Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники
В результате выполненного комплекса экспериментальных исследований на специально созданном оборудовании по предложенной в работе методике установлена зависимость эксплуатационных характеристик ТМН от конструктивных, кинематических и физических параметров. Впервые предложены: алгоритм расчёта проточной части ТМН с учётом ряда ограничивающих факторов, связанных с процессом откачкиметод расчёта… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Вакуумные системы современного технологического и физико-аналитического оборудования электронной техники на основе турбомолекулярных насосов
- 1. 1. Общая характеристика
- 1. 2. Вакуумно-термическая обработка приборов вакуумной электроники с использованием высоковакуумных турбомолекулярных насосов
- 1. 3. Оборудование ионной имплантации
- 1. 4. Оборудование для осаждения плёнок из сепарированных ионных потоков
- 1. 5. Оборудование для осаждения плёнок методом ионного распыления
- 1. 6. Физико-аналитическое оборудование электронной техники
- 1. 7. Магистрально-модульный комплекс сверхвысоковакуумной лучевой технологии
- 1. 8. Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель на основе турбомолекулярного насоса
- Выводы по главе 1
- Глава 2. Анализ работ по исследованиям и разработке турбомолекулярных насосов
- 2. 1. Обзор теоретических и прикладных вопросов создания турбомолекулярных насосов
- 2. 2. Классификация турбомолекулярных насосов по конструктивному выполнению их основных узлов
- 2. 3. Ступени турбомолекулярных насосов
- 2. 4. Возникновение откачивающего действия у движущихся и неподвижных наклонных каналов ступеней турбомолекулярных насосов
- 2. 5. Оценка прочности роторных ступеней турбомолекулярных насосов
- 2. 6. Обсуждение работ по теоретическим и прикладным вопросам создания турбомолекулярных насосов
- Выводы по главе 2
- Глава 3. Вопросы теории, расчёта и конструирования турбомолекулярных насосов
- 3. 1. Графоаналитическая модель переноса молекул газа через каналы, роторной ступени турбомолекулярного насоса
- 3. 2. Метод расчёта вакуумных характеристик проточной части ТМН без учёта потоков газовыделений с её рабочих поверхностей
- 3. 3. Анализ закономерностей процесса откачки газа турбомолекулярным насосом
- 3. 4. Быстрота действия ТМН по смеси газов
- Выводы по главе 3
- Глава 4. Расчёт проточной части ТМН
- 4. 1. Принцип оптимизации вакуумных параметров ТМН
- 4. 2. Методика расчёта оптимальной проточной части ТМН
- 4. 3. Исследование вакуумных характеристик ТМН для различных условий работы
- Выводы по главе 4
- Глава 5. Экспериментальные исследования турбомолекулярных высоковакуумных насосов
- 5. 1. Становление и развитие методов экспериментальных исследований
- 5. 2. Методика испытаний вакуумных характеристик ТМН
- 5. 3. Экспериментальное оборудование. Результаты испытаний
- 5. 4. Оценка точности и воспроизводимости измеренных величин
- 5. 5. Получение безмасляного вакуума при помощи ТМН, имеющего масляные опоры вращения роторных ступеней, и масляный форвакуумный насос
- Выводы по главе 5
Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Вторая половина XX в. была ознаменована ускоренным развитием отечественной науки, техники и производства в наиболее важных для страны направлениях, среди которых особое место принадлежало электронной технике.
Трудно назвать в настоящее время какую-либо другую отрасль техники, которая по наукоёмкости, диапазону используемых физических процессов и технических принципов может сравниться с электроникой.
Особая роль в развитии электронных технологий принадлежит вакуумной технике, которая используется и как рабочая среда электровакуумных приборов различного назначения, и как средство для осуществления сложнейших физико-технологических процессов современной твердотельной электроники, протекающих в высоком и сверхвысоком вакууме на молекулярном и атомном уровне с использованием энергетических потоков электронов, ионов, плазмы, нейтральных атомов и др.
Эти процессы широко используются для осаждения покрытий из молекулярных и сепарированных ионных пучков, размерной обработки остросфокусированными потоками электронов и ионов, ионного легирования, выращивания сверхтонких структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии и других процессов.
На этом этапе динамка уменьшения линейных размеров элементов микросхем являлась приоритетной и была реализована на высоком технологическом и аппаратном уровне [1−12].
