Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий-неоновых лазеров с повышенной долговечностью

Диссертация: Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий-неоновых лазеров с повышенной долговечностью
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Всесоюзном семинаре «Вторичная ионная и ион — фотонная эмиссия», г. Харьков, 1988 г., Всесоюзном совещании — семинаре «Диагностика поверхности ионными пучками», г. Одесса, 1990 г., Всероссийской научно — технической конференции «Использование научно — технических достижений в демонстрационном эксперименте и постановке лабораторных практикумов», г. Саранск, 1994 г., IV и VIII Межнациональных… Читать ещё >

Содержание

  • Глава 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ ГАЗОВЫХ ЛАЗЕРОВ С ПОВЫШЕННОЙ ДОЛГОВЕЧНОСТЬЮ
    • 1. 1. Современные холодные катоды и требования, предъявляемые к ним
    • 1. 2. Физические процессы, протекающие в гелий
    • 1. 3. неоновой плазме и на поверхности
    • 1. 4. холодного катода, определяющие условия его работы
    • 1. 3. Материалы, используемые для изготовления холодных катодов и способы изготовления подложки
    • 1. 4. Анализ способов формирования эмиссионного слоя и влияния его параметров на долговечность катода
    • 1. 5. Методы прогнозирования срока службы холодных катодов
  • Глава 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ОСНОВНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК КАТОДА, ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И РАЗРАБОТКА ПРИБОРОВ ДЛЯ ИХ РЕАЛИЗАЦИИ
    • 2. 1. Метод исследования процесса очистки подложки холодных катодов
    • 2. 2. Метод исследования процесса окисления катодов в тлеющем разряде в кислороде
    • 2. 3. Метод измерения распределения плотности тока по катоду
    • 2. 4. Методы исследования эмиссионных свойств холодных катодов
  • Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ И ИХ ОСНОВНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК
    • 3. 1. Очистка подложек холодных катодов
    • 3. 2. Исследование процесса окисления холодных катодов в тлеющем разряде в кислороде
    • 3. 3. Исследование характеристик эмиссионных оксидных пленок, полученных различными способами
    • 3. 4. Исследование химического состава эмиссионных оксидных пленок, полученных различными способами
  • Глава 4. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ С ПОВЫШЕННОЙ ДОЛГОВЕЧНОСТЬЮ
    • 4. 1. Алгоритм разработки технологического процесса изготовления холодных катодов с повышенной долговечностью
    • 4. 1. Выбор материалов и разработка способов изготовления подложек холодных катодов
    • 4. 3. Разработка способа получения оптимального микрорельефа рабочей поверхности холодного катода
    • 4. 4. Подготовка подложки к созданию оксидного слоя
    • 4. 5. Создание эмиссионного слоя с заданными параметрами
    • 4. 6. Стабилизация свойств эмиссионной поверхности
    • 4. 7. Разработка метода ускоренных испытаний холодных катодов
    • 4. 8. Схема технологического процесса изготовления долговечных холодных катодов
  • Глава 5. РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИЙ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ ДОЛГОВЕЧНОСТИ
    • 5. 1. Бериллиевые катоды для датчиков лазерных гироскопов
    • 5. 2. Алюминиевые катоды для моноблочных гелий-неоновых лазеров
    • 5. 3. Тонкостенные алюминиевые катоды для гелий-неоновых лазеров массового применения
    • 5. 4. Алюминиевые катоды для технологической очистки лазеров
    • 5. 5. Конструктивное усовершенствование газовых лазеров, обеспечивающее оптимальные условия эксплуатации катода
    • 5. 6. Исследование долговечности разработанных холодных катодов
  • ВЫВОДЫ

Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий-неоновых лазеров с повышенной долговечностью (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

В настоящее время четко определились области науки и техники, прогресс в которых невозможен без использования гелий-неоновых лазеров. Это, прежде всего, инерциальные навигационные системы движущихся объектов, лазерная медицинская терапия, научные исследования, проведение которых требует наличия монохроматического излучения с высокой степенью временной и пространственной когерентности. При этом для удовлетворения современных требований к параметрам систем, использующих гелий-неоновые лазеры, требуется значительное улучшение технических характеристик лазеров. Особенно жестко поставлены требования увеличения долговечности и надежности гелий-неоновых лазерных датчиков навигационных систем.

Как свидетельствует огромное число проведенных исследований, основные характеристики лазера (долговечность, надежность и стабильность характеристик) в основном зависят от параметров и свойств холодного катода, что дает основания считать его одним из основных элементов.

Долговечность применяемых в гелий-неоновых лазерах холодных катодов ко времени постановки работы не превышала тридцати тысяч часов, тогда как требуемая должна находиться на уровне ста тысяч часов и выше. Для разработки катодов с подобной долговечностью необходимо глубокое понимание процессов, протекающих в катодном слое тлеющего разряда и на поверхности катода при его изготовлении и эксплуатации, создание технологического процесса изготовления катода, обеспечивающего получение необходимых характеристик подложки и эмиссионной поверхности, выяснению допустимых пределов регулирования параметров техпроцесса серийного изготовления катодов, при которых обеспечиваются заданные требования к их качеству.

Достаточно актуальной, хотя и не так ярко выраженной, является задача увеличения долговечности и надежности холодных катодов для гелий-неоновых лазеров, используемых в медицине, геодезии и т. д.

Таким образом, центральное место в разработке долговечных холодных катодов для гелий-неоновых лазеров занимает нахождение оптимальных геометрических и электрофизических параметров катодов и технологического процесса их изготовления, обеспечивающего эти параметры. Решению этой задачи посвящена настоящая работа.

