Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий

Диссертация: Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Автор выражает благодарность за сотрудничество, помощь и обсуждение при выполнении этой работы: профессорско-преподавательскому составу кафедры «Электронные технологии» и МГТУ им. Н. Э. Баумана и лично проф. Е. А. Деулину, проф. JI. И. Волчкевичу, проф. Ю: В. Панфилову, проф. А. Г. Колесникову, проф. Г. П. Павлихину, а также А. В. Русанову, В. В'. Савранскому, П. И. Коновалову, И. П… Читать ещё >

Содержание

  • Глава 1. Анализ проблем обеспечения требований вакуумной среды в сверхвысоковакуумном оборудовании производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
    • 1. 1. Анализ проблем и перспектив развития электронной техники, технологии и технологического оборудования
      • 1. 1. 1. Анализ тенденций развития электронной и оптоэлектронной техники
      • 1. 1. 2. Анализ проблем развития технологий и технологического оборудования электронной и оптоэлектронной техники
    • 1. 2. Методы обеспечения требований качества вакуумной среды, предъявляемых к материалам внутрикамерных механизмов сверхвысоковакуумного технологического оборудования
    • 1. 3. Краткий обзор основных результатов экспериментальных и теоретических исследований трибодесорбции
    • 1. 4. Выбор материалов для исследования
  • Цель и задачи исследования
  • Глава 2. Специфика трибодесорбции как трибоэмиссионного явления
    • 2. 1. Место трибодесорбции в системе трибоэмиссионных явлений
      • 2. 1. 1. Обобщенная классификация трибоэмиссионных явлений
      • 2. 1. 2. Единство и взаимосвязь трибоэмиссионных явлений.'
    • 2. 2. Специфика активации физико-химических процессов на поверхности и в объеме материалов трибологических сопряжений
      • 2. 2. 1. Специфика трибологических сопряжений
      • 2. 2. 2. Термическая активация
      • 2. 2. 3. Атермическая и структурная активация
      • 2. 2. 4. Микротрибоплазма
  • Выводы к главе 2
  • Глава 3. Теоретические основы трибодесорбционных процессов в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения сверхвысоковакуумных механических систем оборудования производства электронной техники
    • 3. 1. Общие положения. Компоненты потока трибодесорбции
    • 3. 2. Анализ влияния фрикционного воздействия на кинетику десорбции и адсорбции газов на поверхности зоны трения
      • 3. 2. 1. Общая система уравнений массопереноса газа на поверхностях в зоне трения и её решение
      • 3. 2. 2. Анализ механизмов воздействия трения на кинетику сорбционных процессов в зоне контакта
        • 3. 2. 2. 1. Анализ влияния фрикционного воздействия на изменение времени нахождения молекул в адсорбированном состоянии
      • 3. 212. 2. Анализ влияния фрикционного воздействия на изменение концентрации, адсорбированных атомов и газообмен между объемом и поверхностью твердого тела
    • 3. 3. Механизмы воздействия трения на диффузию и транспорт газов в объеме зоны фрикционного воздействия
      • 3. 3. 1. Анализ факторов фрикционного воздействия, влияющих на диффузию и транспорт газов в зоне трения
      • 3. 3. 2. Влияние трения на диффузию газов в зоне фрикционного воздействия
        • 3. 3. 2. 1. Влияние механических напряжений на диффузию газов в зоне трения
        • 3. 3. 2. 2. Сегрегация растворенных атомов газов на дефектах структуры в зоне трения
        • 3. 3. 2. 3. Влияние ловушек на диффузию и растворимость газов в зоне трения
        • 3. 3. 2. 4. Моделирование диффузии газов в зоне фрикционного воздействия
      • 3. 3. 3. Влияние фазовых превращений материалов в зоне трения на кинетику диффузии и растворимость газов
      • 3. 3. 4. Взаимодействие атомов газов с подвижными дислокациями
    • 3. 4. Анализ механизмов эмиссии включенных (окклюдированных), химически несвязанных газов при фрикционном воздействии
    • 3. 5. Анализ механохимических процессов генерации газов при трении
    • 3. 6. Анализ влияния микротрибоплазмы на трибодесорбцию газов
  • Выводьък главе 3
  • Глава 4. Теоретические основы измерения и экспериментального исследования трибодесорбции
    • 4. 1. Теоретические основы и методы экспериментальных исследований трибодесорбции газов в миниатюрных узлах трения СВВ механических систем
      • 4. 1. 1. Количественные показатели трибодесорбции
      • 4. 1. 2. Методика измерения потока трибодесорбции газов
      • 4. 1. 3. Анализ физических ограничений динамического диапазона измерения-нестационарной трибодесорбции газов
        • 4. 1. 3. 1. Теоретические основы моделирования динамики давления газа в вакуумной системе
        • 4. 1. 3. 2. Общее решение для системы, имеющей источники стимулированной адсорбции и десорбции
        • 4. 1. 3. 3. Решение на основе интегральных преобразований
        • 4. 1. 3. 4. Упрощенные модели для частных случаев функции газовыделения: моделирование газовыделения прямоугольными импульсами (меандр)
        • 4. 1. 3. 5. Упрощенные модели для частных случаев функции газовыделения: моделирование газовыделения экспоненциальными функциями
        • 4. 1. 3. 6. Экспериментальная проверка упрощенной модели
      • 4. 1. 4. Анализ влияния адсорбции и реадсорбции газов на результаты измерения потоков трибодесорбции
        • 4. 1. 4. 1. Расчет количества молекул, адсорбированных на поверхностях вакуумной системы (реадсорбция)
        • 4. 1. 4. 2. Расчет количества молекул, реадсорбированных на поверхности зоны трения
      • 4. 1. 5. Оценка предела измерения трибодесорбции
      • 4. 1. 6. Погрешность измерения
    • 4. 2. Обзор и анализ существующих методов и оборудования экспериментальных исследований трибодесорбции газов
    • 4. 3. Разработка нового оборудования для экспериментальных исследований трибодесорбции газов
      • 4. 3. 1. Сверхвысоковакуумный трибометр для исследования трибодесорбции материалов и тонкопленочных покрытий
      • 4. 3. 2. Вакуумный стенд для исследования приводов и изучения динамики давления при газовыделении из высших кинематических пар
    • 4. 4. Подготовка образцов
    • 4. 5. Методы исследования поверхности материалов и покрытий
  • Выводы к главе 4
  • Глава 5. Экспериментальное исследование спектрального состава, кинетики и динамики трибодесорбции с поверхностей некоторых металлов и металлических сплавов (Ni, Си, Ti, Та, коррозионно-стойкая сталь)
    • 5. 1. Спектральный состав газов, десорбирующихся при трении
      • 5. 1. 1. Никель
      • 5. 1. 2. Бескислородная медь высокой проводимости
      • 5. 1. 3. Тантал
      • 5. 1. 4. Титан
      • 5. 1. 5. Коррозионно-стойкая сталь
      • 5. 1. 6. Анализ результатов
      • 5. 1. 7. Основные закономерности поведения трибодесорбции
    • 5. 2. Прямое исследование источников трибодесорбции при помощи метода меченых атомов"
    • 5. 3. Эволюция трибодесорбции и ее взаимосвязь с условиями трения, деформацией и повреждаемостью некоторых материалов в зоне трения
      • 5. 3. 1. Общие сценарии эволюции трибодесорбции
      • 5. 3. 2. Никель
      • 5. 3. 3. Коррозионно-стойкая сталь
    • 5. 4. Зависимость кинетических параметров трибодесорбции от исходной концентрации газов
  • Выводы к главе 5
  • Глава 6. Основные характеристики и источники десорбции газов при трении вулканизатов синтетических каучуков
    • 6. 1. Спектральный состав трибодесорбирующихся газов
      • 6. 1. 1. Этилен-пропилен-диеновый каучук (СКЭПТ, EPDM)
      • 6. 1. 2. Бутадиен-акрилонитрильный каучук (СКН, NBR 8002)
      • 6. 1. 3. Насыщенный (наводороженный) бутадиен-акрилонитрильный каучук (HNBR)
      • 6. 1. 4. Термопластичный полиэфируретановый каучук (СКУ, TPU)
      • 6. 1. 5. Композиция полипропилена, этилен-пропилен-диенового и хлоробутилового каучука Vegaprene®
      • 6. 1. 6. Масс-спектрометрические характеристики термодесорбции. Анализ результатов
    • 6. 2. Взаимосвязь трибодесорбции газов с трением, износом и разрушением вулканизатов синтетических каучуков
  • Выводы к главе 6
  • Глава 7. Экспериментальное исследование спектрального состава, кинетики и динамики трибодесорбции тонкопленочных трибологических покрытий
    • 7. 1. Покрытия меди
      • 7. 1. 1. ТПП меди на кремнии (Cu/Si)
      • 7. 1. 2. ТПП меди на коррозионно-стойкой стали (Cii/ss)
      • 7. 1. 3. Нанокластерное ТПП меди на кремнии (nano-Cu/Si)
    • 7. 2. Керамические покрытия
      • 7. 2. 1. ТПП нитрид титана, легированный серебром/ кремний (TiN:Ag/Si)
      • 7. 2. 2. Двухслойное ТПП карбид вольфрама/нитрид титана/кремний (WC/TiN/Si)
      • 7. 2. 3. Двухслойное ТПП карбонитрид бора/титан/кремний (BCN/Ti/Si)
    • 7. 3. Аморфный алмазоподобный углерод (АПУ)
    • 7. 4. Основные закономерности динамики трибодесорбции из ТПП (на примере АПУ и двухслойного ТПП карбонитрид бора/титан/кремний)
      • 7. 4. 1. ТПП аморфного алмазоподобного углерода
      • 7. 4. 2. ТПП карбонитрид бора/титан/кремний (BCN/Ti)
  • Выводы к главе 7
  • Глава 8. Основы моделирования трибодесорбционных явлений в микротрибоконтакте
    • 8. 1. Подходы к моделированию трибодесорбционных явлений в микротрибоконтакте
    • 8. 2. Элементарная феноменологическая модель трибодесорбции
    • 8. 3. Континуальная модель трибодесорбции
    • 8. 4. Дискретная модель трибодесорбции
  • Выводы к главе 8
  • Глава 9. Прикладные аспекты практического использования результатов исследования трибодесорбционных явлений
    • 9. 1. Систематизация методов управления трибодесорбционными процессами
    • 9. 2. Повышение надёжности работы пар трения в вакууме за счёт активного диагностирования повреждения материалов и покрытий в зоне трения
    • 9. 3. Трибодесорбционный метод определения содержания газов в материалах и покрытиях
  • Выводы к главе 9

Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Необходимость глубокого исследования основных закономерностей, источников и физико-химических механизмов трибодесорбционных явлений возникла как следствие развития прикладной вакуумной технологии, в частности, в результате исследования производительности и надежности вакуумного технологического оборудования. В современном технологическом сверхвысокова-куумном оборудовании, относящемся как области производства современных электронных и оптоэлектронных приборов, так и совершенно новых нанотех-нологических устройств, присутствует значительное количество механизмов, предназначенных для выполнения технологических операций, транспортирования изделий между технологическими позициями, различных манипуляций, позиционирования и т. п. При этом надежность технологических систем в расширенном понимании зависит не только от надежности функционирования, но и от параметрической надежности, в том числе и такого важного параметра для сверхвысоковакуумных систем, как чистота вакуумной среды.

Совершенствование вакуумных технологий привело к значительному прогрессу как в создании вакуумных систем со сверхнизким уровнем газовыделения и газонатекания, так и высокопроизводительных систем откачки. В то же время, практически не уделялось внимания проблеме генерации газов из пар трения механизмов и узлов, расположенных внутри вакуумного объема. В составе газов, образующихся в результате функционирования механизмов, присутствуют химически активные газы: монои двуокись углерода, оксиды и гидриды серы, метан и другие алифатические соединения, концентрации которых в технологическом оборудовании жестко лимитированы техническими требованиями. Проблема генерации газов из пар трения, т. е. проблема трибодесорбции, постепенно по мере решения других проблем вышла на одно из лидирующих мест при разработке и эксплуатации сверхвысоковакуумного оборудования, поскольку, как показал проведенный в данной работе анализ отечественного и зарубежного опыта, именно загрязнение изделий внутри технологической сверх-высоковакуумной системы на стадии их транспортирования газами и частицами, источником которых являются внутрикамерные механизмы, сдерживает интенсивное развитие технологического оборудования производства электронной техники. Учитывая опережающий рост электронной промышленности на мировом уровне в последние годы и значимость нанотех-нологий в современном развитом обществе, технологический прорыв, связанный с решением этой проблемы, может обеспечить значительные экономические и технологические преимущества, а также способствовать росту влияния страны на мировой арене. По данным руководителя секции «Инновационного развития и экономики» Межведомственного научного совета по трибологии РАН В. И. Новикова [151], объем рынка трибологических технологий для сверхвысоковакуумных транспортных систем в ближайшие пять лет составит 2 млрд. Долларов США, а страна, обладающая этими технологиями, получит доступ к лидерству в наноэлектронике.

Однако, несмотря на важность поставленной проблемы, исследования трибодесорбционных явлений весьма разрознены. В настоящее время отсутствует даже единая терминология и методология исследования этого явления, что свидетельствует о «нежном» возрасте науки о трибодесорбции, а различные аспекты трибодесорбционных явлений изучаются весьма не систематически в различных отраслях науки, в том числе физикохимией твердого тела, наукой о полимерах, наукой о поверхности, физико-химической механикой, вакуумной наукой и др. Таким образом, глубокое и систематическое исследование трибодесорбционных явлений из материалов различной химической природы, призванное выявить источники и основные механизмы этих явлений, а также создать научные основы управления трибодесорбционными процессами, является весьма актуальной задачей.

Целью данной работы является разработка научных основ управления трибодесорбционными процессами в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения механических систем сверхвысоковакуумного технологического оборудования электронной техники и нанотехнологий на основе теоретических и систематических экспериментальных исследований.

В соответствии с поставленной целью сформулированы основные задачи диссертации:

1) определение места и роли трибодесорбции в системе трибо-и механоактивационных явлений с учетом синергии и многостадийности их проявления,.

2) определение основных механизмов активации трибодесорбции для материалов различной физико-химической природы (металлов, неметаллов, полимеров, покрытий), характерных для современных и перспективных миниатюрных и слабонагруженных узлов трения СВВ механических систем оборудования производства электронной техники;

3) разработка теоретической модели трибодесорбционных явлений в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения механизмов СВВ технологического оборудования с учетом термических, атермических и структурных механизмов активации трибодесорбции;

4) создание научных основ, методов и оборудования для экспериментальных исследований трибодесорбционных явлений в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения прецизионных СВВ механических систем;

5) систематическое экспериментальное исследование трибодесорбции газов из новых материалов и покрытий различной природы, перспективных для использования в миниатюрных узлах трения механических систем нового поколения;

6) разработка моделей и методов расчета параметров трибодесорбции различных материалов и покрытий для практического инженерного использования;

7) разработка практических методов управления трибодесорбционными процессами и повышение эффективности системы вакуумной диагностики на основе обнаруженных закономерностей трибодесорбции.