Создание элементов интегральных схем с размерами порядка единиц и десятков нанометров потребовало качественного изменения традиционной электроники и перевода ее в область наноэлектроники. Реализация новых технологических процессов наноэлектроники, включающих совокупность методов создания функциональных элементов нанометровых размеров на поверхности подложек, в том числе элементов, состоящих из отдельных атомов и молекул, потребовала создания нового класса сверхвысоковакуумного технологического и физико-аналитического оборудования.
Нанотехнология стала одним из важных достижений последнего времени современной науки, техники и технологии, и стимулировала дальнейшее развитие высоких технологий производства различных изделий электронной техники. Нанотехнология позволяет, например, в зависимости от размера частиц, изменять электронную структуру материалов, проводимость, реакционную способность, механические свойства и др.
Определяющими высоковакуумными процессами наноэлектроники являются: нанолитография высокого разрешения на основе рентгеноионнои электроно-литографии и высокояркостного синхротронного излучения [13−14], ионно-лучевое перемешивание с целью изменения структуры исходного материала, который невозможно достичь с использованием обычных равновесных нанотехнологических процессов, аморфизация нанометровых пленок с использованием высокоэнергетических ионных пучковсоздание тонких поверхностных пленок методом туннельной и атомно-силовой микроскопии [15−24] и др.
Важным направлением работ, обеспечивающих выполнение большинства технологических процессов современной электронной техники, является формирование требуемых вакуумных условий в рабочих камерах оборудования [25].
До сравнительно недавнего времени одним из распространенных средств получения вакуума для технологических целей в рабочих камерах технологического оборудования являлись струйные вакуумные насосы (диффузионные, бустерные, эжекторные), которые благодаря простоте их изготовления, сравнительно низкой стоимости и высокой надежности, использовались в некоторых видах оборудования.
Однако присутствие в спектре остаточной газовой среды, создаваемой насосами этого типа, тяжелых углеводородных соединений с массовым числом более 44 (паров масла) не удовлетворяли требованиям большинства электронных технологий [25].
Сорбционные насосы также имели достаточно ограниченное применение, благодаря ряду присущих им недостатков, таких как селективность откачки, наличие сорбционной памяти, малое время работы при повышенных давлениях, чувствительность к прорыву атмосферы, неприспособленность к автоматизации процесса откачки [26].
Одним из перспективных средств получения безмасляного вакуума в широком диапазоне рабочих давлений от 1 до 10″ 9 Па явились молекулярные и турбомолекулярные насосы, первые промышленные образцы которых были созданы в середине прошлого века и имели перспективу дальнейшего развития.
27−30], которая реализуется и до настоящего времени с участием многих специалистов. Автор настоящей работы посвятил этой проблеме более 30 лет.
Следует отметить, что отечественная электронная промышленность и смежные отрасли науки и техники по мере своего развития испытывают необходимость в периодическом совершенствовании средств получения высокого вакуума с предпочтительным использованием турбомолекулярных насосов (ТМН).
Широко используемые в электронной технике процессы связанные с применением химически активных газов, например процессы реактивного ионно-плазменного, реактивного ионно-лучевого травления и др. обусловили необходимость создания ТМН в химстойком исполнении [31, 32, 33].
Стремление к увеличению выпускного давления ТМН привело к использованию в качестве последних ступеней проточной части ступени молекулярных и вихревых насосов [34, 35 ].
Для проведения уникальных физических исследований были созданы малогабаритные ТМН специального назначения [36].
Работы теоретического и прикладного характера по дальнейшему развитию и совершенствованию конструкций ТМН продолжаются. Этой проблеме посвящена представленная работа. Диссертация состоит из введения и пяти глав.
Выводы по главе 5:
1. Удаление первых статорных ступеней из насоса ТМН — 200 увеличило его быстроту действия примерно в 1,2 раза, а у ТМН — 100 быстрота действия увеличилась примерно в 1,3 раза.
2. В результате выполненного комплекса экспериментальных исследований на специально созданном оборудовании по предложенной методике установлена зависимость эксплуатационных характеристик ТМН от конструктивных, кинематических и физических параметров.
3. Впервые предложен и экспериментально подтверждён в результате спектрального анализа остаточной газовой среды метод получения «безмасляного» вакуума при использовании ТМН с «масляными» опорами вращения и «масляным» форвакуумным насосом.
Заключение
.
