Технологические способы улучшения метрологических характеристик оптоэлектронных уровнемеров жидкостных сред

Актуальность работы.

В различных отраслях науки, техники и технологии (ракетно-космическая и авиационная техника (РК и АТ), нефтеи газодобывающая промышленность, нефтехимия, гражданская авиация, трубопроводный, морской и железнодорожный транспорт, системы экологического контроля, медицинское приборостроение и др.) для различных задач социального, гражданского, оборонного значения необходимо иметь информационно-измерительные системы (ИИС) и промышленно-технологические комплексы (ПТК) для измерения различных физических параметров (температуры, давления, уровня жидкостных сред, линейных и угловых перемещений и др.).

Для создания новых образцов инженерно-технических объектов (ИТО), к которым относятся, например, авиалайнеры, гражданские самолеты, ракеты-носители, стендовые комплексы, резервуары с различным топливом, емкости с жидкостными средами, водяные баки и др., необходимо создание и внедрение новых ИИС и ПТК.

Непрерывное совершенствование различных ИТО, развитие ИИС и ПТК требуют решения традиционных задач и расширения областей исследования закономерностей протекания технологических процессов в экстремальных условиях эксплуатации, что, в свою очередь, требует создания высокотехнологичных, высокоточных, надежных, малогабаритных и экономичных средств для измерения параметров физических процессов как на этапе создания, так и в процессе эксплуатации ИТО. При этом определяющим фактором достижения высоких метрологических характеристик ИИС и ПТК является применение в их составе средств измерения (датчиков) с высокими метрологическими характеристиками, в том числе уровнемеров. Поэтому при создании новых ИИС и ПТК требуется создание более совершенных средств и методов измерения уровня жидкостных сред (ИУЖС).

Наиболее востребованы средства измерения уровня жидкостных сред в PK и AT, в системах налива/слива, учета нефтепродуктов, в системах водоснабжения питьевой и технической водой и в других задачах.

Известные отечественные и зарубежные фирмы-разработчики решают задачу ИУЖС в заданных диапазонах регистрации путем применения сложных дорогостоящих средств измерения, как правило, контактного типа. Примерами таких решений являются пьезорезистивный уровнемер типа DS фирмы SEBA Hydrometrie GmbH, тросиковые уровнемеры предприятия «Транснефть-автоматика», фирмы Enraf типа ATG854, фирмы Auxitrol типа 640−67, емкостные уровнемеры фирмы Whessol типа ITG-50. Эти средства измерения не отвечают возросшим требованиям по уровню метрологических характеристик, предъявляемым со стороны ИТО.

При решении данной задачи предпочтение отдается технологическим и информационно-измерительным средствам измерения уровня жидкостных сред, не требующим в процессе функционирования энергетического взаимодействия с контролируемым объектом. Данному требованию наилучшим образом отвечают бесконтактные оптоэлектронные уровнемеры жидкостных сред (ОЭУЖС).

Анализ научно-технической информации и публикаций известных ученых в области оптической измерительной техники В. Б. Вайнберга, JL Н. Воронцова, В. М. Гречишникова, Д. Дейкина, В. Г. Жилина, Г. П. Ка-тыса, Н. Е. Конюхова, В. Ф. Крапивина, А. Ю. Кузина, М. М. Мирошникова, Г. В. Меркишина, Т. И. Мурашкиной, В. Т. Потапова, М. Хауэса, Ю. Г. Якушенкова и др. показал, что для решения поставленной задачи необходимо применить способ регистрации информации, основанный на восприятии отраженного светового потока, несущего информацию об измеряемой физической величине. При этом возникает задача уменьшения влияния нелинейных изменений пространственных характеристик светового потока, ведущих к резкому снижению интенсивности оптического сигнала при перемещении границы раздела сред относительно рабочего торца уровнемера и соответственно к высокой погрешности линейности функции преобразования и снижению точности ИУЖС.

Существенным недостатком оптических средств измерений, в том числе уровнемеров, является зависимость мощности источников излучения (ИИ) и интегральной чувствительности и внутреннего сопротивления приемников излучения (ПИ) от температуры. Так, например, у серийно выпускаемых светодиодов типа ЗЛ107Б излучающая способность изменяется в интервале температур ± 50 °C на 20.30%, а у фотодиодов ФД-19КК, ФД 20−32К, КФДМ разброс по чувствительности может достигать 10. 15%. Подобный разброс энергетических характеристик приводит к большим температурным погрешностям (от 10 до 50%), если не принять конструктивно-технологических мер для их снижения. При повышении или уменьшении температуры окружающей среды изменяются электрические параметры уровнемера, что приводит к возникновению температурной погрешности преобразования.

