Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Высокотемпературное ионное азотирование конструкционных и инструментальных сталей в тлеющем разряде с полым катодом

ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

В последнее время все большее развитие и применение получают методы и способы ионного азотирования, которые позволяют не только избавиться от недостатков традиционных методов (газовое, в кипящем слое, в жидких средах), но и получить следующие преимущества: возможность регулирования параметров обработки в широком интервале режимов и за счет этого — структуры, фазового состава, твердости… Читать ещё >

Содержание

  • ГЛАВА 1. АНАЛИЗ МЕТОДОВ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ П
  • ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ И
  • ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ИОННО ПЛАЗМЕННОГО СТРУКТУРНО-ФАЗОВОГО МОДИФИЦИРОВАНИЯ
    • 1. 1. Анализ процессов азотирования
    • 1. 2. Азотирование в тлеющем разряде (ионное азотирование)
    • 1. 3. Высокотемпературное ионное азотирование конструкционных и 24 инструментальных сталей
    • 1. 4. Модели процесса азотирования в тлеющем разряде
    • 1. 5. Принципы управления диффузионным насыщением при 40 высокотемпературном ионно-плазменном структурно-фазовом модифицировании
  • Цель и задачи работы
  • ГЛАВА 2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
    • 2. 1. Объект исследований, механические свойства исследованных 49 материалов
    • 2. 2. Описание модернизированной установки ЭЛУ-5 для ионного 52 азотирования в тлеющем разряде
    • 2. 3. Методика измерения микротвердости
    • 2. 4. Методика металлографического исследования азотированного и 55 закаленного слоя
    • 2. 5. Методика рентеноструктурного анализа поверхности
    • 2. 6. Методика определения износостойкости поверхности
  • ГЛАВА 3. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ ФАЗОВЫХ И
  • СТРУКТУРНЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ В КОНСТРУКЦИОННЫХ И
  • ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЯХ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ
  • В ОЗДЕЙСТВИИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ
    • 3. 1. Ионное азотирование в тлеющем разряде на основе эффекта 60 полого катода
    • 3. 2. Исследование влияния азотирования, высокотемпературного 63 азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с ЭПК на структуру конструкционных и инструментальных сталей
    • 3. 3 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного 68 азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с ЭПК на фазовый состав конструкционных и инструментальных сталей

    3 4 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного 77 азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с ЭПК на величину напряжений и средний размер кристаллитов конструкционных и инструментальных сталей

    Выводы

    ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ ВЫСОКОТЕМПЕ РАТУРНОГО СТРУКТУРНО-ФАЗОВОГО МОДИФИЦИРОВАНИЯ В

    ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НА МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЕЙ

    4.1. Экспериментальные результаты влияние состава рабочего газа и 93 режимов ионного азотирования, высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки на микротвердость поверхности конструкционных и инструментальных сталей

    4.2 Исследование влияния азотирования и высокотемпературного 97 азотирования в тлеющем разряде с ЭПК на изменение микротвердости по глубине слоя конструкционных и инструментальных сталей

    4 3 Исследование влияния высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с ЭПК на износостойкость стали 38Х2МЮА

    Выводы

    ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЙ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО 111 СТРУКТУРНО-ФАЗОВОГО МОДИФИЦИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ И ИНСТРУМЕНТА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ.

    5Л. Экспериментальные исследования вольт-амперных характеристик 111 тлеющего разряда

    5.2. Экспериментальные результаты температурных зависимостей при ИЗ ионном азотировании

    3. Технологический процесс высокотемпературного ионного азотирования в тлеющем разряде с полым катодом 5 4 Технологический процесс высокотемпературного ионного 125 азотирования с последующей светлой закалкой

    Выводы

Высокотемпературное ионное азотирование конструкционных и инструментальных сталей в тлеющем разряде с полым катодом (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Работоспособность деталей машин и инструмента во многом определяется состоянием поверхностного слоя. Для повышения твердости, прочности и износостойкости широко применяются различные методы термической и химико-термической обработки.

С ростом требований к качеству упрочненного слоя, к показателям экономической эффективности процессов, к подбору материалов в зависимости от поверхностных свойств, диффузионному слою и сечению деталей, а также вследствие увеличения объемной доли сложнолегированных легкопас-сивирующихся сталей и сплавов в процессе производства деталей и инструмента, становиться актуальным применение регулируемых процессов в многокомпонентных атмосферах, ресурсосберегающих, вакуумных, ионно-плазменных технологий.

В последнее время все большее развитие и применение получают методы и способы ионного азотирования, которые позволяют не только избавиться от недостатков традиционных методов (газовое, в кипящем слое, в жидких средах), но и получить следующие преимущества: возможность регулирования параметров обработки в широком интервале режимов и за счет этого — структуры, фазового состава, твердости, износостойкости, шероховатостивысокую скорость насыщенияполучение диффузионных слоев заданного фазового состава и строениявысокий класс чистоты поверхностибольшую экономичность процесса за счет значительного сокращения общего времени обработкиповышение коэффициента использования электроэнергиисокращение расхода насыщающих газовпроцесс не токсичен и отвечает требованиям по защите окружающей среды.

Причиной повышенного внимания к проблеме высокотемпературного азотирования и светлой закалки является уникальные свойства поверхности изделия, которые формируются в результате обработки: высокая твердость на поверхности, не изменяющаяся при нагреве до 500−600°С, высокая износостойкость, низкая склонность к задирам, высокий предел выносливости и высокая кавитационная стойкость.

Высокотемпературному азотированию конструкционных и инструментальных материалов в литературе уделяется большое внимание, однако не все аспекты такого упрочения изучены достаточно полно. Весьма мало сведений о структуре и свойствах конструкционных и инструментальных сталей, прошедших высокотемпературное ионное азотирование, в том числе совмещенное со светлой закалкой, причем экспериментальные данные недостаточно систематизированы и часто весьма противоречивы.

С целью интенсификации процесса насыщения обрабатываемой поверхности, целесообразно использование тлеющего разряда с эффектом полого катода, который позволяет существенно увеличить плотность ионного тока вследствие многократной осцилляции электронов в катодной полости, образованной поверхностью детали и экраном. В работах Ю. Е. Крейнделя, Н. М. Лемешева, А. И. Слосмана, В. В. Будилова, С. Р. Шехтмана, Р.Д. Агзамо-ва экспериментально было доказано, что при ионном азотировании в условиях проявления эффекта полого катода значение поверхностной микротвердости и глубины азотированного слоя существенно выше по сравнению с обработкой в тлеющем разряде с плоским катодом при равных параметрах процесса (время, давление, температура), что обеспечивает значительное повышение производительности, экономию электроэнергии и азотирующего газа.

Таким образом, тематика диссертационной работы, направленная на решение проблемы высокотемпературного ионного азотирования конструкционных и инструментальных сталей в тлеющем разряде с полым катодом, представляется актуальной, поскольку позволит сократить время азотирования до 1 — 2 часов и получать диффузионные слои заданного фазового состава с высокой поверхностной микротвердостью и износостойкостью, и тем самым обусловит дальнейшее развитие технологий, направленных на улучшение эксплуатационных свойств деталей и иструмента.

Основные положения, полученные лично автором и выносимые на защиту:

1. Результаты исследования характеристик тлеющего разряда с полым катодом в смеси газов, зависимостей плотности тока от напряжения, давления и расстояния между обрабатываемой поверхностью и экраном.

2. Способы высокотемпературного ионного азотирования конструкционных и инструментальных сталей, в том числе совмещенного со светлой закалкой, основанные на модифицировании в тлеющем разряде с полым катодом, обеспечивающие целенаправленное формирование заданного фазового состава и повышение механических свойств.

3. Результаты исследования влияния высокотемпературного ионного азотирования, в том числе совмещенного со светлой закалкой, на скорость насыщения обрабатываемой поверхности атомарным азотом, на количественный и качественный фазовый состав сталей 38Х2МЮА, ЗОХГСА и XI2.

4. Зависимости микротвердости и износа от фазового состава, режимов и способов обработки конструкционных и инструментальных сталей в тлеющем разряде с полым катодом.

Научная новизна:

1. Установлено, что в условиях высокотемпературного ионного азотирования в тлеющем разряде с полым катодом скорость роста диффузионной зоны в 3 — 5 раз выше по сравнению с ионным азотированием при температурах ниже точки А] в системе железо — азот в тлеющем разряде с полым катодом, вследствие роста диффузионной подвижности элементов при температурах предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит.

2. Установлено, что в отличие от ионного азотирования в тлеющем разряде при температурах ниже точки А) в системе железо — азот, при котором в сталях ЗОХГСА, 38Х2МЮА и XI2 нитридная зона преимущественно состоит из е-фазы Ре2.3(ТГ), а также нитридов легирующих элементов (СгМ, Сг2М, (Ре, Сг)2.3М), карбонитридных фаз (Ре (Ме)23(М, С), Ре (Ме)4(М, С), Сг (1чГ, С),.

Сг2(1Ч, С)) и 0!-фазы насыщенной азотом, при ионном высокотемпературном ионном азотировании в тлеющем разряде с полым катодом е-фаза отсутствует, а нитридная зона характеризуется большей однородностью и преимущественно состоит из у-фазы Ре4(Ы), (Ре, Ме)4]ЧГ, нитридов легирующих элементов, карбонитридных фаз, а также оксида (Ре, Ме)304 с кристаллической решеткой шпинели.