1. Установившиеся тенденции электронной промышленности непрерывного внедрения новых технологий в практику производства современных и перспективных изделий электронной техники, требуют опережающего развития вакуумной техники, высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для реализации современных и суперсовременных технологических процессов, протекающих на молекулярном и атомном уровне с использованием энергетических потоков электронов, ионов, плазмы, нейтральных атомов и др. воздействий в условиях высокого и сверхвысокого вакуума.
2. Одним из важнейших требований, предъявляемых к остаточной газовой среде рабочих объёмов технологического вакуумного оборудования является высокий вакуум на уровне 10″ 6 — 10″ 9 Па и отсутствие в его составе тяжёлых углеводородных соединений. Для удовлетворения этого требования необходимо использовать в оборудовании высоких вакуумных технологий «безмасляные» средства откачки.
3. Для современного высоковакуумного технологического и научного оборудования электронной техники наиболее перспективными средствами откачки являются турбомолекулярные насосы, которые, имеющие резервы дальнейшего усовершенствования и развития.
4. На основе анализа требований к современному оборудованию высоких вакуумных технологий электронной техники в работе выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований и предложен ряд новых технических решений, направленных на дальнейшее улучшение параметров и совершенствование конструкций турбомолекулярных насосов в том числе: предложены теоретические зависимости для расчёта основных параметров и анализа эксплуатационных характеристик ТМНтеоретически обоснован эффект повышения быстроты действия ТМН в результате применения оптимальных геометрических параметров ступеней насосавыведено понятие ступени, под которым следует понимать любой элемент проточной части ТМН, изменяющий концентрацию откачиваемого газавыполнены исследования, направленные на создание равнопрочной конструкции роторного диска с учётом оптимальной частоты его вращения.
5. В результате выполненного комплекса экспериментальных исследований на специально созданном оборудовании по предложенной в работе методике установлена зависимость эксплуатационных характеристик ТМН от конструктивных, кинематических и физических параметров. Впервые предложены: алгоритм расчёта проточной части ТМН с учётом ряда ограничивающих факторов, связанных с процессом откачкиметод расчёта быстроты действия ТМН по суммарному потоку газа в молекулярном режиме течения с использованием принципа независимости потоков различных газовклассификация ТМН на основе физических принципов их действия и методов структурного синтеза, предусматривающая возможную перспективу их развития и создания новых поколений ТМН с улучшенными характеристиками. метод получения «безмасляного» вакуума при использовании турбомолекулярного насоса с масляными опорами вращения и «масляным» форвакуумным насосом, который экспериментально подтверждён результатами спектрального анализа остаточной газовой средыинструкция по эксплуатации ТМН в рекомендованном режиме работы, гарантирующая получение «безмасляного» вакуума.
Список литературы
- Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М. Энергия. 1972.256 с.
- Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем. М. Энергия. 1977. 375 с.
- Блинов И. Г., Кожитов Л. В. Оборудование полупроводникового производства. М. Машиностроение. 1986. 263 с.
- Быков Д. В. Кеменов В. Н., Арменский Е. В., Александрова А. Т., Леонов Л. Б. и др. Исследование состояния использования вакуумной техники и технологии в электронном производстве и других отраслях промышленности. Научно-технический отчёт. М. МИЭМ. 1997.
- Е. С. Фролов, В. Е. Минаичев, А. Т. Александрова и др. Вакуумная техника. Справочник. М. Машиностроение. 1992.471 с.
- Борисов В. П., Кеменов В. Н., Маклаклов А. А. Вакуумная техника электронной промышленности. Электронная промышленность. Вып. 7.1984. 2−6 с.
- Данилин Б. С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для очистки и травления материалов. М. Энергоатомиздат. 1987. 264 с.
- Пипко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструирование и расчёт вакуумных систем. М: Энергия. 1979. 503 с.
- Кеменов В. Н., Нестеров С. Б. Вакуумная техника и технология. М. МЭИ.2002. 83 с.
- Пипко А. И., Плисковский В. Я., Королёв Б. И., Кузнецов В. И. Основы вакуумной техники. М. Энергоиздат. 1981.432 с.
- Розанов Л. Н. Вакуумные машины и установки. М. Машиностроение.1975. 336 с.
- Зайдель А. Н. Техника и практика спектроскопии. М. Энергия. 1976. 335 с.
- Колеров Э. П. Проблемы субмикронной литографии. М. МИЭМ. Сб. Автоматическое оборудование и технология производства изделий электронной техники. 1991. 69−72 с.
