Обработка результатов измерений

Обработку результатов измерений выполняют согласно (8) и ГОСТ 8.207−76.

По результатам измерений в каждом направлении (I-I и II-II) вычисляют средние значения параметра отклонения от плоскостности:

и (5).

Из полученных в п. 9.1. результатов исключают систематическую погрешность интерферометра, указанную в свидетельстве о поверке прибора.

и (6).

Большая по абсолютному значению величина параметров или указывает направление I-I или II-II, результаты измерений в котором характеризуют отклонение от плоскостности контролируемой поверхности.

Для измерений параметров отклонения от плоскостности в направлении I—I вв.ычисляют среднее квадратическое отклонение результата:

(7).

Вычисляют случайную погрешность I-I результата измерений в направлении I-I.

(8).

где t = 2,26 — коэффициент Стьюдента при п =10 и р = 0,9.

Записывают результат измерения отклонения от плоскостности N контролируемого объекта.

(9).

или в микрометрах:

(10).

где — длина волны источника света.

Если диаметр D2 контролируемой поверхности меньше диаметра D1 образцовой пластины интерферометра, а также, если длина волны 1 источника света, используемого при поверке интерферометра, не равна длине волны 2 источника света, использованного при эксплуатации прибора, следует при введении поправки в результаты измерений приводить систематическую погрешность к условиям измерений в соответствии с п. 10.1 и п. 10.2.

При измерениях объектов с малыми отклонениями от плоскостности (порядка 0,1 — 0,2 полосы) следует уточнить случайную погрешность в соответствии с п. 10.3.