3. Установлено, что высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый в результате применения высокотемпературного ионного азотирования, в том числе совмещенного со светлой закалкой, в тлеющем разряде с полым катодом, позволяет повысить износостойкость стали 38Х2МЮА в 12 и 30 раз соответственно по сравнению с исходным состоянием и в 2,5 и 6 раз соответственно по сравнению с ионным азотированием при температурах ниже точки А! в системе железо — азот, вследствие целенаправленного формирования заданного фазового состава и микротвердости.

4. Впервые исследованы методы высокотемпературного ионного азотирования, в том числе совмещенного со светлой закалкой в тлеющем разряде с эффектом полого катода, реализуемого сетчатым экраном.

Практическая ценность работы.

1. Зависимости температуры обрабатываемой поверхности от времени при различных значениях рабочего давления при обработке в тлеющем разряде в условиях проявления и без проявления полого катода, а также кривые охлаждения поверхности конструкционных и инструментальных сталей в потоке различных газов и в масле, зависимости фазового состава от температуры насыщения могут быть использованы при назначении технологических режимов высокотемпературного азотирования, в том числе совмещенного со светлой закалкой, в тлеющем разряде с полым катодом.

2. Способы высокотемпературного азотирования, в том числе совмещенного со светлой закалкой, конструкционных и инструментальных сталей в тлеющем разряде с полым катодом, позволяют снизить себестоимость технологической операции азотирования и светлой закалки, за счет уменьшения энергозатрат, сокращения длительности процесса обработки, отсутствия необходимости в дорогостоящих защитных средах, простоты схемы обработки, не требующей проектирования специальных приспособлений и сравнительно невысокой стоимости оборудования.

Реализация результатов работы.

1. Обработана опытная партия матриц для обрезки шестии четырехгранников болтов, и пуансонов для операции редуцирования стержневой части болтов из быстрорежущей стали Р6М5, применяемые в производстве автонормалей на заводе БелЗАН, по разработанному технологический процессу ионного высокотемпературного азотирования матриц холодновысадочного автомата. Проведенные испытания показали, что стойкость штамповой оснастки повысилась в 2 — 3 раза.

2. Разработан и внедрен в производство технологический процесс ионного высокотемпературного азотирования матриц холодновысадочного автомата для обрезки шестии четырехгранников болтов, применяемых в производстве автонормалей на заводе БелЗАН. Проведенные испытания показали, что стойкость штамповой оснастки повысилась в 2 — 3 раза.

3. Разработан и внедрен типовой технологический процесс модифицирования поверхности деталей типа «Стакан», включающий высокотемпературное ионное азотирование, на модернизированной установке ННВ-6,6-И1 на ОАО «Уфимское моторостроительное производственное объединение» .

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на: Международной конференции «Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов» (Харьков, 2004, 2007, 2008) — Научно — технической конференции «Вакуумная наука и техника» (Судак, 2004, 2005, 2006, 2008) — Всероссийской научно-технической конференции «Теплофизика техю нологических процессов» (Рыбинск, 2004, 2006) — 7-й Международной конференции «Вакуумные нанотехнологии и оборудование» (Харьков, 2006) — Международной конференции «Радиационная физика» (Севастополь, 2007) — Международной конференции «Газоразрядная плазма и ее технологические применения» (Томск, 2007) — Международной научно-технической конференции «Молодежь в авиации: новые решения и передовые технологии» (Запорожье, 2008) — Региональных научно-технических конференциях (Уфа, 2004, 2005, 2006, 2007, 2008).

Аннотация диссертационной работы по главам.

В первой главе проведен анализ процессов азотирования, высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки, включающей высокотемпературное азотирование с последующей светлой закалкой, обеспечивающих повышение эксплуатационных характеристик поверхностей деталей машин и инструмента. Рассмотрены процессы, происходящие при взаимодействие плазмы с поверхностью детали при азотировании в тлеющем разряде, а также проанализированы модели процесса азотирования в тлеющем разряде.

Во второй главе рассмотрены методики определения микротвердости, металлографического исследования азотированного и закаленного слоя, рен-тгеноструктурного анализа обработанных образцов, контроля температуры, а также методика определения износостойкости.

В третьей главе представлены исследования влияния азотирования, высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с полым катодом на структуру, фазовый состав, сингонию и период кристаллической решетки, остаточную деформацию и величину напряжений, область когерентного рассеяния и средний размер кристаллитов конструкционных и инструментальных сталей.

В четвертой главе представлены исследования влияния азотирования, высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с полым катодом на микротвердость поверхности и изменение микротвердости по глубине слоя конструкционных и инструментальных сталей. А также исследование влияния высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с полым катодом на износостойкость стали 38Х2МЮА.

В пятой главе представлены экспериментальные исследования вольт-амперных характеристик тлеющего разряда, зависимости температуры поверхности от режимов обработки в тлеющем разряде в условиях проявления и без проявления полого катода. Кривые охлаждения поверхности конструкционных и инструментальных сталей в потоке различных газов и в масле, разработанные технологические процессы высокотемпературного ионно-плазменного азотирования, высокотемпературного ионно-плазменного азотирования с последующей светлой закалкой.