Актуальность проблемы.

Научно-технические задачи совершенствования существующих и разработки новых приборов, созданных на базе гелий-неоновых лазеров, неразрывно связаны с разработкой холодных катодов с параметрами, обеспечивающими необходимый уровень долговечности и надежности приборов. Таким образом, важность проблемы создания долговечных холодных катодов предопределила интерес к ней исследователей и производителей квантовой техники, о чем свидетельствует большое количество работ отечественных и зарубежных авторов. Однако подавляющее большинство теоретических и экспериментальных исследований не имеют комплексного характера, не учитывают реальных условий работы катода и, как следствие, не решают проблемы в целом. Следует также отметить практически полное отсутствие в весьма немногочисленных работах, посвященных изучению технологии изготовления холодных катодов, системного подхода к определению закономерностей, связывающих основные характеристики катода с параметрами всех этапов технологического процесса.

Данная работа, опирающаяся на многолетний опыт разработки и серийного выпуска холодных катодов для гелий-неоновых лазеров, посвящена исследованию и разработке технологического процесса серийного производства холодных катодов с повышенной долговечностью.

Постановка задачи.

Исходя из анализа опубликованных работ, а также требований разработчиков гелий-неоновых лазеров, установлено, что при заданных конструкцией приборов габаритах холодных катодов и при заданных режимах работы лазеров (давление газовой смеси, разрядный ток), конструкция катодов и технологический процесс их изготовления должны обеспечивать стабильную работу в течение 15 тысяч часов медицинских лазеров, и в течение 80 — 100 тысяч часов — датчиков лазерных гироскопов.

Как известно, те или иные параметры и свойства катодов формируются на соответствующем этапе процесса изготовления. Однако до настоящего времени не существовало работ по определению закономерностей, связывающих основные характеристики катодов с параметрами технологического процесса, учитывающих конструкцию катодов и реальные режимы работы катодов в составе лазеров.

Определение указанных закономерностей является первой задачей работы.

Второй задачей работы является разработка способов определения характеристик катодов, сформированных на определенных этапах технологического процесса их изготовления и методов прогнозирования срока службы холодных катодов с большой точностью прогноза.

Третья задача, базирующаяся на решении первых двух, -разработка технологического процесса изготовления холодных катодов с повышенной долговечностью, конкретных конструкций и способов оптимизации условий их эксплуатации в гелий-неоновых лазерах.

И, наконец, четвертой задачей является исследование долговечности разработанных холодных катодов.

ОСНОВНЫЕ НАУЧНЫЕ ЦЕЛИ РАБОТЫ.

— проведение комплекса исследований этапов технологического процесса изготовления холодных катодов с целью определения закономерностей, связывающих основные характеристики катодов с параметрами технологического процесса;

— разработка исследовательского, технологического оборудования и методов исследований параметров катода в рабочих условиях;

— определение возможности повышения долговечности холодных катодов путем создания оптимального микрорельефа их рабочей поверхности;

— создание эмиссионного слоя холодных катодов с заданными свойствами;

— разработка метода испытаний холодных катодов, применимого в серийном производстве;

— разработка технологического процесса изготовления холодных катодов с оптимальной структурой эмиссионного слоя;

— разработка конкретных конструкций долговечных холодных катодовразработка способов оптимизации условий эксплуатации катодов в гелий-неоновом лазере.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ.

В ходе выполнения диссертационной работы были впервые получены следующие результаты: определены закономерности, связывающие основные характеристики холодных катодов (коэффициент ионно-электронной эмиссии, наличие примесей, распыляемость, эмиссионные неоднородности, микрорельеф и толщина эмиссионного слоя) с параметрами технологического процесса их изготовления;

— разработан технологический процесс создания оптимального микрорельефа эмиссионной поверхности холодного катодаполучены результаты исследований эмиссионных характеристик холодных катодов в рабочих условиях;

— определены оптимальные режимы процесса очистки подложки холодного катодаразработан технологический процесс изготовления долговечных холодных катодов, базирующийся на создании оптимальных макрои микрогеометрических и эмиссионных параметров подложки и эмиссионного слоя;

— разработан метод ускоренных испытаний холодных катодов с повышенной долговечностью, учитывающий разность концентраций атомов газа в катодном объеме и внутреннем объеме прибора;

— разработан способ увеличения долговечности катода, базирующийся на перераспределении концентрации атомов газа внутри объема лазера.

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ РАБОТЫ.

Научные результаты, полученные в данной работе, позволили построить более полную картину влияния режимов технологических операций изготовления холодных катодов на их основные параметры и разработать оптимальный технологический процесс изготовления холодных катодов с повышенной до 100 тысяч часов долговечностью и потенциальной возможностью ее дальнейшего увеличения. На основании полученных результатов разработаны:

— бериллиевые выносные холодные катоды с долговечностью на уровне 100 тысяч часов для датчиков лазерных гироскопов;

— алюминиевые выносные холодные катоды с долговечностью 50 тысяч часов для моноблочных гелий-неоновых лазеров;

— тонкостенные алюминиевые холодные катоды для гелий-неоновых лазеров коаксиальной конструкции с повышенным в 2,5 раза ресурсом;

— холодные катоды для технологической очистки лазеров с увеличенным в 3 раза числом циклов использования;

— метод прогнозирования срока службы холодных катодов с повышенной долговечностью, обеспечивающий точность прогноза на уровне 90%- конструктивные усовершенствования газовых лазеров, позволяющие обеспечить оптимальные условия эксплуатации катодов;

— технологический процесс, применяемый в настоящее время при изготовлении долговечных холодных катодов из бериллия и алюминия.

