Дипломы, курсовые, рефераты, контрольные...
Срочная помощь в учёбе

Технология создания и исследование пьезорезонансных зондовых датчиков для сканирующего зондового микроскопа

Диссертация: Технология создания и исследование пьезорезонансных зондовых датчиков для сканирующего зондового микроскопа
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Достоверность научных результатов, полученных результатов, обеспечивается строгостью постановки задач и применяемых математических методов, статистической обработкой полученных результатов, согласием расчетных и экспериментальных данных. Работа выполнялась с использованием современного оборудования НОЦ в направлении нанотехнологий НИУ ИТМО. Обработка экспериментальных данных проводилась на базе… Читать ещё >

Содержание

  • Глава I. Зондовые датчики для сканирующей зондовой микроскопии, спектроскопии и литографии (Литературный обзор)
    • 1. 1. Сканирующая зондовая микроскопия, зондовые датчики для СЗМ
    • 1. 2. Зондовые датчики для различных режимов сканирующей зондовой микроскопии и литографии
      • 1. 2. 1. Сканирующая туннельная микроскопия. Зонды для туннельных микроскопов
      • 1. 2. 2. Атомно-силовая микроскопия. Зонды для атомно-силовой микроскопии
      • 1. 2. 3. Ближнепольная оптическая и безапертурная терагерцовая ближнепольная микроскопия
      • 1. 2. 4. Сканирующая микроскопия ионной проводимости. Зонды для СМИГТ
      • 1. 2. 5. Сканирующая зондовая литография
    • 1. 3. Технология изготовления зондов
      • 1. 3. 1. Изготовление металлических зондов методом электрохимического травления
      • 1. 3. 2. Изготовления зондов-кантилеверов методом фотолитографии
      • 1. 3. 3. Наномодификация зондов с помощью технологии фокусированных электронных и ионных пучков
      • 1. 3. 4. Изготовление зондов для БОМ методом вытяжки из оптического волокна
      • 1. 3. 5. Изготовление зондов для СМИП методом вытяжки пипеток из стеклянных капилляров
  • Выводы и постановка задачи
  • Глава II. Экспериментальные установки и методы
    • 2. 1. Технологическое оборудование и технологические методы
      • 2. 1. 1. Установка и технология электрохимического травления металлов
      • 2. 1. 2. Установка и технология вытяжки микропипеток
      • 2. 1. 3. Технологическая установка на основе фокусированных электронных и ионных пучков для наномодификации зондов
      • 2. 1. 4. Технология выращивания углеродных и металлоуглеродных наноструктур на вершинах зондов
      • 2. 1. 5. Технология создания нановыступов на вершинах зондов
      • 2. 1. 6. Установка и технология магнетронного распыления материала
    • 2. 2. Диагностическое оборудование и методы диагностики
      • 2. 2. 1. СЗМ с пьезорезонансным зондовым датчиком
        • 2. 2. 1. 1. Блок схема прибора
        • 2. 2. 1. 2. Конструкция СЗМ на основе пьезорезонансного датчика
        • 2. 2. 1. 3. Конструкция зондового датчика на основе пьезокерамической трубки
        • 2. 2. 1. 4. Измерение резонансной кривой, кривой подвода и вольт-амперной характеристики
      • 2. 2. 2. Экспериментальная установка для измерения токов ионной проводимости
      • 2. 2. 3. Определение геометрических параметров зонда с помощью СЗМ
      • 2. 2. 4. Измерение геометрических параметров зондов с помощью СЭМ
  • Глава III. Технология изготовления и исследование пьезорезонансных зондовых датчиков
    • 3. 1. Пьезорезонансный датчик силового взаимодействия
      • 3. 1. 1. Расчет резонансной частоты изгибных колебаний ПРЗД
      • 3. 1. 2. Зависимость добротности и резонансной частоты ПРЗД от геометрических параметров и рабочей среды
      • 3. 1. 3. ПРЗД с улучшенной стабильностью
      • 3. 1. 4. ПРЗД для динамической силовой литографии на основе модифицированного XV зонда
        • 3. 1. 4. 1. Технология создания XV зонда с нановыступом на вершине
        • 3. 1. 4. 2. Тестирование зонда с нановыступом на вершине в режиме динамической силовой литографии
        • 3. 1. 4. 3. Оценка механической устойчивости зонда с наноострием в условиях продольного механического сжатия
      • 3. 1. 5. Зондовый датчик для наноидентирования
      • 3. 1. 6. Зондовый датчик с высокой добротностью
    • 3. 2. Датчик для измерения токов ионной проводимости
      • 3. 2. 1. Конструкция
      • 3. 2. 2. Технология вытягивания
        • 3. 2. 2. 1. Вытяжка зонда-микропипетки с помощью лазерного разогрева
        • 3. 2. 2. 2. Вытяжка зонда-микропипетки с помощью теплового разогрева
      • 3. 2. 3. Работа зондового датчика с зондом-микропипеткой в режиме полуконтактной силовой моды
        • 3. 2. 3. 1. Оценка механической устойчивости зонда-микропипетки под действием продольной силы сжатия
        • 3. 2. 3. 2. Экспериментальной определение частоты и добротности зондового датчика с зондом-микропипеткой
        • 3. 2. 3. 3. Тестирование зондового датчика с зондом-микропипеткой в режиме полуконтактной силовой моды
        • 3. 2. 3. 4. Тестирование зондового датчика с зондом-микропипеткой с нановыступом на торце в режиме полуконтактной силовой моды
      • 3. 2. 4. Тестирование ПРЗД в режиме СМИП
        • 3. 2. 4. 1. Моделирование работы зондового датчика с зондом-микропипеткой в режим СМИП
        • 3. 2. 4. 2. Тестирование ПРЗД с зондом-микропипеткой в режиме СМИП

