Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния
Состояние вопроса. Диэлектрические пленки аморфного нитрида кремния привлекают все большее внимание специалистов различных областей науки и техники благодаря комплексу уникальных физических, химических и механических свойств. К основным характеристикам пленок нитрида кремния, обеспечивающим повышенный интерес специалистов в области микроэлектроники, в первую очередь относятся следующие… Читать ещё >
Содержание
- Глава I. Пленки нлазмохимического нитрида кремния: технология получения, свойства и применение
- 1. 1. Получение пленок нитрида кремния методом нлазмохимического осаждения из газовой фазы
- 1. 2. Влияние условий осаждения на состав пленок нлазмохимического нитрида кремния
- 1. 3. Свойства и применение пленок нлазмохимического нитрида кремния
- 1. 4. Постановка задачи и цель диссертационной работы
- Глава II. Используемое экспериментальное оборудование и методика исследований
- 2. 1. Конструкция установки, предназначенной для исследования процесса осаждения пленок нитрида кремния в удаленной плазме с индуктивным методом возбуждения ВЧ разряда пониженного давления
- 2. 1. 1. Конструкция реактора, применяемого для регистрации эмиссионных спектров плазмы
- 2. 1. 2. Конструкция реакционной камеры, применяемой для осаждения пленок
- 2. 1. 3. Газовая система
- 2. 2. Конструкция установки, предназначенной для осаждения пленок нитрида кремния в удаленной плазме с емкостным методом возбуждения ВЧ разряда пониженного давления
- 2. 3. Методика осаждения пленок нитрида кремния
- 2. 4. Методика исследования толщины, состава и свойств пленок
- 2. 4. 1. Измерение толщины и показателя преломления пленок методом эллипсометрии
- 2. 4. 2. Измерение толщины и показателя преломления пленок интерференционным методом
- 2. 4. 3. Измерение удельного пробивного напряжения, скорости травления пленок и концентрации в них связанного водорода
- 2. 5. Характеристика метода оптической эмиссионной спектроскопии, применяемого для изучения механизма осаждения пленок
- 2. 1. Конструкция установки, предназначенной для исследования процесса осаждения пленок нитрида кремния в удаленной плазме с индуктивным методом возбуждения ВЧ разряда пониженного давления
- Глава III. Исследование эмиссионных спектров низкотемпературной плазмы с индуктивным способом возбуждения тлеющего ВЧ разряда
- 3. 1. Исследование азотной плазмы ВЧ разряда низкого давления
- 3. 2. Исследование влияния добавок аргона на параметры плазмы в системе N2 — Аг
- 3. 3. Исследование оптических эмиссионных спектров плазмы в системе SiH4 — N2 — Аг
- Глава IV. Исследование процесса осаждения пленок нитрида кремния в установке с удаленной плазмой и индуктивным методом возбуждения ВЧ разряда
- 4. 1. Исследование физико-химических закономерностей роста пленок
- 4. 2. Влияние технологических параметров процесса осаждения на состав пленок плазмохимического нитрида кремния
- 4. 3. Влияние условий осаждения на физико-химические свойства пленок SiNxHy
- Глава V. Исследование осаждения пленок нитрида кремния в удаленной плазме с емкостным методом возбуждения ВЧ разряда пониженного давления
- 5. 1. Исследование состава газовой фазы в системе SiH4-N методом масс-спектрометрии
- 5. 1. 1. Характерные масс-спектры газовой среды при отсутствии плазмы
- 5. 1. 2. Характерные масс-спектры газовой среды при активации плазмой
- 5. 2. Физико-химические закономерности осаждения пленок в системе SiH4-N
- 5. 3. Связанный водород в пленках нитрида кремния полученных плазмохимическим методом
- 5. 4. Влияние разбавления азота аргоном и гелием на осаждение пленок плазмохимического нитрида кремния
- 5. 1. Исследование состава газовой фазы в системе SiH4-N методом масс-спектрометрии
Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Актуальность темы
В настоящее время актуальной задачей является разработка низкотемпературных методов получения диэлектрических материалов в виде тонких высококачественных пленок различного функционального назначения. Использование высокотемпературных процессов для синтеза подобных слоев приводит к генерации и развитию структурных дефектов в полупроводниках, термической деформации подложек, перераспределению примесей в структурах, что неизбежно вызывает снижение выхода годных приборов. Особенно остро эта проблема стоит при изготовлении приборов на основе термически нестабильных полупроводников.
Я 5 ^? типа А" В и А" В, в частности арсенида галлия, являющегося одним из перспективных материалов для создания сверхскоростных цифровых интегральных схем и СВЧ аналоговых приборов.
Состояние вопроса. Диэлектрические пленки аморфного нитрида кремния привлекают все большее внимание специалистов различных областей науки и техники благодаря комплексу уникальных физических, химических и механических свойств. К основным характеристикам пленок нитрида кремния, обеспечивающим повышенный интерес специалистов в области микроэлектроники, в первую очередь относятся следующие :
— высокая диффузионная стойкость по отношению к влаге, ионам щелочных металлов, а также элементам-диффузантам, широко применяемым в электронной технике;
— хорошие электроизолирующие и диэлектрические свойства (удельное пробивное напряжение 107 В/см, тангенс угла диэлектрических л потерь составляет 1−10″ и др.);
— повышенная химическая стойкость в агрессивных газовых и жидких средах (в том числе в условиях высоких температур), не исключающая однако проведения фотолитографических операцийхимическая инертность по отношению к материалам (полупроводникам, диэлектрикам, металлам и т. д.), широко применяемым в технологии полупроводниковых приборов;
— удовлетворительная совместимость по величине коэффициента термического расширения (КТР) с полупроводниковыми подложками, применяемыми в микроэлектронике (средняя величина КТР составляет 5.5−10 6 1/К);
— высокая термостабильность.
Приведенные выше свойства обеспечили широкое использование пленок нитрида кремния, полученных в высокотемпературных процессах осаждения, в качестве подзатворного диэлектрика в МДП-транзисторах, а также для образования масок при окислении, имплантации и диффузии в случае изготовления приборов на основе кремния.
Наиболее часто слои нитрида кремния получают химическим осаждением из газовой фазы, основанном на реакциях взаимодействия моноси-лана или галогенидов кремния с аммиаком или гидразином при температурах 700−1000 °С. Однако вполне очевидна невозможность использования этих высокотемпературных методов для осаждения пленок на многочисленные виды полупроводниковых структур, деградирующих по разным причинам уже при температурах около 500 °C. Условием снижения температуры осаждения является использование не термических способов подвода к системе энергии, необходимой для инициирования химических реакций, приводящих к осаждению пленки. В этой связи интенсивно разрабатываются низкотемпературные способы получения пленок нитрида кремния: плазмохимические, фотоактивационные, ионноплазменные и т. д.
Среди упомянутых способов наиболее широко изучалось плазмохи-мическое осаждение пленок нитрида кремния. Однако, анализ имеющихся в литературе данных указывает на ряд существенных недостатков плазмо-активированного осаждения:
— при традиционной схеме плазмохимического процесса, когда подложки размещаются в области инициирования ВЧ разряда, совмещенной с зоной подачи исходных реагентов, основные параметры процесса (давление, мощность и т. д.) являются взаимозависимыми, и малейшее изменение одного параметра приводит к неконтролируемому изменению других, что создает большие проблемы в управлении осаждением;
— сильная зависимость технологических параметров друг от друга, а также от геометрических особенностей установки, делает невозможным нахождение оптимального режима проведения процесса, пригодного для сколько-нибудь широкого класса экспериментальной аппаратуры;
— полупроводниковые пластины подвергаются бомбардировке высо-коэнергетичными частицами плазмы (ионы, электроны), что приводит к генерации в них радиационных дефектов;
— состав получаемых пленок в большинстве случаев не отвечают стехиометрическому соотношению (3"Si):(4"N), характерному для нитрида кремния, а содержание связанного водорода в пленках может достигать 30 ат. % ;
Указанные недостатки удается частично преодолеть, используя сравнительно новую модификацию реакторов, в которых подложка вынесена из зоны инициирования плазменногб разряда и располагается в области послесвечения. Однако, этот вариант процесса, называемый осаждением в удаленной плазме, остается практически не исследованным, что ограничивает его дальнейшее совершенствование и применение.
Целью работы является исследование и разработка низкотемпературного метода плазмохимического осаждения диэлектрических слоев нитрида кремния в виде тонких высококачественных пленок в реакторе с удаленной плазмой при использовании как индуктивного, так и емкостного методов возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давления.
Для достижения поставленной цели необходимо:
— провести анализ известной информации, относящейся к закономерностям плазмохимического осаждения из газовой фазы в исследуемых системах пленок нитрида кремния, рассмотреть влияние условий осаждения на состав и свойства слоев;
— изучить состояние вопроса, относящегося к исследованию механизма плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния;
— разработать конструкции и создать экспериментальные установки, предназначенные для исследования процессов осаждения из газовой фазы в системе «силан-азот-инертный газ» пленок нитрида кремния в реакторах с удаленной плазмой при использовании индуктивного и емкостного методов возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давления;
— отработать лабораторную технологию осаждения пленок;
— изучить влияние условий осаждения на закономерности роста, состав и свойства пленок в системах осаждения с индуктивным и емкостным методами возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давленияопределить оптимальные технологические параметры процесса, обеспечивающие наилучшее качества слоев;
— изучить влияние добавок инертных газов (аргон, гелий) на характеристики осаждения;
— провести исследование состава плазмы методами оптической эмиссионной спектроскопии и масс-спектрометрии в диапазоне изменения технологических параметров процесса, определить влияние этих параметров на состав газовой среды;
— сделать выводы о возможных механизмах образования пленок нитрида кремния в изучаемых системах осаждения.
— дать рекомендации по оптимизации технологических параметров осаждения (мощность, давление, расходы газов, температура и т. д.), необходимые для получения оптимальных по качеству слоев нитрида кремния.
Объектами исследований являются плазменная среда, образующаяся при осаждении пленок нитрида кремния в системе «силан-азот-инертный газ» в условиях активации плазмойдиэлектрические аморфные пленки нитрида кремниявлияние характеристик плазмы на свойства вышеупомянутых пленок.
Методы исследований обеспечивают получение информации о составе плазменной среды в течение осаждения, о закономерностях роста, составе и свойствах пленок. В работе использованы:
— методы оптических исследований: эмиссионная спектроскопия в видимой и УФ областях спектра, абсорбционная ИК спектроскопия, эл-липсометрия, интерферометрия;
— масс-спектрометрия;
— экспериментальные методы исследования кинетических закономерностей химических процессов;
— методы моделирования химических процессов, численного интегрирования, решения трансцендентных и дифференциальных уравнений с использованием ЭВМ.
Научная новизна работы состоит в том, что в ней впервые проведено комплексное исследование процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы в системе «силан-азот-инертный газ» пленок нитрида кремния в установках с удаленной плазмой:
— проведен анализ эмиссионных спектров плазмы, выявлено влияние технологических параметров процесса на интенсивность излучения различных компонентов плазмы;
— экспериментально исследованы состав и характеристики плазмы в системах SiH4-N2-Ar (He) для диапазона условий осаждения;
— экспериментально исследовано влияние технологических параметров процесса осаждения на закономерности роста, изменения состава и свойств пленок нитрида кремния, полученных в установках с удаленной плазмой при использовании как индуктивного, так и емкостного методов возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давления;
— предложен единый метод объяснения основных закономерностей роста и изменения состава слоев, которые существуют в двух различающихся конструктивно и по методу возбуждения плазмы системах осаждения, с использованием инвариантного по отношению к конструктивным особенностям установки параметра — состава газовой (плазменной) среды.
Практическую ценность работы составляет разработка полупромышленной аппаратуры и технологии низкотемпературного метода осаждения из газовой фазы в системе «силан-азот-инертный газ» диэлектрических аморфных пленок нитрида кремния, пригодных для использования в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Реализация работы. Разработанная технология использована для нанесения пассивирующих покрытий на полупроводниковые структуры, изготавливаемые АОЗТ «Светлана» .
На защиту выносится совокупность результатов экспериментального исследования основных закономерностей плазмохимического осаждения из газовой фазы в системе «силан-азот-инертный газ» пленок нитрида кремния в реакторе с удаленной плазмой при использовании индуктивного, а также емкостного методов возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давления, а именно:
— результаты экспериментального исследования влияния технологических параметров процесса осаждения пленок нитрида кремния на состав и характеристики плазмы в изучаемой системе;
— положение об увеличении диссоциации в газовой фазе молекулярного азота по механизму предиссоциации при добавлении аргона в область инициирования ВЧ разряда пониженного давления;
— положение об участии атомарного азота в механизме осаждения пленок нитрида кремния в исследуемых системах;
— результаты экспериментального исследования влияния технологических параметров процесса осаждения на закономерности роста, изменения состава и свойств пленок нитрида кремния;
— положение об определяющем влиянии на состав пленок относительных концентраций в газовой фазе атомарного азота и кремнийсодер-жащих радикалов;
— результаты теоретических расчетов, иллюстрирующих влияние концентрации электронов в плазме, на содержание кремнийс о держащих частиц в газовой среде.
Апробация работы. Основные результаты работы были доложены на:
— международной конференции «EURO CVD 8», г. Глазго (Шотландия), 1992 г.;
— IV Всероссийской конференции по прикладной кристаллохимии, Санкт-Петербург, 1993 г.;
— Всесоюзном НТ семинаре «Низкотемпературные технологические процессы в электронике», Ижевск, 1990 г.
Публикации. По теме диссертации опубликовано 5 статей и тезисы 2-х докладов.
Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, пяти разделов, заключения, выводов, списка использованных источников и.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.
1. Разработаны конструкции и созданы экспериментальные установки, предназначенные для изучения процессов плазмохимического осаждения в системах SiH4-N2-(Ar, Не) пленок нитрида кремния в реакторах с удаленной плазмой при использовании как индуктивного, так и емкостного методов возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давления.
2. Проведенное методом оптической эмиссионной спектроскопии исследование состава и характеристик плазмы с индуктивным способом возбуждения ВЧ разряда позволило установить, что:
— в чисто азотном ВЧ разряде пониженного давления, используемом в качестве источника активных частиц при осаждении пленок нитрида кремния в установках удаленной плазмой, доказано образование и транспорт атомарного азота в зону осаждениянаиболее вероятным механизмом его образования является предиссоциация в возбужденных электронных состояниях С3Пи или D3SU+;
— в системе N2-Ar вследствие близости электронных метастабильных уровней аргона и колебательных уровней состояния СП, молекулы N2, неупругие столкновения частиц друг с другом увеличивают вероятность процесса предиссоциации молекулярного азота из состояния С Пи (с участием С Пи), что приводит к образованию атомов азота в S и D состоянияхпоэтому добавки аргона в область инициирования ВЧ разряда приводят к росту в газовой фазе концентрации атомарного азота;
— в системе SiH4-N2-Ar при активации плазмой образуются возбужденные радикалы Si* и SiH± исходный силан непосредственно не участвует в росте слоев SiNxHy, а радикалы SiH гомогенно реагируют с атомарным водородом и/или другими силановыми радикаламискорость процесса осаждения слоев, вероятно, определяется концентрацией радикалов Si или/и SiH2 или/и Sif Ь. |.
3. Впервые доказано, что отношение N/Si в осажденных слоях определяется отношением N/SiHn (п<4) в плазменной средепри избытке атомарного азота азот может входить в состав пленок в виде амидои имидогрупп.
4. Впервые проведенный детальный анализ физико-химических закономерностей процесса штазмохимического осаждения пленок нитрида кремния в установке с удаленной плазмой при использовании индуктивного метода возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давления показал, что:
— в исследуемых условиях осаждение слоев SiNxNy лимитируется доставкой активных частиц, участвующих в образовании слоев, в зону ростапричем скорость осаждения может быть ограничена либо доставкой силановых радикалов, .либо атомарного азота;
— гомогенное взаимодействие между силаном и силановыми радикалами существенно влияет на скорость осаждения кленок;
— концентрация электронов в плазме определяет характер зависимости Voc от расхода силана.
4. В результате исследования методом масс-спектрометрии состава газовой среды в системе S1H4-N2 в установке с удаленной плазмой при использовании емкостного метода возбуждения тлеющего ВЧ разряда пониженного давления установлено:
— в обычных режимах осаждения около 60−80% силана диссоциирует при активации плазмой, причем степень диссоциации SiH4 падает с ростом PsiH4 и общего давления в реакторе;
— при диссоциации силана в плазме возникают радикалы S1H2, гомогенное взаимодействие которых с молекулами S1H4 способствует образованию молекул Si2H6.
5. Проведен теоретический анализ влияния концентрации электронов в плазме на относительное содержание разных типов силановых радикалов SiHn (п=0−3). При низких мощностях разряда концентрация электронов в плазме мала, поэтому их взаимодействия с продуктами диссоциации силана незначительны. В этих условиях в газовой среде преобладают радикалы.
S1H2 и S1H3, концентрация которых определяет характер зависимости Voc от WB4. Высокие мощности разряда способствуют увеличению скорости вторичных реакций электронов с радикалами SiHn (п=1−3), что приводит к более «глубокой» диссоциации силана и к доминированию в плазме радикалов SiH и Si, т. е. к изменению механизма роста.
6. Природа и концентрация поступающих к поверхности растущей пленки радикалов SiHn (п=0−3) определяют содержание связанного с кремнием водорода, а также координацию кремния по водороду. Поверхностные процессы, зависящие от плотности потока энергии, поступающей к подложке, также влияют на величину концентрации водорода и характер его связей с азотом в слоях нитрида кремния.
7.
Введение
гелия в систему способствует росту отношения N/Si в осажденных слоях. Несмотря на то, что детальный механизм воздействия гелия на азотную плазму неизвестен, его влияние эквивалентно действию аргона. Поэтому можно полагать, что происходит усиление диссоциации молекулярного азота, приводящее к росту концентрации атомарного азота.
8. Анализ совокупности полученных результатов позволяет сделать вывод о том, что образование пленок SiNxHy происходит в результате гетерогенных реакций на поверхности растущего слоя из атомарного азота и сила-новых радикалов SiHn (п<4).
9. Впервые показано, что вне зависимости от принятого метода возбуждения тлеющего ВЧ разряда (индуктивный или емкостной), и, соответственно, характера образования и пространственного распределения компонентов плазмы, основные закономерности реакций осаждения плазмохимического нитрида кремния существенно не изменяются.
Список литературы
- Veprek S. 11 Current ToP. Mater. Sci., ed. by E.Kaldis. Amsterdam, 1980. V.4. P. 151−236.
- Longeway P.A. // Semiconductors and Semimetals. 1984. V.21A. P. 179−193.
- Mito H., Sekiguchi A. // J. Vac. Sci. Technol. 1986. V. A4. N 3. P. 475 479.
- Swan R.G.G., Mehta R.R. Gauge T.P. // J. Electrochem. Soc. 1967. V.114. P.713.
- Sterling H.F., Warren R.W. // Solid State Technol. 1965. V.8. N 1. P. 33−37.
- Nguyen S.V. //J. Vac. Sci. Technol. B. 1986. V.4. N 5. P. 1159−1167.
- Hess D.W. // J. Vac. Sci. Technol. 1984. V. A2. N 2. P. 244−252.
- Fujita S., Zhou N-S., Toyoshima H. et al. // Int. ElectroN Dev. Meet., San-Francisco, Calif., Dec. 9−12, 1984, TechN Dig., New-York. 1984. N 4. P.630−633.
- Shizuo F., Akio S. // J. Electrochem. Soc. 1988. V.135. N 10. P. 25 662 571.
- Немец B.M., Петров А. А., Соловьев А. А. Спектральный анализ неорганических газов. Л.: Химия, 1988. 240 с.
- Герцберг. Электронные спектры и строение многоатомных молекул. М.: Мир, 1969.
- Chaussat С., Bustarret Е., Bruyere J.C., Grolfau R. // Physica В. 1985. V.129. N. 1−3. P. 215−219.
- Ojha S.M. U Physics of thin films. 1982. V.12. P. 237−296.
- Reinberg A.R. I I Abstr. 6, P.19. The Electrochem. Soc. Ext. Abstr. Spring Meeting, San Francisco, California, May 12−17, 1974, US. Pat 3, 757, 733.
- Rosier R.S. Benzing W.C., Baldo J. // Solid State Technol. 1976. V.9. P. 45−50.
- Sinha A.K. et. al. // J. Electrochem. Soc. 1978. V.125. N 4. P. 601−608.
- Claassen W.A.P., Valkenburg W. G J.N, Habraken F.H.P.M., Tamminga Y. //J. Electrochem. Soc. 1983. V.130. N 12. P. 2419−2423.
- BlaauwC, //J. Electrochem. Soc. 1984. V. 131. N 5. P. 1114−1118.
- Maeda M., Nakamura H. // J. Appl. Phys. 1985. V.58. N 1. P.484−489.
- Zhou N-S., Fujita S., Sasaki A. // Journal of Electronic Materials. 1985. V.14. N 1. P.55−72.
- Shimozuma M., Kitamori K., Ohno H. et al. // Journal of Electronic Materials. 1985. V.14. N 5. P.573−586.
- Lucovsky G., Tsu D.V., Rudder R.A., Markunas R.L. // Thin Film Process II, Chapt. IV-2. Ed. by J.L.Vassen, W.Kem. Formation of Inorganic Films. London: Academic, 1991. P.565−619.
- Doering E. Insulating Films of Semiconductors. // Ed. by M. Schults, G. Pensl. Berlin: Springer, 1981.P.208.
- Cotler T.J., Chappie-Sokol J. // J. Electrochem. Soc. 1993. V.140. N 7. P.2071−2075.
- Piccirillo A., Gobbi A.L. // J. Electrochem. Soc. 1990. V.137. N 12. P.3910−3917.
- Lee S., Gopinath A. // J. Vac. Sci. Technol. 1990. V. B8. N 3. P.402−406.
- Watanabe H., Katon K., Imagi S. // Thin Solid Films. 1986. V. 136. N 1. P.77−83.
- Matsuo S. // Extended. Abst. Let. of the 18th Conference on Solid State Devices and Materials, Kobe, 1984. P.459−462.
- Tom Wu Т.Н., Rosier R.S. // Solid State Technol. 1992. May. P.65−72.
- Sung Y.K. // Proc. Int. IoN Eng. Congr., Kyoto, 12−16 Sept., S.I.S.A. 1983. V.2. P.1341−1350.
- Lowe A.J., Powell M.J., Elliott S.R. // J. Appl. Phys. 1986. V.59. N 4. P.1251−1258.
- Nguyen V.S., Burton S., Pan P. // J. Electrochem. Soc. 1984. V.131. N 10. P.2348−2353.
- Osenbach J.W., Knolle W.R., Elia A. // J.Electrochem. Soc. 1989. V.136. N ll.P.3409−3414.
- Ling C.H., Kwok C.Y., Prasa D.K. // Phys. Stat. Sol. (a). 1984. V.84. P. kl-k4.
- Nishibayashi Y., Imura Т., Osaka Y. // Journal of Non-Crystalline Solids. 1985. V.77−78. P.941−944.
- Smith D.L., Alimonda A.S., von Pressing F. J // J. Vac. Sci. Technol. B. 1990. V. 38. N3. P.551−557.
- Smith D.L., Alimonda A.S., Chen C.-C, et al. // J. Electrochem. Soc. 1990. V.137.N2. P.614−623.
- Baker S.D., Milne W.I., Robertson P.A. // Appl. Phys. 1988. V. A 46. P.243−248.
- Richard P.D., Markunas R.J., Lucovsky G. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1985. V. A3. N3. P.867−872.
- Lucovsky G. et. al. // J. Vac. Sci. Technol. 1986. V. A4. pt.l. N 3. P. 681−694.
- Lucovsky G., Tsu D.V. // J. Cryst. Growth. 1988. V.86. P. 804−814.
- Gereth R., Scherber W. // J. Electrochem. Soc. 1972. V. l 19. N 9. P. 1248−1254.
- Richard P.D., Tsu D.V., Lucovsky G., Lin S.Y. // Journal of Non-Crystalline Solids. 1985. V.77−78. P.925−928.
- Bardos L., Musil J. // Czech. J. Phys. 1985. V. B 35. N 12. P. 1437−1444.
- Bardos L., Musil J., Taras P. // J. Phys D: Appl. Phys. 1982. V. l5. N 7. P. L79−82.
- Alexandrov S. E,, Kovalgin A.Y. // J. Phys. Ill France. 1992. V.2. N 8. P. 1421−1429.
- Kampas F.J. // Semiconductors and Semimetals. 1984. V.21 A. P. 153 177
- Robertson R., Gallagher A. // J. Appl. Phys. 1986. V.59. N 10. P.3402−3411
- Roth R.M., Spears K.G., Wong G. // Appl. Phys. Lett. 1984. V.45. N 1. P.28−30.
- Matsumi Y., Hayashi Т., Yoshikawa H., Komiya S. // J. Vac. Sci. Technol. 1986. V. A 4. N 3. P.1786−1790.
- Schmitt J.P.M. // J. Non-Cryst. Solids. 1983. V.59/60. P.649−653.
- Schmitt J.P.M., Gressier P., Krishan M. et al. // Chem. Phys. 1984. V.84. P.281−285.
- Bauer W., Becker K.H., Duren R. et al. // Chem. Phys. Lett. 1984. V.108. P.560−563.
- Jasinski J.M., Whittaker E.A., Bjorklund G.C. et al. //Appl. Phys. Lett. 1984. V.44. N 12. P.1155−1157.55., Hata N, Matsuda A., Tanaka K. // Proc. Int’I Ion Engeneering Congress ISIAI'83 and IPAT'83, Kyoto. 1983. P.1457−1462.
- Hirose M. // Semiconductors and Semimetals. 1984. V.21 A. P.9−39.
- Tsu D.V., Parsons G. N, Lucovsky G. // J. Vac. Sci. Technol. 1988. V. A 6. N3. P. 1849−1854.
- Bardos L., Musil J., Lubanski M. // Czech. J. Phys. 1984. V. В 34. P. 1242−1245.
- Lucovsky G., Tsu D.V. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. V. 5. P.2231.
- Perrin J., Delafosse E, // J. Phys. 1980. V. D 13. P.759−763.
- Kampas F.J., Grffith R.W. II J. Appl. Phys. 1981. V.52. N 3. P.1285−1288.
- Knights J.C., Schmitt J.P., Perrin J., Guelachivi G. // J. Chem. Phys. 1982. V.76.P.3414−3417.
- Betsncourt M., Boudjaader D., Chollet P. et al. // J. Chem. Phys. 1986. V.84. P.412−416.
- Dautremont-Smith W.G., Lopata J. // J. Vac. Sci. Technol. 1983. V. B 1. N 4. P.943−946.
- Milligan D.E., Jacox M.E. // J. Chem. Phys. 1970. V.52. P.2594−2597.
- Turban G., Catherine Y., Grolleau B. // Thin Solid Films. 1980. V.67. P.309−320.
- Breiland W.G., Coltrin M.E., Ho P. // Proceeding of SPIE The International Society for Optical Engineering. 1983. V.385. P.146−151.
- Hanabusa M., Kikuchi H. // Mat. Res. Soc. SymP. Proc. 1984. V.29. P.21−27.
- Dang-Nue M., Pierre G., Saint-Loup R. // Mol. Phys. 1974. V.28. P.447−451.
- Knights J.C., Schmitt J.P.M., Perrin J., Guelachvili G. // J. Chem. Phys.1982. V.76. P.3414−3417.
- Robertson R., Hils D., Chathman H., Gallagher A. // Appl. Phys. Lett.1983. V.43. N 6. P.544−546
- Bardos L., Musil J., Taras P. // Thin Solid Films. 1983. V.102. N 2. P.107−110.
- Smith D.L., Alimonda A.S., von Pressing F.J. //Symp. Proc. on Chem. Perspectives ofMicroel. Mater. 1989. V. 131.
- Samuelson G.M., Mar K.M. // J. Electrochem. Soc. 1982. V.129. N 8. P. 1773−1778.
- Yokoyama et. al. // J. Appl. Phys. 1980. V.51. N 10. P. 5470−5474.
- Schoenholtz J.E., Hess D.W. // Thin Solid Films. 1987. V.148. P. 285 291.
- Adams A.C. // Solid Stat. Technol. 1983. N 4. P. 135−139.
- Morimoto A., Isujimura Y., Kumeda M., Shimizu T. // Japanese Journal of Applied Physics. 1985. V.24. N 11. P.1394−1398.
- Mar K.M., Samuelson M. // Solid State Technol. 1984. N 4. P. 137−142.
- Lanford W.A., Rand M.J. // J. Appl. Phys. 1978. V.49. N 4. P. 24 732 477.
- Claassen W.A.P. et. al. // Thin Solid Films. 1985. V. 129. N 3−4. P. 239 247.
- Glaauw С. //J. Electrochem. Soc. 1984. V.131. N 5. P. 1114−1118.
- Claassen W.A.P., Valkenburg W.G.J.N, Willemsen M.F.C., v.d. Wijgert W.M. //J. Electrochem. Soc. 1985. V.132. N4. P. 893−898.
- Koyama K. et. al. // Plasma Processing, ed. J. Dielman, R.G.Frieser, G.S.Mathad. New York: Electrochem. Soc., 1982. P.478.
- DunH. et. al. //J. Electrochem. Soc. 1981. V.128. N 7. P. 1555−1563.
- Ishii Y., Aoki Т., Miyazawa S. // J. Vac. Sci. Technol. 1984. V.2. N 1. P. 49−53.
- Hashimoto A., Kobayashi M., Kamijoh T. et al // J. Electrochem. Soc.: Solid State Science and Technol. 1986. V. 133. N 7. P. 1464−1467.
- Nishibayashi Y., Imura Т., Osaka Y. et al // Japanese
- Nguyen V.S., Lanford W.A., Rieger A.L. // J. of Electrochem. Soc. 1986. V.133. N 5. P.970−974.
- Claassen W.A.P., v. d. Pol H.A.J.Th., Goemans A.H., Kuiper A.E.T. // J. Electrochem. Soc.: Solid State Science and Technol. 1986. V. 133. N 7. P. 1458−1464.
- Popova L.I., Antov B.Z., Shopov A.V. et al // Thin Solid Films. 1984. V. 122. P. 153−163.
- Bauer G.H., Bilger G. // Proc. Int. Ion Engineering Congress -ISIATX83&IPAT"83, Kyoto, 1983, V. 2. P. 829−834.
- Урывский Ю. И. Эллипс ометрия. Изд. Воронежского Ун-та, 1971. 130с.
- Пшеницын В.И., Абаев М. И., Лызлов Н. Ю. Эллипсометрия в физи ко-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986. 152 с.
- Микроскоп лазерный телевизионный ЛЭМ-ЗМ. Тип СЖМ0.384.000. Техническое описание и инструкция по эксплуатации.
- Раков А.В. Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структер. М.: Советское радио, 1975.
- Угай Я.А. Практикум по химии и технологии полупроводников. М.: Высшая школа, 1978. 192 с.
- Dreyfus R.W., Jasinski J.M., Walkup R.E., Selwyn G.S. //Pure and Appl. Chem. 1985. V.57. N 9. P.1265−1276.
- Felts J., Lopata E. // J.Vac.Sci.Technol.A. 1988. V.6. N 3. P. 2051−2053.
- Suzuki H., Nobata K. //JpN J. Appl. Phys. 1986. V. 25. N 10. P. 1589.
- Shernansky D.E., Broadfoot A.L. //J. Quant. Spectrosc. and Radiat. Transfer. 1971. V. 11. P. 1385.
- Bayes K.D., Kistiakowsky G.B. // J.Chem.Phys. 1960. V.32. N 4. P.992−1000.
- Carroll P.K., Mulliken R.S. // J. Chem. Phys. 1965. V. 43. N 7. P.2170−2179.
- Gartwright D.C. //Phys. Rev. A. 1977. V. 16. N 3. P. 1013−1040
- Скубенич B.B., Повч M.M, Запесочный И. П. Н Хим. вые. энергий. 1977. Т.Н. N2. с.116−120.
- Hess D.W., Graves D.B. Chemical Vapour Deposition Principles and Applications, //ed. by M.L.Hithman and K.F.JenseN London: Academic Press, 1993. Chapt 7.
- Хьюберг К.-П., Герцберг Г. Константы двухатомных молекул. М.: Мир, 1984. 366 с.
- Hebert G.R., Nicholls R.W. И J. Phys. В. 1969. V. 2. Ser. 2. P. 626−627.
- Matsumoto O. // Adv. Low-TemP. Plasm. Chem. Technol. Appl. 1984. V. l.P. 53−79.
- Parikh R.A., Hattangady S.V., Posthill J.V. et al. // MRS SymP. Proc. 1988. V. 102. P. 275−280.
- Александров С.Е., Ковалгин А. Ю., Рыбников А. Ю. // ЖПХ. 1993. Т. 66. Вып. 12. стр. 2678−2686.
- Moustakas T.D. // Semiconductors and Semimetals. 1984. V. 21 A. P. 55.
- Радциг А.А. Физические величины: Справочник /Ред. И. С. Григорьев и др. М.: Энергоатомиздат, 1991. С. 794−859.
- Alexandrov S.E., Hitchman M.L., Shamlian S. // J. de Physique IV suppl. J. de Physique II. 1993. V. 3. P. 233−240.
- Katon K., Wasui M., Watanabe H. // JapaN J. Appl. Phys. 1983. V. 22. N 5. P. 321−323.
- Venugopalan M. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. 1987. V. В 23. N 4. P. 405.
- Scheller G.R., Gottscho R.A., Graves D.B., Intrator T. // J. Appl. Phys. 1988. V. 64. No. 2. P. 598−606.
- Александров C.E., Ковалгин А. Ю. // ЖПХ. 1993. Т. 66. Вып. 12. стр. 2687−2694.
- Александров С.Е., Ковалгин А. Ю. // принято к публикации в ЖПХ в 1995 г.
- Закгейм А.Ю. Введение в моделирование химико-технологических процессов, М.: Химия, 1982, 288 С.
- Perrin J., Schmitt J.P.M. // Chem. Phys. 1982. V. 67. P. 167−176.
- Perkins G.G.A., Austin E.R., Lampe F.W. //J. Am. Chem. Soc. 1979. V. 101. P. 1109.
- Kuiper A.E.T., Habraken F.H.P.M., Oostrom A.V., Tamminga Y. // Philips J. Res. 1983. V. 38. P.l.
- Perrin J., Schmitt J.P.M., De Rosny G. // Chem. Phys. 1982. V. 73. P. 383−394.
- Scott B.A. // Semiconductors and Semimetals. 1984. V. 21A. P. 123.
- Gupta M., Rathi V.K., Thangaraj R. et. al. // Thin Solid Films. 1991. V.204. P. 77.
- SchalchD., Scharmann A., WolfratR. //Thin Solid Films. 1985. V. 124. N 3−4. P.301−308.
- Claasen W.A.P., Valkenburg W.G.J.N, Willemsen M.F.C. et al. //J. Electrochem. Soc. 1985. V. 132. N 4. P. 893−898.
- Bruce R.H. // J. Appl. Phys. 1981. V. 52. N 9. P. 7064−7069.
- Александров С. E., Волков В. В., Крякин В. А. и др. // Тез. I Всееоюз. конф. «Актуальн. проблемы технол. композиц. материалов и радио-комп. в микроэлектр. информ. сист.» Ялта, 1990. С. 95.
- Kamada Т., Hirao Т., Kitagawa М. et al. //Appl. Surf. Sci. 1988. V.33/34. P. 1094−1100. 133. Александров C.E., Хитчман М. Л., Ковалгин А. Ю. // ЖПХ. 1994. Т. 67. Вып. 1. стр. 140−145.
- Feltz J., Lopata Е. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. V. 6. N 3. P. 20 512 053.
- Setser D. W, Reactive intermediates in the gas phase. New York: Academic, 1979. P. 153.