Научная новизна диссертации состоит в том, что в ней систематизированы и обобщены материалы выполненных автором разработок технических средств и методик исследования трибодесорбции из новых и перспективных материалов и покрытий миниатюрных и слабонагруженных узлов трения внут-рикамерных механизмов сверхвысоковакуумных технологических систем производства изделий электронной техники и нанотехнологий, а также результаты комплексных теоретических и экспериментальных исследований процессов выделения газов при трении металлических материалов, вулканизатов синтетических каучуков и тонкопленочных покрытий, позволившие выявить ряд новых явлений и существенно расширить понимание механизмов трибодесорбции в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения, сформулировать и обосновать адекватные расчетные модели и предложения по регулированию трибодесорбционных явлений, а также их использованию для in situ диагностики состояния материалов и покрытий в зоне трения и для анализа содержания газов в материалах и покрытиях.

К принципиально новым результатам относятся:

1. физически обоснованные методы и комплекс экспериментальных средств для количественного измерения и исследования трибодесорбции газов из материалов и покрытий в вакууме при трении в миллиньютоновом диапазоне нормальных нагрузок;

2. теоретическая модель трибодесорбции газов из слабонагруженных и миниатюрных узлов трения внутрикамерных механизмов на основе нетермической и структурной активации трибодесорбции газов;

3. результаты экспериментальных исследований по спектральному составу, кинетике и динамике трибодесорбции газов в сверхвысоком вакууме из металлов различной кристаллической структуры, вулканизатов синтетических каучуков и тонкопленочных покрытий различной химической природы и структуры в миллиньютоновом диапазоне нормальных нагрузок;

4. экспериментально обнаруженная и теоретически обоснованная взаимосвязь между кинетикой трибодесорбции, интенсивностью процессов повреждаемости материала в зоне трения и содержанием свободно растворенных и окклюдированных газов в материале;

5. результаты и обобщающие выводы экспериментальных исследований влияния процессов повреждаемости материалов и покрытий на кинетику и интегральные характеристики трибодесорбции;

6. комплекс инженерных методик расчета кинетических и интегральных показателей трибодесорбции действующего и проектируемого оборудования, в том числе при использовании новых и перспективных материалов и покрытий;

7. методы и технические средства для анализа содержания газов в материалах и покрытиях на основеиспользования явлениятрибодесорбции;

8. мероприятия по повышению эффективности вакуумной" in situ диагностики технического состояния поверхностей трения внутрикамерных механизмов сверхвысоковакуумных технологических систем на основе использования полученных зависимостей по кинетике и поведению трибодесорбции.

На защиту выносятся:

1. методы расчетно-теоретического анализа трибодесорбции1 в слабона-груженных и миниатюрных узлах трения" внутрикамерных механизмов сверхвысоковакуумных технологических систем производства электронных приборов;

2. методики количественной оценки кинетических и интегральных показателей трибодесорбции газов по набору экспериментальных данных об изменении давления в вакуумной системе;

3. результаты комплексных экспериментальных исследований спектрального составакинетики идинамики трибодесорбции газов из металлических материалов, вулканизатов синтетических каучуков и тонкопленочных покрытий различной" структуры и химического составатехнические средства экспериментальных исследований;

4. методы регулированиятрибодесорбции^ в действующем и разрабатываемом оборудовании, методы определения содержания газов в материалах и покрытиях на основе явления трибодесорбции^ и методы повышения эффективности вакуумнойдиагностики технического состояния" поверхностей трения^ внутрикамерных механизмов. сверхвысоковакуумного технологического оборудования;

Научная* и практическая значимость диссертационной работы состоит в том, что:

1. получены расчетно-теоретические методы оценки показателей трибодесорбции из металлических материалов, вулканизатов синтетических каучуков и тонкопленочных покрытий действующего и проектируемого оборудования;

2. создана методика и технические средства для измерения количественных показателей трибодесорбции в сверхвысоком вакууме в миллиньютоновом диапазоне нормальных нагрузок;

3. определены основные механизмы и движущие силы трибодесорбционных процессов для металлических материалов различной кристаллической структуры и вулканизатов синтетических каучуков;

4. определена взаимосвязь повреждаемости материала с кинетикой и поведением трибодесорбции, что позволило разработать комплекс практически значимых методов определения содержания газов в материалах и диагностики технического состояния поверхностей трения внутрикамерных механизмов сверхвысоковакуумных механизмов;

5. созданы методика и технические средства для анализа содержания газов в материалах и покрытиях.

Результаты разработок внедрены в ООО «МЭЛЗ-ЭВП», в МГТУ им. Н. Э. Баумана, в компании «Текникер» (г. Эйбар, Испания) — метод и оборудование для измерения трибодесорбции газов из материалов и покрытий — система СА3иНУи в Национальном исследовательском совете Испании — метод и оборудование для анализа содержания газов в материалах и покрытиях — система ТпБез. Результаты также могут быть использованы на предприятиях электронной промышленности, например ОАО «НПО Геофизика-НВ», ФГУП НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха, ФГУП «НИИ Вакуумной Техники им. С.А. Векшинского», НТ-МДТ и других.

Личный вклад автора. Основная часть исследований в работе выполнена лично автором, в том числе: систематизация опубликованных данных о трибодесорбционных и трибоэмиссионных явлениях, разработка теоретических основ трибодесорбционных явлений, разработка методических основ и технических средств экспериментальных исследований трибодесорбции, экспериментальные исследования трибодесорбции металлических материалов и трибологических покрытий, разработка феноменологических моделей и методов практического использования результатов исследований. Отдельные результаты получены либо под руководством автора (исследования трибодесорбции из покрытий аморфного алмазоподобного углерода и из полимерных материалов, экспериментальная проверка частных моделей поведения вакуумной системы), либо при непосредственном участии (анализ результатов аналитических методик с использованием вторично-ионной масс-спектрометрии, рентгеновской дифракции, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, метода ядер отдачи, атомно-силовой микроскопии).

Апробация результатов, изложенных в диссертации, проводилась на 1й-10й Российских научно-технических конференциях «Вакуумная наука и техника» в 1993;2003 гг.- 5й, 7й, 8й и 9й международных конференциях «Трибология и надёжность», г. Санкт-Петербург- 7й Европейской вакуумной конференции, 15й — 17й Международных вакуумных конгрессах, Иберийском трибологиче-ском конгрессе 2007 г., Европейской трибологической конференции 2007, 1 м Конгрессе прикладной физики 2003 г., 280 м семинаре Негаиез-" \ПЗ (г. Ильме-нау, Германия), Японских трибологических конференциях 2000;2002 гг., 4й Вакуумной конференции стран Азии и Австралии, конференции «Надежность» 2003 г., семинаре ЮНЕСКО-МЦОС 2004 г., трибологических семинарах им. М. М. Хрущева ИМАШ-РАН, конференции «Новые технологии — промышленности России», конференции «Наука через образование», семинарах кафедры «Электронные технологии» МГТУ им. Н. Э. Баумана и др.

Публикации. По материалам диссертации опубликовано более 65 научных работ, в том числе 29 статей в ведущих рецензируемых научных журналах, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора наук согласно перечню ВАК, полуI чено 3 патента на изобретение, 2 заявки на изобретение находятся на стадии экспертизы.

Диссертация состоит из девяти глав, заключения, в котором сформулированы основные выводы работы, списка использованной литературы и шести приложений.

В первой главе («Анализ проблем обеспечения требований вакуумной среды в сверхвысоковакуумном оборудовании производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники») обозначено современное состояние и основные тенденции развития технологий и оборудования для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, проанализированы проблемы и противоречия, препятствующие дальнейшему развитию, в частности проблемы повышения надежности и обеспечения качества вакуумной технологической среды. Установлено, что основными источниками загрязнения, как в виде химически активных газов, так и мелкодисперсных частиц, являются пары трения механизмов, направляющих, транспортеров, вводов движения, расположенных в сверхвысоком вакууме (СВВ). Приведен анализ методов обеспечения требований качества вакуумной среды, предъявляемых к материалам внутрикамерных механизмов сверхвысо-ковакуумного технологического оборудования, а также обзор основных результатов экспериментальных и теоретических исследований трибодесорбции. В конце главы сформулированы цель и задачи исследований.

Во второй главе («Специфика трибодесорбции как трибоэмиссионного явления») сформулированы основные особенности и закономерности активации трибодесорбции как разновидности трибоэмиссионного процесса в рамках единого методологического подхода с позиций физико-химической механики. Показано, что отличительными характеристиками трибосопряжения по сравнению с другими формами механического взаимодействия являются структурная иерархия вплоть до макроуровня и стационарность или цикличность взаимодействия, и что эти факторы являются определяющими для возникновения особых диссипативных структур и явлений самоорганизации трибоэмиссионных процессов. Рассмотрены различные траектории процессов трибодесорбции. Приведен анализ механизмов активации трибодесорбционных и трибоэмиссионных процессов.

В третьей главе («Теоретические основы трибодесорбционных процессов в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения сверхвысоковакуумных механических систем оборудования производства электронной техники») разработана модель массопереноса газа в системе «твердое тело — поверхность — вакуум» с учетом специфики трибологического сопряжения, термических, деформационных и деструкционных процессов в зоне трения. Совместно с задачей десорбции решена задача трибостимулированной диффузии газов в кристаллической решетке, задача транспорта примесных атомов газов дислокациями, истечения газов из микроскопических пор и механохимических реакций.

В четвертой главе («Теоретические основы измерения и экспериментального исследования трибодесорбции») на основе единого систематического подхода сформулированы количественные показатели трибодесорбции газов. Проанализированы физические ограничения метода, связанные с адсорбцией десорбированных газов на стенках вакуумной системы, реадсорбции газов на поверхности зоны трения, а таюке с переходными процессами адсорбции, десорбции и откачки. На основе совместного решения уравнений баланса адсорбированных газов на поверхности вакуумной системы и газов в объеме вакуумной системы впервые получены полные аналитические решения для давления газов и концентрации газов на поверхности. На основе анализа существующих схем построения экспериментальных установок для исследования трибодесорбции, собственного опыта экспериментальных исследований, а также результатов моделирования трибодесорбции, динамики давления в вакуумной системе и взаимодействия десорбирующихся газов с поверхностями вакуумной системы сформулированы принципы построения экспериментальной установки, а также разработаны прототипы экспериментальных исследовательских систем для изучения трибодесорбции. Разработаны комплекс количественных показателей трибодесорбции и методика экспериментальных исследований.

В пятой главе («Экспериментальное исследование спектрального состава, кинетики и динамики трибодесорбции с поверхностей некоторых металлов и металлических сплавов (N1, Си, Тл, Та, коррозионно-стойкая сталь)») представлены результаты экспериментальных исследований спектрального состава, кинетики и динамики трибодесорбции газов из металлов и металлических сплавов, имеющих различную кристаллическую структуру: никеля, меди, титана, тантала и коррозионно-стойкой стали аустенитного класса (Х18Н10Т и АЛШ 304). Экспериментально подтверждены гипотезы, полученные на основе анализа разработанных моделей явления, об источниках и механизмах трибодесорбции из металлов и металлических сплавов.

В шестой главе («Основные характеристики и источники десорбции газов при трении вулканизатов синтетических каучуков») приведены результаты экспериментальных исследований трибодесорбции из вулканизатов синтетических каучуков и композиций: этилен-пропилен-диенового, бутадиен-нитрильного ненасыщенного и насыщенного, полиэфируретанового (Эстан.

58 300), композиции полипропиленового, этилен-пропилен-диенового и хлорбу-тилового каучуков (Уе§ аргепе®).

В седьмой главе («Экспериментальное исследование спектрального состава, кинетики и динамики трибодесорбции тонкопленочных трибологических покрытий») приведены результаты экспериментальных исследований трибодесорбции газов из тонкопленочных покрытий трибологического назначения, использующихся или перспективных для использования в вакуумных механизмах: мягких металлов (медь и нанокластерная медь), аморфного алмазоподоб-ного углерода, керамик (TiN:Ag/Si, двухслойные покрытия ^УС/ТЖ/^ и всшта).

В восьмой главе («Основы моделирования трибодесорбционных явлений в микротрибоконтакте») разработаны феноменологические модели трибодесорбции: элементарная, континуальная и дискретная, — для описания явления, соответственно, в элементарном объеме материала, при непрерывном трении (односвязная область контакта) и при трении шероховатых поверхностей.

В девятой главе («Прикладные аспекты практического использования результатов исследования трибодесорбционных явлений») на основе обобщения полученных результатов сформулированы принципы управления трибодесорб-ционными явлениями как на стадии проектирования внутрикамерных механизмов СВВ оборудования, так и на стадии их эксплуатации. Определены основные цели управления трибодесорбционными процессами в, различных приложениях, состоящие в минимизации или максимизации потока трибодесорбции, полного количества десорбированного газа или удельного потока десорбиро-ванного газа при каком-либо виде повреждения материала в зоне трения. Сформулированы стратегии достижения этих целей на основе конструктивного и технологического подходов с учетом особенностей трибодесорбции из различных материалов.

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ: грант Президента РФ для молодых ученых (1996), грант 08.01.016 (2003), грант Президента РФ для молодых кандидатов наук МК-764.2003.08 (2003;2004), грант 01.01.052 (2003;2004), грант по целевой программе 3.3.

2005) — INTAS: международные гранты YSF-164D (2002;2004),.

INNO № 05−1 000 007−417 (2005;2006) — Комиссии Европейского Сообщества: грант «Мария Кюри» MIF2-CT-2006;22 067, проект KRISTAL 515 837−2, проект CleanEngine (TST5-CT-2006;31 241) — Европейского научного фонда ESF-FANAS (совместно с Министерством науки и инноваций Испании): проект FUNDTRIBO (МАТ 2008;2 999-Е) — Японского научно-технологического агентства: грант JSTA 2000; Немецкого агентства академических обменов DAAD: грант post-doc 1999; Министерства науки и инноваций Испании: Ramon у Cajal RYC-2009;4 125, проект по программе «Прикладные исследования» (CIT-420 000−2009;53), проект Nanotribocorr (МАТ2005;7 872).