Технология создания и исследование пьезорезонансных зондовых датчиков для сканирующего зондового микроскопа (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Технический прогресс всегда связан с появлением новых технологий. Конец XX и начало XXI веков ознаменовались бурным развитием нанотехнологий, открывающих путь к созданию новых материалов, систем и устройств с рекордными параметрами, принципиально новыми свойствами и возможностями. Нанотехнологии имеют дело с объектами, размеры которых < ЮОнм и поэтому могут быть реализованы на практике только совместно с прецизионными методами контроля и диагностики. Считается, что нанотехнологические идеи перешли в практическую плоскость после появления сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), изобретатели которого Г. Биннинг и Г. Рорер были удостоены Нобелевской премии по физике в 1986 году. СТМ стал родоначальником приборов нового класса — сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ). Чувствительным элементом всех СЗМ является зондовый датчик с нанозондом (НЗ) в виде твердотельного сплошного или полого острия. Вид физико-химического взаимодействия между НЗ и образцом, детектируемый в процессе измерений, определяет тип СЗМ. В настоящее время известно более 20-ти типов СЗМ, с помощью которых исследуют нанорельеф поверхности, измеряют локальные механические, фрикционные, электрические, электрохимические, оптические, электронные, магнитные (включая спиновые), тепловые и др. характеристики материалов различной природы. СЗМ стал одним из базовых инструментов нанотехнологий, поскольку он обеспечивает не только измерение локальных свойств, но и позволяет модифицировать поверхность материалов с помощью высоких локальных механических давлений, электрических полей и токов большой плотности, а также позволяет манипулировать наночастицами, вплоть до перемещения отдельных атомов. Очевидно, что большое разнообразие СЗМ поддерживается разнообразием зондовых датчиков и НЗ с соответствующими технологиями изготовления. Наиболее широкое распространение среди СЗМ получили сканирующие силовые микроскопы (ССМ). ССМ базируются на зондовых датчиках с НЗ в виде кремниевых кантилеверов, изгиб которых под действием локального силового взаимодействия с поверхностью исследуемого образца детектируется оптическим методом. Технология изготовления кантилеверов основана на хорошо разработанных кремниевых технологиях. Альтернативным кантилеверному зондовому датчику (КЗД) является пьезорезонансный зондовый датчик (ПРЗД), возможности которого в составе СЗМ мало исследованы. В настоящее время ПРЗД обладает значительно меньшей механической добротностью, чем КЗД и не может быть использован при измерении малых локальных сил. Вместе с тем, разработка технологии изготовления ПРЗД и использование таких датчиков в составе СЗМ представляется весьма актуальной задачей, поскольку в ПРЗД в отличие от КЗД измеряемое взаимодействие сразу преобразуется в электрический сигнал. Отсутствие оптического канала детектирования в ПРЗД дает датчикам этого типа определенные преимущества, поскольку оптический канал не всегда совместим с условиями работы СЗМ. Другим существенным преимуществом ПРЗД является его простота и отсутствие оптических юстировок. Наконец, ПРЗД допускает использование более массивных зондов, что становится принципиальным при создании датчиков с зондами наноинденторами из особотвердых материалов, или с зондами в виде стеклянных микропипеток (МП). Актуальность создания ПРЗД обусловлена также тем, что СЗМ на основе ПРЗД с зондами наноинденторами и микропипетками нужны для проведения исследований и разработок в области наноматериаловедения, электрохимии, цитологии, нанобиотехнологии.

Цель диссертационной работы. Целью работы было создание, исследование и апробация новых типов ПРЗД с расширенными функциональными возможностями, высокой стабильностью, чувствительностью и пространственным разрешением. Предметом исследования была технология изготовления ПРЗД с различными НЗ и исследование их функционирования в составе СЗМ в режимах полуконтактной силовой микроскопии, наноиндентирования, динамической силовой литографии, сканирующей микроскопии ионной проводимости.

Задачи исследования. Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

1. провести численный анализ резонансных частот ПРЗД и механической устойчивости НЗ под действием сил продольного сжатия,.

2. провести численное моделирование работы СЗМ с НЗ в виде МП в режиме ионной проводимости,.

3. разработать технологию и изготовить ПРЗД с улучшенной стабильностью работы и улучшенным пространственным разрешением в режиме динамической силовой литографии по сравнению с ПРЗД известной конструкции на основе пьезокерамической трубки с вольфрамовым НЗ,.

4. разработать технологию и изготовить ПРЗД с улучшенной механической добротностью, по сравнению с ПРЗД известной конструкции на основе пьезокерамической трубки с вольфрамовым НЗ,.

5. разработать технологию и изготовить ПРЗД с твердым НЗ на основе А120з (корунд) взамен ПРЗД с НЗ на основе алмаза,.

6. разработать технологию и изготовить ПРЗД с НЗ на основе МП,.

7. исследовать разработанные ПРЗД в составе СЗМ «№поЕс1иса1-ог» Методы исследования. Для решения поставленных задач применялись следующие методы исследования:

1. анализ литературных источников по применению и технологии изготовления НЗ,.

2. математическое моделирование с использованием аналитических методов и метода конечных элементов,.

3. комплексный технологический подход при изготовлении образцов НЗ, включающий: лазерную и тепловую вытяжку МП, электрохимическое травление и полировку вольфрамовых (W) заготовок, УФ отверждение полимеров, осаждение металлоуглеродных наноструктур из газов-прекурсоров под действием фокусированных электронного или ионного пучков, модификацию боросиликатных МП, корундовых наконечников, W острий фокусированным ионным пучком.

4. комплексная нанодиагностика НЗ, включающая оптическую, электронную, ионную и сканирующую зондовую микроскопии,.

5. экспериментальная апробация ПРЗД в составе СЗМ в режимах полуконтактной силовой микроскопии и динамической силовой литографии.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Комплексное применение технологий фокусированных электронного или ионного пучков, электро-химического травления и УФ полимеризации тонкослойного клеевого покрытия реализует технологию изготовления механически устойчивых специализированных зондов в виде:

— нановыступа на вершине W иглы, для динамической силовой литографии с пространственным разрешением -50 нм,.

— заостренного корундового наконечника на торце пьезокерамического резонатора для наноиндентирования с одновременной визуализацией нанорельефа полученного отпечатка, металл-углеродного нановискера на пьезокристаллическом кварцевом резонаторе с механической добротностью -150 единиц.

2. ПРЗД камертонного типа на основе двух пьезокерамических трубок имеет более устойчивые резонансные характеристики по сравнению с датчиком на основе одиночной пьезотрубки.

3. Применение технологии тепловой вытяжки стеклянного капилляра с последующей модификацией его заостренного торца с помощью технологии фокусированного ионного пучка реализует технологию изготовления пьезорезонансного зондового датчика для работы в режиме ионной проводимости с одновременной визуализацией поверхности диэлектрического образца в режиме полуконтактной силовой микроскопии с пространственным разрешением 100 — 150 нм.

Научная новизна работы состоит в том, что в ней впервые предложены технологии изготовления, а также изготовлены, исследованы и апробированы ПРЗД различного типа, существенно расширяющие функциональные возможности СЗМ, а именно: камертонного типа, с вольфрамовым НЗ с нановыступом на вершине острия, с НЗ в виде металлоуглеродного вискера на кварцевом резонаторе, с корундовым НЗнаноиндентором, с НЗ в виде боросиликатной микропипетки с нановыступом на торце.

Достоверность научных результатов, полученных результатов, обеспечивается строгостью постановки задач и применяемых математических методов, статистической обработкой полученных результатов, согласием расчетных и экспериментальных данных. Работа выполнялась с использованием современного оборудования НОЦ в направлении нанотехнологий НИУ ИТМО. Обработка экспериментальных данных проводилась на базе кафедры Нанотехнологий и материаловедения НИУ ИТМО.

Практическая ценность и реализация работы заключается в том, что предложенная и апробированная линейка ПРЗД совместима с серийно выпускаемым СЗМ «NanoEducator». Результаты работы внедрены в учебном процессе на кафедре Нанотехнологий и материаловедения НИУ ИТМО при проведении занятий со студентами в рамках курсов «Пучковые и зондовые методы исследования», «Сканирующая зондовая микроскопия и нанотехнологии».

Практическая ценность работы подтверждена Грантами фирмы Carl Zeiss в 2009 и 2011 годах. Часть работы выполнена в рамках реализации и при финансовой поддержке ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009 — 2013 годы (НК-556П/89, ГК П557) и грантом Министерства образования и науки № 2.1.2/4187 «Многофункциональные нанозонды для сканирующей зондовой микроскопии, спектроскопии и литографии (C3M-C-JI): концепция, технология, характеризация, применение».

Апробация работы. Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на: IV-VII Всероссийских научных конференциях молодых ученых (Санкт-Петербург, 2007;2010), Proceedings of International Workshop «Advanced Laser Technologies», (Hungary, Siofok, 2008), XXXVIII и XXXIX научных и учебно-методических конференциях ППС СПбГУ ИТМО (Санкт-Петербург, 2009;2010), 2-й Уральской школе молодых ученых. Современные нанотехнологии. Сканирующая зондовая микроскопия (Екатеринбург, 2011).

Публикации. По материалам диссертационных исследований опубликовано 14 работ, из них 8 — в журналах из перечня ВАК и 6 сообщений в материалах конференций.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, 3 глав, заключения и библиографического списка из 67 наименований. Основной текст работы изложен на 112 страницах, включает в себя 4 таблицы и 66 рисунков.

Заключение

.

В процессе выполнения диссертационной работы были получены следующие основные результаты:

1. проведен расчетный анализ параметров ПРЗД, как колебательной системы, и механической устойчивости НЗ под действием сил продольного сжатия,.

2. проведено численное моделирование работы СЗМ с НЗ в виде МП в режиме ионной проводимости и найдены оптимальные параметры для работы в СМИП режиме,.

3. разработана технология и изготовлены ПРЗД с улучшенной стабильностью работы, улучшенным пространственным разрешением и улучшенной механической добротностью в режиме динамической силовой литографии по сравнению с ПРЗД известной конструкции на основе пьезокерамической трубки с вольфрамовым НЗ,.

4. разработана технология и изготовлен ПРЗД с твердым НЗ на основе А1203 (корунд) взамен ПРЗД с НЗ на основе алмаза,.

5. разработана технология и изготовлен ПРЗД с НЗ на основе МП для работы СЗМ в режиме полуконтактной моды и моды ионной проводимости,.

6. определены рабочие характеристики и проведено тестирование разработанных ПРЗД на тест-объектах.

Основное содержание диссертации опубликовано в следующих печатных изданиях:

1. Стовпяга A.B., Пинаев A. JL, Голубок А. О. Исследование нанозонда для модификации поверхности полимера методом динамической силовой литографии // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. -2008. — номер 58. — С. 86−91.

2. Голубок А. О., Левичев В. В., Пинаев А. Л., Стовпяга A.B. Исследование пьезорезонансного датчика локального силового взаимодействия сканирующего зондового микроскопа с зондом в виде микропипетки // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. — 2009. — номер 3(61). — С. 59−62.

3. Пинаев А. Л., Стовпяга A.B. Исследование режима динамической силовой литографии в системе «металл-полимер» // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. — 2009. — номер 5(63). — С. 70−74.

4. Голубок А. О., Левичев В. В., Матыжонок В. Н., Стовпяга A.B. Зонд для сканирующей микроскопии токов ионной проводимости // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. — 2010. — номер 4(68). — С. 64−67.

5. Стовпяга A.B., Лобова И. Н. Исследование влияния параметров зондов сканирующего зондового микроскопа на визуализацию рельефа поверхности биологических объектов // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. — 2010. — номер 6(70). — С. 94−98.

6. Стовпяга A.B., Французов Г. С. Изготовление и аттестация зондов из стеклянных микрокапилляров для сканирующего зондового микроскопа // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. — 2011. -номер 1(71).-С. 93−96.

7. Няпшаев И. А., Анкудинов A.B., Стовпяга A.B., Трофимова Е. Ю., Еропкин М. Ю. Исследование живых клеток в атомно-силовом микроскопе, используя сферические зонды калиброванного субмикронного радиуса кривизны // Журнал Технической Физики. -2012. — т. 82, вып. 10. — С. 109−116.

8. Стовпяга А. В., Сапожников И. Д., Голубок А. О. Сканирующий микроскоп ионной проводимости с одновременной визуализацией поверхности образца в полуконтактной силовой моде // Научное приборостроение. 2012. Т. 22, № 3. С. 17−26.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Young R. Field Emission Ultramicrometer // Rev. Sci. Instrum. 1966. — Vol. 37.-P. 275−278.
  2. Young R., Ward J., Scire F. Observation of Metal-Vacuum-Metal Tunneling, Field Emission and Transition Region // Phys. Rev. Lett. 1971. -Vol. 27. — P. 922 — 924.
  3. Young R., Ward J., Scire F. The Topografiner: An Instrument for Measuring Surface Microtopography // Rev. Sci. Instrum. 1972. — Vol. 43. — P. 999 — 1011.
  4. Binnig G., Rohrer H. Scanning tunneling microscopy // Helv. Phys. Acta. -1982. Vol. 55. — P. 726 — 735.
  5. Binnig G., Rohrer H., Gerber Ch., Weibel E. Tunneling through a controllable vacuum gap // Appl. Phys. Lett. 1982. — Vol. 40. — P. 178 — 182.
  6. G., Rohrer H., Gerber Ch., Weibel E. 7 x 7 Reconstruction on Si(lll) Resolved in Real Space // Phys. Rev. Lett. 1983. — Vol. 50. — P. 120−123.
  7. Binnig G., Rohrer H., Gerber Ch., Weibel E. Surface Studies by Scanning Tunneling Microscopy // Phys. Rev. Lett. 1982. — Vol. 49. -P. 57−61.
  8. Wichramasinghe H. Progress in scanning probe microscopy // Acta materiala. -2000. Vol. 48. — P. 347 — 358.
  9. Д.И. Основы квантовой механики. М.: Наука, 1983. — 664 с.
  10. Л.Д., Лифшиц Е. М. Квантовая механика (нерелятивистская теория). Издание 5-е. — М.: Физматлит, 2001. — 808 с.
  11. В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2005. — 144 с.
  12. Bai С. Scanning tunneling microscopy and its applications. N. Y., 2000. -368 p.
  13. Mendez J., Luna M., Baro A. M. Preparation of STM W previous tips and characterization by FEM, ТЕМ and SEM. // Surface Science. 1992. — Vol. 266. — P. 294−298.
  14. M. С. Preparation of sharp gold tips for STM by using electrochemical etching method // Materials Science and Engineering B. 2000. — Vol. 74. — P. 229 — 233.
  15. Суслов А. А, Чижик С. А. Сканирующие зондовые микроскопы (обзор). // Материалы, технологии, инструменты, том 2. 1997. № 3. — С. 78 — 89.
  16. Yacoot A., Koenders L. Aspects of scanning force microscope probes and their effects on dimensional measurement // Journal of Physics D: Applied Physics.-2008.-Vol. 41.
  17. Binnig G., Quate C. F., Gerber C. Atomic force microscope // Phys. Rev. Lett. 1986. — Vol. 56. — P. 930 — 933.
  18. Albrecht T. R., Akamine S., Carver Т. E., Quate C. F. Microfabrication of cantilever styli for the atomic force microscope // J. Vac. Sci. Technol. 1990. -Vol. 8.-P. 3386−3396.
  19. Wolter O, Bayer Т., Greschner J. Micromachined silicon sensors for scanning force microscopy // J. Vac. Sci. Technol. B. 1991. — Vol. 9. — P. 1353 — 1357.
  20. R. В., Ravi T S., Gmitter K., Chin D., Liu W. J., Orvis D. R., Ciarlo С. E., Trujillo. Formation of silicon tips with <1 nm radius // Appl. Phys. Lett. -1990. Vol. 56. — P. 236 — 238.
  21. Oesterschulze E. Recent developments of probes for scanning probe microscopes // Adv. Imag. Electron Phys. 2001. — Vol. 118. — P. 129−206.
  22. Gaitas A., Gianchandani Y. B. An experimental study of the contact mode AFM scanning capability of polyimide cantilever probes // Ultramicroscopy. -2006. Vol. 106. — P. 874 — 880.
  23. A.O., Васильев A.A., Керпелева С. Ю., Котов В. В., Сапожников И. Д. // Датчик локального силового и туннельного взаимодействия в сканирующем зондовом микроскопе. Научное приборостроение. — 2005. -т. 15, № 1. — с. 62−69.
