические работы. М.-Л.: Гостехтеоретиздат, 1950.492с.
  69. Дж. Машинный расчет парожидкостного равновесия многокомпонентных смесей. М.: Химия, 1971. 215с.
  70. В.Б. Гетерогенные равновесия. JL: Химия, 1968. 431с.
  71. Oliver E.D. Multicomponent Margules Equation // Ind. Eng. Chem. 1968. v.7. № 2. p.335−339.
  72. Э. и др. Равновесие между жидкостью и паром. М.: ИЛ, 1962. 438с.
  73. В.Н. Разделение многокомпонентных смесей // Итоги науки и техники. Серия «Процессы и аппараты химической технологии». М.: ВИНИТИ. 1973. с.62−106.
  74. Wilson G.M. Vapor-liquid Equilibrium. XIA new expression for the Express Three Energy of Mixing // J. Am. Chem. Soc. 1964. v.86. № 2. p.127−130.
  75. Bruin S. Activity Coefficient Relations in Miscible and Partially Miscible Multicomponent Systems // Ind. and Eng. Chem. Fundam. 1970. v.9. № 3. p.305−314.
  76. B.M., Петлюк Ф. Б., Аветъян B.C. Исследование уравнения Вильсона для описания неидеального поведения бинарных растворов // Теор. основы хим. технол. 1971. т.5. № 1. с.122−127.
  77. Eckert СЛ. Parameters in Wilson Equation // Ind. Eng. Chem. Process Des. Develop. 1972. v.ll. № 4. p.631−633.
  78. Abrams D.S., Prausnitz J.M. Statistical Thermodynamics of Liquid Mixtures: A new Expression for the Excess Gibbs Energy of Partly or Completely Miscible Systems //AJChE Journal. 1975. v.21. № 1. p. l 16−128.
  79. Kemeni S., Manzinger Т., Treatment of binary vapor-liquid equilibrium data //Chem. Eng. Sci. 1978. v.33. № 1. p.71−76.
  80. Tassios D., The number of roots its NRTL and LIMF equations and the effect for their performance // Ind. Eng. Chem. Pr. Des. Dev. 1979. v. 18. № 1. p.181−186.
  81. Silkerman N., Tassios D. The number of effect roots in the Wilson equation and its effection vapor-liquid equilibrium calculations // Ind. Eng. Chem. Pr. Des. Dev. 1977. v.16. № 1. p.13−20.
  82. В.Ю. и др. Аналитические уравнения для расчета равновесия жидкость-пар и условия их неприменимости // Ж. физ.химии. 1969. т.32. с. 1531−1534.
  83. Е.С. и др. Проверка адекватности при описании равновесия жидкость-пар уравнением Вильсона // ТОХТ. 1976. т. 10. с.289−292.
  84. Anderson T.F., Prausnitz J.M. Application of the UNIQUAC equation tovcalculation of multicomponent phase equilibria // Ind. Eng. Chem. Pr. Des. Dev. 1978. v.17. № 4. p.552−561.
  85. Fredenslund A., Russell L.J. and. Prausnitz J.M. Group-Contribution Extinction of Activity Coefficients in Nonideal Liquid Mixtures // AJChE Journal. 1975. v.21. № 6. p. 1086−1099.
  86. Derr E.L., Deal C.H. Analytical Solutions of Groups: Correlation of Activity Coefficients through structural Group Parameters // Inst. Chem. Engrs. Symp. Ser. 1969. № 32. p.340−351.
  87. А.И., Ветохин B.H., Кафаров В. В. и др. Особенность констант уравнений равновесия //Ж. физ. химии. 1973. т.47. № 4. с. 1011−1012.
  88. В.Н., Глебов М. Б. Системный анализ азеотропной экстрактивной ректификации // Итоги науки и техники. Сер. «Процессыи аппараты химической технологии». М: ВИНИТИ. 1979. т.6. сЛ 16−185.
  89. В.В., Глебов М. Б. Математическое моделирование основных процессов химических производств. М.: Высшая школа, 1991. 400с.
  90. В.В. Методы кибернетики в химии и химической технологии. М.: Химия, 1985. 464с.
  91. В.В., Ветохин В. Н. Основы построения операционных систем в химической технологии. М.: Наука, 1980. 432с.
  92. В.В., Мешалкин В. П., Перов B.JI. Математические основы автоматизированного проектирования химических производств. М.: Химия, 1979. 320с.
  93. В.В., Перов В. Jl. t Мешалкин В. П. Принципы математическогомоделирования химико-технологических систем. М.: Химия, 1974. 343с.
  94. Benedict М., Webb G.B., Rubin L.C. An empirical Equation for thermodynamic Properties of light Hydrocarbons and. their Mixtures // Chem. Eng. Progr. 1951. v.47. № 8. p.419−422.
  95. Bruin S. f Prausnitz J.M. One-Parameter Eg for Excess Gibbs Energy of Strongly Nonideal Liquid Mixtures // Ind. Eng. Chem. Process Des. Develop. 1971. v.10. № 4. p.562.
  96. Огородников C. K, Лестева T.M., Коган В. Б. Азеотрогшые смеси. Справочник. Л.: Химия, 1971. 848с.
  97. Meissner Н.Р., Greenfeld S.H. Composition and Boiling Points of Binary Azeotropes // Ind. and Eng. Chem. 1948. v.40. № 3. p.438−442.
