ΠΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ.
Π‘Π²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC)
![Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ: ΠΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. Π‘Π²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC)](https://gugn.ru/work/7315997/cover.png)
Π 1928 Π³. ΠΠ»Π΅Π³ ΠΠ»Π°Π΄ΠΈΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΠΎΡΠ΅Π² ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π» ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π² Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠ»ΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ SiΠ‘, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π² ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ , Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»-ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΎΠ½ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ» Π² 1923 Π³. ΠΠΎΡΠ΅Π² ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ», ΡΡΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. Π‘Π²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC) (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π±ΡΠ»ΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ XX Π². Π 1907 Π³. ΠΠ΅Π½ΡΠΈ ΠΠΆΠΎΠ·Π΅Ρ Π Π°ΡΠ½Π΄ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ» Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC), ΠΈΠ»ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π»ΠΈ, — ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄Π°, Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠΎΠ·Π΄Π½Π΅Π΅ ΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ «ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ²». ΠΠ½ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΎΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ² Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ . Π Π°Π±ΠΎΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π±ΡΠ»Π° Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π° Π² 1906 Π³. Π ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠΈΠΏΠ° «ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»-ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ» ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π² ΠΏΠΎΠΈΡΠΊΠ°Ρ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Ρ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠΌ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΌ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°ΠΌ, Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ²ΡΠΈΠΌΡΡ Π² 1904 Π³. ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»ΡΠ²ΡΠΈΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄Π° Π Π°ΡΠ½Π΄ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ» ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ [3]. Π€Π°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠΡΠ°Π²Π΄Π°, Π² ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π° Π½Π΅ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΡΡΠΎ Π½Π΅ Π΄Π°Π»ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΠΈΡΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ Π Π°ΡΠ½Π΄ Π½Π΅ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄ΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΠ» ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠ΅Π΄Π°ΠΊΡΠΎΡΠ°ΠΌ ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π° «ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠΈΡ» [3].
Π 1928 Π³. ΠΠ»Π΅Π³ ΠΠ»Π°Π΄ΠΈΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΠΎΡΠ΅Π² ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π» ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π² Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠ»ΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ SiΠ‘, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π² ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ , Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»-ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΎΠ½ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ» Π² 1923 Π³. ΠΠΎΡΠ΅Π² ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ», ΡΡΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, Π° Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ — ΠΏΡΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ . Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π±ΡΠ» ΠΎΡΠΊΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΡΡ. ΠΡΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ [3].
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΠΠ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ SiC Π±ΡΠ»ΠΈ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠ°Π»Ρ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ» Π»ΠΈΡΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ, Ρ ΠΎΡΡ ΠΠΎΡΠ΅Π² ΡΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΠ» Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠΌ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ°. ΠΠ½ ΠΏΡΡΠ°Π»ΡΡ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΠ», ΡΡΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ «ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΅ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ²», ΠΈ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΠ», ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ SiC ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ» ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π»ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ «ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Π»Π΅». ΠΠ΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π΄Π½Π΅Π΅, Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ 30-Ρ Π³Π³. XX Π²., Π² ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Ρ Π. Π. ΠΠΎΡΠ΅Π² ΡΠΊΠ°Π·Π°Π», ΡΡΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ pΠΈ n-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΠΌΠΈ [3, 4].
Π ΠΊΠΎΠ½ΡΡ 60-Ρ Π³Π³. Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ SiC ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Ρ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ [3, 5, 6]. ΠΠΈΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠ°ΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π³ΠΎΠ»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π ΡΠΎΠΆΠ°Π»Π΅Π½ΠΈΡ, SiC ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² Π½Π΅ΠΌ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ°Π»Π°. ΠΠ°ΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ, ΠΎΠ½Π° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΡΠ΅, Π° ΡΠΎ ΠΈ ΡΡΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ SiC ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 470 Π½ΠΌ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠΠ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 0,03% [3, 7]. Π Π½Π°ΡΠ°Π»Ρ 90-Ρ Π³Π³. Π²ΡΠΏΡΡΠΊ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ SiC Π³ΠΎΠ»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ» ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ Π΄Π°Π»ΡΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΡΠΈΠΏΠ° AIIIBV.