Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΡ‹, курсовыС, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅...
Брочная ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² ΡƒΡ‡Ρ‘Π±Π΅

ИсслСдованиС ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ растровой элСктронной микроскопии

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Для количСствСнного опрСдСлСния элСмСнтного состава ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ энСргодиспСрсионный ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ°Π½Π°Π»ΠΈΠ· с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ энСргодиспСрсионной приставки JEOL JED 2300. ΠŸΡ€Π΅Π΄Π΅Π» дСтСктирования ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… энСргиях (5βˆ’20 ΠΊΠ’) составил ~0,5 Π°Ρ‚. %, ошибка измСрСния ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ±2%. Π£ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… осущСствляли с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° Analysis Station, JED… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ИсслСдованиС ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ растровой элСктронной микроскопии (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ИсслСдованиС ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ элСктронном микроскопС JEOL JSM-6390LA. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ микроскопа, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΠ»ΠΈΡΡŒ с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° SEM control program, Version 8.29.

Для провСдСния Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅. ΠŸΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΡ€Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π² Π°Π³Π°Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ступкС ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ Ρ€ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ слоСм Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΡƒΡŽ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ. Π’Π°Π±Π»Π΅Ρ‚ΠΊΠΈ исслСдуСмых ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ плоского ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π° с Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½Π΅ΠΉ Π²Ρ‹Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ. Условия съСмки 20 ΠΊV, SEI, BES, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ состояниС 10 ΠΌΠΌ. БСрия ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π° Π²ΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… элСктронах.

ЭнСргодиспСрсионный рСнтгСновский ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ°Π½Π°Π»ΠΈΠ·

Для количСствСнного опрСдСлСния элСмСнтного состава ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ энСргодиспСрсионный ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ°Π½Π°Π»ΠΈΠ· с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ энСргодиспСрсионной приставки JEOL JED 2300. ΠŸΡ€Π΅Π΄Π΅Π» дСтСктирования ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… энСргиях (5−20 ΠΊΠ’) составил ~0,5 Π°Ρ‚. %, ошибка измСрСния ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ±2%. Π£ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… осущСствляли с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° Analysis Station, JED series, Version 3.7. РСнтгСновский ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ΅ ZAF standardless. Для опрСдСлСния Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ химичСского состава Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π±Ρ‹Π»ΠΈ сняты изобраТСния Π² Ρ€Π΅Π½Ρ‚гСновском ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ сканировании ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. ИсслСдования ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ структурного ΠΈ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π˜Π½ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡƒΡ‚Π° Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΈ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π»Π° Π£Ρ€Πž РАН совмСстно с ΠΊΠ°Π½Π΄. Ρ…ΠΈΠΌ. Π½Π°ΡƒΠΊ И. Π’. Π’Π°Ρ€Π°ΠΊΠΈΠ½ΠΎΠΉ.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