Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

ΠŸΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹ΠΉ синтСз ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ сСлСктивного Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ спСкания

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Одним ΠΈΠ· Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… способов синтСза Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ сСлСктивноС Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ спСканиС (Π‘Π›Π‘). Π‘ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π· Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈΠ· ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° Π² ΡΡ€Π΅Π΄Π΅ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΈ воздСйствии Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ излучСния являСтся Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ извСстной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ химичСского осаТдСния ΠΈΠ· ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Ρ‹ (ΠΈΠ»ΠΈ химичСского Π³Π°Π·ΠΎΡ„Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния — Π₯Π“Π€Πž, Chemical Vapour Deposition — CVD). БущСствСнным прСимущСством Π‘Π›Π‘… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠŸΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹ΠΉ синтСз ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ сСлСктивного Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ спСкания (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π₯арактСристика ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°

Π Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСских свойств ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹Ρ… областСй примСнСния Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ основС ΡΡ‚ΠΈΠΌΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ интСрСс ΠΊ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² получСния ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡ‚Π² этого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° устойчива ΠΊ Ρ…имичСским Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌ, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ Π΄ΠΎ 3000 Β°C ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Π² Π΄Π²Π° Ρ€Π°Π·Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокой ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½. Π‘Ρ€Π΅Π΄ΠΈ областСй примСнСния Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° — атомная Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° (конструкционныС ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹), Ρ€Π°ΠΊΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ-космичСская Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° (пористыС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ Ρ€Π°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΈ ΡΠΏΡƒΡ‚Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²), нСфтСхимия (пористыС Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ элСмСнты), радиоэлСктроника, тСлСвизионная Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°. Нитрид Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ нСрастворимого Π°Π½ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡ€ΠΈ элСктролизС Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… растворов.

Π’Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ получСния Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π°Π·ΠΎΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ мСталличСского Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π°, взаимодСйствиС Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Π΅ TiCl4 с Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ смСсями Π°Π·ΠΎΡ‚Π° ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° [7], Ρ€Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΡ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Ρ… соСдинСний, содСрТащих Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½ ΠΈ Π°Π·ΠΎΡ‚, ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ TiO2 ΡƒΠ³Π»Π΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ Π² ΡΡ€Π΅Π΄Π΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°.

Одним ΠΈΠ· Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… способов синтСза Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ сСлСктивноС Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ спСканиС (Π‘Π›Π‘) [8]. Π‘ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π· Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈΠ· ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° Π² ΡΡ€Π΅Π΄Π΅ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΈ воздСйствии Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ излучСния являСтся Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ извСстной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ химичСского осаТдСния ΠΈΠ· ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Ρ‹ (ΠΈΠ»ΠΈ химичСского Π³Π°Π·ΠΎΡ„Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния — Π₯Π“Π€Πž, Chemical Vapour Deposition — CVD). БущСствСнным прСимущСством Π‘Π›Π‘ являСтся сокращСниС сроков проСктирования ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ любой Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹. Π’ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ быстрого прототипирования, ΠΊ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ относится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘Π›Π‘, синтСз Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ„Π°Π· Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ транспорта ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ срСды ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Selective Area Laser Deposition Vapour Infiltration (SALDVI). Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ интСрСсна прСдлоТСнная Π½Π°ΠΌΠΈ Ρ€Π°Π½Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° получСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘Π›Π‘ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² с Π·Π°Ρ€Π°Π½Π΅Π΅ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ свойствами, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ-Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ (Π€Π“Πœ), ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΈΡ… ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ [9]. Π‘ΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ этих Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² (SALDVI ΠΈ ΡΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π·Π° Π€Π“Πœ) ΠΏΡ€ΠΈ Π‘Π›Π‘ прСдставляСтся вСсьма пСрспСктивным.

ЦСлью Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ являСтся Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ послойного синтСза Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΈΡΡ‚Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ основС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘Π›Π‘, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ построСниС Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ процСсса, ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΠΈΠ½Π΅Ρ‚ΠΈΠΊΡƒ химичСской Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ синтСза Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Π΅, ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ мСханичСских ΠΈ Ρ„изичСских свойств синтСзируСмых пористых ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