Для достижения требуемых метрологических характеристик при проектировании ОЭУЖС определяющими являются технологические вопросы, связанные с формированием определенной структуры светового потока, несущего полезную информацию. Актуальна задача совершенствования технологии проектирования, создания и изготовления новых образцов ОЭУЖС.

Целью диссертационной работы является совершенствование технологии изготовления бесконтактных оптоэлектронных уровнемеров жидкостных сред с улучшенными метрологическими характеристиками.

Научная задача, решенная в работе, — обоснование и разработка новых технологических методов, обеспечивающих существенное улучшение метрологических характеристик бесконтактных оптоэлектронных уровнемеров, реализующих амплитудно-фазовое преобразование перемещения границы раздела сред с разными коэффициентами преломления в электрический сигнал.

Для достижения цели поставлены и решены следующие задачи:

— проведение анализа известных методов и средств ИУЖС;

— разработка нового оптоэлектронного способа измерения уровня прозрачной жидкости;

— математическое описание процесса распределения светового потока в оптическом канале ОЭУЖС, реализующем новый способ ИУЖС;

— разработка математических и структурных моделей и алгоритмов преобразования сигналов в оптоэлектронных измерительных преобразователях уровня жидкости (ОЭИП) и амплитудно-фазовых ОЭУЖС (АФОЭ-УЖС);

— разработка конструктивно-технологических способов снижения температурной и суммарной погрешностей АФОЭУЖС;

— усовершенствование механизма линеаризации функции преобразования АФОЭУЖС;

— вывод функции преобразования и определение параметров оптической системы измерительного канала ОЭУЖС;

— разработка технологии юстировки приемо-передающей оптической системы ОЭИП, обеспечивающей необходимую пространственную структуру пучка, максимальную чувствительность преобразования оптического сигнала, линейность функции преобразования, простоту юстировки элементов оптической системы;

— разработка методики проведения экспериментальных исследований ОЭУЖС.

Предмет исследований — технологические методы улучшения метрологических характеристик оптоэлектронных уровнемеров, предназначенных для бесконтактных ИУЖС в составе информационно-измерительных систем перспективных образцов ИТО различных отраслей промышленности, реализующих амплитудно-фазовое преобразование уровня жидкостной среды в электрический сигнал.

Методы исследований.

При разработке математических моделей ОЭИП и ОЭУЖС применялись основные положения геометрической оптики, методы математической физики, прикладной механики. При решении задач по синтезу и анализу ОЭИП и ОЭУЖС применялись положения теории чувствительности, погрешностей, гармонического анализа, дифференциального и интегрального исчисления, аналитической геометрии, методы численного анализа, имитационное моделирование на ЭВМ. В экспериментальных исследованиях использовались положения теории измерений, планирования эксперимента и математическая обработка полученных результатов.

Достоверность результатов подтверждается их непротиворечивостью законам физики, корректным использованием современных аналитических и расчетных методов, математическим моделированием. Основные теоретические и технологические положения и результаты подтверждены экспериментальными исследованиями реальных действующих образцов ОЭУЖС.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1 Разработан и экспериментально подтвержден новый способ измерения текущего значения уровня жидкостных сред, основанный на регистрации интенсивности отраженного от зеркальной поверхности, расположенной на определенном расстоянии от излучающей поверхности оптической системы, светового потока, сходящегося относительно оптической оси приемной оптической системы.

2 Разработан и реализован новый технологический способ снижения температурной погрешности ОЭУЖС, основанный на применении амплитудно-фазового преобразования сигналов, введении дополнительного оп-тоэлектронного компенсационного канала, использовании рабочих (РПИ) и компенсационных (КПИ) приемников излучения одного типа и расчете оптимального соотношения количества РПИ и КПИ, а также путем конструктивного исполнения КПИ относительно ИИ.

3 Разработан и реализован механизм линеаризации функции преобразования амплитудно-фазового ОЭУЖС, основанный на взаимной компенсации двух нелинейных зависимостей: квадратичной (или ей подобной), в соответствии с которой изменяется рабочий сигнал на выходе измерительного преобразователя, и функции арктангенса, в соответствии с которой изменяется фаза суммарного сигнала от отношения рабочего и компенсационного сигналов.

4 Создана новая методика расчета основных параметров оптического тракта ОЭИП, учитывающая новые закономерности распределения светового потока в зоне измерения и связь диапазона измерения, угла наклона оптической оси источника излучения относительно оптической оси ОЭИП и расстояния между ИИ и ПИ. I.

5 Созданы новые и усовершенствованы существующие способы улучшения метрологических характеристик АФОЭУЖС, основанные на:

— формировании одного гармонического сигнала, несущего измерительную информацию об уровне жидкостной среды, на РПИ приемом отраженного от зеркала светового потока ИИ, а другого — на КПИ приемом немодулированного в функции измеряемого параметра светового потока того же ИИ, а также формировании отношения данных сигналов, не зависящего от влияния дестабилизирующих факторов;

— реализации оптоэлектронного компенсационного канала;

— компенсации изменений сигналов, обусловленных противоположно изменяющимися мощностью ИИ и фоточувствительностью ПИ при изменении температуры окружающей среды;

— уменьшении интенсивности отраженного светового потока в начале диапазона измерения и его увеличении в конце диапазона измерения за счет формирования сходящегося к концу диапазона измерения светового потока и снижения потерь отраженного светового потока.

6 Разработана блочно-модульная структурная модель амплитудно-фазового ОЭУЖС, реализующая новую четкую технологическую последовательность преобразования сигналов, отличительной особенностью которой является ввод в конструкцию дополнительного компенсационного канала, обеспечивающего снижение погрешности от изменения мощности излучения ИИ, обусловленного изменением температуры окружающей среды, колебаниями параметров питающего напряжения, временной нестабильности параметров ИИ, изменением чувствительности ПИ и др.

Практическая значимость работы.

1 Разработана и реализована новая технология исполнения амплитудно-фазовых ОЭУЖС.

2 Выполненные автором в Московской академии рынка труда и информационных технологий (МАРТИТ, г. Москва) и Пензенском государственном университете (ЛГУ, г. Пенза) теоретические и экспериментальные исследования обеспечили решение актуальной научно-технической и технологической задачи создания новых бесконтактных ОЭУЖС с улучшенными метрологическими характеристиками. 1.

3 Проведенные исследования обеспечили формирование банка данных для создания новых образцов ОЭУЖС с улучшенными метрологическими характеристиками, позволяют перейти к их промышленному производству и внедрению в различных отраслях науки, техники и технологии.

Научная и практическая значимость исследований также подтверждается тем, что работы в настоящее время проводятся в рамках Федеральной космической программы Роскосмоса, «Комплексной программы НИР и ОКР по созданию средств измерений, контроля и диагностики для космических аппаратов, испытательных центров наземной экспериментальной базы на период до 2010 г.» в кооперации с МАРТИТ и ПГУ, ОАО «НПО Измерительной техники» (г. Королев, Московская обл.), ФГУП «Рубин» (г. Пенза), ЗАО «НИИФИ и ВТ» (г. Пенза).

Реализация результатов работы.

Работа над диссертацией проводилась в рамках фундаментальных отраслевых НИР и ОКР Роскосмоса (темы «Миндаль», «Арахис», «Надежность», «Контроль» и др.), Федеральной космической программы России по созданию средств измерения, контроля, диагностики параметров РК и AT и для других отраслей промышленности.

Основные результаты теоретических, технологических и экспериментальных исследований автора применены при создании ОЭУЖС с компенсационным каналом для ИУЖС в диапазонах 0. .90, 0. 125, 0.180, 0.250, 0.350, 0.500, 0.800, 0.1000, 0.2000 мм. Разработаны и изготовлены экспериментальные образцы ОЭУЖС: шифр ОЭУ-001, ОЭУ-002, внедренные на предприятии ОАО «НПО ИТ» (г. Королев, Московская обл.).

Элементы теории проектирования, материалы по расчету и проектированию ОЭУЖС использованы в НИР «Устройства сбора и обработки данных в ИИС», «Оптимизация конструктивных исполнений оптоэлек-тронных уровнемеров на основе формирования рационального распределения светового потока», а таюке в лекционном материале и лабораторном практикуме дисциплины «Теория измерений», преподаваемой студентам специальности 200 100 «Приборостроение» в ПГУ.