1. АНАЛИЗ МЕТОДОВ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ.

ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО СТРУКТУРНО-ФАЗОВОГО МОДИФИЦИРОВАНИЯ.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ.

1. Анализ моделей и процессов взаимодействия плазмы тлеющего разряда с поверхностью показывает, что для увеличения эффективности ионного азотирования необходимо увеличить плотность ионного потока и как следствие количество атомарного азота. Это возможно либо при использовании специальных источников ионов (в этом случае область рабочего давления составляет не более 1 Па), либо используя эффект полого катода при азотировании в тлеющем разряде, который способствует увеличению степени ионизации вблизи обрабатываемой поверхности.

2. Разработаны способы высокотемпературного ионного азотирования, светлой закалки и комбинированной обработки (высокотемпературного ионного азотирования с последующей светлой закалкой) в плазме тлеющего разряда с полым катодом, которые позволяют проводить фазовое модифицирование поверхности конструкционных и инструментальных сталей. При этом фазовое состояние зависит от химического состава и температурно-временных параметров процесса обработки. При изменении этих параметров в диффузионном слое могут образовываться нитридные и карбонитридные соединения основного металла и легирующих элементов типа е и у-фаз, а также оксинитридные соединения типа — (Бе, Ме)304, различающиеся средними размерами кристаллитов, объемной долей, величиной остаточной деформации и напряжений.

3. Установлено, что в отличие от ионного азотирования в тлеющем разряде при температурах ниже точки А1 в системе железо — азот, при котором в сталях ЗОХГСА, 38Х2МЮА и Х12 нитридная зона преимущественно состоит из е-фазы Ре2з (ТчГ), Ре2. з (ТчГ, С), а также нитридов легирующих элементов (СгЫ, Сь!4!, (Бе, Сг)2.зЫ), карбонитридных фаз (Ре (Ме)2.3(ЪГ, С), Ре (Ме)4(М, С), Сг (НС), Сг2(Ы, С)) и а-фазы насыщенной азотом, при ионном высокотемпературном азотировании в тлеющем разряде с полым катодом е-фаза отсутствует, а нитридная зона характеризуется большей однородностью и преимущественно состоит из У-фазы Ее4(М), (Ее, Ме)41Ч, нитридов легирующих элементов, карбонитридных фаз, а также оксида (Ее, Ме)304 с кристаллической решеткой шпинели. Установлено, что в отличии от светлой закалки, при которой образуется структура состоящая из мартенсита (а-Ее (С)), остаточного аустенита 7~Ее©, /у-Ре (М, С), а также карбидов, в результате комбинированной обработки на поверхности сталей образуется карбонитридная у-фаза (Ре (М)4(1М, С) далее расположены уфаза и а-фаза пересыщенная азотом. Поверхностный слой с расположенной под ним развитой мартенситной зоной, предотвращающей продавливание слоя У-фазы.

4. Установлено, что в условиях высокотемпературного ионного азотирования в тлеющем разряде с полым катодом скорость роста диффузионной зоны в 3 — 5 раз выше по сравнению с ионным азотированием при температурах ниже точки А1 в системе железо — азот в тлеющем разряде с полым катодом, вследствие роста диффузионной подвижности элементов при температурах предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит, а также вследствие радиационно-стимулированной диффузии атомарного азота вглубь металла в условиях проявления эффекта полого катода.

5. Установлено, что в условиях изнашивания при контактных нагрузках (5,0 Н) без смазочного материала максимальной износостойкостью обладает образец со структурой состоящей из нитридов основного металла и легирующих элементов (к примеру (Ее, Сг)4ТЧ), а также карбонитридных фаз (Ее (Ме)4(К, С)) в поверхностном слое и с расположенной под ним развитой мартенситной зоной, предотвращающей продавливание слоя У-фазы. Высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый в результате применения высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде с полым катодом, позволяет повысить износостойкость стали 38Х2МЮА в 12 и 30 раз соответственно по сравнению с исходным состоянием и в 2,5 и 6 раз соответственно по сравнению с ионным азотированием при температурах ниже точки А! в системе железо — азот.

