ΠΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π· ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ
![Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ: ΠΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π· ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ
ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ](https://gugn.ru/work/6761345/cover.png)
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ (Π‘ΠΠ‘). Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ· ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π·ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ — Π₯ΠΠ€Π, Chemical Vapour Deposition — CVD). Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π‘ΠΠ‘… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π· ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π₯Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π°
Π Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΡΠΈΠΌΡΠ»ΠΈΡΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Π° ΠΊ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠ°ΠΌ, Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π΄ΠΎ 3000 Β°C ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π² Π΄Π²Π° ΡΠ°Π·Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΈΡΠ°Π½. Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° — Π°ΡΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ° (ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ), ΡΠ°ΠΊΠ΅ΡΠ½ΠΎ-ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ° (ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠ΅Ρ ΠΈ ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²), Π½Π΅ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΠΌΠΈΡ (ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ), ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°, ΡΠ΅Π»Π΅Π²ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠ°. ΠΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π½Π΅ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Π΅ Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ².
Π’ΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π°Π·ΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π°, Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π΅ TiCl4 Ρ Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΡΠΌΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ° ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° [7], ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΡ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΈΡΠ°Π½ ΠΈ Π°Π·ΠΎΡ, ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ TiO2 ΡΠ³Π»Π΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅ Π°Π·ΠΎΡΠ°.
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ (Π‘ΠΠ‘) [8]. Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ· ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π·ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ — Π₯ΠΠ€Π, Chemical Vapour Deposition — CVD). Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π‘ΠΠ‘ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ. Π ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΎΡΠΈΠΏΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΊ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘ΠΠ‘, ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°Π· Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ° ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Selective Area Laser Deposition Vapour Infiltration (SALDVI). Π‘ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘ΠΠ‘ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ Π·Π°ΡΠ°Π½Π΅Π΅ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ-Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ (Π€ΠΠ), ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ [9]. Π‘ΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ Π΄Π²ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² (SALDVI ΠΈ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π€ΠΠ) ΠΏΡΠΈ Π‘ΠΠ‘ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ.
Π¦Π΅Π»ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘ΠΠ‘, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°, ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΠΊΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π΅, ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².