Материалы по формализации процесса' распределения мощности светового потока в пространстве ОЭИП использованы в проекте аналитической ведомственной целевой программы «Развитие научного потенциала высшей школы (2009;2010 годы)», подраздел 2.1.2 «Проведение фундаментальных исследований в области технических наук» по теме «Разработка теории функционирования волоконно-оптических лазерных интерферометрических систем на основе методов идентификации динамических систем с распределенными параметрами» (№ 2.1.2/937).

Апробация работы.

Основные научные и практические результаты исследований по теме диссертации докладывались и обсуждались на всероссийской НТК «Состояние и проблемы технических измерений» (г. Москва, 1998 г.), НТС Росавиакосмоса, международной НТК «Информационные технологии в науке, образовании, телекоммуникации, бизнесе» («IT-SE 2001» «IT-SE 2002») (Ялта-Гурзуф, 2001, 2002 гг.), X Международном салоне «Двигате-ли-2008» (г. Москва, 2008 г.), I Российском инвестиционном форуме «Российским инновациям — российский капитал» и IV ярмарке бизнес-ангелов и инноваторов (г. Чебоксары, 2008 г.), международной выставке «Не-lirassia-2008» (г. Москва, «Экспо-Крокус», 2008 г.), международном симпозиуме «Надежность и качество» (г. Пенза, 2009, 2010 гг.), международной НТК «Метрологическое обеспечение измерительных систем» (г. Пенза, 2009, 2010 гг.), отраслевой НТК приборостроительных организаций Роскосмоса «Информационно-управляющие и измерительные системы» (г. Королев, Московская обл., 2009 г.).

Публикации. Основные положения диссертации опубликованы в 14 работах, из них три статьи в изданиях, рекомендованных ВАК России, подано 2 заявки на изобретение, 3 научно-технических отчета.

Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка используемой литературы, шести приложений. Основная часть изложена на 173 страницах машинописного текста, содержит 47 рисунков, восемь таблиц. Библиографический список содержит 103 наименования. Приложения к диссертации занимают 16 страниц.

Основные выводы и результаты.

1 Определено, что для обеспечения надежности ИТО при конструировании ОЭУЖС необходимо применять в качестве источников излучения СИД типа ЗЛ107 Б, а в качестве приемников излучения согласованные с ними по спектру фотодиоды типа ФД-256.

В качестве зеркального отражателя необходимо использовать пластину из стали 36НХТЮ, отполированную до Кг 0,63.

2 Экспериментальные исследования лабораторных макетов ОЭУЖС показали, что они обеспечивают измерение перемещений в диапазонах до 1000 мм. Приблизительные габаритные размеры датчика 045×75 мм (что в 3. .4 раза меньше, чем у аналогов).

3 Определено, что погрешность линейности функции преобразования разработанных амплитудно-фазовых ОЭУЖС не превышает 5%, что в 5.7 раз меньше, чем у ОЭУЖС амплитудного типа.

4 Проведенные экспериментальные исследования и анализ метрологических и эксплуатационных характеристик экспериментальных образцов ОЭУЖС подтвердили теоретические и технологические положения, полученные и изложенные в диссертации. Разработанные научно-технические и технологические решения имеют хорошую сходимость с экспериментальными исследованиями и являются основными базовыми материалами для созI дания новых образцов ОЭУЖС. Созданные экспериментальные образцы обеспечивают ДКИУЖС и могут применяться в различных отраслях науки, техники и технологии при создании и эксплуатации новых образцов ИТО.

Заключение

.

1 Разработана новая концептуально-конструктивная, технологическая и метрологическая база конструирования ОЭУЖС (вода, топливо, нефтепродуктов и др.) для ИТО, основанных на регистрации интенсивности светового потока, отраженного от зеркальной поверхности, расположенной на дне резервуара, бака или емкости, заполненной жидкостью.

2 Определены основные источники погрешностей ОЭУЖС: изменение температуры окружающей среды, наличие внешних световых потоков (фоновых засветок), нелинейность функции преобразования и разработаны конструктивно-технологические рекомендации по снижению их до допустимых значений.

Установлено, что основными элементами, изменение которых ведет к возникновению температурной погрешности, являются источники и приемники излучения и измерительная схема. При изменении температуры окружающей среды изменяются мощность излучения ИИ и интегральная чувствительность ПИ. I.