6. Разработаны технологии высокотемпературного ионного азотирования и высокотемпературного ионного азотирования с последующей светлой закалкой, основанные на фазовом модифицировании в тлеющем разряде с полым катодом, которые позволяют получать диффузионные слои заданного фазового состава, а также значительно сократить общее время обработки в 2 — 4 раза, энергозатраты и расход насыщающих газов. Высокотемпературное азотирование приводит к интенсификации процесса насыщения и обеспечивает высокую кинетическую эффективность процесса по сравнению с традиционными методами азотирования. Производственные испытания матриц и пуансонов для холодновысадочного автомата показали экономическую эффективность и целесообразность применения разработанной технологии высокотемпературного азотирования матриц и пуансонов, при этом стойкость штамповой оснастки повысилась в 2 — 3 раза.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Р.Д., Будилов В. В. Ионное азотирование в тлеющем разряде с эффектом полого катода // ОТТОМ-4: сб. докладов/ Международная конференция. Харьков, 2003, С. 262−265.
  2. Р.Д. Повышение производительности и качества поверхностного слоя деталей путем дополнительной ионизации газа при ионно-плазменной обработке. Диссертация на соискание ученной степени кандидата технических наук. -Уфа, 2004. 135 с.
  3. A.A., Кунченко В. В., СаблевЛ.П., Шулаев В. М. Дуплексная обработка инструментальных сталей в вакууме// ОТТОМ-2: сб. докладов/ Международная конференция. Харьков, 2001, С. 48−56.
  4. .Н. Химико-термическая обработка металлов в активизированных газовых средах. М.: Машиностроение, 1979, 224 с.
  5. .Н. Химико-термическая обработка сплавов в активизированных газовых средах // Вестник машиностроения. 1986. № 9, С. 49−53.
  6. .Н., Виноградов A.B., Велищанский A.B. Ионное азотирование сплавов // Новые сплавы и методы упрочнения деталей машин. М.: МВТУ, 1981. С. 105−117.
  7. .Н., Братухин А. Г., Елисеев Ю. С., Панайоти Т. А. Ионная химико-термическая обработка сплавов. М.: Изд-во МВТУ им Баумана, 1999, 400 с.
  8. Б. Н. Семенов А.П., Кацура A.A., Горбов А. Л., Костюков В. В. Повышение износостойкости штампового инструмента ионным азотированием // Трение и износ. 1986. № 4, С. 711−713.
  9. Л.А. Элементарная физика плазмы. -М.: Атомиздат, 1969. -191 с.
  10. Ю.Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г. Д. Химико-термическая обработка втлеющем разряде. -М.: Атомиздат, 1975. 175 с. 11 .Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г. Д., Радиационно-стимулируемая химико-термическая обработка, —М.: Энергоиздат, 1982. 182 с.
  11. JI.M., Воробьев В.С, Якубов И. Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982, 375 с.
  12. B.C., Коган Ю. М. Исследование разряда в полом катоде. // ЖТФ. -1966. -Т XXXVI. -Вып. 1. -С. 181−185.
  13. B.C., Коган Ю. М., Лягущенко Р. Н. Исследование разряда в полом катоде -2. // ЖТФ. -1966. -Т XXXVI. -Вып. 7. -С. 1198−1201.
  14. И.М., Фрайман Б. С. Вторичная электронная эмиссия. М.: Наука, 1969. 391 с.
  15. В.В. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Диссертация на соискание доктора технических наук. -Уфа, 1994, 372 с.
  16. В.В., Агзамов Р. Д., Рамазанов К. Н. Способ светлой закалки изделий в тлеющем разряде с эффектом полого катода. Патент на изобретение № 2 277 592, МПК 7, C21D1/06 от 12.07.2004, 3 с.
  17. В.В., Агзамов Р. Д., Рамазанов К. Н. Способ поверхностного упрочнения деталей. Патент на изобретение № 2 275 433, МПК 7, C21D1/09, C21D1/38 от 16.11.2004, 3 с.
  18. В.В., Агзамов Р. Д., Рамазанов К. Н. Способ азотирования изделий в тлеющем разряде с эффектом полого катода. Патент на изобретение № 2 276 201, МПК 7, С23С8/36, С23С8/80 от 09.11.2004, 3 с.
  19. В.В., Агзамов Р. Д., Рамазанов К. Н. Технология ионного азотирования в тлеющем разряде с полым катодом. // МиТОМ. 2007. № 7. С.25−29.
  20. В.В., Шехтман С. Р., Киреев P.M. Использование разряда с полом катодом для обработки поверхности конструкционных материалов // Физика и химия обработки материалов. -2001. -№ 2. -С.31−35.
  21. В.А., Репин М. Ф. Повышение эффективности извлечения заряженных частиц из плазменного источника на основе отражательного разряда с полым катодом. // Электронная обработка материалов. № 4. 1990. С.44−47.