- Колеров Э. П. Особенности проектирования вакуумных систем оборудования для высокоэнергетических технологий. М. МИЭМ. Сб. Автоматическое оборудование и технология производства изделий электронной техники. 1991. 72−76 с.
- Головин Ю. И. Введение в нанотехнологию. М. Машиностроение. 2003.112с.
- Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Под редакцией Андриевского Р. Л. М. МИР. 2002. 292 с.
- Марголин В. И. Основы нанотехнологии. Санкт-Петербург. АЭТИ. 2001. 55 с.
- Владимиров Г. Г., Лускинович П. Н., Никишин В. И. Нанотехнология новое направление в создании изделий электронной техники. // Электронная промышленность. 9. с 39−35.1987.
- Корняков Н.В., Левин В. Л., Макаров Е. Б., Мордвинов В. М. Сканирующий туннельный микроскоп в микролитографии // Электронная техника. Серия №. Микроэлектроника, 1 (140) с 3 7
- Макаров В. Л., Варшавский А. Г. Наука и высокие технологии России на рубеже третьего тысячелетия.- ВЛ. М. Наука. 636 с.
- Васичев Б. Н. Электронная литография. М. Знание. 1982. 32 с.
- Васичев Б. Н. Основные явления в зоне действия электронного пучка. Энциклопедия Т. III-8. Технология, оборудование и система управления в электронном машиностроении. Стр 58−63.
- Попов В. К. Электронно-оптические системы технологического назначения. Стр. 79−87.
- Гревцев Н. В. Рентгенолитография. М. Машиностроение. Т111−8. 2000.137 152 с.
- Розанов Л. Н. Вакуумная техника. М. Высшая школа. 1990. 320 с.
- Кеменов В. Н. Реализация системного подхода при проектировании вакуумных систем оборудования высоких технологий. Вакуумная техника и технология. Т9. № 4 1999.
- Кеменов В. Н., Шугаев В. Г. Безмасляные турбомолекулярные вакуумные насосы с магнитной подвеской ротора. Электронная промышленность. Вып. 7.1988. 58−59 с.
- Becker W. Vakuumtechnik. 1968. № 3,17 с.
- Кондрашев В. С. Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов. Труды МИЭМ «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение». Под редакцией Александровой А. Т. Вып. 9.1970. Стр. 131−155
- Кондрашев В. С., Волчкевич А. И., Демешкевич Т. Б. Турбомолекулярные насосы современные сверхвысоковакуумные средства откачки. Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. № 12 1969.104 -118 с.
- Скоркин А. С., Жлукто Б. Д., Выскуб В. Т. и др. Химически стойкий турбомолекулярный насос ТМН-3500 X. Электронная промышленность. № 12, 1991. 71−72 с.
- Скоркин А. С. Ряд турбомолекулярных насосов в химстойком исполнении. Вакуумная техника и технология Т2,№ 3.1992 12−13 с.
- Трифонов В. П., Толстихин А. И., Скоркин А. С., Кеменов В. Н. Турбомолекулярный насос НВТ-300Х химстойкого исполнения, работающий в любом монтажном исполнении. Сб. ВИМИ. 1992 Вып. 3. 26−27с.
- Розанов Л. Н. Современное состояние и перспективы развития откачных устройств. Вакуумная техника и технология.Т. 14. № 2. 63−70 с.
- Герасимов В. С., Миронова Т. Н., Розанов Л. Н., Одинцов Н. А. Конструкции молекулярных насосов. Вакуумная техника и технология. Т15. № 2 2005.147 151 с.
- Одинцов Н. А. Турбомолекулярные насосы для получения сверхвысокого вакуума. Вакуумная техника и технология. Т15.№ 2 2005 119−120 с.
- Александрова А. Т. Оборудование электровакуумного производства. М. Энергия. 1975. 384 с.
- Симонов В. В. Оборудование ионной имплантации. М. Радиои связь. 1988. 184 с.
- Ревелева М. А. Ионная имплантация. Энциклопедия. Технология. Оборудование и системы управления в электронном машиностроении. TIII-8. М. Машиностроение. 2000.121−136 с.
- Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии.- М.: Высшая школа. 1988. 255 с.
- Вакуумное оборудование тонкоплёночных технологий. В 2х томах под ред. Ковалёва Л. К., Василенко. Сибирская аэро-космическая акад. 1996. 416 с.
- Маишев Ю. П. Источники ионов и ионно-лучевое оборудование. Вакуумная техника и технология. № 4.1992. 53−58 с.