Автор выражает благодарность за сотрудничество, помощь и обсуждение при выполнении этой работы: профессорско-преподавательскому составу кафедры «Электронные технологии» и МГТУ им. Н. Э. Баумана и лично проф. Е. А. Деулину, проф. JI. И. Волчкевичу, проф. Ю: В. Панфилову, проф. А. Г. Колесникову, проф. Г. П. Павлихину, а также А. В. Русанову, В. В'. Савранскому, П. И. Коновалову, И. П. Меньшиковусотрудникам лаборатории «Вакуумная технологии» Института прикладной физики «Торрес Кеведо» (г. Мадрид, Испания) Института материаловедения (г. Мадрид, Испания) проф. X. JI. де Сеговия, др. Э. Роман, др. И. Уттель, др. А. Руиз и Руиз, др. JI. Мартинес, др. X. Мендес, JI. Альварессотрудникам фонда Текникер (г. Эйбар, Испания) др. М. Конте, др. А. Игартуа и К. ван Рийндр. А. Климент-Фонтпроф. М. Шерге и проф. И. Ахмед Университета Ильменау (Германия) — проф. К. Накаяма Института передовых технологий и науки (г. Цукуба, Япония) — сотрудникам лаборатории «Трибологии и динамики систем» Высшей центральной школы (г. Лион, Франция) и лично проф. Ж.-М. Мартану, проф. Ф. Капса, др. Ж. Фонтэнупроф. К. Н. Войнову Санкт-Петербургского государственного университета путей сообщениясотрудникам Института строительных наук «Эдуардо Торроха» др. М. К. Андраде и др. X. Фуйеа.

Oh, a poesia de tudo о que e geometrico e perfeito a beleza nova dos maqumismos a forca secreta das pecas sob o contacto frio e liso dos metais.

Joaquim Namorado.

О, поэзия геометрического совершенства, Новая красота механизмов, Движимых тайной силой деталей, Скользящих в контакте прохладном гладких металлов.

Жоаким Наморадо (пер. с португ. автора).

Основные результаты работы сводятся к следующему:

1) Показано, что сдерживающими факторами на пути внедрения магист-рально-модульных систем и кластерного оборудования помимо их высокой стоимости (более 10 млн. долларов США) являются нерешенность проблем обеспечения надежности (наработка на отказ > 5760 часов) и качества технологической среды (парциальные давления кислорода, метана, монокиси и двуокиси углерода, соединений серы < (5−8)х10″ и Па). Наиболее критическая ситуация по надежности и чистоте среды наблюдается для механических устройств и транспортных систем, имеющих узлы трения, функционирующие в вакууме, вследствие повышенного и нестабильного трения, износа и трибодесорбции химически активных газов.

2) Установлено, что в слабонагруженных и миниатюрных узлах трения повышение температуры материала в зоне трения является незначительным (как правило, не превышает 10°С) и не может являться причиной большинства трибоэмиссионных явлений, в том числе трибодесорбции газов. Показано, что основными активационными факторами трибодесорбции газов в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения являются процессы повреждаемости материала: пластическая деформация, износ, растрескивание, отслоение покрытий.

3) Установлено, что источники трибодесорбции зависят от рода материала и десорбирующегося газа: источником водорода, дейтерия и инертных газов (аргона) при трении металлов, металлических, углеродных и керамических покрытий являются газы, растворенные или окклюдированные в материале до начала трения в вакуумеисточником метана являются трибохимические реакцииисточником СО при трении нанокластерных покрытий являются молекулы, адсорбированные в нанопорах между нанокластерамиисточником трибодесорбции газов при трении наполненных вулканизатов синтетических каучуков (этилен-пропилен-диенового, бутадиен-нитрильного, полиэфируретанового и композиции полипропиленового, этилен-пропилен-диенового и хлоробутилового) являются газы, адсорбированные на частицах наполнителя (сажи).

4) Получено общее решение системы уравнений, описывающий комплекс процессов в системе «материал-поверхность-газ». Установлено, что транспорт атомов и молекул газа из объема материала к поверхности зоны трения и внутренняя адсорбция, т. е. переход атомов и молекул газа из объема материала в адсорбированное состояние на поверхности, являются процессами, определяющими скорость трибодесорбции, и постоянная времени этих процессов лежит в интервале 1−100 с.

5) Установлено, что транспорт газа из объема материала к поверхности осуществляется: за счет ускоренной диффузии атомов и молекул газа в поле механических напряжений, за счет удаления поверхностных слоев материала, являющихся диффузионными барьерами, за счет транспорта подвижными дислокациями, а также за счет фазовых превращений. Возникновение градиента механических напряжений на поверхности коррозионно-стойкой стали в диапазоне 1012 — 2,5хЮ14 Па м" 1 приводит к возникновению удельного диффузионного потока 1017 — 1023 м" 2с При удалении с поверхности алюминия оксидного слоя толщиной 0,3 нм полное количество десорбированного водорода увеличивается на 13%.

6) Разработан комплекс потоковых и интегральных общих и удельных количественных показателей трибодесорбции с учетом специфики трибологи-ческого сопряжения. Разработаны теоретические основы экспериментальных исследований трибодесорбции. Показано, что систематическая погрешность измерения количества десорбированного газа за счет адсорбции на стенках вакуумной камеры не превышает 12% при давлении <Ю" 10 Па при продолжительности трибодесорбции не менее 30 с. Разработан комплекс технических средств для измерения трибодесорбции, на которые получен международный патент и поданы две заявки на патент.

7) Установлено, что среди исследованных материалов и покрытий низкий.

О 1 поток трибодесорбции (<4*10″ мбар л с") имеют тантал, медь, титан, наводо-роженный аморфный углерод, покрытия TiN: Ag и ЛУС/ТИЧ.

8) Установлено, что количество десорбированного водорода при трении никеля и коррозионно-стойкой стали линейно зависит от объема материала в активной зоне трения и от содержания свободного растворенного водорода в материале. Коэффициент пропорциональности между количеством десорбированного газа и параметром, характеризующим объем активной зоны трения является инвариантной, зависящей от типа материала и содержания газа в л материале и составляет для никеля и коррозионно-стойкой от 6,51×10″ мбар

3 13 мм" до 4,09×10″ мбар мм" в зависимости от содержания растворенного водорода.

9) Установлено, что трибодесорбция из вулканизатов синтетических кау-чуков происходит при трении, но не происходит при разрыве и прокалывании эластомера. Наименьшим среди исследованных эластомеров потоком трибоде-сорбции с наименьшим содержанием химически активных газов обладает насыщенный бутадиен-нитрильный каучук.

10) Разработана феноменологическая модель трибодесорбции. Показано, что поток трибодесорбции может быть описан как свертка единичной удельной функции трибодесорбции и функции скорости вовлечения материала в активную зону трения или функции скорости активирования поверхности.