  24. B.C. Проблемы нанооптики // УФН. 1999. Т. 169. №. 3. С. 345.
  25. Pohl D.W., Denk W., and Lanz M. Optical spectroscopy: image recording with resolution A/20 // Appl.Phys.Lett. 1984. — Vol. 44. — P. 651.
  26. G. C. Cho, H.-T. Chen, S. Kraatz et al. Apertureless terahertz near-field microscopy // Semicond. Sci. Technol. 2005. — Vol. 20. — P. S286-S292.
  27. F. Buersgens, G. Acuna, C. H. Lang, S. I. Potrebic, S. Manus, R. Kersting. Shear force control for a terahertz near field microscope // Rev. Sci. Instrum. -2007.-Vol. 78.-P. 113 701.
  28. Hansma P. K., Drake B., MartiO., Gould S. A. C. and Prater C. B. The scanning ion-conductance microscope // Science. 1989. — Vol. 243, № 4891. -P. 641−643.
  29. Rheinlaender J., Schaffer T. E. Image formation, resolution, and height measurement in scanning ion conductance microscopy // Journal of Applied Physics. 2009. V. 105. P. 726−735.
  30. Andrew I. Shevchuk et al «Simultaneous Measurement of Ca2+ and Cellular Dynamics: combined Scanning Ion Conductance and Optical Microscopy to Study Contracting Cardiac Myocytes». Biophysical Journal, V 81, September 2001, p 1759−1764
  31. Ying L, Bruckbauer A, Zhou D, Gorelik J, Shevchuk A, Lab M, Korchev Y, Klenerman D. The scanned nanopipette: a new tool for high resolution bioimaging and controlled deposition of biomolecules // Phys. Chem. 2005. -vol.7, № 15. — P.2859−66
  32. Shevchuk A., Gorelik J. et al. Simultaneous Measurement of Ca2+ and Cellular Dynamics: combined Scanning Ion Conductance and Optical Microscopy to Study Contracting Cardiac Myocytes // Biophysical Journal. 2001. — Vol. 81. -P. 1759−1764.
  33. Shevchuk A., Frolenkov G., Sanchez D., James P. S. Imaging Protein in Membranes of Living Cells by High-Resolution Scanning Ion Conductance Microscopy // Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 2006. — Vol. 45(14). — P. 2212 -2216.
  34. Bockris J. O., Reddy A. K. N. Modern Electrochemistry: Electrodics in Chemistry, Engineering, Biology, and Environmental Science. N. Y., 2000. -2042 p.
  35. Klauk H., Gundlach D.J., Bonse M, Kuo C.C., Jackson T.N. A reduced complexity process for organic thin film transistors // Appl. Phys. 2000. — Lett. 76. — P. 1692−1694.
  36. Fujita J., Ohnishi Y., Ochiai Y., Matsui S. Ultrahigh resolution of calixarene negative resist in electron beam lithography // Appl. Phys. Lett. 1996. — Vol. 68. -P. 1297.
  37. Austin M.D., Ge H.X., Wu W., Li M.T., Yu Z.N., Wasserman D., Lyon S.A., Chou S.Y. Fabrication of 5 nm linewidth and 14 nm pitch features by nanoimprint lithography // Appl. Phys. Lett. 2004. — Vol. 84. — P. 5299−5301.
  38. Gates B.D., Whitesides G.M., Replication of Vertical Features Smaller than 2 nm by Soft Lithography // J. Am. Chem. Soc. 2003. — Vol. 125. — P. 1 498 614 987.
  39. Quate C.F. Scanning probes as a lithography tool for nanostructures // Surf. Sci. 1997.- Vol. 386. — P. 259 — 264.
  40. Xie X. N., Chung H. J., Sow C. H., Wee A. T. S. Nanoscale materials patterning and engineering by atomic force microscopy nanolithography // Materials Science and Engineering: R: Reports. 2006. — Vol. 54. — P. 1 — 48.
  41. Cappella B., Sturm H. Comparison between dynamic plowing lithography and nanoindentation methods // J Appl. Phys. 2002. — Vol. 91. — P. 506 — 512.
  42. Ibe J.P., Bey P.P.Jr., Brandow S. L., Brizzolara R. A., Burnham N. A., DiLella D. P., Lee K. P., Marrian C .R. K. and Colton R. J. On the electro etchingof tips for scanning tunneling microscopy //J. Vac. Sci. Technol. 1990. — Vol. 8. -P. 3570−3575.