- Виноградов М. И., Маишев Ю. П. Вакуумные процессы и оборудование ионной и электронно-лучевой технологии. М. Машиностроение. 1990. 360 с.
- Шабельников Л. Г. Аналитическое приборостроение и электроника. Электронная промышленность. № 10.1990. 3−6 с.
- Закурдаев И. В., Кобец Т. Д., Махов И. Е. Применение оже-спектроскопии для исследования молекулярных источников и конструкционных материалов. Электронная промышленность. № 10.1990.25−26 с.
- Кратенко В. И., Ляпин В. М., Махов И. Е. и др. Комплекс для высоковакуумной лучевой технологии. Электронная промышленность. № 10.1990. с 58−61.
- Денисов А. Г. Создание комплексов сверхвысоковакуумного диагностического и технологического оборудования. Автореферат диссерт. ДТН. М. МИЭМ.1985.47 с.
- Евлампиев А. И., Литошенко А. П., Муравьёва Л. Д. Новый масс-спектрометрический течеискатель безмасляное средство контроля качества герметизации изделий. Вакуумная техника и технология. Том II, № 3.1992.39−41 с.
- Дубинский В. А., Кеменов В. Н. Форвакуумные каталитические ловушки типа Л К. Научно-технические достижения. Межотраслевой сб. Мю 1992.17с.
- W. Becker: Molekularpumpe, DAS 1 010 235 (22. 4.1955).
- M.Hablanlan. «The Axial Flow Compressor as a High Vacuum Pump». First International Congress on Vacuum Technology. Namur. Belgium. 1958.
- W.Becker «Ober eine Neue Molekularpumpe». First International Congress on Vacuum Technology. Namur. Belgium. 1958.
- Инструкция по эксплуатации турбомолекулярного насоса ТМН-200.
- Инструкция по эксплуатации турбомолекулярного насоса ТМН-5000.55. Каталог фирмы Snecma.
- W. Gaede. Die Molekularluftpupe. Annalen der Physik. 41, 337,1913.
- W. Becker. Die Turbomolekularpume. Vakuum-Technik.lS.Jhrg., Heft 9,1966.
- W. Becker. Die Turbomolekularpume. Vakuum-Technik.15.Jhrg., Heft 10,1966.
- C.Kruger, A.Shapiro. «Vacuum pumping with a blated axial flow turbomashine». Seventh National Symposium on Vacuum Technology Transaction.1960. pp. 6 -12.
- L. Maurice, S. Sagot. «Teorie des pompes turbomolecularies». Vide. 1964,19, № 1.I, 109−122.
- H. Gamier. «Pompe turbomolekulaire SNECMA». Entropie, 1966, 8, p. 65 72.
- Беляев Л. А., О зависимости параметров молекулярного турбонасоса от некоторых элементов его конструкции. «Вопросы радиоэлектроники». Серия1., «Технология производства и оборудование», 1965. № 9.
- Л. А. Беляев. «О расчёте параметров молекулярных турбонасосов». Сб. «Вакуумная техника». Вып. 1, Таткнигоиздат, 1968.
- Л. А. Беляев. Метод расчёта молекулярных турбонасосов". Химическое и нефтяное машиностроение, № 6,1970.
- Т. Sawada, М. Suzuki, О. Taniguchi. 'The axial-flow Molecular pump. On a rotor with a single blade row". Scient. Paper. Inst, and Chem. Press. 1968, 62, N2, p. 49−64.
- Леонов Л.Б. «Исследование характеристик турбомолекулярного насоса ТМН-200 с модернизированной проточной частью». Тех. Отчёт по НИР п/я А-1614 № 2306,1975.
- Фролов Е.С., Демихов К. Е. Методика определения основных размеров дискового рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. «Известия вузов. Машиностроение», № 7,1969.
- Фролов Е.С., Демихов Е. С. Шевляков А.Н., Никулин Н. К. Определение основных размеров лопаточного колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. «Известия вузов. Машиностроение», № 11,1969.
- Проспект фирмы Leybold-Heraeus, 75.2.1./1231.04.80 Su 2.D.
- Проспект фирмы SHECMA. Turbomolecular pump. Type 614.
- Проспект фирмы Edwards ETR series.
- Проспект фирмы Balzers. Turbo molecular pumping units. PM 800 033 RE (8807)
- Проспект фирмы Varian. Turbo-V by Varian.