Наиболее важные технические решения, найденные в процессе выполнения работы, защищены авторскими свидетельствами и патентами и используются при разработке новых холодных катодов и серийном выпуске внедренных в производство.

ОСНОВНЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ И РЕЗУЛЬТАТЫ, ВЫНОСИМЫЕ НА ЗАЩИТУ.

1. Разработанный технологический процесс изготовления холодных катодов из бериллия и алюминия с повышенной долговечностью.

2. Результаты исследований технологического процесса создания эмиссионного слоя с заданными параметрами.

3. Результаты исследований технологического процесса ионно-плазменной и термической очистки подложки катода.

4. Способ создания оптимального микрорельефа рабочей поверхности холодного катода.

5. Результаты исследований зависимости эмиссионных характеристик от параметров оксидного слоя.

6. Полученные зависимости между параметрами эмиссионного слоя и долговечностью холодных катодов.

7. Метод ускоренных испытаний холодных катодов.

8. Технологические процессы изготовления и конкретные конструкции бериллиевых и алюминиевых холодных катодов для гелий — неоновых лазеров с заданными параметрами.

9. Конструктивные усовершенствования газовых лазеров, обеспечивающее оптимальные условия эксплуатации катода.

АПРОБАЦИЯ РАБОТЫ И ПУБЛИКАЦИИ.

Основные результаты настоящей работы докладывались и обсуждались на семи Всесоюзных и международных симпозиумах, конференциях и семинарах, в том числе :

Всесоюзном семинаре «Вторичная ионная и ион — фотонная эмиссия», г. Харьков, 1988 г., Всесоюзном совещании — семинаре «Диагностика поверхности ионными пучками», г. Одесса, 1990 г., Всероссийской научно — технической конференции «Использование научно — технических достижений в демонстрационном эксперименте и постановке лабораторных практикумов», г. Саранск, 1994 г., IV и VIII Межнациональных совещаниях «Радиационная физика твердого тела», г. Севастополь, 1994, 1998гг., Всероссийской научно — технической конференции «Автоматизация исследования, проектирования и изготовления сложных технических систем и технологических процессов», г. Калуга, 1994 г., XXVIII Международной конференции «Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами», г. Москва, 1998 г.

По материалам, вошедшим в данную диссертацию, опубликовано 12 работ, в том числе 2 авторских свидетельства и патента.

Структура диссертации.

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, выводов и списка литературы. Её общий объем составляет 184 страницы, включая 42 рисунка, 16 таблиц и список литературы из 164 наименований.

выводы установлены закономерности, связывающие основные характеристики холодного катода с параметрами технологического процесса его изготовления. Разработан технологический процесс изготовления долговечных холодных катодов, учитывающий комплексный характер влияния параметров всех его этапов на параметры катодаустановлены оптимальные режимы термической и ионно — плазменной обработки подложек из бериллия и алюминияразработан технологический процесс получения оптимального микрорельефа рабочей поверхности холодных катодов в виде совокупности воронкообразных углублений микронных размеров, позволивший реализовать способ увеличения долговечности катода подавлением эффекта катодного распыления. Значительное количество распыленных частиц не покидает поверхность с таким микрорельефом осаждаясь на стенках углубленийна основе проведенных исследований влияния геометрической формы катода на распределение плотности разрядного тока ] по поверхности катода создан новый метод измерения являющийся базовым при разработке технологического процесса формирования оксидного покрытия поверхности подложки катода в тлеющем разряде кислорода. Установлена однозначная зависимость равномерности толщины оксидного слоя от равномерности распределения ] в тлеющем разряде в кислороде. Применение метода позволяет определить оптимальные значения давления и -), обеспечивающие получение оксидного слоя с максимально равномерной толщиной для любой геометрической формы катодаэкспериментально исследованы эмиссионные свойства оксидных пленок, сформированных на подложках из бериллия и алюминия. Найдена зависимость величины коэффициента ионно электронной эмиссии у от толщины оксидного слоя. Установлено, что оксидные пленки толщиной 9 — 12нм обеспечивают максимальные значения у. исследованы зависимости характеристик эмиссионного слоя (структура, фазовый состав, эмиссионная способность, распределение примесей) от способов и режимов его получения. Полученные данные позволили провести оптимизацию технологического процесса формирования эмиссионного слоя с заданными параметрамина базе проведенных исследований разработан метод испытаний холодных долговечных холодных катодов, учитывающий распределение температуры в газоразрядном объеме и катодной полости, а также парциальные давления компонентов газовой смеси. Применение метода позволяет с погрешностью, не превосходящей 10%, определять срок службы катодов в широком интервале разрядных токов и давлений газового наполнения в течение 500 — 1000 часовразработаны: бериллиевые выносные холодные катоды для датчиков лазерных гироскопов с ресурсом до 100 тысяч часовалюминиевые выносные холодные катоды для моноблочных гелий неоновых лазеров с ресурсом до 50 тысяч часовтонкостенные алюминиевые холодные катоды для гелий — неоновых лазеров коаксиальной конструкции с повышенным в 2.5 раза ресурсом работыхолодные катоды для технологической очистки лазеров с увеличенным в три раза числом циклов использованияспособ увеличения долговечности холодных катодов, основанный на перераспределении концентрации атомов газа внутри объема лазераразработанные технологический процесс изготовления холодных катодов с повышенной долговечностью и холодные катоды реализованы в серийном производстве в НИИМЭТ, АО «Аметист», АО «Завод «АНОД», АО «Лазер —авиа».