11) На основе полученных результатов создан комплекс методов управления трибодесорбционными характеристиками материалов, в том числе технологические способы управления трибодесорбционными процессами, как при создании покрытий, так и во время эксплуатации механизмов и методика расчета показателей трибодесорбции на стадии проектирования и эксплуатации внутрикамерных механизмов сверхвысоковакуумного оборудования. Разработан математический аппарат вакуумной диагностики технического состояния узлов трения, работающих в вакууме. Разработан новый метод измерения содержания газов в материалах и покрытиях.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Р. И., Гимаев Р. Н. Инновации в области полимерных материалов для кабельной индустрии // Вестник Башкирского университета. 2008. Т. 13, № 1. С. 214−217.
  2. Е. Г. Механические методы активации химических процессов- 2-е изд., Перераб. и доп. Новосибирск: Наука, 1986. 305 с.
  3. H. Н., Киселев А. В., Пошкус Д. П. Адсорбция газов и паров на однородных поверхностях. М.: Химия, 1975. 384 с.
  4. А. Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М.: Высшая школа, 1979. 69 с.
  5. H. М. Взаимодействие, изменение и разрушение твердых тел в трибологической системе // Справочник по триботехнике. Москва-Варшава: Машиностроение ВКЛ, 1989. С. 220−232.
  6. Анализ динамических характеристик вакуумной системы / В. В. Савранский и др. //ПЖТФ. 2005. № 31, Вып. 22. С. 42−46.
  7. Г. С., Поздняков О. Ф., Регель В. Р. Применение метода масс-спектрометрии для исследования термодеструкции полимеров // Высокомолекулярные соединения. 1966. T. VIII. С. 834−839.
  8. Д. Р., Деулин Е. А., Невшупа Р. А. Исследование пластической деформации деталей вакуумного привода в результате обезгаживающего прогрева // Высокие технологии в промышленности России: Тр. 5-й международ. науч.-техн. конф. М., 1999. С. 45−49.
  9. Дж. Органическая масс-спектрометрия. М.: Наука, 1968. 700 с.
  10. С. М. Наводораживание стали при электрохимических процессах. Л.: Изд-во Ленинградского университета, 1975. 412 с.
  11. H. М., Рядно А. А. Методы теории теплопроводности: Учеб. пособие для вузов. М.: Высшая школа, 1982. Ч. 1. 327 с.
  12. C.B. Основы химической кинетики. М.: Мир, 1964. 604 с.-59 914. Бобров В. Ф. Основы теории резания металлов. М.: Машиностроение, 1975. 344 с.
  13. П. Н., Ткачук Д. В. Термические и термомеханические явления в контакте скольжения // Трение и износ. 2009. Т. 30, № 3. С. 214−229.
  14. . С. Атомы блуждают по кристаллу / Под ред. Л. С. Асла-мазова. М.: Наука, 1984. 204 с.
  15. . С. Диффузия в металлах. М.: Металлургия, 1978. 248 с.
  16. С. 3. Диффузия и структура металлов. М.: Металлургия, 1973.208 с.
  17. В. В. Исследования по механохимии твердых веществ // Вестник РФФИ. 2004. № 3. С. 38−59.
  18. В. В. Использование механохимии в создании «сухих» технологических процессов // Соросовский образовательный журнал. 1997. № 12. С. 48−52.
  19. С. Б. Термодинамические характеристики несамопроизвольных химических реакций, инициируемых трением // Контактное взаимодействие и сухое трение: Сб. тр. III международ, семинара. М., 2005. С. 60−67.
  20. П. Ю. Проблемы и перспективы механохимии // Успехи химии. 1994. № 63. С. 1031−1043.
  21. П. Ю. Кинетика и природа механохимических реакций // Успехи химии. 1971. Т. 40. С. 1935−1959.
  22. Г. П., Бутягин П. Ю., Шляпинтох В. Я. Низкомолекулярные продукты распада пероксидных радикалов в полистироле и поливинлицикло-гексане при комнатной температуре // Высокомолекулярные соединения. 1982. Т. А24, № 1. С. 165−172.
  23. П. Ю., Стрелецкий А. Н. Кинетика и энергетический баланс в механохимических превращениях // ФТТ. 2005. Т. 47, Вып. 5. С. 830−836.
  24. Вакуумная техника. Справочник / Е. С. Фролов и др. М.: Машиностроение, 1992.
  25. Вакуумный волновой резьбовой ввод: А. с. № Эи 1 350 411 СССР — за-явл. 26.05.1986 — опубл. 07.11.1987, Бюл. № 41, 5 с.-60 028. Вальднер В. О., Иванов В. И. Масс-спектрометрический анализ: Учеб. пособие. М.: Моск. ин-т радиотехники и др., 1989. 56 с.
  26. Е. А., Хрусталев Ю. А. Механоэмиссия и механохимия молекулярных органических кристаллов // Успехи химии. 1995. № 64. С. 834−839.
  27. Н. В. Построение исполнительных схем оборудования электронной техники на основе волнового движения : Дисс.. доктора техн. наук. (05.27.07). Красноярск: Сибирская аэрокосмическая академия им. М. Ф. Решетнева, 1999 г. 430 с.
  28. В. Э., Трояновская Г. И. Сухие смазки и самосмазывающиеся материалы. М.: Машиностроение, 1968. 180 с.
  29. Взаимодействие водорода с металлами / В. Н. Агеев и др. М.: Наука, 1987. 296 с.
  30. В. И. Проблемы физики трения и изнашивания // Физика износостойкости поверхности металлов. Л.: ФТИ РАН, 1988. С. 8−41.
  31. Н. М., Зазноба В. А. Влияние водорода на подвижность краевых дисклокаций// ФТТ. 1999. Т. 41, № 3. С. 451−453.
  32. Влияние конструктивных особенностей оборудования для молекуляр-но-лучевой эпитаксии на свойства эпитаксиальных слоев / А. Г. Денисов и др. // Электронная промышленность. 1984. № 2. С. 93−97.
  33. Влияние природной механоактивации на выбросоопасность углей / Г. Д. Фролков и др. // Вестник Шахтинского научного центра по безопасности работ в угольной промышленности. Шахты: ВостНИИ, 1997. 5с.
  34. Водородопроницаемость железа и стали при растяжении / Б. Ф. Кач-мар и др. // Физико-химическая механика материалов. 1969. Т.5, № 5. С. 615 616.
  35. Водородопроницаемость стали Сг12Мп20У2У / В. И. Грицына и др. // Вопросы атомной науки и техники. 2001. № 4. С. 83−85.
  36. Волновая передача: а. с. № 811 1 392 286 СССР- заявл. 02.06.1986 — опубл. 30.04.1988, Бюл. № 16, 3 с.
  37. И. Е. Перенос водорода в пленках графита, аморфного кремния и оксида никеля // Физика и техника полупроводников. 1997. Т. 31, № 2. С. 145 151.
  38. Газовыделение при трении пленок из алмазоподобного углерода в сверхвысоком вакууме / А. В. Русанов и др. // Трибология и надежность: Труды VII международ, конф. СПб., 2007. С. 117−119.
  39. Газоотделение при трении в вакууме / А. А. Гусляков и др. // Физ. химич. механика материалов. 1970. Т.6, № 1. С. 106−107.
  40. Н. А. Водород в металлах. М.: Металлургия, 1967. 303 с.
  41. JI. А. Контактные задачи теории упругости и вязкоупругости. М.: Наука, 1980. 303 с.
  42. А. В., Кондратьев В. В. Диффузии водорода в неупорядоченных металлах и сплавах // УФН. 2003. Т. 173, № 10. С. 1107−1129.
  43. Гарбар PL И. О структуре и строении поверхностных слоев сопряженных материалов трущихся пар // Трение и износ. 1990. Т.11, № 4. С. 581−593.
  44. И. И. Пространственно-временная эволюция фрагментирован-ных структур при фрикционном нагружении // Теоретическое и экспериментальное исследования дисклинаций. М.: Изд. АН СССР, 1986. С. 98−107.
  45. Д. Н. Научные открытия в триботехнике. Эффект безызно-сти при трении. Водородное изнашивание металлов. М.: Изд-во МСХА. 2004. 384 с.
  46. И. С., Буше Н. А. Реализация диссипативной самоорганизации поверхностей трения в трибосистемах // Трение и износ. 1995. Т. 16, № 1. С. 61−70.
  47. Дж. Дж. Микродинамическая теория пластичности // Микропластичность. М.: Металлургия, 1972. С. 18−36.
  48. Глушак Б. JL, Куропатенко Б. Ф., Новиков С. А. Исследование прочности материалов при динамических нагрузках. Новосибирск: Наука, 1992. 295 с.
  49. О. А., Фролов JL Е., Сорокин Г. А. Свойства резин на основе этилен пропиленовых каучуков: Тем. обзор. М.: ЦНИИТЭнефтехим, 1986. 62 с.
  50. И. Г. Механика фрикционного взаимодействия / Отв. ред. А. Ю. Ишлинский. М.: Наука, 2001. 478 с.
  51. ГОСТ Р ИСО 5479−2002. Статистические методы. Проверка отклонения распределения вероятностей от нормального распределения. М.: Изд-во стандартов. 2002. 30 с.
  52. И. С., Рыжик И. М. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М.: Физматгиз, 1963. 1100 с.
  53. Д. Г. Трибология. Физические основы, механика и технические приложения: курс лекций. М.: Машиностроение, 2005. С. 264.
  54. А. И., Ковнеристый Ю. К. Проницаемость, диффузия и растворимость водорода в Сг~№ и Сг-Мп аустенитных сталях // Металловедение и термическая обработка металлов. 1980. № 5. С. 11−14.
  55. А. А., Удовенко В. Ф., Кулеба В. И. Газовыделение при трении в вакууме // О природе трения твердых тел. Минск: Машиностроение, 1971. С. 211−213.
  56. Э. М. Механохимия металлов и защита от коррозии. М.: Металлургия, 1974. 231 с.
  57. Э. Я. Бутадиен-нитрильные каучуки, свойства, применение. М.: ЦНИИТнефтехим, 1972. 112 с.
  58. . В., Кротова Н. А. Электрическая теория адгезии (прилипания) пленок к твердым поверхностям и её экспериментальное обоснование //УФН. 1948. Т. 36, № 3. С. 387−406.
  59. . В., Кротова Н. А., Смилга В. П. Адгезия твердых тел. М.: Наука, 1973. 279 с.
  60. Е. А., Коновалов В. В., Невшупа Р. А. Моделирование газовыделения из пар трения механизмов // Вакуумная наука и техника: Тр. 5-й международ. науч.-техн. конф. М., 1998. С. 199−203.
  61. Е. А., Медников М. И., Папко В. М. Расчет, конструирование и особенности эксплуатации механизмов для работы в вакууме. М.: Машиностроение, 1986. 80 с. (Заочн. институт повыш. квалиф. ИТР.)
  62. Е. А., Невшупа Р. А. Компьютерное моделирование газообмена при работе шарикоподшипников в высоком вакууме // Вакуумная наука и техника: Тр. 3-й международ, науч.-техн. конф. М., 1996. С. 44−45.
  63. Е. А., Невшупа Р. А. Экспериментальное исследование газовыделения из пар трения в вакууме // Вакуумная наука и техника: Тр. 3-й меж-дун. науч.-техн. конф. М., 1996. С. 26−27.
  64. Е. А., Павлов А. Н. Повышение точности герметичных планетарных вводов вращения // Известия вузов. Машиностроение. 1982. № 10. С. 3742.
  65. Е. А., Пересадько А. Г. Диагностика и предсказание отказов механических элементов вакуумного оборудования // Контроль и диагностика, № 5. 1998. С. 21−28.
  66. Г., Ватте Д. Спектральный анализ и его приложения : пер. с англ. М.: Мир, 1971. Вып. 1. 318 с.
  67. К. Механика контактного взаимодействия. М.: Мир. 1989.509 с.
  68. Динамическая диффузия гелия в различные типы твердых тел при их деформации и диспергировании / О. В. Клявин и др. // ФТТ. 2005. Т. 47, Вып. 5. С. 837−842.
  69. Динамические характеристики «идеальной» вакуумной системы / В. В. Савранский и др. //ПТЭ. 2006. № 6. С. 121−126.
  70. . А., Донцов А. А., Шершнёв В. А. Химия эластомеров. М.: Химия, 1981. 376 с.
  71. Ю. Н., Павлов В. Г., Пучков В. Н. Трение и износ в экстремальных условиях. М.: Машиностроение, 1986. 223 с.
  72. С. Научные основы вакуумной техники / Под ред. М. Н. Меньшикова. М.: Мир, 1964. 716 с.
  73. В. Д. Реверсивность трения и качество машин. Киев: Технша, 1977. 148 с.-60 479. Евдокимов В. Д., Семов Ю. И. Экзоэлектронная эмиссия при трении. М.: Наука, 1973. 183 с.
  74. M. Н., Мороз Т. Т., Новохатский И. А. Исследование диффузионной подвижности водорода в металлах при повышенных температурах // Физика и химия обработки материалов. 1972. № 5. С. 78−83.
  75. В. М., Ролдугин В. И. Кинетические явления при диффузии газов в капиллярах и пористых телах // Коллоидный журнал. 2002. Т. 64, вып. 1. С.5−29.
  76. Загрузочно-транспортные устройства сверхвысоковакуумного оборудования / В. Ф. Варакин и др. // Электронная промышленность. 1988. № 6. С. 23−26.
  77. JI. С. Энергетика низкомолекулярных продуктов при механическом разрушении полиметилметакрилата // Высокомолекулярные соединения. А. 2006. Т. 48, № 10. С. 1086.
  78. Защита от водородного износа в узлах трения / Под ред. A.A. Полякова. М.: Машиностроение, 1980. 135 с.
  79. Я. Б. К вопросу о механизме каталитического окисления окиси углерода на двуокиси марганца // Журн. физ. химии. 1935. Т. 6. С. 234 242.
  80. В. С., Кузеев И. Р., Закирничная M. М. Синергетика и фракталы. Универсальности механического поведения материалов. Уфа: Изд-во УГГТУ, 1998. 363 с.
  81. Ионно-пучковой метод определения массовой плотности углеводородной матрицы в тонкопленочных нанокомпозитах / Н. Г. Чеченин и др. // ПЖТФ. 2007. Т. 33, вып. 11. С. 47−55.
  82. Исследование с помощью масс-спектрометра кинетики термодеструкции полистирола и ее связи с кинетикой механического разрушения
  83. А. В. Амелин и др. // > Высокомолекулярные соединения.1969. Т. (А) XI. С. 1926−1929.
  84. Г. В., Крипякевич Р. Н. Влияние водорода на свойства стали. М.: Металлургиздат, 1962. 195 с.
  85. Г., Йегер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964.488 с.
  86. В. Н. Процессы в зоне фрикционного контакта металлов. М.: Машиностроение, 1978. 213 с.
  87. В. Н., Нестеров С. Б. Вакуумная техника и технология. М.: Издательство МЭИ, 2002. 84 с.
  88. Кинетика и механизм выделения летучих продуктов при раскалывании монокристаллов неорганических соединений / Ф. X. Уракаев и др. // Кинетика и катализ. 1978. Т. 19, № 6. С. 1442−1447.
  89. Кинетика разрушения поверхности при трении без смазочного материала / В. П. Булатов и др. // Трение и Износ. 2003. Т.22, № 1. С. 17−20.
  90. Ю. А. Применение химико-термической обработки для защиты стали от наводораживания // Металловедение и термическая обработка. 1972. № 1. С. 86−88.
  91. А. И. Прикладная математическая статистика: Для инженеров и научных работников. М.: Физматлит, 2006. 816 с.
  92. . А., Ушаков И. А. Справочник по расчету надежности. М.: Сов. радио, 1975.472 с.
  93. . А. Водородная хрупкость цветных металлов. М.: Металлургия, 1968. 256 с.
  94. Константы взаимодействия металлов с газами: Справочник / Под редакцией Б. А. Колачева, Ю. В. Левинского. М.: Металлургия, 1987. 368с.
  95. В. В. Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования: Автореферат дисс.. канд. техн. наук: 05.27.06. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007. 16 с.
  96. П. И., Меньшиков И. П., Невшупа Р. А. Моделирование передаточной характеристики вакуумной системы, содержащей источник прерывистого газовыделения // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Естественные науки. 2007. Т. 1(24). С. 104−110.
  97. П. И., Меньшиков И. П., Невшупа Р. А. Динамика давления разреженного газа при наличии периодического ангармонического источника: I. Математическая модель отклика давления // Вакуумная техника и технология. 2007. Т. 17, № 1. С.21−27.
  98. Константы взаимодействия металлов с газами: Справ, изд. / Я. Д. Коган и др. М.: Металлургия, 1987. 368 с.
  99. П. С., Леденцов Н. Н. Молекулярно-лучевая эпитаксия гете-роструктур соединений III/V // Физика полупроводников. 1988. Т. 22, № 10. С. 1093−1101.
  100. . И. Поверхностная прочность материалов при трении. Киев: Техника, 1976. 296 с.
  101. . И. Трение, смазка и износ в машинах. Киев: Техника, 1970. 395 с.
  102. А. X. Дислокации и пластическое течение в кристаллах. М.: Металлургиздат, 1958. 356 с.
  103. И. В., Добычин М. Н., Комбалов В. С. Основы расчета на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. 526 с.
