Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

ЭлСктронная микроскопия. 
ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ повСрхности

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π’ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠΊΠ΅ элСктрон ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ, Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ элСктричСскими ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»ΠΈΠ½Π·Π°ΠΌΠΈ (Π² ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ с Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ гСомСтричСской ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ). На ΡΡ‚ΠΎΠΌ основан ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия элСктронных микроскопов, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ возмоТности исслСдования вСщСства Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ (Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ увСличСния… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ЭлСктронная микроскопия. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ повСрхности (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π’ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠΊΠ΅ элСктрон ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ, Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ элСктричСскими ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»ΠΈΠ½Π·Π°ΠΌΠΈ (Π² ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ с Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ гСомСтричСской ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ). На ΡΡ‚ΠΎΠΌ основан ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия элСктронных микроскопов, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ возмоТности исслСдования вСщСства Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ (Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ увСличСния Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ способности Π½Π° ΠΏΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΊΠΈ). Π’ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ микроскопС вмСсто свСта ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ сами элСктроны, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ собой Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ситуации ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ со Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ (ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Π² 50 000 Ρ€Π°Π· мСньшС свСтовой). Π’ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… устройствах вмСсто стСклянных Π»ΠΈΠ½Π·, СстСствСнно, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ элСктронныС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ (Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ поля ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ). Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π±Π΅Π· рассСяния Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… срСдах, поэтому Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ элСктронного микроскопа, вдоль всСй Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ элСктронов, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ высокий Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ (Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ 10-6 ΠΌΠΌ. Ρ€Ρ‚. ст. ΠΈΠ»ΠΈ 10-4 Па). Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ микроскопы Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π΄Π²Π° Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… класса ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ΅ примСнСния: ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ элСктронныС микроскопы (ПЭМ) ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ (БЭМ) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎ-Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌΡƒ растровыС (РЭМ). ОсновноС Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠŸΠ­Πœ элСктронный ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ пропускаСтся Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ слои исслСдуСмого вСщСства, с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 ΠΌΠΊΠΌ (ΠΊΠ°ΠΊ Π±Ρ‹ «ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ» эти слои насквозь), Π° Π² ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… микроскопах элСктронный ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ отраТаСтся ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Π»Π΅Π½ΡŒΠΊΠΈΡ… участков повСрхности (структура повСрхности ΠΈ Π΅Π΅ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ особСнности ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ этом рСгистрациСй ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… элСктронов ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСктронов, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈ взаимодСйствии ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ).

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