- Проспект фирмы SEIKO-SEIKI. Turbomolecular Pamps (STP-200, STP-300, STP-2000).
- Лубенец В. Д, и др. Теоретическая эффективность рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса при зеркальном законе взаимодействия молекул газа со стенками межлопаточного канала. «Известия вузов. Машиностроение», № 5,1971.
- Лубенец В.Д. и др. Теоретическая эффективность рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса с учетом диффузного закона взаимодействия молекул газа со стенками межлопаточного канала. «Известия вузов. Машиностроение», № 6,1971.
- Фролов Е.С., Леонов Л. Б. Скорость откачки и степень повышения давлений рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. «Известия вузов. Машиностроение» 1968, № 6.
- Демихов К.Е., Шевляков А. Н. К определению вероятности перехода молекул через рабочее колесо ТВН с непараллельными стенками межлопаточного канала. «Известия вузов. Машиностроение», № 5, 1972.
- Фролов Е. С., Демихов К. Е., Шевляков А. Н. Теоретическая модель переноса молекул через колесо ТВН с непараллельными стенками межлопаточного канала. Труды МВТУ им Баумана. Компрессорные и вакуумные машины и пневмоагрегаты. Выпуск № 2.1973, № 158.
- Леонов Л.Б. «Характеристика ступени турбомолекулярного насоса». -Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1981, вып.3(86).
- А.К. Щедов. И Ю. М. Тузанкин. Молекулярный вакуумный насос. Авт. св. № 572 584, СССР. Опубл. 1977, Бюл.изобр. и откр. № 34.
- Протокол испытаний ОТ33.3231Д. Макет турбомолекулярного насоса с радиальным потоком откачиваемого газа. 1967.
- Кондрашев В. С. «Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов». Труды МИЭМ. «Полупроводниковое электровакуумное машиностроение». Вып. 9. М. 1970, Стр. 131−155.
- Кондрашев В. С. и Голубев В. П. Многоступенчатый вакуумный молекулярный насос. Авт. св. № 291 051, кл. F04d 19/04,. СССР
- Seeman Н. Патент Германии № 605 902, 27с, 15/04,1932/1936.
- Hix. Р. Патент Чехословакии № 104 298, 27с, 5,1957/1959.
- B.C. Кондрашев. «Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов». Труды МИЭМ. Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение. Вып. 9. М. 1970. Стр. 131 155.
- Насос STRH 600С фирмы SEIKO SEIKI.
- Фролов Е. С., Демихов К. Е., Никулин Н. К., Кузнецов В. Влияние осевых зазоров на характеристику ступени турбомолекулярного вакуум-насоса. ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ. Насосостроение. Вып. 2.1971.
- Фролов Е. С. Теория и расчёт турбомолекулярных вакуум-насосов. Учебное пособие. МВТУ им. Н. Э. Баумана. М. 1975.
- Фролов Е. С. Турбомолекулярные вакуум-насосы.- М.: Машиностроение, 1980.-119 с.
- Вакуумная техника: Справочник. Е. С. Фролов, В. Е. Минайчев, А. Т. Александрова и др.: Под общ. ред. Е. С. Фролова, В. Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1992.-480 с.:ил.
- Леонов Л. Б. «Расчет проточной части турбомолекулярною вакуумного насоса». Деп.- ЦНИИ «Электроника», № ДЭ-2197,1976.
- Леонов Л. Б. К вопросу теоретического определения оптимальных геометрических параметров первого роторного диска ТВН —Физика и техника вакуума Издательство Казанского университета. 1974. с 206 209.
- Л.Б. Леонов и И. Д. Анохин. «Роторный диск турбомолекулярного вакуумного насоса.» Авт. свид. № 453 492, кл. F 04d, 19/04,1971.
- Л.А. Беляев, Р. Т. Надыршин, Л. Б. Леонов. К определению оптимального профиля венца роторного диска ТВН. Тезисы доклада 5-ой Всесоюзной научно-технической конференции по вакуумной технике. Казань. 26−28 IX 1972 г.
- Л. Леонов.11 К расчёту роторных дисков турбомолекулярного насоса". Электронная промышленность. № 1, 2005.
- Г. С. Жирицкий, В. А. Стрункин «Конструкция и расчёт на прочность деталей паровых и газовых турбин». Машиностроение. М. 1968.
- М. В. Райко. «Расчёт деталей и узлов машин». «Техника». Киев. 1966. стр. 3839.