  104. И. В., Любарский И. М., Гусляков А. А. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение, 1973. 216 с.
  105. В. А. Температурная задача трения и явление наростооб-разования при резании и трении // Доклады III Всесоюзной конференции по трению и износу в машинах. М.: АН СССР, 1960. Т. 3. С. 207−216.
  106. В. А. Температура при трении и глубинное разрушение // Сухое трение. Рига: Наука, 1961. С. 155−161.
  107. А. Г., Александрова А. Т. Методика определения потоков газовыделения из очага трения конструкционных материалов. М.: МИЭМ, 1979. 7 с. (Деп. в ЦНИИ «Электроника», № 6665/79).
  108. А. Г., Чернышова Е. Ю., Шапкин Е. В. Исследование фрикционных характеристик твердосмазочного покрытия ВНИИ НП 220 в атмосфере и в вакууме // Тр. Московского ин-та электроники и математики. 1974. Т. 42. С. 110−124.
  109. С. Н., Буякова С. П. Фазовый состав и особенности формирования структуры на основе стабилизированного диоксида циркония // Российские нанотехнологии. 2007. Т. 2., № 1−2. С. 119−132.
  110. Ф. Е. Бутадиеновые и бутадиен-стирольные каучуки: Вчера, сегодня, завтра // Производство и использование эластомеров. 2002. № 2. С. 3−12.
  111. . Ю., Лемешко С. Б. Сравнительный анализ критериев проверки отклонения распределения от нормального закона // Метрология.2005. № 2. С. 3−23.
  112. В. Г., Калабин Г. А., Калечиц И. В. Химия и переработка угля. М.: Химия, 1988. 336 с.
  113. В. И., Щукин Е. Д., Ребиндер П. А. Физико-химическая механика материалов. М.: Изд-во АН СССР, 1962. 308 с.
  114. В. Н. Методика определения концентрационной зависимости коэффициента диффузии водорода в металлах в условиях нестационарного проникновения // Международный научный журнал альтернативной энергетики и экологии. 2002. № 3. С. 39−43.
  115. Д. В., Мильман Ю. В. Структура приповерхностного слоя механически обработанных кристаллических материалов в связи с механизмом абразивного изнашивания // Трение и износ. 1993. Т. 14, № 1. С.73−84.
  116. Г. А. Пластичность и прочность микро- и нанокристалли-ческих материалов : Обзор // ФТТ. 2007. Т. 49, в. 6. С. 961−982.
  117. Г. А. Процессы самоорганизации дислокаций и пластичность кристаллов // УФН. 1999. Т. 169, № 9. С. 979−1010.
  118. Маркетинговое исследование рынка нанотехнологий: версия 3. М.: Техарт, 2008. 68 с.
  119. Марочник сталей и сплавов / Ред. A.C. Зубченко. М.: Машиностроение. 2003. 782 с.
  120. Марпл-мл. С. JI. Цифровой спектральный анализ и его приложения. М.: Мир, 1990. 584 с.
  121. Е. А. О природе разрушения поверхности металлов при трении. М.: Наука, 1979. 118 с.
  122. М. И. Вводы движения в вакуум. М.: Машиностроение, 1974. 184 с.
  123. Методика определения кинетики газовыделения при трении в вакууме конструкционных материалов / А. Т. Александрова и др. // Тр. МИЭМ. 1974. Вып. 41. С. 29−32.
  124. Механика и физика точных вакуумных механизмов / Р. А. Невшупа и др. Владимир: Владим. гос. ун-т., 2001.Т.1. 176 с.
  125. Механика и физика точных вакуумных механизмов / Р. А. Невшупа и др. М.: НПК «Интелвак" — Вакууммаш, 2002. Т.2. 152 с.
  126. Механодеградация полимеров. Метод молекулярной динамики / Л. С. Зархин и др. // Успехи химии. 1989. Т.58. С. 644.
  127. М. И. Каталитическая активность дислокаций // Кинетика и катализ. 1972. Т. 13. С. 898−907.-609 138. Молоцкий М. И. Ионно- электронный механизм механоэмиссии // ФТТ. 1977. Т. 19, № 2. С. 642−647.
  128. JI. С., Чечулин Б. Б. Водородная хрупкость металлов. М.: Металлургия, 1967. 256 с.
  129. А. Н. Водород и азот в стали. М.: Металлургия, 1968. 283с.
  130. Нанофаб 100. Нанотехнологические комплексы: Информационная брошюра. М.: НТ-МДТ, 2008. 8 с.
  131. Р. А. Влияние сорбционных процессов на постоянную времени вакуумных систем // Вакуумная техника и технология. 2007. Т. 17, № 1. С. 11−19.
  132. Р. А. Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева : Автореф. дисс.. канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1999. 16 с.
  133. Р. А. Роль атермических механизмов в активации трибодесорбции и триболюминесценции в миниатюрных и слабонагруженных узлах трения // Трение и износ. 2009. Т. 30, № 2. С. 118−126.
  134. Р. А. Структурно-обусловленные эффекты в микротрибо-контакте // Трибология и надежность: Тр. VII международ, науч.-техн. конф. СПб., 2007. С. 66−74.
  135. Р. А., Деулин Е. А. О корреляции радиальной интерференции зубчатого зацепления и потока газовыделения вакуумного планетарного механизма//Вестник машиностроения. 2003. № 10. С. 27−30.
  136. Р. А., Коровин М. В. Пути диагностики высоковакуумных трибологических сопряжений с использованием нейронной сети // Трибология и надежность: Тр. VII международ, науч.-техн. конф. СПб., 2007. С. 120−122.
  137. Р. А., Синев JI. С. Модель изменения давления давления в вакуумной системе при откачке летучей жидкости // ЖТФ. 2005. Т. 75, № 10. С. 5−8.
  138. О применении различных типов масс-спектрометров для изучения процессов деструкции’полимеров / А. В. Амелин и др. // ПТЭ. 1968. № 4. С. 152−155.
  139. О самоподобии процессов трения и изнашивания на различных масштабных уровнях/ Н. М. Алексеев и др. // Трение и износ. 1992. Т. 13, № 1. С.161−171.
  140. А. И. Прикладная статистика : Учебник. М.: Изд-во „Экзамен“, 2004. 656 с.
  141. В. Е., Лихачев В. А., Гриняев Ю. В. Структурные уровни деформации твердых тел. Новосибирск: Наука, 1985. 255 с.
  142. Ю. В., Беликов А. И. Тонкопленочные антифрикционные покрытия на основе M0S2 // Электровакуумная техника и технология: Тр. на-уч.-практич. семинара с международ, участием. М., 2000. С. 72−79.
  143. . Д. Высоковакуумные откачные устройства. М.: Энергия, 1969. 528 с.
  144. А. Г. Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования : Автореф. дисс.. канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2000. 16 с.
  145. А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., Энергия, 1970. 504 с.
  146. Планетарная передача: а. с. № SU 1 477 964 СССР- заявл. 30.07.1987- опубл. 07.05.1989, Бюл. № 17.
  147. JI. И., Кузьмин В. Н. Структурно-энергетические модели надежности материалов и деталей машин. СПб.: Академия транспорта Российской Федерации, 2006. 608 с.
  148. О. Ф., Регель В. Р. Исследование кинетики растрескивания пластмасс и кинетики роста магистральных трещин с помощью масс-спектрометра // ФТТ. 1968. Т. 10, № 12. С. 3664−3669.
  149. П. И., Горелик С. С., Воронцов В. К. Физические основы пластической деформации. М.: Металлургия, 1982. 584 с.
  150. П. И., Гун Г. Я., Галкин А. М. Сопротивление пластической деформации металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1976. 448 с.
  151. В. JI. Термодинамика и кинетика плавления сдвигом тонкого слоя смазки, заключенного между твердыми телами // ЖТФ. 2001. Т. 71, № 5. С. 100−110.
  152. К. Л., Нечай Е. П. // Физико-химическая механика материалов. 1967. Т. 3. С. 631−645.
  153. И. К., Швачко В. И., Уткин С. В. Влияние водорода на равновесие дислокационных субмикротрещин в a-Fe // Физико-химическая механика материалов. 2002. Т. 38, № 1. С. 7−14.
  154. Пресс-релиз Российской корпорации нанотехнологий, 22.07.2009. URL: http://www.rusnanoprize.ru/publication.aspx?PublicationId=1801 (дата обращения: 01.06.2006)
  155. Проспект „SRS Bayard-Alpert Gauge Calibration Service“ URL: http://www.thinksrs.com/downloads/PDFs/ApplicationNotes/IG 1 calapp. pdf (дата обращения: 14.02.2009)
  156. Проспект LACO Technologies URL: http://www.lacotech.com/products/leakcalibration.pdf (дата обращения: 22.11.2008)
  157. Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008−2010 годы: Постановление Правительства РФ от 2 августа 2007 г. № 498 // Собрание законодательства РФ. 2007. № 33. С. 4205.
  158. В. В., Разникова М. О. Информационно-аналитическая масс-спектрометрия. М.: Наука, 1992. 246 с.
  159. Разработка системы ранней диагностики механических элементов вакуумного оборудования: Отчет о НИР / МГТУ им. Н.Э. Баумана- Руководитель темы P.A. Невшупы- ГР № 01.9.60 000 548- инв. № 02.9.60 000 015. М., 1995. 90 с.
  160. Разработка трибологических покрытий с контролируемыми де-сорбционными свойствами: Научный отчет по гранту Мари Кюри MIF1-CT-2006−22 067 / МГТУ им. Н. Э. Баумана- Руководитель темы Р. А. Невшупа. М., 2008. 12 с.
  161. Ю. П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с.
  162. Дж. Р., Леви Н. Локальный нагрев за счет пластической деформации у вершины трещины // Физика прочности и пластичности: Сборник. М.: Металлургия, 1972. С. 241−258.
  163. М., Ратнер Д. Нанотехнология: простое объяснение очередной гениальной идеи. М.: Вильяме, 2006. 240 с.
  164. В. Р., Муинов Т. М. Применение метода масс-спектрометрии для изучения кинетики выделения летучих продуктов из полимеров, находящихся под нагрузкой // Высокомолекулярные соединения. 1966. Т. VIII. С. 841 845.
  165. В. Р., Муинов Т. М. Применение масс-спектрометра для исследования кинетики разрушения полимеров по эффекту выделения летучих продуктов // ФТТ. 1966. Т. 8. С. 2364−2369.
  166. В. Р., Слуцкер А. И., Томашевский Э. Е. Кинетическая природа прочности твердых тел. М.: Наука, 1974. 289 с.
  167. JI. H. Вакуумная техника : Учебник для вузов. М.: Высш. школа, 1990. 320 с.
  168. В. И., Жданов В. М. Кинетические явления при течении газовой смеси в наноразмерных капиллярах // ЖТФ. 2006. Т. 76, вып. 4. С. 4552.
  169. В. Е., Колубаев А. В. Исследование сдвиговой пластической деформации в поверхностном слое при трении. Результаты моделирования. I. Описание модели // Трение и износ. 2007. V. 28, № 1. Р. 64−76.
  170. В. Е., Колубаев А. В. Исследование сдвиговой пластической деформации в поверхностном слое при трении. Результаты моделирования. II. Влияние параметров трения // Трение и износ. 2007. V. 28, № 2. Р. 169−177.
  171. А. В. Повышение качества технологической среды сверх-высоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологи-ческого назначения: Автореф. дисс.. канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. 16 с.
  172. Р. А., Гельд П. В. Скорость диффузии водорода при высоких температурах через конструкционные стали // Тр. Уральского политехнического ин-та. 1957. № 72. С. 160−172.
  173. Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М.: Атомиздат, 1980. 216 с.
  174. В. М., Пенкин И. С. Абразивная износостойкость эласто-мерных композиций на основе сополимера бутадиена, стирола и акрилонитрила в условиях смазки водой // Каучук и резина. 2002. № 2. С. 8−10.
  175. Сильфонный эксцентриковый ввод вращения в герметизированный объем: А. с. № 811 1 506 206 СССР- заявл. 04.06.1987- опубл. 07.09.1989, Бюл. № 33.
  176. Л. И. Диффузия и закономерности поведения водородной подсистемы в системах металл-водород : Автореф. дисс.. доктора физ.-мат. наук. М., 2003. 38 с.
  177. К. Дж. Металлы : Справ, изд. М.: Металлургия, 1980. 447 с.
  178. В. Н., Бородина И. В. Промышленные синтетические кау-чуки. М.: Химия, 1977. 520 с.
  179. Л. В., Малинина Л. Н. Синергетические эффекты микропластичности в системе никель-водород // Международный научный журнал „Альтернативная энергетика и экология“. 2007. № 3. С. 84−87.
  180. Способ диагностики технического состояния циклически нагруIженных элементов вакуумного оборудования: А. с. № Эи 1 456 837 СССР- заявл. 22.06.1987- опубл. 07.02.1989, Бюл. № 5.
  181. Способ диагностики технического состояния циклически нагруженных элементов вакуумного оборудования: А. с. № 811 1 835 065 СССР- заявл. 29.04.1991'- опубл. 15.08.1993, Бюл. № 30.
  182. Способ диагностики технического состояния механических элементов, работающих в вакууме: Патент № 1Ш 97 122 170- заявл. 29.12.1997- опубл. 27.09.1999 г.
  183. Статистическая обработка результатов экспериментов на микроЭВМ и программируемых калькуляторах / А. А. Костылев и др.
  184. Л.: Энергоатомиздат, 1991. 304 с.
  185. Структурные уровни пластической деформации и разрушения/ В. Е. Панин В. Е. и др. Новосибирск: Наука, 1990.255 с.»
  186. С. Ю. Структурные изменения в металлических материалах в условиях адгезионного трения : Дисс.. доктора техн. наук. Томск, 2008. 281 с.
  187. Технология обработки металлов давлением / Под общ. ред. П. И. Полухина и др. М.: Металлургия, 1988. 408 с.
  188. Г. И. Применение самосмазывающихся материалов при ротапринтной смазке // Вестник машиностроения. 1974. № 4. С. 51−54.
  189. Ф. X., Болдырев В. В. Корреляция выхода летучих продуктов с параметрами распространения хрупкой трещины в кристаллах //Журн. физ. химии. 2000. Т.74, № 8. С. 1483−1488.
  190. Устройство для молекулярно-лучевой эпитаксии: Патент № 2 111 291 Российской Федерации- заявл. 01.03.1995- опубл. 20.05.1998, Бюл. № 17.
  191. Устройство для передачи движения в сверхвысокий вакуум: А. с. № 8И 894 291 СССР- заявл. 11.03.1980- опубл. 30.12.1981, Бюл. № 48.
  192. Физическая мезомеханика и компьютерное конструирование материалов / В. Е. Панин и др. Новосибирск: Наука, 1995. Т.1. 298 с.
  193. Физическая мезомеханика и компьютерное конструирование материалов / В. Е. Панин и др. Новосибирск: Наука, 1995. Т.2. 320 с.
  194. Физическая энциклопедия / Под ред. А. М. Прохорова. М.: Большая Российская энциклопедия. 1992. Т.З. 672 с.
  195. . Дислокации. М.: Мир, 1967. 644 с.
  196. Г. Трибохимия. М.: Мир, 1978. 584 с.
  197. С. В., Деулин Е. А. Физическая модель потока газовыделения подшипников качения // Вакуумная наука и техника: Тр. Российской науч.-техн. конф. с международ, участием. М.: МИЭМ, 1994. С. 55.
  198. Р. Криовакуумная техника. М.: Энергоатомиздат, 1983.272 с.
  199. Ю. П. Поведение систем металл водород при радиационном воздействии : Автореф. дисс.. доктора физ. — мат. наук. Томск: Томский политехи, ун-т, 2005. 39 с.
  200. А. В. Расчет и исследование внешнего трения при торможении. М.: Наука, 1967. 232 с.-616 220. Шаповалов В. И., Карпов В. Ю. О природе аномальной спонтанной деформации железа в присутствии водорода // ФММ. 1983. Т.55, № 4. С. 805−810.
  201. A cold cesium atomic beam produced out of a pyramidal funnel / A. Camposeo etc. // Optical communication. 2001. Y. 200. P. 231−239.
  202. A modified surface of titanium and its vacuum characteristics / T. Homma etc. //Vacuum. 1996. V. 100−101. P. 189−192.
  203. A software for scanning probe microscopy and a tool for nanotechnology / I. Horcas etc. // Review of Scientific Instruments. 2007. V. 78. P. 13 705−1 -13 705−8.
  204. A study of hydrogenated carbon fibers by scanning electron microscopy and confocal laser scanning microscopy / A. Madronero De La Cal etc. // Microscopy Research and Technique. 2009. V. 72, Issue 6. P. 447 453.
  205. Aagesen M., Johnson E., S0rensen С. B. Molecular beam epitaxy growth of free-standing plane-parallel InAs nanoplates // Nature Nanotechnology. 2007. V. 2. P. 761−764.