Показать весь текст

Список литературы

  1. Hochuli U, Haldemann Р, Hardwick D. Cold cathodes for He — Ne gas lasers // 1. EE J. Of Quantum Electronics.-1967.-V.3.- Nll.-P.612−614.
  2. Пат. 2 037 065 Великобритании. Gas discharge laser with cold rolled metal foil electrode / Hans Gerard Van den Brink.
  3. Пат. 4 477 908 США. Cold cathode construction / Shinan Chur Sheng, Joseph B. Lastovka.
  4. Заявка 3 346 232 ФРГ. Gas laser / Michael E. Fein, Charls W. Salisburi.
  5. А.П. О выборе оптимального холодного катода для малогабариного гелий-неонового лазера / М.: 1977.-6с.- Деп. в ЦНИИ «Электроника», № ДЭ-2137.
  6. А.С. 633 092 СССР, МКИ HOlj 17/06. Катодный узел/ Арцыхович В. Ф., Трофимов Е. А. (СССР), 15.11.78.
  7. Пат. 3 344 232 AI ФРГ, МКИ H01S, 3/03. Laser-Katode / Grunecker A., u.a. Заявл. 5.07.84.
  8. A.M., Коржавый А. П., Палицын В. П. Долговечные катоды для приборов квантовой электроники // Электронная промышленность. 1979. — вып. 10(82).- С.24−25.
  9. Pat. 1 536 077 GB, Int.Cl. H01S 3/083. Ring laser gyroscope /Thomas I.Hutchings. Fil. 6.10.1977.
  10. Norvell G.S. A laser cathode. U.K.Pat., № 213 2407A, Int. CI. H01S 3/02, fil. 23.11.1983.
  11. B.B., Корчагина E.E. Выносной холодный катод гелий-неонового лазера // Тезисы докладов II отраслевой научно-технической конференции. Рязань, 1986. — С.36.
  12. Pat. 213 489 EUR, МКИ HOIS 3/03. Cathode for a gas discharge device/ Herzbach A. et al. Fil. 13.08.86.
  13. Pat. 2 042 350 BRD. Gaslaser Mit Kaltkathoderentlagung /Helmut К. Заявлено 2.03.1972.
  14. Pat. 3 939 767 USA, Int. CI. H01S 3/22. Cold cathode gas lasers/ Besson A., Becrelle J. Fil. 3.02.1976.
  15. Пат. 1 422 602 Великобритании, IC1. HOIS 3/22. Inproved cold cathode gas lasers/ Thomson CSF. Заявлено 3.02.1976.
  16. A.c. СССР 1 367 765, МКИ HOlj 7/30. Холодный катод/ Прасицкий В. В., Ефимов Б. В., Мелкумян Б. В., Чеботарев С. И. Заявлено 15.09.85.
  17. В.Б., Коржавый А. П. Методы разработки и конструктивные особенности электродных систем современных газовых лазеров // Обзоры по электронной технике. ЦНИИЭ.-М., 1982.- С. 72.-(Серия «Лазерная техника и оптоэлектроника" — Вып. З).
  18. Yamamura Y., Matsunami N., Ytoh N. Theoretical studies on an empirical formula for sputtering yield at normal incidente // Radiation Effects.- 1983.- V.71.- P.65−86.
  19. Davis W., Vanderslice T. Ion Energies at the Cathode of a glow discharge // Physical Review.- 1963.- V.131.- № 1.- P.219−228.
  20. А.И. Ионная бомбардировка в вакууме.-М.: Госэнергоиздат, 1963.-230с.
  21. И.Л. Ионные приборы. М.: Энергия, 1972, 528с.
  22. .И. Разряд с полым катодом. М.: «Энергия», 1969.- 290 с.
  23. Д., Свифт Д. Газоразрядные лампы с холодным катодом. М.: «Энергия», 1965.- 480 с.
  24. Ю.П. Физика газового разряда. М.: «Наука», 1988.592 с.
  25. Winters H.F. Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas // Plasma chemistry.- 1980.- V.3.- P.68−125.
  26. В.Jl. Электрический ток в газах. М.:Наука, 1971.-599с.
  27. А.П., Кристя В. И. Физические процессы в прикатодной области тлеющего разряда и прогнозирование долговечности катодных материалов для отпаянных приборов // Обзоры по электронной технике / ЦНИИЭ. М., 1989.- С. 40.-(Серия 6. Материалы- 4.2)
  28. Dutton J. A survey of electron swarm data// J.Chem.Phys. Ref.Data.-1975 .-V.4.- № 3 .-P.577−856.
  29. H.B. Катодное распыление. M.: «Атомиздат», 1968.- 344 с.
  30. Amies B.W., Fletcher J. Ion-produced secondary electrons in a low pressure discharge in helium // J.Phys.D: Appl.Phys.- 1983.-V.16.-№ 7.-P.L133-L136.
  31. B.B., Шейкин Е. Г. Энергетический спектр быстрых атомов в темном катодном пространстве // Изв.вузов. Физика.- 1987.-Т.30/-№ 8.-С.62.
  32. А.Е., Назаров И. Д. Поглощение ионов инертных газов твердыми телами и их десорбция//Обзоры по электроннойтехнике./ЦНИИЭ.-М., 1968.-С.39.-(Сер. «Газоразрядные приборы- Вып.64).
  33. B.C., Бабурин A.A., Покосовский JI.H. Исследование внедрения инертных газов в твердое тело при ионной бомбардировке // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- 1975.- № 5.- С. ЗЗ-37.
  34. A.A., Пожарский Н. Е., Шипалов A.C. К вопросу жестчения газо в приборах тлеющего разряда. Электронная техника. Сер.4, Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1986.-№ 4.- С. 42−44.
  35. У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела. М.: Наука, 1968.- 330 с.
  36. И.А., Еремеев М. А., Петров H.H. Возбуждение электронов в твердых телах сравнительно медленными атомными частицами // УФН.- 1967.- Т.92, — № 1,-С. 105−107.