3 Разработан новый способ снижения температурной погрешности ОЭУЖС, обусловленной изменением параметров источников и приемников излучения, основанный на применении амплитудно-фазового преобразования сигналов, введении дополнительного оптоэлектронного компенсационного канала, использовании РПИ и КПИ одного типа с учетом оптимального расчетного соотношения количества РПИ и КПИ, а также путем изменения положения КПИ относительно ИИ.

4 Разработана структурная схема АФОЭУЖС, реализующего новую технологическую концепцию преобразования сигналов. Новизна предложенной конструктивной схемы заключается в наличии в конструкции ОЭУЖС дополнительного компенсационного канала, который позволяет снизить погрешности от изменения мощности излучения ИИ, обусловленного дестабилизирующими факторами:

5 Разработан новый способ снижения погрешности от углового смещения границы раздела сред с разными коэффициентами преломления, основанный на формировании нескольких световых потоков, сходящихся под некоторым углом к оптической оси приемной оптической системы, сохраняющий технологию амплитудно-фазового преобразования.

Для реализации этого способа формирования оптических потоков в пространстве оптической системы ОЭИП была разработана новая конструкция амплитудно-фазового ОЭУЖС, в которой используются п источников излучения и, соответственно, нескольких компенсационных приемников излучения и в и раз повышается чувствительность преобразования по сравнению с базовым ОЭУЖС.

6 Разработан новый способ снижения дополнительной погрешности с сохранением технологии амплитудно-фазового преобразования, отличительной особенностью которого является то, что гармонический сигнал, промодулированный в функции регистрируемого параметра, формируют на рабочих приемниках излучения приемом • отраженного от зеркала светового потока источника излучения, а другой гармонический сигнал формируют на компенсационных приемниках излучения приемом немодулированного в функции регистрируемого параметра светового потока того же источника излучения, а также формированием отношения перечисленных сигналов, не зависящего от влияния дестабилизирующих факторов.

7 Разработана математическо-технологическая модель функции преобразования ф=ДХ) АФОЭУЖС с компенсационным каналом и I несколькими источниками излучения. Установлено, что линейность функции преобразования зависит:

— от угла ф12 между выходными сигналами 11(Х) и ½',.

— места положения на оси перемещений точки балансировки сигналов иу (Х) и иъ в которой и{(Х)=и2 1.

— степени кривизны функции U2/U=f (X), определяемой коэффициентом пропорциональности а.

Доказано, что сигналы U (X) и U2 находятся в отношении, поэтому пропорциональные изменения этих сигналов, обусловленные изменением параметров ИИ и ПИ, напряжения питания и т. п., не влияют на результаты измерений, таким образом, в новом ОЭУЖС существенно уменьшается дополнительная погрешность.

8 Разработан механизм линеаризации функции преобразования (р=ДХ), основанный на взаимной компенсации двух нелинейных зависимостей: квадратичной (или ей подобной) U (X), в соответствии с которой изменяется рабочий сигнал на выходе измерительного преобразователя, и функции арктангенса.

9 Разработана методика расчета основных параметров оптического тракта ОЭИП, основанная на определении закономерностей распределения светового потока в зоне регистрации и связи диапазона измеряемого параметра, угла наклона оптической оси источника излучения относительно оптической оси ОЭИП и расстояния между ИИ и ПИ, при которых обеспечиваются улучшенные метрологические характеристики.

10 Разработан механизм линеаризации выходной функции преобразования и повышения чувствительности преобразования, основанный на конструктивном уменьшении потерь светового потока в начале диапазона измерения и увеличении их в конце диапазона измерения изменением освещенности ПИ путем смещения светового пятна, отраженного от зеркала относительно светочувствительной поверхности ПИ.

11 Установлено, что для снижения температурной погрешности, обусловленной непропорциональными изменениями £вь SB2 при изменении температуры окружающей среды необходимо применять ПИ одного типа, у которых знак ухода чувствительности одинаков, что обусловливает частичную температурную компенсацию погрешности.

Определено, что для снижения погрешности при изменении коэффициентов КМт, Кмт, Кфц, необходимо при конструировании:

— элементы МП2 и ФцЗ установить вне зоны воздействия дестабилизирующих факторов в более благоприятные условия;

— МП1 расположить в корпусе ОЭИП, так как он выполняет роль усилителя сигнала малого уровня и?(Х), передача которого без предварительного усиления по электрическомукабелю не представляется возможным.