  43. В. А. Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования. Дис.. док. тех. наук. Москва. 2000. 393 с.
  44. R. М., Philipp М. N., Gierak J., Fu, Y. Q. Focused Ion Beam Micro- and Nanoengineering // MRS Bulletin. 2007. — Vol. 32. — P. 417 — 423.
  45. А.О., Ковров A.B., Левичев B.B., Мухин И. С., Приходько О. А. Формирование одиночных нановискеров на вершинах зондов сканирующего зондового микроскопа // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. -2009. № 04(62). — С. 82 — 87.
  46. Melngailis J. Critical review: focused ion beam technology and applications // J. Vac. Sci. Technol. 1987. — Vol. 5. — P.469.
  47. Langford R. M., Philipp M. N., Gierak J., Fu, Y. Q. Focused Ion Beam Micro- and Nanoengineering // MRS Bulletin. 2007. — Vol. 32. — P. 417 — 423.
  48. Volkert C. A., Minor A. M. Focused Ion Beam Microscopy and Microengineering // MRS Bulletin. 2007. — Vol. 32. — P. 389 — 399.
  49. Sanket N. Bhavsar, Aravindan S. and Venkateswara Rao P. A Critical Review on Microtools Fabrication by Focused Ion Beam (FIB) Technology. World congress on engineering Vol. II. London. 2009.
  50. Smolyaninov 1.1., Mazzoni D.L., Mait J., Davis C.C. Experimental study of surface-plasmon scattering by individual surface defects // Phys.Rev.B. 1997. -Vol.56, No.3. — P. 1601−1611.
  51. В.П., Вознесенский Н. Б., Воронин Ю. М., Дряхлушин В. Ф. Ближнепольные оптические зонды: методы изготовления, основные характеристики и контроль аппаратуры // Оптический журнал. 1998. — Т. 65.-С. 31 -57.
  52. Ю.А. Как сливаются биологические мембраны. // Соровский Образовательный Журнал. 2001. № 5. — С.4 — 9.
  53. Proksch R., Lai R., Hansma Paul K., Morse D. and Stucky G. Imaging the Internal and External Pore Structure of Membranes in Fluid: Tapping Miode Scanning Ion Conductance Microscopy // Biophysical Journal. 1996. — Vol. 71. -P. 2155−2157.
  54. Du Bois D. A machine for pulling glass micropipettes and needles // Science. 1931. — Vol. 73. — P.344 — 345.
  55. Зыонг Ван Зунг Зыонг Ти Зунг. Исследование лазерного формирования комбинированных нанозондов: Дис.. канд. тех. наук. Санкт-Петербург. 2007. 135 с.
  56. J. Т., Nastuk W. L. An Instrument for the Production of Microelectrodes Used in Electrophysiological Studies // The review of scientific instruments. 1953. — Vol. 24. — P. 528 — 531.
  57. Mohammad Yeakub Ali, Wayne Hung and Fu Yongqi. A Review of Focused Ion Beam Sputtering // Int. J. of Precision Engineering And Manufacturing. 2010. Vol. 11, No. 1. P. 157.
  58. Chowdhury Т. K., Fabrication of extremely fine glass micropipette electrodes // J. Phys. E. 1969. V. 2. P. 1087−1090.60. http://www.ntmdt-tips.com/log/gratings/afmcal/products/TGTl.html
  59. Olivier L. Guise, Joachim W. Ahner, Moon-Chul Jung, Peter C. Goughnour, and John T. Yates, Jr, Reproducible Electrochemical Etching of Tungsten Probe Tips //Nano Lett., Vol. 2, No. 3, p 191−193
  60. Л.Д., Лифшиц Е. М. Теоретическая физика. 2003. Т.VII. Теория упругости. М.: Физматлит. 2003. — 264 с.
  61. Э. Справочник по обыкновенным дифференциальным уравнениям. М.: Наука. 1971. 589 с.
  62. Э. Справочник по обыкновенным дифференциальным уравнениям. М.: Наука. 1971. 589 с.
  63. Yongan Gua, Dongqing Li. The-Potential of Glass Surface in Contact with Aqueous Solutions // Journal of Colloid and Interface Science. 2000. V. 226, № 2. P. 328−339.
Заполнить форму текущей работой

Заказал и сдал!