  206. Abdel-Aal H. A. Efficiency of thermal energy dissipation in dry friction // Wear. 2003. V. 225. P. 348−364.
  207. Abdel-Aal H. A. A remark on the flash temperature theory // Int. Comm. Heat Mass Transfer. 1997. V. 24, № 2. P. 241−250.
  208. Achieving superlow friction will hydrogenated amorphous carbon: some key requirements / J. Fontaine etc. // Thin Solid Films. 2005. V. 482. P. 99−108.
  209. Adsorption of hydrogen and deuterium atoms on the (0001) graphite • surface / T. Zecho etc. // J. of Chemical Physics. 2002. V. 117, № 18. P. 8486−8492.
  210. Ageev V. N., Ionov N. I. Studies of adsortpion by electron-stimulated desorption and flash-filament methods // Progress in surface science. 1974. V. 5. P. 1148.
  211. Akimichi H., Hirata M. Generation and pressure measurement of extremely high vacuum using a TiN coated chamber // Metrologia. 2005. V. 42. P. S184-S186.
  212. Alkali emission accompanying fracture of sodium silicate glasses / S. C. Langford etc. // J. Mat. Res. 1991. V. 6, № 6. P. 1358−1368.
  213. Amenomiya Y. Adsorption of hydrogen and H2-D2 exchange reaction on alumina // J. Catalysis. 1971. V. 22, № 1. P. 109−122.
  214. An FFT-based transient flash temperature model for general three-dimensional rough surface contact / J. Gao et al. // ASME Journal of Tribology. 2000. V. 122. P. 519−523.
  215. Application of diamond-like carbon coatings to elastomers frictional surfaces / L. Martinez et. al. // Tribology International. 2009. V. 42. P.584−590.
  216. Application of a diffusion model for the interpretation of electron stimulated gas desorption / European laboratory for particle physics- Head of the project J. Gomez-Goni- Vacuum Technical Note 94−17. Geneve, 1997. 16 p.
  217. Application of titanium materials to vacuum chambers and components / H. Kurisu etc. // Journal of Physics: Conference series. 2008. V. 100. P. 92 002−1 92 002−6.
  218. Ar atom emission as a probe of craze formation and craze growth in polystirene / J. T. Dickinson etc. // J. Polym. Sci. B. 1993. V. 31. P. 1441−1449.
  219. Arboleda Jr. N. First principles studies on the absorption of H on graphite via the armchair edge // Proceedings of the 4th vacuum and surface science conference of Asia and Australia. Tokyo, 2008. P. 56.
  220. Archard J. F. The temperature of rubbing surfaces // Wear. 1958. V.2. P. 203−224.
  221. Archard J. F. Contact and Rubbing of Flat Surface // J. Appl. Phys. 1953. V. 24. P. 981−988.
  222. Archard J. F., Hirst W. The wear of materials under unlubricated conditions // Proc. Royal Soc. A. 1958. V. 236. P. 71−73.
  223. Armstrong R. W., Coffey C. S., Elban W. L. Adiabatic heating at a dislocation pile-up avalanche // Acta Metall. 1982. V. 30. P. 2111−2116.
  224. Atomic and molecular emission following fracture of alkali halides: a dislocation driven process / J. T. Dickinson etc. // J. Mat. Res. 1991. V. 6. P. 112.
  225. Attard G. Surfaces. Oxford: Oxford Science, 1998. 92 p.
  226. Bakewell C. Sourcebook in Ancient Philosophy. New York: C. Scribner’s Sons, 1907. 395 p.-618 247. Baranowski B., Filipek S. M. 45 years of nickel hydride history and perspectives // Journal of Alloys and Compounds. 2005. V. 404−406. P. 2−6.
  227. Basics of Molecular Beam Epitaxy (MBE): Annual Report / University of Ulm — Head of the project F. Rinaldi F. Ulm, 2002. 8 p.
  228. Bennett J. R. J., Elsey R. J. The design of the vacuum system for the joint German-British interferometric gravitational wave detector, GEO //Vacuum. 1992. V. 43. P. 35−39.
  229. Benschop J. Trends in Microlithography: Future trends in Microelectronics. New York: Wiley Interscience, 2002. P. 17−27.
  230. Bhushan B., Gupta B. K. Handbook of tribology. New York: McGraw-Hill, Inc., 1991. 1168 p.
  231. Bingelli M., Mate C. M. Influence of water vapour on nanotribology studied by friction force microscopy // J. Vac. Sci. Technol. 1995. V. 13. P. 13 121 315.
  232. Birnbaum H. K., Robertson I. M., Sofronis P. Hydrogen effects on plasticity // Multiscale phenomena in plasticity / Ed. J. Lepinoux etc. Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 1989. P. 367−381. (Nato series E, Vol. 367.)
  233. Blok H. A. Theoretical study of temperature rise at surfaces of actual contact under oiliness lubrication conditions // Proc. General Discussion on Lubrication and Lubricants, Institute of Mechanical Engineering, London. 1937. P. 222−235.
  234. Borodich F. M., Keer L. M. Modeling effects of gas adsorption and removal on friction during sliding along diamond-like carbon films // Thin solid films 2005. V. 476. P. 108−117.
  235. Boniszewski T., Smith G. C. The influence of hydrogen on the plastic deformation ductility, and fracture of nickel in tension // Acta metallurgica. 1963. V. 11, № 3. P. 165−178.
  236. Brass A. M., Chanfreau A. Accelerated diffusion of hydrogen along grain boundaries in nickel // Acta Materialia. 1996.V. 44. P. 3823−3831.
  237. Brendle M., Stempfle Ph., Triboreaction of graphite with moisture a new model of tribireactor for integrating friction and wear // Wear. 2003. V. 254. P. 818−826.
  238. Brown M. B., Forsythe A. B. The small sample behavior of some statistics which test the equality of several means // Technometrics. 1974. V. 16. P. 129−132.
  239. Braun O. M., Peyrard M. Friction in a solid lubricant film //Physical Review E. 2001. V. 63. P. 46 110−1 46 110−19.
  240. Buckley D. H., Johnson R. L. Friction, wear and decomposition mechanisms for various polymer compositions in vacuum to 10"9 millimeter of mercury. Washington D.C.: NASA, 1963. 28 p. (NASA technical note TN D-2073)
  241. Buckley D. H., Johnson R. L. Friction and wear characteristics of polyimide and filled polyimide compositions in vacuum (10"'° mm Hg). Washington D.C.: NASA, 1966. 12 p. (NASA technical note TN D-3261)
  242. Butyagin P. Yu. Mechanochemical reactions of solids with gases //Reactivity of Solids. 1986. V. 1. P. 345−359.
  243. Butyagin P. Yu., Pavlichev I.K. Determination of energy yield of mechanochemical reactions // Reactivity of Solids. 1986. V. 1. P. 361−372.
  244. Carter G., Armour D. G., de Chernatony L. Factors limiting the attainment of ultra-high vacuum below 10"10 Torr // Vacuum. 1972. V. 22. P. 643 649.
  245. Casiraghi C., Ferrari A. C., Robertson J. Raman spectroscopy of hydrogenated amorphous carbon // Physical review B. 2005. V. 72. P. 85 401.
  246. Caskey Jr. G. R., Sisson Jr. R. D. Hydrogen solubility in austenitic stainless steels // Scripta Metallurgies 1981. V.15, № 11. P. 1187−1190.
  247. Castle G. S. P. Contact charging between insulators // J. Electrostatics. 1997. V. 40−41. P. 13−20.
  248. Characterization of hydrogen adsorption in carbon-based materials by NMR: Annual Progress Report /U.S. Department of Energy — Y. Wu. Washington, 2006. P. 486−487.
  249. Chateau J. P., Delafosse D., Magnin T. Numerical simulation of hydrogen-dislocation interactions in fee stainless steels. Part I: hydrogen dislocation interactions in bulk crystals // Acta materialia. 2002. V. 50. P. 1507−1522.
  250. Chun I., Cho B., Chung S. Outgassing characteristics of a stainless steel extreme high vacuum system // J.Vac.Sci.Technol. A. 1996. V.14, № 4. P. 26 362 640.
  251. Cieplak M., Smith E. D., Robbins M. O. Molecular origins of friction: the force on adsorbed layers // Science. 1994. V. 265. P. 1209.
  252. C02 emission accompanying the fracture of calcite / J.T. Dickinson etc.//Physics and Chemistry of Minerals. 1991. V.18. P. 320−325.
  253. Comparison of tribological characteristics of various sputtered MoS2 films: Technical report / National Aerospace Laboratory — Head of the project M. Suzuki- SHI-NO AA0003818. Tokyo, 1998. 73 p.
  254. Cost-effective, high-volume molecular beam epitaxy using a multi 6-in wafer reactor / L. Leung etc. // Journal of Crystal Growth. 2001. V. 227−228. P. 143−149.
  255. Crank J. The mathematics of diffusion. Oxford: Clarendon Press, 1975.414 p.
  256. Development of laser assisted nanometric resolution scanning tunneling microscopy time-of-flight mass analyzer system / Y. Ding etc. // Rev. Sci. Instruments. 2002. V. 73, № 9. P. 3227−3231.
  257. Deulin E. A. Exchange of gases at friction in vacuum // ECASIA '97: 7th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis by European
  258. Conference on Applications of Surface and Interface Analysis. Chichester: John Wiley & sons, 1997. P. 1170−1175.
  259. Deulin E. A., Gatsenko A. A., Loginov B. A. Friction force of smooth surfaces Si02-Si02 as a function of residual pressure // Surface Science. 1999. V. 433−435. P. 288−292.
  260. Deulin E. A., Nevshupa R. A. Deuterium penetration into the bulk of a ball of a ball bearing due to its rotation in vacuum // Applied Surface Science. 1999. v. 144−145. P. 283−286.
  261. Deulin E. A., Nevshupa R. A., de Segovia J. L. An UHV system to study gassing and outgassing of metals under friction // Vacuum. 1999. V.52. P. 79−87.
  262. Dickinson J. T., Jensen L. C., Dion R. P. Fractoemission from high-density polyethylene: Bond breaking versus tribological stimulation // J. Appl. Phys. 1993. V. 73. P. 3047−3054.
  263. Dickinson J. T., Jensen L. C., Langford S. C. Atomic and Molecular Emission Accompanying Fracture of Single-Crystal Ge: A Dislocation Driven Process // Phys. Rev. Lett. 1991. V.66. P.2120−2123.
  264. Dickinson J. T., Langford S. C., Jensen L. C., Fractoemission from fused silica and sodium silicate glasses // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. V.6. P. 10 841 089.
  265. Dickrell P. L., Sawyer W. G., Erdemir A. Fractional coverage model for the adsorption and removal of gas species and application to superlow friction diamond-like carbon // Journal of Tribology. 2004. V. 126. P. 615−619.
  266. Diffusion measurements by ultrasonics / R. Biel etc. // Diffusion in condensed matter: methods, materials, models / Eds. P. Heitjans, J. Karger. Berlin: Springer, 2005. 461 p.
  267. Diode Lasers. Materials and devices. A worldwide market and technology overview to 2005 // III-Vs Review. The advanced technology magazine. 2001. 528 p.
  268. Dispositivo de medida de fuerzas: Patent application PCT/ES2009/70 635 Spain- filled 29.12.2009.-622 293. Dolcino L. 50 years of Varian Sputter Ion Pumps and Newth
  269. Technologies // Proceedings of the 4 Vacuum and surface science conference of Asia and Australia. Tokyo, 2008. P. 57.
  270. Donnet C., Grill A. Friction control of diamond-like carbon coatings // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 94−95. P. 456−462.
  271. Donnet C., Martin J.-M., Mogne T. L. Super-low friction of MoS2 coatings in various environments // Tribology International. 1996. V. 29. P.123−128.
  272. Donovan J. A. Accelerated evolution of hydrogen from metals during plastic deformation // Metallurgical and Materials Transactions A. 1976. V. 7, № 10. P. 1677−1683.
  273. Doremus R. Diffusion in alumina // Applied physics reviews. 2006. V. 100. P. 101 301−1-101 301−17.
  274. Duplock E. J., Scheffler M., Lindan Ph. J. D. Hallmark of perfect graphene // Physical Review Letters. 2004. V. 92, № 22. P. 225 502−1 225 502−4.
  275. Durability evaluation of HDI in magnetic disks by detection of hydrocarbon gases / T. Numata etc. // Japanese Journal of Tribology. 1999. V. 44. P. 247−254.
  276. Dylla H. F., Manos D. M., LaMarche P. H. Correlation of outgassing of stainless steel and aluminium with various surface treatment // J.Vac.Sci.Technol. A. 1993. V. 11. P. 2623−2636.
  277. Dynamical model of total and partial pressures in a vacuum system due to intermittent desorption / R. A. Nevshupa etc. // Vacuum. 2003. V. 69. P. 477 487.
  278. Effect of Chemical Polishing in Titanium Materials for Low Outgassing / K. Ishizawa etc. // Journal of Physics: Conference Series. 2008. V. 100. P. 92 023−1-92 023−4.
  279. Effect of counterpart materials on tribological performance of selflubricating composites evaluated at high temperature in a vacuum: Technical report / National Aerospace Laboratory- Head of the project S. Mineo- TR-1192. Tokyo, 1993. 32 p.
  280. Effect of hydrogen concentration in the bulk of stainlesssteel on kinetics of tribodesorption / R. A. Nevshupa etc. // Proceedings of the 7thth1. erian Vacuum Meeting and 5 European Topical Conference on Hard Coatings. Lisboa, 2008. P. 71.
  281. Emission of neutral particles from anodized aluminum surfaces during tensile deformation / L. A. Larson etc. // J. Vac. Sci. Technol. 1979. V. 16. P. 590 593.
  282. Emission of occluded volatiles during deformation of polycarbonate due to strain-enhanced diffusion / J. T. Dickinson etc. // J. Polymer Science B. 1994. V. 32. P. 993−999.
  283. Evaluation of oxidation and hydrogen permeation in Al-containing duplex stainless steel alloys: Report / Westinghouse Savannah River Company- Head of the project T. M. Adams- WSRC-MS-2005−393. Aiken, 2005. 8 p.
  284. Fiore N., Bauer Ch. L. Binding of solute atoms to, dislocations //Progress in Materials Science. 1967. V. 13. P. 85−134.
  285. Formation of nickel hydrides in reactive plasmas / M. Quaas etc. // Z. Kristallogr. Suppl. 2009. V. 30. P. 241−246.
  286. Fox P. G. and Soria-Ruiz J. Fracture-induced thermal decomposition in brittle crystalline solids //Proc. Royal Soc. 1970. V. 317. P. 79−80.
  287. Fracture-induced emission of alkali atoms from Feldspar
  288. J. T. Dickinson etc. // Physics and Chemistry of Minerals. 1992. V. 18. P. 453 459.
  289. Fremerey J. K. Residual gas: traditional understanding and new experimental results //Vacuum. 1999. V. 53. P. 197−201.
  290. Friction of thin water films: a nanotribological study / A. Opitz etc. // Surface Science. 2002. V. 504. P. 199−2007.
  291. Frisch B., Thiele W.-R. The tribologically induced effect of hydrogen effusion and penetration in steels // Wear. 1984. V.95. P. 213−227.
  292. Fujii Y., Ishimaru H. Desorption from ball bearings in ultrahigh vacuum // JVST A. 1991. V.9. P. 2017−2020.
  293. Goldblatt I. L. Model for Lubrication of Polynuclear Aromatics // Ind. Eng. Chem. Prod. Res. Develop. 1971. V. 10. P. 270−278.
  294. Goldblatt I. L. The importance of electron transfer processes to the wear process // Microscopic aspects of adhesion and lubrication. Amsterdam: Elsevier, 1982. P. 521−551.
  295. Grabke H. J., Riecke E. Absorption and diffusion of hydrogen in steels // Materiali in Tehnologije. 2000. V. 34. P. 331−342.
  296. Granato E., Ying S. C. Transvere thermal depinning and nonlinear sliding friction of an adsorbed monolayer // Physical Review Letters. 2000. V. 85, № 25. P. 5368−5371.
  297. Grant D. M., Cummings D. L., Blackburn D. A. Hydrogen in 304 steel: Diffusion, permeation and surface reaction // Journal of Nuclear Materials. 1987. V. 149. P. 180−191.