12 Разработан способ температурной компенсации погрешности при непропорциональных изменениях 5дь Бвг ¦ при амплитудно-фазовом преобразовании сигналов, основанный на определении условий, при которых изменения фазы ср суммарного сигнала, вызванные изменением мощности излучения ИИ и изменением фоточувствительности ПИ, были взаимно скомпенсированы. !

13 Установлено, что для полной компенсации температурной погрешности необходимо, чтобы при изменении температуры окружающей среды мощность излучения ИИ и отношение изменений чувствительностей приемников излучения должны изменяться в противоположные направления. Это достигается путем изменения соотношения количества рабочих и компенсационных приемников излучения, а также путем изменения положения КПИ относительно ИИ.

14 Создан математически-технологический аппарат оптимизации параметров ОЭУЖС с компенсационным каналом. На основании полученных математических моделей функций преобразования выполнены расчеты, которые показали, что для расширения диапазона регистрации, повышения чувствительности преобразования и снижения, погрешности линейности необходимо обеспечивать: угол наклона, а ИИ относительно оптической оси датчика должен быть 0,5.5 градусов, уровень «компенсационного сигнала Фк должен составлять половину рабочего сигнала в точке балансировки, то есть 0,5ФР, угол (рп должен составлять 120.140 градусов.

15 Дано теоретическое обоснование новых и модернизированных технических решений физической реализации ОЭИП и ОЭУЖС с компенсационным каналом, позволяющих при незначительной модификации конструктивного исполнения на их основе создать ОЭУЖС для измерения уровня в разных диапазонах измерения, обеспечивающие высокие метрологические характеристики и надежное функционирование ОЭУЖС в жестких условиях эксплуатации РК и АТ. ;

16 Подтверждены теоретические и технологические результаты, изложенные в диссертации, проведенными экспериментальными исследованиями на разработанных и изготовленных экспериментальных образцах. ОЭУЖС показали, что они обеспечивают ИУЖС в диапазонах до 2000 мм. При этом:

— габаритные размеры датчика 045×75 мм (что в 3−4 раза меньше, чем у аналогов) — 1.

— погрешность линейности функции преобразования не превышает 5%, что в 5−7 раз меньше, чем у ОЭУЖС амплитудного типа;

— температурная погрешность в 2−3 раза меньше по сравнению с аналогами в диапазоне температур ± 50 °C.

17 Выполненные комплексные научно-технические, технологические, экспериментальные и производственные исследования подтвердили практически все положения, изложенные в диссертации.

Работа обеспечивает создание перспективных средств измерения: амплитудно-фазовых оптоэлектронных уровнемеров с оптоэлектронным компенсационным каналом, обеспечивающих улучшенные метрологические характеристики для информационно-измерительных систем нового поколения, применяемых в различных отраслях науки, техники и технологии.

ПЕРЕЧЕНЬ ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ.

АФОЭУЖС — амплитудно-фазовый оптоэлектронный уровнемер жидкостных сред БП — блок питания БПИ — блок преобразования информации ВВФ — внешний влияющий фактор ЗО — зеркальный отражатель ИИ — источник излучения ИП — измерительный преобразователь ИИС — информационно-измерительная система.

ИК — измерительный канал ИТО — инженерно-технических объектов ИУЖС — измерение уровня жидкостных сред.

КПИ — компенсационный приемник излучения ЛА — летательный аппарат ЛД — лазерный диод Л — линза ЛФД — лавинный фотодиод МК — масштабирующий (масштабный) контур МЗ — масштабирующее звено МХ — метрологические характеристики НИОКР — научно-исследовательская и опытно-конструкторская работа ОКР — опытно-конструкторская работа ОЭБ — оптоэлектронный блок ОЭИП — оптоэлектронный измерительный преобразователь ОЭУЖС — оптоэлектронный уровнемер жидкостных сред ПТК — промышленно-технологические комплексы.

162 птиик — производственно-технологических информационно-измерительных комплексов пи — приемник излучения пл — полупроводниковый инжекционный лазер

РКиАТ — ракетно-космическая и авиационная техника.

РПИ — рабочий приемник излучения.

СД — светодиод.

СИД — светоизлучающий диод.

СИИ — сосредоточенный источник излучения слд — суперлюминесцентный диод 1 сх — спектральная характеристика тт — технические требования ф — фазометр

ФВ — физическая величина.

ФД — фотодиод.

ФП — функция преобразования.

Фц — фазосдвигающая цепь чэ — чувствительный элемент эх — эксплуатационные характеристики.