  37. Распределение распыленных атомов в объеме тлеющего разряда / Коржавый А. П., Кристя В. И., Лищук Н. В., ПрасицкийB.В. // Тезисы докладов V Всесоюзного семинара по вторично-ионной и ионно-фотонной эмиссии.-Харьков, 1988-С.78−79.
  38. А.П., Кристя В. И., Прасицкий В. В. Расчет вклада ионов и быстрых атомов в распыление катодов гелий-неоновых лазеров.-Электронная техника. Серия 6. Материалы, 1989, Вып.6,C.23.28.
  39. А.П., Кристя В. И., Прасицкий В. В. Модель катодного распыления в смеси газов // Тезисы докладов Всесоюзного совещания-семинара «Диагностика поверхности ионными пучками».- Донецк, 1988.-С.18−19.
  40. А.П., Прасицкий В. В. Влияние изменения давления газа и разрядного тока на скорость распыления катода в тлеющем разряде // Тезисы докладов Всесоюзного совещания-семинара «Диагностика поверхности ионными пучками».- Донецк, 1988.-С.32.
  41. А.П., Кристя В. И., Прасицкий В. В. Метод расчета срока службы холодных катодов в газоразрядных приборах // Электронная техника. Серия 6. Материалы.-1988.-№ 1.- С. 73.75.
  42. Warren R. Interpretation of field measurements in the cathod region of glow discharges // Physical Review.-1955.-V.98.-№ 6.-P.1658−1664.
  43. Chatham H., Gallagher A. Ion chemistry in silane dc discharges. //J.Applied Physics.- 1985.- V.58.- № 1.- P.159−169.
  44. А.П., Писачев H.E., Редега К. П. Исследования влияния неоднородности плазмы на работоспособность полого холодного катода // Электронная техника. Сер.6. Материалы.-1977.- Вып. 10.- С. 58 63.
  45. Е.В., Кучеренко Е. Т. Исследование структуры разряда в полом катоде // Радиотехника и электроника.-1976.-Т.ХХ 1.- Вып. 7.- С. 1549 1552.
  46. Е.Т., Зыкова Е. В. Полый холодный катод конической формы // Радиотехника и электроника.-1975.- Т.20.-№ 2.-С.438−439.
  47. Е.В., Кучеренко Е. Т., Брыкайло И. Н. Коаксиальный полый катод для гелий-неоновых лазеров // Вестник Киевского университета. Физика.-1983.- Вып.24.- С.85−89.
  48. Пат. 3 875 530 США, Int.Cl. HOIS 3/22. Gaseous Laser with improved means for supparting the discharge coufining bore tube/ Nubar S.Manoukian. Заявлено 1.04.1975.
  49. А.П., Пролейко Э. П., Файфер С. И. Холодные катоды для газоразрядных приборов // Электронная промышленность.- 1973.- № 4.- С.32−33.
  50. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, Вып.2. / Под ред.Р.Бериша. М.: Мир, 1986.- 488 с.
  51. Roth J. Bohdansky J., Biewer R.S. Ottenberger W. Sputtering of Be and BeO by light ions // J.Nucl. Mater.-1979.-V.85/86/- P.1077−1079.
  52. Kelly R. Sputtering and depth-distribution phenomena in Kcl, A1203 and Ti02 // Canad.J.Phys.-1968/-V.46.- № 6.-P.473−482.
  53. Schirrwitz H. Kathodenzerstaubung bei Beschu? ver schridener metalle mit Argon-Ionen im mittleren Energiebereich // Beitrage aus der Plasmaphysik.-1962.-V.2.- № 3.
  54. Baragwea R.A., Alonso E.V., Ferron J., Oliva A. Ion-induced electron emission from clean metals // Surf.Sciens.-1979.-V.20.- № 2.-P.240−255.
  55. B.B. Способ определения плотности разрядного тока на поверхности холодного катода //Радиотехника и электроника.- 1995.-С. 1574. 1578.
  56. А.П., Файфер С. И. и др. Распыляемость некоторых материалов в газовом разряде низкого давления // Электронная техника. Сер.6. Материалы.-1974.- № 4- С. 18−22.
  57. А.П., Файфер С. И. и др. Исследование некоторых свойств холодных катодов // Электронная техника. Сер.6. Материалы.- 1974.- № 5.- С.3−9.
  58. А.П. Некоторые свойства активных окисных пленок холодных катодов //Электронная техника. Серия 6. Материалы.- 1977.-№ 1.- С. 9.15.
  59. Е.А., Арцыхович В. Ф., Смирнов Ю. Н., Файфер С. И. Получение защитных окисных пленок на полых катодах в тлеющем разряде кислорода // Электронная техника. Сер.6. Материалы.-1973 .-Вып. 12.-С.З-10.
  60. А.П. Вторично-эмиссионные материалы, методы исследования и прогнозирования их свойств // Обзоры по электронной технике. / ЦНИТИЭ.-М., 1984.-С.44.-(Сер. Материалы- Вып.11(1059)).
  61. B.C., Бабурин A.A., Покосовский Л. Н. Исследование пористости окисных пленок и ее влияние на защитные свойства // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- № 2.- 1973.- С.95−100.
  62. B.C., Беляев В. А., Покосовский Л. Н. Исследование структуры окисных пленок на AI в их связи с распылением в тлеющем разряде // Электронная техника. Сер. Газоразрядные приборы.- 1971.- № 1.- С. 113−121.