- Дэшман С. «Научные основы вакуумной техники». «Мир». М. 1964. Стр. 23.
- Я. Грошковский. «Техника высокого вакуума». Издательство «МИР». М.1975.
- Л. Леонов. «Простейшая модель перехода потоков газа через движущиеся наклонные каналы „. Электронная промышленность. № 1, 2005.
- Леонов Л.Б. Теоретическая модель переноса молекул газа через колесо турбомолекулярного вакуум-насоса. Научно-техническая конференция факультета „Энергомашиностроение“, МВТУ им. Н. Э. Баумана. М. 1970.
- В. Кузнецов, Л. Леонов. „Оптимизация параметров турбомолекулярныхвакуумных насосов“. Тезисы докладов 5 Всесоюзной научно-техническойконференции. Казань.1972.
- Л. Леонов. „Расчёт вакуумных характеристик турбомолекулярных насосов без учёта потоков газовыделений“. Электронная промышленность. № 3, 2005.
- Дэшман С. „Научные основы вакуумной техники“. „Мир“. М. 1964. Стр. 88.
- Вакуумная техника. Термины и определения. ГОСТ 5197 85.
- Леонов. Л. Б. О быстроте действия турбомолекулярного вакуумного насоса. — Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1980, выл. 4.
- Леонов Л. Б. Методика расчета турбомолекулярных вакуумных насосов на ЭВМ.—Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1980. вып. 3, с. 78−81.
- Jl. Леонов.“ О стандартах испытаний средств вакуумирования». Электронная промышленность. № 1, 2005.
- ОСТ 11 295.021 -74. «Насосы и агрегаты вакуумные. Методы испытаний».
- H.G. Holler. The problem of specially large systematic errors in the measurement of pumping speeds of high vacuum pumps of large out put. «Vacuum» 1963, v.13,№ 12,p: 539−541.
- Dayton B.B., Ind. and Eng. Chem., 40,795, 1948.
- И.Ф. Михайлов В. Ф. Ямницкий (ХФТИ ФН УССР) «О влиянии геометрии вакуумного объёма на остаточную плотность газа."Вопросы атомной науки и техники, Серия: Техника физического эксперимента. 1982, вып. 2(11).
- Vakuumtechnik. Abnahmeregeln fQr Turbomolekularpumpen/ Din 28 428. Nov 1978 Preisgr. 7.
- M. N. Hablanian. Recommended procedure for measuring pumping speeds. J. Vac. Sci. Technol. A 5 (4), Jul/Aug 1987. p. 2552−2557.
- В. В. Кузьмин, B.X. Набиуллин. „Установка для градуировки вакуумметров“. Академия наук СССР. Приборы и техника эксперимента. № 5. Москва. 1975.
- ГОСТ 25 663 83 (СТ. СЭВ 3409 — 81). Насосы вакуумные механические. Методы испытаний.
- ГОСТ 25 662 83 (СТ. СЭВ 3407 — 81). Насосы вакуумные диффузионные.
- ГОСТ 17 398–72. Насосы. Термины и определения.
- Л. Леонов. „Насосы или компрессоры?“. Мир Непознанного. № 03 (135). Март 2002.
- Л. Леонов. Зависимость вакуумных характеристик турбомолекулярных насосов от условий работы. Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1986, вып.З.
- Л. Леонов.» Методика испытаний быстроты действия турбомолекулярных насосов". Электронная промышленность. № 3, 2005.
- А. И. Пипко, В. Я. Плпсковский, Б. И. Королёв, В. и. Кузнецов. Основы вакуумной техники. М. Энергоиздат. 1981. стр. 196.
- Алексашин В. А., Кеменов В. Н., Кузнецов Б. М. и Леонов Л.Б. «Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос». Авт. свид. № 567 848, Кл. F 04d, 19/04, 1976.
- Кузнецов В. И. и Леонов Л. Б. «Способ эксплуатации турбомолекулярного вакуумного насоса.» Авт. свид. № 531 928, Кл. F 04d, 19/04,1973.
- К о з л о в В. И., Р о м, а н о в А. А., Т и т о в Б. Ф. Ловушка с сорбирующими элементами для паромасляного диффузионного насоса. — Физика и техника сверхвысокого вакуума. —Л.: Машиностроение" 1964.
- Л. Леонов. «Вакуумные установки на базе ТМН» Электронная техника, сер.7, ТОПО — 1989 — вып.4 (155).