  298. Grant D. M., Cummings D. L., Blackburn D. A. Hydrogen in 316 steel: Diffusion, permeation and surface reaction // Journal of Nuclear Materials. 1988. V. 152. P. 139−145.
  299. Greenwood J. A. An interpolation formula for flash temperatures //Wear. 1991. V. 150. P. 153−156.
  300. Greenwood J. A. Contact of rough surfaces // Fundamentals of friction: macroscopic and microscopic processes / Eds. I.L. Singer, H.M. Pollock. Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 1992. P. 37−56.
  301. Greenwood J. A., Wu J. J. Flash temperature for bodies moving at equal high speeds in opposite directions // Transactions of ASME. Journal of Tribology. 1996. V. 118. P. 255−257.
  302. Gronych T., Peksa L., Repa P. Desorption in uhv systems caused by rubbing surfaces // Vacuum. 1992. V. 43, № 5−7. P. 689−692.
  303. Groszkowski J. Gas desorption at rubbing surfaces in high vacua // Bulletin de L’Academie Polonaise des Sciences. 1961. V. IX, № 2. P. 111−112.
  304. Growth and thermal decomposition of ultrathin ion-beam deposited C: H films / A. Schenk etc. // J. Appl. Phys. 1995. V. 77. P. 2462−2473.
  305. Guil J. M., Hayward D. O., Taylor N. Absorption and diffusion of hydrogen and deuterium in tantalum at low temperatures // Proc. Royal Society. 1973. V. A335.P. 141−161.
  306. Guilman J. J. Micromechanics of Flow in Solids. New York: McGraw-Hill, 1969. 304 p.
  307. Haasen P. Physical Metallurgy. Cambridge: Cambridge University Press, 1996. 420 p.
  308. Hall В. O., Jacko R. J., Begley J. A. Analysis of hydrogen permeation experiments in 403 stainless steel // Electronic structure and properties of hydrogen in metals. New York: Plenum press, 1983. P. 555−560. (NATO conference series)
  309. Halliday B. S. An introduction to materials for use in vacuum // Vacuum. 1987. V. 37. P. 583−585.
  310. Harper W. R. Contact and Frictional Electrification. Oxford: — Clarendon Press, 1967. 369 p.
  311. Hashimoto E., Kino T. Hydrogen diffusion in aluminum at high temperatures // J. Phys. F: Metal Physics. 1983. V. 13. P. 1157−1165.
  312. Heat capacity of hydrogenated diamond-like carbon films / M. Hakovirta etc. // Applied Physics Letters. 2000. V. 77, № 15. P. 2340−2342.
  313. High temperature lubrication of various ceramics and metal alloys via directed hydrocarbon feed gases / N. J. Barnick etc. // Wear. 1998. V. 214. P. 131 138.
  314. Hiratsuka K., Kajdas C., Yoshida M. Tribo-catalisys in the synthesis reaction of carbon dioxide // Tribology transactions. 2004. V. 47. P. 86−93.
  315. Hsu S. M., Gates R. S. Effect of materials on tribochemical reactions between hydrocarbons and surfaces // J. Phys. D: Appl. Phys. 2006. V. 39. P. 3128 -3137.
  316. Huggins R. A. Materials aspects of the electrochemical insertion of hydrogen and deuterium into mixed conductors // Fusion Technology. 1994. V.26, № 4. P. 291−298.
  317. Hwang C., Bernstein I. M. Dislocation transport of hydrogen in iron single crystal//Acta Metallurgica. 1986. V. 34. P. 1001−1010.
  318. Hydrogen distribution in titanium material with low outgassingthproperties / M. Takeda etc. // Proceedings of the 4 Vacuum and surface sciences conference of Asia and Australia. Tokyo, 2008. P. 131.
  319. Hydrogen embrittlement of metals / M.R. Louthan Jr. etc. // Material Science and Engineering. 1972. V. 10. P. 357−368.
  320. Hydrogen transport by dislocations / J. Tien etc. // Metallurgical and Materials Transactions A. 1976. V. 7, № 5. P. 821−829.
  321. Hydrogen transport in stainless steel / T. Tanabe etc. // J. Nuclear Materials. 1984. V. 122−123. P. 1568−1572.
  322. In-situ, on-demand lubrication system for space mechanisms: Technical memorandum / NASA — Head of the project M. Marchetti- TM—2002−211 706. Cleveland, 2002. 20 p.
  323. Inficon: Transpector 2, gas analysis system. URL: http://www.inficongasanalyzers.com/en/transpector2gasanalysis.html. (дата обращения: 10.09.2009)
  324. International Technology Roadmap for Semiconductros: Front end processes. 65 p. URL: http://www.itrs.net/Links/2007ITRS/2007Chapters/2007FEP.pdf (дата обращения: 01.12.2009)
  325. International Technology Roadmap for Semiconductors: Lithography. 30 p. URL: http://www.itrs.net/Links/2007ITRS/2007Chapters/2007Lithography.pdf (дата обращения: 01.12.2009)
  326. Investigation of SiC films deposited onto stainless steel and their retarding effects on tritium permeation / P. Wang etc. // Surface and Coatings Technology. 2000. V. 128−129. P. 99−104.
  327. Ishikawa Y., Koguchi Y., Odaka K. Outgassing rate of some austenitic stainless steels // J. Vac. Sci. Techol. A. 1991. V. 9. P. 250−253.
  328. Isikawa Y., Nemanic V. An overview of methods to suppress hydrogen outgassing rate from austenitic stainless steel with reference to UHV and EXV //Vacuum. 2003. V. 69. P. 501−512.
  329. Ishikawa Y., Yoshimura T. Importance of the surface oxide layer in the reduction of outgassing from stainless steels // J. Vac. Sci. Techol. A. 1995. V. 13. P. 1847−1852.
  330. Ishikawa Y., Yoshimura T. Mechanically stimulated outgassing from stainless steel // J. Vac. Sci. Techol. A. 1991. V.9. P. 2021−2024.
  331. ISO 14 644. Cleanrooms and Associate Controlled Environments: Classification of Airborne molecular contamination. Geneve: International Organization for Standards, 2006. Part 8. 18 p.
  332. Israelachvili J. N. Inerfacial forces // J. Vac. Sci. Technol. 1992. V. A10. P. 2961−2971.
  333. Israelachvili J. N., McGuiggan P. M., Homola A. M. Dynamic properties of molecularly thin liquid films // Science. 1988. V. 240. P. 189−191.
  334. Johnson K. L. Contact Mechanics. New York: Cambridge University Press, 1985. 452 p.
  335. Juskenas R., Selskis A., Kadziauskiene V. In situ X-ray diffraction investigation of nickel hydride formation during cathodic charging of Ni //Electrochimica Acta. 1998. V. 43, № 12−13. P. 1903−1911.
  336. Kajdas C. On a negative-ion concept of EP action of organo-sulphur compounds // ASLE Transactions. 1983. V. 28. P. 21.
  337. Kajdas C. Tribochemistry // Proceedings of the 2nd World Tribology Conference. Vienna: PAS, 2001. P. 39−46.
  338. Kajdas C. About an ionic-radical concept of the lubrication mechanism of alcohols // Wear. 1987. V. 116. P. 167.
  339. Kang I.-W., Pyun S.-I., Kim K.-T. The effect of dislocations on the trapping and transport of hydrogen in 3,3Ni-l, 6Cr steel during plastic deformation // Scripta Metallurgica. 1989. V. 23. P. 223−226.
  340. Kato K., Umehara N., Adachi K. Friction, wear and N2-lubrication of carbon nitride coatings: a review // Wear. 2003. V. 254. P. 1062−1069.
  341. Kato S., Oyama H., Odagiri H. Surface modification of vacuum wall by carbon and its outgassing // Vacuum. 1990. V. 41. P. 1998−2000.
  342. Kikuchi T., Ohsako N., Hayashi Y. Capability of obtaining extreme high vacuum by commercial G-M refrigerator-cooled cryopump // Vacuum. 1990. V. 41. P. 1941−1943.
  343. Kim M.-W., Langford S. C., Dickinson J. T. Emission of neutral Mg from single crystal MgO during abrasion with diamond // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. P.1819−1825.
  344. Kingsbury E. P. Some aspects of the thermal desorption of a boundary lubricant // Journal of Applied Physics. 1958. V. 29, № 6. P. 888−891.
  345. Kiuchi K., McLellan R.B. The solubility and diffusivity of hydrogen in well-annealed and deformed iron // Perspectives in hydrogen in metals. Oxford: Pergamon Press, 1986. P. 29−52.
  346. Kornfeld M. I. Frictional electrification // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1976. V. 9. P. 1183−1192.
  347. Kosiel K. MBE—Technology for nanoelectronics // Vacuum. 2008. V. 82. P. 951−955.
  348. Kramer R., Andre M. Adsorption of atomic hydrogen on alumina by hydrogen spillover// Journal of Catalysis. 1979. V. 58. P. 287−295.
  349. Kurkela M., Latanision R. M. The effect of plastic deformation on the transport of hydrogen in nickel // Scripta Metallurgies 1979. V. 13. P. 927−932.
  350. Ladna B., Birnbaum H. K. A study of hydrogen transport during plastic deformation//Acta Metallurgica. 1987. V. 35. P. 1775−1778.
  351. Leblond J. B., Dubois D. A general mathematical description of hydrogen diffusion in steels. I. Deviation of diffusion equations from Boltzmann-type transport equation // Perspectives in hydrogen in metals. Oxford: Pergamon Press, 1986. P. 193−203.
  352. Levine P. D., Sweda J. R. Precision gas flowmeter for vacuum calibration // J. Vac. Sci. Technol. A. 1997. V. 15, № 3. P. 747−752.
  353. Liang Y., Sofronis P. Micromechanics and numerical modeling of the hydrogen-particle-matrix interactions in nickel-base alloys // Modelling and Simulation oin Material Science and Engineering. 2003. V. 11. P. 523−551.
  354. Liu C. K., Glassford A. P. M. Kinetics data for diffusion of outgassing species from RTV 560 silicone rubber // J. Vac. Sci. Technol. 1978. V.15, № 5. P. 1761−1768.
  355. Louthan M. R. Jr., Derrick R. G. Hydrogen transport in austenitic stainless steel // Corrosion science. 1975. V. 15, № 6−12. P. 565−570.
  356. Maboudian R., Howe R.T. Critical review: Adhesion in surface, micromechanical devices // J. Vac. Sci. Technol. 1997. V. 15. P. 1−20.
  357. MacNabb A., Foster P. K. A new analysis of the diffusion of hydrogen in iron and ferritic steels // Transactions of the metallurgical society of AIME. 1963. V. 227. P. 618−627.
  358. Malev M. D. Gas absorption and outgassing of metals // Vacuum. 1973. V. 23, № 2. P. 43−50.
  359. Mass-spectrometry during C/G composite friction: carbon oxidation associated with high friction coefficient and high wear rate / M. Gouider etc. // Wear. 2004. V. 256. P. 1082−1087.
  360. Material and surface processing of vacuum components for J-PARC / Y. Saito etc. // Proceedings of the 4-th Vacuum and surface science conference of Asia and Australia. Tokyo, 2008. P. 149.
  361. Matilla C., Median N. Dynamic expansion system at CEM / Proceedings of 20th workshop on optical and decorative coatings. Salamanca: ICMM, 2009. P. 53.
  362. McFadden C. F., Gellman A. J. Metallic friction: the effect of molecular adsorbates 11 Surface Science. 1998. V. 409. P. 171−182.
  363. Measurement of desorbed gas flowrate and diffusion coefficients / M. Bergoglio etc. // Vuoto. 1990. V. 20. P. 320−323.
  364. Measurement of ultra low outgassing rates for NLC UHV vacuum chambers / K. Kishiyama etc. // Proceedings of the 2001 International Particle Accelerator Conference. Chicago, 2001. P. 2195−2197.
  365. Mechanically stimulated solution of adsorbed hydrogen and deuterium in steel / E. A. Deulin etc. // Surface and Interfacial Analysis'. 2000. V. 30. P. 635 637.
  366. Mechanics and physics of precise vacuum mechanisms / E. A. Deulin etc. Dordrecht: Springer, 2009. 234 p.
  367. Methane adsorption and hydrogen isothermal desorption kinetics on a C (001)-(1><1) surface / T. Nishimori etc. // Journal of vacuum science and technology A. 1995. V. 3. P. 2781−2786.
  368. Mezin A., Lepage J., Abel P. B. Hydrogen permeation properties of molybdenium coatings from adsorption-desorption experiments // Thin Solid Films. 1996. V. 272. P. 132−136.
  369. Minato M., Itoh Y. Vacuum characteristics of TiN film coated on the interior surface of a vacuum duct // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1997. V. 12. P. 187- 190.
  370. Minato M., Itoh Y. Vacuum characteristics of titanium // J. Vac. Sci. Technol. A. 1995. V. 13. P. 540−544.
  371. Miura T., Nakayama K. Spectral analysis of photons emitted during scratching of an insulator surface by a diamond in air // J. Appl. Phys. 2000. V. 88. P. 5444.
  372. Molecular CO emission accompanying fracture of polycarbonate: evidence for chain cleavage / J. T. Dickinson et al. // J. Mater. Res. 1993. V. 8. P. 14−17.
  373. Molina G.J. Triboemission from ceramics: charge intensity and energy distribution characterizations: Thesis of Doctor of Philosophy. Blacksburg: Virginia Polytechnic Institute and State University, 2000. 197 p.
  374. Moore B. C. Recombination limited outgassing of stainless steel // J. Vac. Sci. Technol. A. 1995. V. 13, № 3. P. 545−548.
  375. Moraw M., Prasoi H. Gas desorption from a stainless steel surface in ultrahigh vacuum devices // Vacuum. 2003. V. 71. P. 471−479.
  376. Mori S. Adsorption of benzene on the fresh surface formed by cutting under high vacuum // Applied Surface Science. 1987. V. 27. P. 401−410.
  377. Mori S., Imaizumi Y. Adsorption of model compounds of lubricant on nascent surfaces of mild and stainless steel under dynamic conditions // Journal of ASLE Tribology Transactions. 1988. V. 31, № 4. P. 449−453.
  378. Mori S., Shitara Y. Tribochemical activation of gold surface by scratching // Applied Surface Science. 1994. V. 78. P. 269−273.
  379. Nabarro F. R. N. Distribution of solute atoms round a moving dislocation//Materials Science and Engineering. 2005. V. A400−401. P. 22−24.
  380. Nakayama K. Triboemission // Proceedings of International Tribology Conference. Tsukuba, 2000. P. 13−17.
  381. Nakayama K., Nevshupa R. A. Characteristics and Pattern of Plasma Generated at Sliding Contact // Trans. ASME: J. Tribology. 2003. V 125. P. 780−787.
  382. Nakayama K., Nevshupa R. A. Plasma generation in a gap around a sliding contact // J. Phys D: Appl. Phys. 2002. V. 35. L53-L56.
  383. Nanofriction mechanisms derived from the dependence of friction on load and sliding velocity from air to UHV on hydrophilic silicon / A. Opitz etc. // Tribology Letters. 2005. V. 20. P. 229−234.
  384. Nanofriction of silicon oxide surfaces covered with thin water films /A. Opitz etc. // Wear. 2003. V. 254. P. 924−929.
  385. Gas-phase hydrogen permeation through alfa iron, 4130 steel, and 304 stainless steel from less than 100 °C to near 600 °C: Technical note / NASA — H. G. Nelson- TN D-7265. Washington D.C., 1973. 20 p.
  386. Nemanic V., Setina J. A study of thermal treatment procedures to reduce hydrogen outgassing rate in thin wall stainless steel cells // Vacuum. 1999. V. 53. P. 277−280.v
  387. Nemanic V., Setina J. Experiments with a thin-walled stainless-steel vacuum chamber//J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. P. 1789−1793.V
  388. Nemanic V., Zajec B., Setina J. Anomalies in kinetics of hydrogen evolution from austenitic stainless steel from 300 to 1000 °C // J. Vac. Sci. Technol. A. 2001. V. 19. P. 215−222.
  389. Nemanic V., Zajec B., Zumer M. Deuterium permeation through stainless steel caused by dissociative adsorption of D20 // Vacuum. 2003. V. 68. P. 183−189.
  390. Nevchoupa R. A., de Segovia J. L., Deulin E. A. An UHV system to study gassing and outgassing of metals under friction // Vacuum. 1999. V. 52. P. 73−81.