  63. Структурные и морфологические особенности защитных окисных пленок на поверхности алюминиевого сплава Д16./Коржавый А.П., Кунец H.H., Ринас Э. П. и др. // Электронная техника. Сер.6. Материалы.- 1972.- Вып.2.- С. 10−15.
  64. Новый эффективный путь увеличения долговечности холодных катодов / Ивлев A.M., Коржфвый А. П., Файфер С. И., Сигов Д. Н. // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- 1978.- Вып.5(66).- С.122−127.
  65. А.П., Сигов Д. Н., Файфер С. И. Новые катодные материалы, методы и оборудование для их производства // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- 1980.- Вып.5 (737).-С.34.
  66. Пат. 2 506 842 ФРГ, MKHH01S3/097,1976.
  67. А.Г. Основы теории штамповки выдавливанием на прессах.-М.: Машиностроение, 1983.- 200с.
  68. Ф.А. К определению степени деформации в очаге деформации в процессах холодного выдавливания // Инженерные методы расчета пластической обработки металлов. Коммель Ф. А. и др.- Таллин., 1971.- С. 195.208.
  69. Изготовление деталей пластическим деформированием. Справочник. /Под редакцией Богоявленского К. Н. и Каменева В.П.-Л.: Машиностроение, 1975.- 342с.
  70. Влияние некоторых технологических факторов на срок службы холодных катодов / Перелыгин А. И., Садофьев Ю. Г. и др. Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1974.- № 8.- С.98−102.
  71. Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. М.: Сов. радио, 1967.- 200 с.
  72. Holland L. Theating and passivating vacuum systems and components in cold cathodes discharge // Vacuum.-1976.-V.3.-P. 97 -103.
  73. B.A., Лягинсков B.B., Ройх И. П. Влияние параметров тлеющего разряда на эффективность ионной бомбардировки и очистки поверхностей // Физика и химия обработки материалов.-1968.-№ 5.-С.98.
  74. Vittory F.M., Ugo V. Application of a simple R.F. Spattering apparaturs for cleaning pruposes in electron microscopy // J. Microse et Spectrose. Electron.- 1977.- V.2.- N1.- P. 1−5.
  75. C.H., Медников Н. И., Пильчевский А. Ю. Групповая очистка металлических корпусов малогабаритных электровакуумных приборов с помощью разряда в магнитном поле // Эмиссионная электроника. Сер.7.-1980.- Вып.3.-С.17 20.
  76. В.А., Лягинсков В. В., Ройх И. П. Применение ионной бомбардировки для очистки поверхности металлов от органических загрязнений // Электронная обработка металлов.-1972.-№ 4.- С.6−8.
  77. В.В. Обезжиривание некоторых материалов в сильноточном тлеющем разряде // Электронная обработка материалов.-1976.-№ 1 .-С.46−48.
  78. Holland L, Rizk A.S. The effects of treating plane and hollow components of stainless stell and inconel in glow disharge. J. Hull. Mater. 1978, V. 76 77, p. 605 — 607.82. Пат. 3 614 642 США
  79. В.В. Взаимодействие активного кислорода с кремнийорганическими соединениями в условиях плазмохимической обработки газоразрядных приборов: Диссертация канд.хим.наук.- Иваново., 1985.- 210 с.
  80. А.с. 509 165 СССР. Способ изготовления холодных катодов / Ананьин В. С. Бабурин А.А. и др. Заявлено 1977.
  81. Пат. 4 007 431 США. Cathode construction for long Ufe lasers / Henry C. Abbink.
  82. Пат. 3 860 310 США. Method of fabricating a gas laser / Hochuli H., Haldemann P.R.
  83. Окисление металлов T.l. Теоретические основы / под ред. Бернара Ж.- М.: Металлургия, 1968.- 448 с.
  84. И.П. Окисление и защита бериллия.-М.: Металлургия, 1968.- 120 с.
  85. Металлические примеси в сплавах / Курдюмов А. В., Инкин С. В. и др.- М.: Металлургия, 1988.-143 с.
  86. Шук Н. П. Курс теории коррозии и защиты металлов. М.: Металлургия, 1976.- 472 с.
  87. В.С., Беляев В. А., Покосовский JI.H. Поведение окисных пленок Al в тлеющем разряде // Электронная техника. Сер. Элктровакуумные и газоразрядные приборы.-1972.-№ 2.-С.78−83.
  88. Abril J., Gras-Martin A., Valles-Abarca J.A. Energy distribution of particles striking the cathode in a glow discharge // Phys.Rev.A.-1983.- V.28.- № 6.- P.3677−3678.
  89. Р.И. Исследование окисления металлов в условиях тлеющего разряда в кислороде // ЖФХ.- 1958.- № 1.- С. 79−85.
  90. Получение защитных окисных пленок на полых катодах в тлеющем разряде кислорода / Трофимов Е. А., Арцыхович В. Ф., Смирнов Ю. Н., Файфер С. И. // Электронная техника. Сер. Материалы,-1973.- Вып.12.- С.3−10.
  91. Chance D.A., Brusic V., Craoford V.S., Malners R.D. Cathodes for He-Ne Lasers // J.B.M.J.Res.Develop.-1979.-V.23.-P.32.
  92. А.П., Пролейко Э. П., Файфер С. И. Холодные катоды для газоразрядных приборов /Электронная промышленность.-1973.- № 4.- С.32−33.