  22. Ю.А., Неволин В. Н., Фоминский В. Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991., 237 с.
  23. JI.A., Собельман И. И., Юков Е. А. Возбуждение атомов и уширение спектральных линий. М.: Наука, 1979, 320 с.
  24. Г. Г., Крейндель Ю. Е. Эффект полого катода в разряде типа пеннинга низкого давления // ЖТФ. -1969. -Т. XXXIX. -Вып. 2. -С. 298−301.
  25. Е.П., Ковалев A.C., Рахимов A.C. Физические явления в газоразрядной плазме. М.: Атомиздат, 1987, 312 с.
  26. Н. А., Семёнов А. П. Вакуумные ионно-плазменные технологии упрочнения поверхностей деталей машин // Сб. «Методы и средства упрочнения поверхностей деталей концентрированными потоками энергий». Москва: Наука, 1991, 402 с.
  27. Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989, 564 с.
  28. М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. -М.: Атомиздат, 1972, 356 с.
  29. В. М. и др. Теория столкновений атомных частиц / В. М. Галицкий, Е. Е. Никитин, Б. М. Смирнов.-М.: Наука, 1981, 254 с.
  30. Герасимов и др. Курс физической химии. М.: Химия, 1970, т.1, 592с, 1973, т.2, 623 с.
  31. С. А. Прогрессивные методы азотирования. Университет технического прогресса в машиностроении. М.: Машиностроение, 1985, с. 32.
  32. С.А., Жихарев A.B., Березина Е. В. и др. Новые идеи о механизме образования структуры азотированных сталей // МиТОМ. 2004. № 1. С.13−17.
  33. В. Е. и др. Основы физики плазмы / В. Е. Голант, А. П. Жилинский, И. Е. Сахаров. -М.: Атомиздат, 1977, 384 с.
  34. B.C., Пашкин C.B. Тлеющий разряд повышеного давления. -М.: Наука, 1990, 380 с.
  35. И.М., Ахмадеев Ю. Х., Иванов Ю. Ф. и др. Азотирование технически чистого титана в тлеющем разряде с полым катодом // Физика плазмы. 2008. Т: 31, № 10
  36. B.JI. Электрический ток в газах. Установившийся ток. -М.: Наука, 1971, 544 с.
  37. М.И. и др. Глубокое азотирование мартенситной стали и титанового сплава при имплантационно-плазменной обработке // Металлы. -2000. -№ 2. -С. 106−111.
  38. .С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987, 264 с.
  39. Двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд и перспективы его использования в вакуумно-плазменной технологии / Л. П. Саблев, Р. И. Ступак, В. И. Шелохаев // Тезисы докладов 4-й научно-технической конференции «Вакуумные покрытия-87», Рига, 1987. С. 182 189
  40. , В.Н., Ткаченко В. М., Тютюнник В. Б. Влияние геометрических размеров, материала катода и рода газа на область оптимальных давлений тлеющего разряда с цилиндрическим полым катодом // ЖТФ. -1976. -Т. 46. -Вып. 9.-С. 1857−1867.
  41. .Н., Москалев Б. И. Роль фотоэффекта в эмиссии электронов из катода тлеющего разряда в Кг и Хе // ЖТФ. -1969. -Т. XXXIX. -Вып. 6. -С. 1066−1069.
  42. H.H. Источники низкотемпературной плазмы и электронных пучков на основе дуговых разрядов низкого давления с полым анодом / Диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени доктора технических наук. Томск, 2000, 74 с.
  43. Ю.Е., Лемешев Н. М., Слосман А. И. Эффект полого катода при азотировании в тлеющем разряде // Электронная обработка материалов. -1990. -вып. 6. -С. 38−47.
  44. Ю.Е., Никулин С. П. Тлеющий разряд с полым катодом в режиме частичного заполнения полости плазмой // ЖТФ. -1992. -Т 62. -Вып. 4. С. 89−93.
  45. Ю.Е., Осипов И. В., Ремпе.Н. Г. Параметры плазмы в отрицательном разряде с полым катодом // ЖТФ.-1992. -Т 62. -Вып. 10. С. 165−169.
  46. Ю.Е., Пономарева Л. П., Пономарев В. П., Слосман А. И. Об азотировании анода в тлеющем разряде // Электронная обработка материалов. 1984, № 4, С. 32−34.
  47. В.М., Старцева O.A. Взаимосвязанные процессы в электрическом разряде. -Уфа: УАИ, 1989, 51 с.
  48. Е.Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники. -Киев: Вища школа, 1981, 358 с.
  49. Ю.М. Высокотемпературное азотирование // МиТОМ. 1991. № 2. С.25−29.
  50. Ю. М. Металловедение и термическая обработка металлов: Учебник для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. -М.: Металлургия, 1983, 360 с.
  51. Ю. М., Арзамасов Б. Н. Химико-термическая обработка металлов: Учеб. пособие для вузов по спец. «Металловедение, оборуд. и технология терм, обраб. металлов. -М.: Металлургия, 1985, 256 с.