  391. Nevshupa R. A. Triboemission: an attempt of developing a generalized classification / Tribology: science and applications. Vienna: PAS, 2003. P. 11−25
  392. Nevshupa R.A., de Segovia J.L. Outgassing from stainless steel under impact in UHV // Vacuum. 2002. V. 64. P. 425−430.
  393. Nevshupa R. A., de Segovia J. L., Deulin E. A. Outgassing of stainless steel during sliding friction in ultra high vacuum // Vacuum. 1999. V. 53. P. 295−298.
  394. Nevshupa R. A., de Segovia J. L., Roman E. Surface-induced reactions of absorbed hydrogen under mutual mechanical forces // Vacuum. 2005. V. 80. P. 241−246.
  395. Nevshupa R. A., Nakayama K. Capabilities of Tribomicroplasma for developing of High-Tech Applications / Proceedings of Russian-Japanese Tribology Workshop. Moscow, 2002. P. 15−20.
  396. Nevshupa R. A., Nakayama K. Effect of Nanometer Thin Metal Film on Triboemission of Negatively Charged Particles from Dielectric Solids // Vacuum. 2002. V. 67. P. 375−380.
  397. Nevshupa R. A., Roman E., de Segovia J. L. Model of the effect of local frictional heating on the tribodesorbed gases from metals in ultra-high vacuum //International Journal of Materials and Product Technology. 2010. V. 38, № 1. P. 57−65.
  398. Nevshupa R. A., Scherge M., Ahmed S. I.-U. Transitional microfriction behavior of silicon induced by spontaneous water adsorption // Surface Science. 2002. V. 517. P. 17−28.
  399. Nickel N. H. Hydrogen transport properties in zinc oxide // Superlattices andMicrostructures. 2007. V. 42. P. 3−7.
  400. Ockham W. Philosophical Writings. A selection edited and translated by Philotheus Boehner. Edinburgh: London: Thomas Nelson and Sons, 1957. 147 p.
  401. Oriani R.A. The diffusion and trapping of hydrogen in steel // Acta metallurgies 1970. V. 18. P. 147−157.-634 443. Outgassing from stainless steel and the effect of the gauges / J. R. J. Bennett etc. // Vacuum. 1992. V. 43. P. 35−39.
  402. Outgassing measurements on RTV S691 Silicone Adhesive: Report / Outgassing Services International — J. Garrett — № JAMOO12606. Mountain View, 2006. 13 p.
  403. Outgassing performances of an industrial prototype tube for the Virgo antenna / P. Marin etc. // Vacuum. 1998. V. 49. P. 309−314.
  404. Peksa L., Gronych T., Repa P. The influence of a local-induced desorption on pressure in an uhv system // Vacuum. 1992. V. 43. P. 695−698.
  405. Peksa L., Gronych T., Repa P. An attempt to determine the activation energy of desorption from the shape of the pressure pulse in an UHV system caused by LID // Vacuum. 1994. V. 45. P. 849−851.
  406. Peressadko A. G., Nevshupa R. A., Deulin E.A. Mechanically stimulated outgassing from ball bearings in vacuum // Vacuum. 2002. V. 64. P. 451−456.
  407. Perkins H. K., Noda T. Deuterium transport through 304 and 304L stainless steel at low driving pressures and 15 KeV deuteron bombardment // Journal of Nuclear Materials. 1978. V. 71, № 2. P. 349−364.
  408. Perng T.-P., Altstetter C. J. Effects of deformation on hydrogen permeation in austenitic stainless steel // Acta Metallurgica. 1986. V. 34, № 9. P. 1771−1781.
  409. Persson B. N. J. Sliding Friction: Physical Principles And Applications. Berlin: Springer, 2000. 520 p.
  410. Persson B. N. J., Volokitin A.I. Theory of rubber friction: Nonstationary sliding // Phys. Rev. 2002. B 65. P. 134 106.
  411. Peterson J. A., Gibala R., Troiano A. R. Internal-Friction Peaks in Hydrogen-Charged Austenitic Stainless Steel // J. Appl. Phys. 1967. V. 38, № 4. P. 1992.
  412. Pierson H. O. Handbook of carbon, graphite, diamond and fullerenes. Park Ridge: Noyes Publications, 1993. 405 p.
  413. Powder Diffraction File. Newtown Square: International Centre for Diffraction Data, 2010. 35 p.
  414. Pressouyre G. M. Trap theory of hydrogen embrittlement // Acta metallurgies 1980. V. 28. P. 895−911.
  415. Preventing spacecraft failures due to tribological problems: Technical memorandum /NASA- Head of the project R. L. Fusaro- TM—2001−210 806. Cleveland, 2001. 43 p.
  416. Properties of hydride-forming metals and of multilayer hydrogen permeation barriers / J. W. Guthrie etc. // Journal of Nuclear Materials. 1974. V. 53. P. 313−322.
  417. Process for reduction of undesireable outgassing species: Patent 6 893 721 USA- filed 10.09.2002- issued: 17.05.2005, The Official Gazette of the United States Patent and Trademark Office.
  418. Quantification of the H content in diamondlike carbon and polymeric thin films by reflection electron energy loss spectroscopy / F. Yubero etc. // Applied physics letters. 2005. V. 87. P. 84 101.
  419. Quick N. R., Johnson H. H. Permeation and diffusion of hydrogen and deuterium in 310 stainless steel, 472 K to 779 K // Metallurgical Transactions A. 1979. V. 10, № 1. P. 67−70.
  420. Radicals in the mechanochemical dechlorination of hazardous organochlorine compounds using CaO nanoparticles / T. Ikoma etc. // Bull. Chem. Soc. Jpn. 2001. V 74. P. 2303−2309.
  421. Redhead P. A. Effects of readsorption on outgassing rate measurements // J.Vac. Sci. Technol. A. 1996. V. 14. P. 2599−2609.
  422. Redhead P. A. Modelling the pump-down of a reversibly adsorbed phase. I. Monolayer and submonolayer initial coverage // J.Vac. Sci. Technol. A. 1995. V. 13. P. 469−475.
  423. Redhead P. A. Thermal desorption of gasses.// Vacuum. 1962. V. 12. P.203.
  424. Repa P. Mechanically induced desorption // Vacuum. 1992. V.43. P. 367−371.
  425. Repa P., Rott, M. Outgassing of metals stimulated by friction // Vacuum. 1997. V.48. P. 775−778.
  426. Repa P., Oralek D. Outgassing stimulated by deformation // Vacuum. 1999. V. 53. P. 299−302.
  427. Report on material characterization / CERN- Head of the project P. Chiggiato — Minute 01−04- 16−3689P. Geneve, 2006. 36 p.
  428. Rezaie-Serej S., Outlaw R. A. Thermal desorption of CO and H2 from degassed 304 and 347 stainless steel // J. Vac. Sci. Technol. A. 1994. V. 12. P. 28 142 819.
  429. Richardson J. T., Scates R., Twigg M. V. X-ray diffraction study of nickel oxide reduction by hydrogen // Applied Catalysis A: General. 2003. V. 246. P. 137−150.
  430. Riedo E., Levy F., Brune H. Kinetics of capillary condensation in nanoscopic sliding friction // Physical Review Letters. 2002. V. 88, № 18. P. 1 855 051 -185 505−4.
  431. Rigney D. A. Transfer, mixing and associated chemical and mechanical processes during the sliding of ductile materials // Wear. 2000. V. 245. P. 1−9.
  432. Samsonidze Ge. G., Samsonidze G. G., Yakobson B. I. Energetics of Stone-Wales defects in deformations of monoatomic hexagonal layers // Computational Material Science. 2003. V. 23. P. 62−72.
  433. Santhanam J., Vijendran P. Outgassing properties of low temperature thermal insulators // Vacuum. 1982. V. 32. P. 487−490.
  434. Santeler D. J. Estimating the gas partial pressure due to diffusive outgassing // J. Vac. Sci. Technol. A. 1992. V. 10. P. 1879−1883.
  435. Sasada T., Hiratsuka K., Saito H. Adsorption of surrounding gas molecules on pure metal surfaces during wear processes // Wear. 1990. V. 135. P. 251−264.
  436. Sawyer W. G., Blanchet Th. A. Lubrication of Mo, W and their alloys with H2S gas admixtures to room temperature air // Wear. 1999. V. 225−229. P. 581 586.
  437. Sawyer W. G., Dickrell P. L. A fractional coverage model for gas-surface interaction in reciprocating sliding contacts // Wear. 2004. V. 256. P. 73−80.
  438. Scherge M., Li X., Schaefer J. A. The effect of water on friction of MEMS // Tribology Letters. 1999. V. 6. P. 215−220.
  439. Schindler N., Schleussner D., Edelmann Chr. Measurements of partial outgassing rates // Vacuum. 1996. V. 47. P. 351−355.
  440. Self-lubricating polymer composites and polymer transfer film lubrication for space applications: Technical memorandum / NASA- Head of the project R. L. Fusaro — TM-1990−102 492. Cleveland, 1990. 49 p.
  441. Solid state 13C and 1H nuclear magnetic resonance investigations of hydrogenated amorphous carbon / C. Donnet etc. // Journal of applied physics. 1999. V. 85, N. 6. P. 3264−3270.
  442. Space tribology: Technical memorandum / NASA — Head of the project W. R. Jones Jr.- TM—2000−209 924. Cleveland, 2000. 38 p.
  443. Specific heat of single-, poly- and nanocrystalline diamond / C. Moelle etc. // Diamond and Related Materials. 1998. V. 7. P. 499−503
  444. Stievenard D., Legrand B. Silicon nano-oxidation using scanning probe microscopy: Review // Progress in Surface Science. 2006. V. 81. P. 112−140.
  445. Storage of hydrogen in single-walled carbon nanotubes / A. C. Dillon etc. //Nature. 1997. V. 386. P. 377−379.
  446. Study of the secondary ion emission by electrons from microchannel plates (MCP) / R. A. Nevshupa etc. // J. Phys: Conf. Series. 2008. V. 100. P. 42 012−1 42 012−4.
  447. Super low friction of diamond-like carbon films: a relation to viscoplastic properties / J. Fontaine etc. // Tribology letters. 2004. V. 17, No. 4. P. 709−714.
  448. Sze S. M. Microelectronics Technology: Challenges in the 21st Century // Future Trends in Microelectronics. New York: Wiley Interscience, 2002. P. 3−16.
  449. Sung D., Kim D., Gellman A. J. The surface chemistry of vapor phase lubricants: tricresylphosphate on Ni (100) // Tribology International. 2005. V. 38. P. 151−157.
  450. Sugimura H., Nakagiri N. Scanning probe nanofabrication of chemically active areas on substrate covered with organosilane monolayers // J. Vac. Sci. Technol. B. 1997. V. 15, № 4. P. 1394−1397.
  451. Temperature measurements of the gaseous emission during the fracture of polystyrene: a determination of the fracture energy and fracture surface temperature / J. T. Dickinson etc. // J. Polymer Sci. (B) 1994. V. 32. P.779−782.
  452. Temperature-programmed desorption from iron, chromium, nickel and 304L stainless steel / J. P. Joly etc. // Vacuum. 2000. V. 59. P. 854−867.
  453. Terada K., Tuzi Y., Okano T. The pumping of gases desorbed by pulsed ruby laser irradiation // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. V. 5. P. 2507−2511.
  454. The effect of wetting on the microhydrodynamics of surfaces lubricated with water and oil / W. Hild etc. // Wear. 2003. V. 254. P. 871−875.
  455. The influence of the environment on the friction and wear of graphitic carbons: I. Action of atomic hydrogen / H. Zaidi etc. // Applied Surface Science. 1989. V 40. P. 103−114.
  456. The outgassing from TiN and BN films grown on stainless steel by IBAD / K. H. Chung etc. // Vacuum. 1999. V. 53. P. 303−307.
  457. The properties of perfluoropolyethers used for space applications: Technical memorandum / NASA — Head of the project W. R. Jones Jr.- TM-1993−106 275. Cleveland, 1993. 16 p.
  458. The role of hydrogen on the friction mechanism of diamond-like carbon films / C. Donnet etc. // Tribology letters. 2000. V. 9, No. 3−4. P. 137−142.
  459. Thermal desorption of hydrogen from carbon nanosheets / X. Zhao etc. // Journal of Chemical Physics. 2006. V. 124. P. 194 704−1 194 704−6.
  460. Thermal desorption study of selected austenitic stainless steels / J.-P. Bacher etc. //J. Vac. Sci. Technol. A. 2003. V. 21. P. 167−174.
  461. Thomas G. J., Drothing W. D. Hydrogen induced lattice expansion in nickel //Metallurgical Transactions. 1983. V. A14. P. 1545−1548.
  462. Thomas L. C. Heat transfer professional version. Englewood Cliffs: Prentice Hall, 1993. P. 463−470.
  463. Treatment of stainless steel and similar alloys to reduce hydrogen outgassing: Patent 3 969 151 USA, filed 14.10.1975- issued: 13.07.1976, The Official Gazette of the United States Patent and Trademark Office № 31.
  464. Tribochemistry in the analytical UHV tribometer / J. M. Martin etc. // Tribology International. 1999. V. 32. P. 617−626.
  465. Triboemission as a basic part of the boundary friction regime: A review / C. Kajdas etc. // Lubrication Science. 2002. V. 13. P. 223−254.
  466. Triboemission from alumina, single crystal sapphire, and aluminum / G. J. Molina et al. // Wear. 2001. V. 249. P. 214.
  467. Tribology of diamond-like carbon films. Fundamentals and applications / Eds. C. Donnet, A. Erdemir. New York: Springer, 2008. 664 p.
  468. Tschersich K. G., Niekisch E. A. Outgassing experiments with selected, low-Z materials: Si3N4, BN, BeO // Journal of Nuclear Materials. 1978. V. 76−77. P. 617−618.
  469. Two-region model for hydrogen trapping in and release grom graphite // A. A. Haasz etc. // J. Appl. Phys. 1995. V. 77. P. 66−86.
  470. Tuzi Y., Takeuchi K., Kurokawa Y. Effect of bake-out on the adsorption kinetics of gases in a vacuum chamber // Vacuum. 1993. V. 44. P. 447−449.
  471. Uhlemann M., Pound B. G. Diffusivity, solubility and trapping behavior of hydrogen in alloys 600, 690tt and 800 // Corrosion Science. 1998. V. 40, № 4. P. 645−662.
  472. Ueda S., Kamohara H., Ishikawa Y. A performance of molecular beam system equiped with the automatic substrate transport mechanism // J. Vac. Sci. Technol. A 1986. V. 4. P. 602−605.
  473. United Performance Metals: Catalogue 2010. URL.: http://www.upmet.com/ (дата обращения: 11.05.2010)
  474. Urakaev F. K. Mechanodestruction of minerals at the crack tip (Overview): 1. Experiment // Physics and Chemistry of Minerals. 2007. V.34. P. 351 361.
  475. Vick B., Furey M. J. A basic theoretical study of the temperature rise in sliding contact with multiple contacts // Tribol. Int. 2001. V. 34. P. 823−829.
  476. Walton A. J. Triboluminescence // Advances in Physics. 1977. V. 26, № 6. P. 887−948.
  477. Wilkens W., Kranz O. The formation of gases due to the sliding friction of teflon on steel in ultrahigh vacuum // Wear. 1970. V. 15, № 3. P.215−227.
  478. X-ray diffraction and scanning electron microscopic characterization of electrolytically hydrogenated nickel and palladium / S. S. M. Tavares etc. // Journal of Alloys and Compounds. 2002. V. 347. P. 105−109.
  479. Xiukui S., Jian X., Yiyi L. Hydrogen permeation behaviour in austenitic stainless steels // Materials Science and Engineering. 1989. V. Al 14. P. 179−187.
  480. Yamanishi T., Kudo H. Adsorption equilibrium of hydrogen isotopes on alumina adsorbents for gas-solid chromatography // Journal of Chromatography. 1989. V. 475. P. 125−134.
  481. Zaidi H., Paulmier D., Lepage J. The influence of the environment on the friction and wear of graphitic carbons. II. Gas coverage of wear debris // Applied Surface Science. 1990. V.44. P. 221−233.
  482. Zajec B., Nemanic V. Hydrogen bulk states in stainless-steel related to hydrogen release kinetics and associated redistribution phenomena // Vacuum. 2001. V. 61. P. 447−452.
Заполнить форму текущей работой

Заказал и сдал!