  93. А.П., Рожков A.M., Трофимов Е. А. Некоторые вопросы ионно-электронной эмиссии твердых тел и разработки холодных катодов квантовых приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- Вып.4(1194).- 1986.- С. 35.
  94. Р.Д., Коржавый А. П., Кристя В. И. Эмиссионные свойства холодных катодов с оксидной пленкой на поверхности для отпаянных газоразрядных приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- Вып. 5(1612). 1991.- С. 47.
  95. Механизмы проводимости оксидного покрытия холодных катодов газоразрядных приборов / Крютченко О. Н., Маннанов А. Ф., Носов A.A. и др. // Поверхность.- 1994.-№ 6.- С.93−99.
  96. Д.В., ЯснопольскийН.Л. Электронная эмиссия из диэлектрических слоев при наличии в них сильногоэлектрического поля // Радиотехника и электроника.-1964.-Т.9.-№ 11.- С.1903−1919.
  97. Е.А. Пленочные холодные катоды типа «сэндвич» // Обзоры по электронной технике / ЦНИИ «Электроника»,. М., 1970.-С.42. (Сер. Микроэлектроника- Вып.7(227).
  98. О роли пористости катодов с самоподдерживающейся эмиссией // Н. Я. Басалова, М. И. Елинсон, Д. В. Зернов, Я. С. Савицкая / Радиотехника и электроника.-1963.-Т.8.-С.881−883.
  99. О.Н. Крютченко, А. Ф. Маннанов. A.A. Носов. Особенности взаимодействия плазмы газового разряда с поверхностью холодного катода // Радиотехника и электроника.-1996.-Т.З7.-№ 9.-С.1716−1718.
  100. Механизм деградации поверхности холодного катода / Крютченко О. Н., Маннанов А. Ф., Носов A.A., Степанов В. А., Чиркин М. В. // Радиотехника и электроника.- 1996.- Т.41.- № 8.-С.990 994.
  101. О механизме увеличения электрической прочности вакуумных промежутков при ионной обработке поверхности электродов / Раджабов Т. Д., Ассиддинова М. Ю., Расулов П. М., Коржавый А.П.// Поверхность.- 1983.- № 9.- С. 132−135.
  102. И.Л. Ионные приборы.-М.: Энергия, 1972.- 380с.
  103. Wehner G.K., Hajicek D.J. Cone formation on metal targets during sputtering // J. Appl. Phus.- 1971.-V.42.-N3.-P.1145−1149.
  104. Materials surfase modification under simultaneous erosion and redeposition condition /J. Hirooca, D.M. Goebel, R.W. Conn ef al.// Nucl. Instr. Meth. B.-1987.-V.23.-N4.-P.458−470.
  105. Panitz J.K., Sarp D.J. Low energy ion erosion of machine faceted stainless stell //J. Vac. Sci. Technol.-1980.-V.17.-Nl.-P.282−285.
  106. Influense of surfase morphologe on the angular distribution and total yield of copper sputtered by energetic argon ions /J.L. Whitton, W.O. Hofer, V. Littmark et al. // Appl. Phus. Lett.-1988.-V.36.-N7.-P.531−533.
  107. B.B., Кресанов В. И., Шлюко В. Я. Катодное распыление пористого гексаборида лантана. ЖТФ.-1977.-Т.47.-№ 12.-С. 2526−2529.
  108. Г. П. Распыление пористых материалов //ЖТФ.-1968.-Т.38.-№ 4.-С.753−760.
  109. Anciello О. A critical analisys of the origin, stability, relative spattering yield and related phenomena of textured surfasces under ion bombardment // Radiat. Effects.-1982.-V.60.-N1−2.-P. 1−26.
  110. Littmark V., Hofer W.O. The influence of surfase structures on sruttering. Angular distribution and yield from faceted surfaces //J. Mater. Sci.- 1978.-V.13.-N12.-P.2577−2586.
  111. Cramer S.N., Oblow E.M. Feasibility study of a hoheycomb vacuum wall for fusion reactors // Nucl. Fusion.-1975.-V. 15.-N.2.-P.339−343.
  112. А.А. Распыление пористых тел с порами сферической формы ускоренными ионами// Диагностика поверхности ионными пучками: Донецк, 1988.- СЛ18−119.
  113. А.с. 1 658 757 СССР. Холодный катод гелий-неонового лазера / Коржавый А. П., Кристя В. И., Прасицкий В.В.
  114. А.П., Кристя В. И. Особенности формирования эмиссионной поверхности холодного катода для обеспечения его долговременной работы в квантовом приборе //Электронная техника. Сер. Материалы.- 1991.- Вып. 1(255).- С.48−49.
  115. Hochuli V., Haldemann P. Cold cathode for possible use in 6328A single mode He-Ne lasers // Rev.Soc.Instr.-1963.-V.36.-№ 10.-P.1493−1494.
  116. Hochuli U, Haldemann P, Hardwick D. Cold cathodes for He -Ne gas lasers // IEEE J. of Quantum Electronics.-1967/-QE.-3/-N11/-P.612−614.
  117. П., Попов С., Диоников Л., Коротенски Т. Методы прогнозирования долговечности гелий-неоновых лазеров // Годишн.высш.техн. учебн.завед. Физика.-1973/-т.10/-№ 2/-С.101−106.
  118. Orlinov V., Mladenov G. Dependence of cathode sputtering rate on the current in a glow discharge // Int.J.Electr.-1969/-V.27/-№ 1 .-P.65−73.
  119. Orlinov V., Mladenov G. Dependence of cathode sputtering rate on the pressure in a glow discharge.-Int.J.Electr.-1969.-V.27.-№ 3.-P.241−247.