  52. Ю.М., Коган Я. Д. Азотирование стали. -М.: Машиностроение, 1976, 256 с.
  53. Ю.М., Коган Я. Д. Регулируемые процессы азотирования // Металловедение и термическая обработка металлов. 1978, № 8, С. 12−15.
  54. Ю. М., Коган Я. Д. Структура и прочность азотированных сплавов / Сер. под общ. ред. М. Л. Бернштейна, И. И. Новикова. -М.: Металлургия, 1982, 175 с.
  55. Ю.М., Коган Я. Д., Шапошников В. Н. Исследование процесса азотирования стали в тлеющем разряде//Электронная обработка материалов. 1976, № 5, С. 15−18.
  56. Ю.М., Коган Я. Д., Шпис Г-Й., Бемер 3. Теория и технология азотирования. М.: Металлургия, 1991, 320 с.
  57. Ю.М., Крымский Ю. Н. Физические процессы при ионном азотировании // Защитные покрытия на металлах. Киев: Наукова думка, 1968. в. 2, С. 225−229.
  58. Ю.М., Неустроев Г. Н., Сологубова Н. И., Фролова Л. П. Нитроцементация при 700 °C с последующей закалкой поверхностного слоя // МиТОМ. 1987. № 5. С.32−36.
  59. Ю.М., Фетисова И. П. Высокотемпературное азотирование сталей аустенитного и ферритно-мартенситного класса // Металловедение и термическая обработка. М.: Машиностроение, 1971. Вып.7. С.104−110.
  60. Г. А., Проскуревский Д. И. Импульсный электрический разряд в вакууме / Отв. ред. Г. А. Воробьев- АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электрон. -Новосибирск: Наука. -Сиб. отд-ние, 1984, 256 с.
  61. Е. Электрофизика / Пер. с нем. /Под ред. В. И. Раховского. М.: Мир, 1972, с. 191.
  62. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / под. ред. Паута Дж.М. М.: Машиностроение, 1987, 424 с.
  63. .И. Разряд с полым катодом. -М.: Энергоатомиздат, 1969, 180 с.
  64. В. А., Сергеев Г. И. Измерение параметров пучков заряженных частиц. -М.: Энергоатомиздат, 1991, 237 с.
  65. B.C. Технологические аспекты прочности деталей ГТД // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: Уаи, 1990, 75 с.
  66. B.C., Смыслов A.M., Боровский С. М. Модификация поверхности деталей ГТД по условиям эксплуатации. М.: Машиностроение, 1995, -190 с.
  67. B.C., Шустер Л. Ш. Износ инструмента и долговечность из авиационных материалов. -Уфа: Уаи, 1987, 215 с.
  68. С.П. Устойчивость и эмиссионные свойства газоразрядных структур с осциллирующими электронами // Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. -Томск, 1992, 19 с.
  69. С.П. Характеристики тлеющего разряда низкого давления с цилиндрическим полым катодом при большой протяженности катодного слоя // ЖТФ. -1992. -Т 62. -Вып. 12. -С. 21−27.
  70. И.И., Строганов Г. Б., Новиков А. И. Металловедение, термообработка и рентгенография. -М.:МИСИС, 1994, 480с.
  71. И.М. Кинетика прикатодных процессов как фактор формирования энергетического спектра падающего потока // Вестник ТУП. Хмельницкий, 2004, № 1, С. 53−64.
  72. И.М. Методика обработки данных многофакторных моделей // Вестник ТУП. Хмельницкий, 2002, № 6, С. 42−46.
  73. И.М. Модификация металлов с применением азотирования в тлеющем разряде: состояние и перспективы // Проблемы трибологии. Хмельницкий, 2004, № 3−4, С. 42−55.
  74. И.М. Особенности технологии моделирования многофакторных закономерностей // Проблемы трибологии. Хмельницкий, 2004, № 1, С.35−39
  75. И.М., Здыбель A.C. Характеристики образования нитридов в сталях при азотировании в тлеющем разряде // ОТТОМ 9: материалы международной конференции. — Харьков, — 2008.— С. 162−168
  76. И.М. Факторы управляемости вакуумно-диффузионными газоразрядными технологиями модификации поверхности металлов // Проблемы трибологии. Хмельницкий: 2001, № 2- С. 93−96.
  77. И.М. Энергетический спектр падающего потока при азотировании в тлеющем разряде //Вестник ТУП. Хмельницький, 2005, № 5,ч. 1, т. 1, С. 5−15.
  78. И.М., Здыбель О. С. Проблемы моделирования процесса азотирования в тлеющем разряде // Вестник ТУП. Хмельницкий, 2005, № 1, С. 7−11.
  79. Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении / Каблов E.H., Мубояджян С. А., Сулима A.M., Ягодкин Ю. Д. и др.// Авиационная промышленность. -1992. -№ 9. -С. 9−12.
  80. Л.Г. Высокотемпературное азотирование жаропрочных сплавов // МиТОМ. 2004. № 1. С. 18−24.
  81. Л.Г. Внутреннее азотирование жаропрочных сталей и сплавов // МиТОМ. 2001. № 1. С.10−17.
