ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ
Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
Π½ΠΎΠ²ΡΡ
ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Ρ Π½Π΅ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π½Π½ΡΡ
ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ, Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΡΠΈΠΊΠΎΡΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠΎΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ°ΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈΠ’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΡ Π½Π° ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡΡ
ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΈ ΡΠ»ΡΠΆΠ± Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ, Π½ΠΎ ΠΈ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΠΈΡΡΠ°ΠΌ ΠΈ Π΄ΠΈΠ·Π°ΠΉΠ½Π΅ΡΠ°ΠΌ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ
…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΡ
ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ² ΠΈΠΌΠΈΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΡΡ
ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ΅ΡΡΡ
ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ Ρ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°-ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ, ΠΎΡ
Π²Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°-ΠΎΡΠΈΠ³ΠΈΠ½Π°Π»Π°. ΠΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ, ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π½Π° ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π½Π° ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π¨Π°ΡΡΠ½ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠ· Π‘ΡΠ°Π»ΠΈ 40Π₯ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°Π»Π° Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ½Π΅ΠΌ. Π§Π΅ΡΠ΅Π· ΡΠ°ΡΡΠ½ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΌ Ρ
ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΡΠ°ΡΡΠΉ Π²Π°Π». ΠΡΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ°ΠΊΡΠ°Ρ
(Π²ΠΏΡΡΠΊ, ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ ΠΈ Π²ΡΠΏΡΡΠΊ) ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠ°ΡΡΠ½ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π²Π°Π»Π°. Π¨Π°ΡΡΠ½ (ΡΠΈΡ. 1.2) ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½Ρ Π΄Π²ΡΡΠ°Π²ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²Π΅ΡΡ
Π½Π΅ΠΉ Π½Π΅ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ…
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ Π ΠΈΡ. Π4. Π’ΡΡΠ±ΠΎΡ
ΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΈΠΊ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ»Π΅ΡΠ° ΠΠΎΠΈΠ½Π³-777 Ρ ΠΠΠ. ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΎΡΡΡ
ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΡΡΡΡ
ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠ°. Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π»Π΅ΠΏΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° — Π»Π΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ. ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ³ΠΈΠ± Π»Π΅ΠΏΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ² (Π»Π΅Π½Ρ) Π΄ΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠΎΡΡΡ
Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ
Π΄Π΅ΡΡΡΡΡ
ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠΎ Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π²Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ°ΠΊΡΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΎΠΎΡΡΠΆΠ°ΡΡ ΠΈΡ
Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΈΡ
ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΆΠ΅ Π°ΠΏΡΠΎΠ±ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠΡΡΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (Π΅ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊ ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ MEMS) ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΡΡ MEMS-Π°ΠΊΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠΈΡΠ½ΠΎ…
ΠΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΡΠ°Π·ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π±ΡΠΈΠΊΠ°ΡΠ°, ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³Π°Π±Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Π°Ρ
Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π·ΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ-Π²ΡΠ·Π°Π»ΡΠ½ΡΡ
Π°Π³ΡΠ΅Π³Π°ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ° Π½Π΅ΡΠΊΠ°Π½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΠ½Π΅Π²ΠΌΠΎΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΡΡΠ΄ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Π°Ρ
, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΅ΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΎΡΠ±Π΅ΡΠ΅Π³Π°ΡΡΠΈΡ
ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅Ρ
ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ² Π³ΠΎΡΠ½ΡΡ
ΡΠ°Π±ΠΎΡ. ΠΡΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΠ², ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΊ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ — ΡΡΠΎ, Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΎΡΠ°Π³ΠΎΠ² ΡΠ°ΠΌΠΎΠ½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΡΠ°Π½Π½ΠΈΡ
ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ
ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ½Π΄ΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ. Π ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΉ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ²ΡΠΎΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠ° (ΠΠ’) ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° Π²ΡΠ΅Ρ
ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ
Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠΈΠ·Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΊΠ»Π°, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΡ ΡΡΡΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π° ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°, ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ. ΠΠ²ΡΠΎΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠ°, Π²ΡΡΠ΅Π΄ΡΠ°Ρ ΠΈΠ· ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π¨Π Π½Π΅ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½Π½ΡΡ
Π£ΠΠ, ΠΈΡ
Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ. Π Π΅ΡΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΡΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΠΠ Π½Π° ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠΌ. Π. Π. ΠΠ°Π»ΠΈΠ½ΠΈΠ½Π° ΠΠΈΠ½ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡΠ²Π° ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°ΡΡΡΠΎΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 10 ΠΠΠ° — 1,44*10Β° ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ²…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π£ΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠ°Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 70.80% ΠΈΡ
ΠΎΡΠΊΠ°Π·ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ·Π»ΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ· ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠΎΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΠΏΠ°Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 30.70% ΠΏΡΠΈΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΠΏΡΠΈΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ. Π ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠΎ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°Ρ
Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΆΠ΅ΡΠ½ΡΡ
ΠΏΠ°Ρ, ΠΊΡΠ»Π°ΡΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΠΏΠ°Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠΉΡΡ-Π’ΡΠΊ" (ΠΠΎΡΠΊΠ²Π°- 2003) — ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΠΊΠΎΠ½Ρ.: «ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ΅ΡΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
» (ΠΠΈΠ΅Π², 2003) — «Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° Π½Π΅ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠ°Π³Π½ΠΎΡΡΠΈΠΊΠΈ» (Π―Π»ΡΠ°, 2003) — «ΠΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°ΡΠΊΠΈ» (Π‘Π°ΠΌΠ°ΡΠ°, 2003) — «ΠΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ» (Π―Π»ΡΠ°, 2002), «ΠΠΎΡΠ²Π°, ΠΎΡΡ
ΠΎΠ΄Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π² ΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΎΠΌ Ρ
ΠΎΠ·ΡΠΉΡΡΠ²Π΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΡΠ³Π°Π½Π°ΠΌ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ
ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
ΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ
Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Π°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΡ
ΠΌΠ΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π° ΠΏΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌ Π΄ΠΈΠ°Π³Π½ΠΎΡΡΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ. Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ² ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΡΡ
Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΠ³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ (ΠΠΠ‘) ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΄ΠΎ 40 ΠΊΠΡ, ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ Π΄Π²ΡΡ
ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄ΠΈΠ·Π΅Π»ΠΈ. Π ΡΠΈΠ»Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ
Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ ΠΎΡΡΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ
ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΎ-ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠΌ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ Π³ΡΡΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Ρ Ρ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΠ³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ» ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ Π² 1896 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΠΎΡΠ»ΠΈΠ±Π° ΠΠ°ΠΉΠΌΠ»Π΅ΡΠ°, Π° ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ Π³ΡΡΠ·ΠΎΠ²ΠΈΠΊ Ρ Π΄ΠΈΠ·Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ Π±ΡΠ» Π²ΡΠΏΡΡΠ΅Π½ ΡΠΈΡΠΌΠΎΠΉ ΠΠ°ΡΠ»Π° ΠΠ΅Π½ΡΠ° Π² 1923 Π³ΠΎΠ΄Ρ. ΠΡΡΠ·ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΠΈ (Π³ΡΡΠ·ΠΎΠ²ΠΈΠΊΠΈ) ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³Π°ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ (Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ΅) ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ: ΠΊΠ°Π±ΠΈΠ½Π° Π½Π°Π΄ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