  120. Orlinov V., Mladenov G., Goranchev B. Influence of the heat transfer from the cathod on the dependence of cathode sputtering rateon current and pressure in a glow discharge // Int.J.Electr.-1971.-V.30.-№ 3.-P.233−243.
  121. Orlinov V., Goranchev В., Kourtev J. Influence of the abnormal ratio of the dependence of cathode sputtering rate on the current in a glow discharged/ nt.J.Electr.-1974.-V.30.-№ 4.-P.431−439.
  122. O.A., Соболев В. Д., Шипалов A.C. Методика прогнозирования срока службы приборов тлеющего разряда // Электронная техника. Сер.З. Газоразрядные приборы.-1971 .-№ 4.-С.62−66.
  123. Влияние некоторых технологических факторов на срок службы холодного катода / Перелыгин А. И., Садофьев Ю. Г., Ананьин B.C., Морозов Е. А. // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1974.-№ 8.-С.98−102.
  124. A.M., Коржавый А. П., Москвина А. И. Долговечность алюминиевых катодов при малых давлениях газа // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1979.-№ 8.-С.67−72.
  125. B.C. Катодное распыление в тлеющем разряде // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1978.-№ 5.-С. 14−22.
  126. А.П., Кристя В. И., Прасицкий В. В. Метод расчета срока службы холодных катодов в газоразрядных приборах // Электронная техника. Серия 6. Материалы.-1987.-№ 1.-С.73−75.
  127. В.И. Расчет энергетического спектра ионов тяжелой компоненты и коэффициента распыления катода в тлеющем разряде в смеси газов // ЖТФ.- 1996.-Вып. 66.-№ 6.-С.8−14.
  128. А.П., Кристя В. И., Прасицкий B.B. О влиянии нагрева газа на зарактеристики катодного слоя тлеющего разряда // Электронная техника. Серия 6. Материалы.-1989.-№ 2.-С.56−58.
  129. А.Р., Фридрихов С. А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. М.: Наука, 1977.- 551 с.
  130. В.Т. Ионный зонд.-К.: Наукова думка, 1981.-328с.
  131. Takeishi Y. Ejection of electrons from barium oxide by У noble gas ions // J.Phys.Soc.Jap.-1962.-V.60.-№ 2.-P.326−341.
  132. M.B. Физика работы выхода электрона. М.: МАИ, 1989.-178 с.
  133. JI.H., Гомоюнова М. В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966.-564с.
  134. Shapiro В., Pharhuram J., Rosco J. Electron yield of glow discharge cathode material //Appl.Phys.Lett.-1988.-V.53.-№ 5.-P.358−360.
  135. Redjopadhyc N, Jogleker V, bharaskar S. Jon secondary electron emission from A1203 and MgO films // Silid state commun.-1986.-V.60.-N8.-P.675−679.
  136. A.A., Ступак B.A., Яблуков Б. Г. Особенности ионно-электронной эмиссии диэлектрических пленок на массивных подложках при бомбардировке ионами низких энергий //Тез.докл. IX Всесоюзной конференции ВА и ТТ.- М.: 1989.- Т.1, С.310−311.
  137. .С., Татаринова Н. В. // РЭ.- 1992.- Т.37.- № 2.-С.362.
  138. О.Н., Маннанов А. Ф., Носов А. А. // РЭ.-1992.-Т.52.- № 9.- С. 1716.
  139. Л.И., Маннанов А. Ф., Крютченко О. Н. Способ изготовления активного элемента газового лазера с холодным катодом. Пол. Реш. По заявке № 4 819 620/21 от 05.03.92.
  140. .С., Магдеев М. П. Роль зарядки поверхности в явлении послеэмиссии // Тезисы докладов IX Всесоюзной конференции ВАЧТТ.- М.: 1989.- Т.1.- Ч.2.-С.300−301.
  141. А.И., Ступак В. А., Яблуков Б. Г. Зависимость ИЭЭ от толщины диэлектрического покрытия на металлических подложках // Тезисы докладов Всесоюзного совещания по диагностике поверхности ионными пучками.- Одесса, 1990.- С. 69.
  142. Н.В. Некоторые особенности получения радиационностойких образцов из бериллия // Материалы IV Межнационального совещания «Радиационная физика твердого тела».- Севастополь, 1994.-С.54.
  143. Бериллий наука и технология / Под ред. Вебстера Д. -М.: Металлургия, 1984.- 376с.
  144. Д. Бериллий.- М.: Атомиздат, 1980.- 460с.
  145. В.В. Лабораторная металлография.- М.: Металлургия, 1965.-256с.
  146. В. Справочник по металлографическому травлению.- М.: Металлургия, 1979.-96с.
  147. Изменение работы выхода холодных катодов в процессе газового разряда / Ананьин B.C., Белкин A.M., Гусева А. М, Салауров М.П.// Электронная техника. Сер. Материалы.-1991.-Вып.5(1612).-С.47.
  148. А.П., С.И. Файфер. Материалы для долговечных катодов газовых лазеров // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- 1979.- Вып.6(658).- С.34.
  149. A.c. 1 708 096 СССР, Н01 J 9/42. Способ определения долговечности гелий неонового лазера / Коржавый А. П., Кристя В. И., Лищук Н. В., Прасицкий В.В.
  150. Патент РФ 2 009 586 cl, НО 1 S 3/38. Гелий неоновый лазер / Коржавый А. П., Лищук Н. В., Прасицкий В. В., Рожанец A.B.163. А.с. 141 239 СССР.
Заполнить форму текущей работой

Заказал и сдал!