  98. Shorr L.M. A correlation Method for binary Azeotrope Data // J. Appl. Chem. 1964. V.14. № 9. p.376−382.
  99. Rajn B.N. Indian Chemical Engineer. 1967. v.9. № 3. p.88.
  100. JI. Таблицы азеотропных смесей. M.: ИЛ, 1951. 291 с.
  101. В.М., Гарбер Ю. Н., Шашков Ю. И. Расчет азеотропного предела//ТОХТ. 1971. т.5. № 2. с.308−312.
  102. Denyer KL., Filder F.A. and Lowry R.A. Azeotrope Formation between Thiols and Hydrocarbons // Ind. and Eng. Chem. 1949. v.41. № 12. p.2727−2737.
  103. Ю.И., Молодеико П. Я. Диаграммы трехкомпонентных азеотропных систем. JL: ЛГУ, 1971. 86с.
  104. В.Ю., Степанова Э. Н. Расчетное определениеьмногокомпонентных азеотропов по данным бинарных систем // Ж. Прикл. Химии. 1970. т.43. № 10. с.2192−2200.
  105. В.Б. Азеотропная и экстрактивная ректификация. JL: Химия, 1971.432с.
  106. Ewell R.H., Harrison J.M. and Berg J. Azeotropic Distillation // Ind. and Eng. Chem. 1944. v.36. № 10. p.871−875.
  107. Skolnik H. Correlation of Azeotropic Date // Ind. and Eng. Chem. 1948. v.40. № 3. p.442−450.
  108. Nakanishi K. Vapor-Liquid Equilibria of binary Systems Containing Alcohols: Prediction of Azeotropic Temperature and Composition // J. Chem. Eng. Of Jap. 1969. v.2. № 1. p. 14−19.
  109. B.B. Азеотропия и полиазеотропия. М: Химия, 1968. 243с.
  110. В.Н. Синтез схем разделения с учетом термодинамических особенностей многокомпонентных смесей.//Дисс. канд. техн. наук., М.:МХТИ, 1981, 168с.
  111. А.И., Кафаров В. В. Методы оптимизации в химической технологии. М.: Химия, 1975, 575с.
  112. Е.С. Разработка элементов системы автоматизированного проектирования установок ректификации многокомпонентных азеотропных смесей.// Автореф. канд. дисс. М.: МИТХТ, 1976, 20с.
  113. Т.Н. Некоторые вопросы математического моделирования процесса азеотропной ректификации.// Автореф. канд. дисс. М.: МХТИ, 1973,24с.
  114. Р.Г. Численные методы в многоэкстремальных задачах. М.: Наука, 1978, 367с.
  115. Ю.В., Устинов С. М., Чериоруцкий И. Г. Численные методы решения жестких систем. М.: Наука, 1979, 208с.
  116. Ю.М., Фалин В. А., Ефремов A.A. Математические методы в производстве особо чистых веществ.// Химическая промышленность. Серия: Реактивы и особо чистые вещества, М.: НИИТЭХИМ, 1983, 44с.
  117. Ю.М., Фалин В. А., Ефремов A.A. // В кн.: Реактивы и особо чистые вещества: Тр. ИРЕА, М.: ИРЕА, 1976, вып. ЗЗ, с. 179−185.
  118. Ю.М., Фалин В. А., Ефремов A.A. //В кн.: Исследования в области химии и технологии особо чистых веществ: Науч. тр., М.:1. ИРЕА, 1979, с.72−79.
  119. A.M., Фалин В. А., Фетисов Ю. М. // В кн.: Химия и технология особо чистых веществ для волоконной оптики: Науч. тр., М.: ИРЕА, 1980, с.106−113.
  120. А.И., Матвеева Я. И. Математическая статистика. М.: Высш. школа, 1978, 267с.
  121. JI.C. и др. Математическая теория оптимальных процессов. М.: Физматгиз, 1961, 391с.
  122. В.А., Москвин A.M., Фетисов Ю. М. И В кн.: Новые процессы и оборудование для получения веществ реактивной квалификации. Днепропетровск: Проминь, 1982, с. 103−109.
  123. Л.В., Бессарабов A.M., Гринберг Е. Е. Ефремов А.А., V
  124. В.В., Родина Г. Л., Абузин Ю. М., Нечаева Г. Ю. Моделирование процессов дистилляционной очистки кремнийорганических соединений в области микроконцентраций // Высокочистые вещества, 1991, № 2, с. 121−124.
  125. Л.А., Ярошевский А. Г., Кочуров A3. Металлические монокристаллы. М.: Наука, 1990, с.60−67.
  126. А.П., Сергеев С. С., Гринберг Е. Е. Давление насыщенного пара гомологов элементоорганических соединений // Высокочистые вещества, 1993, № 3, с. 115−118.
  127. Shannon R.D. Revised Effective Ionic Radii and Systematic Studies of Interatomic Distances in Halides and Chalcogenides // Acta Cryst. 1976. A32. p.751−767.
  128. Выражаю глубокую благодарность д.х.н. Е. Е. Гринбергу, к.т.н. Ю. И. Левину, к.х.н. Н. Г. Черной и всему коллективу отдела технологии глубокой очистки и регенерации веществ за ценное, обсуждение результатов и помощь в работе.
Заполнить форму текущей работой

Заказал и сдал!