  82. Л.Г. Регулирование фазового состава азотированных слоев в многокомпонентных сплавах // МиТОМ. 2002. № 4. С. 13−19.
  83. М.В. Катодное распыление. -М.: Атомиздат, 1988, 343 с.
  84. В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии: Учебн. пособие для вузов по спец. электрон, техники. -М.: Высш. шк, 1988, 254 с. 93 .Р. Чаттерджи-Фишер и др. Азотирование и карбонитрирование. -М.: Металлургия, 1990, 280 с.
  85. Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. -М.: Наука, 1980, 416 с.
  86. Ю. П. Физика газового разряда. -2-е изд., перераб. и доп. -М.:Наука, 1992, 535с.
  87. Ю.П. Физика газового разряда. -М.: Высшая школа, 1987, 320 с.
  88. К.Н. Технология высокотемпературного азотирования и светлой закалки инструментальных сталей в вакууме. // «Вакуумные нанотехнологии и оборудование»: сб. докладов / Международная конференция. Харьков, 2006.-С. 19−22.
  89. Свойства неорганических соединений / Справочник. JL: Химия, 1983,390 с. ЮО. Семенов А. П., Батуев Б. Ш. К вопросу извлечения ионов из разряда с полымкатодом в условиях проникающей плазмы // ЖТФ, 1991. -Т 61. -Вып.5. -С. 123−134.
  90. O.A., Стаханов И. П. Физика плазмы. Стационарные процессы в частично ионизованном газе. М.: Высшая школа, 1991, 191с.
  91. .М. Введение в физику плазмы. М.: Наука, 1982, с. 24.
  92. .М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. -М.: Атомиздат, 1974, 367 с.
  93. .М. Физика слабо-ионизированного газа в задачах с решениями. -М.: Наука, 1985, 424 с.
  94. .М. Физика атома и иона. -М.:Энергоатомиздат, 1986. -215 с.
  95. Юб.Современные технологии в производстве газотурбинных двигателей / Колл. авторов- Под ред. А. Г. Братухина, Г. К. Язова, Б. Е. Карасева. —М.: Машиностроение, 1997,416с.
  96. Справочник химика/ 2-е изд. JI.-M.: Госхимиздат, 1962, т. 1, 1071 с.
  97. Н.В. и др. Ионно-стимулированное легирование поверхности конструкционной стали // 6-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, 2002. -401−404p.
  98. A.M., Шулов B.A., Ягодкин Ю. Д. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин. М.: Машиностроение, 1988.
  99. М. Н. Жигалова К. А. Методы коррозионных испытаний металлов. Под ред. Колотыркина Я. М. -Москва: Металлургия, 1986, 80 с.
  100. Чен Ф. Введение в физику плазмы. / Пер. с англ. -М.: Мир, 1987.- 210 с.
  101. И.Чернетский А. В. Введение в физику плазмы. М.: Атомиздат, 1969, 303 с.
  102. Ю.Д. Основы технологических процессов обработки пучками заряженных частиц деталей газовых турбин при их изготовлении и ремонте: Автореф. дис. док. техн. наук. Москва, 1995, 38 с.
  103. Edenhofer В, Bewley T.J. Heat Treatment. 1976, Metal Soc., London, 1978, p. 203.
  104. Edenhofer B. Physikalishe und metallkundliche Vorgange beim Nitriren in Plasma einer Glimmentladung // Harterei-Technishe Mitteilungen. 1974, Bd. 29, № 2, S. 105−112.
  105. Goncharenko I.M. Evolution of the structure and phase composition of hardened 4140 steel in the process of plasma nitriding // 5-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. -Tomsk, 2000. -330−333p.
  106. Grim R. Industrial advances for plasma nitriding. Proceedings of International Conference of Ion Nitriding & Carburizing, 1989: Cincinnati, Ohio. -160−164p.
  107. Keller K. Jonnitriren steuerbare Oberflachenver festigung durch Jonnitriren // Technishe Rundshau. 1971, Bd. 63, № 37, S. 33−39.
  108. Keller K. Schcichtaufbau glimmnitrierten Eisenwerkstoffe // Harterei Technische Mitteilung. 1971, Bd. 26, № 2, S. 120−128.
  109. Kolbel J. Die Nitridschitbildung beider Glimmnitrierung // Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen. 1965, № 1555, S. 1−19
  110. Koval N.N. Elion nitriding of steels // 5-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. -Tomsk, 2000. -327−329p.
  111. Kwon S.C., Lee G.H., Yoo M.C. A comparative study between pulsed and D.C. ion nitriding behavior in specimens with blind holes. Proceedings of a International Conference of Ion Nitriding, 1986: Cleveland, Ohio. -301−305p.
  112. Remges W., Luhr J. Plasma (Ion) nitriding and plasma (Ion) nitrocarburizing units, application and experiences. Proceedings of a International Conference of Ion Nitriding & Carburizing, 1989: Cincinnati, Ohio. -420−426p.
Заполнить форму текущей работой